RU2405858C2 - Устойчивое покрытие и способ его производства - Google Patents

Устойчивое покрытие и способ его производства Download PDF

Info

Publication number
RU2405858C2
RU2405858C2 RU2007145953/02A RU2007145953A RU2405858C2 RU 2405858 C2 RU2405858 C2 RU 2405858C2 RU 2007145953/02 A RU2007145953/02 A RU 2007145953/02A RU 2007145953 A RU2007145953 A RU 2007145953A RU 2405858 C2 RU2405858 C2 RU 2405858C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
layer
solid
layers
range
solid layer
Prior art date
Application number
RU2007145953/02A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2007145953A (ru
Inventor
Инголф ЕНДЛЕР (DE)
Инголф ЕНДЛЕР
Original Assignee
Фраунхофер-Геселлскхафт Зур Фёрдерунг Дер Ангевандтен Форскхунг Е.В.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=36822291&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=RU2405858(C2) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Фраунхофер-Геселлскхафт Зур Фёрдерунг Дер Ангевандтен Форскхунг Е.В. filed Critical Фраунхофер-Геселлскхафт Зур Фёрдерунг Дер Ангевандтен Форскхунг Е.В.
Publication of RU2007145953A publication Critical patent/RU2007145953A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2405858C2 publication Critical patent/RU2405858C2/ru

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
    • C23C30/005—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process on hard metal substrates
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/34—Nitrides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/044—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material coatings specially adapted for cutting tools or wear applications
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)

Abstract

Изобретение относится к телам, покрытым твердыми материалами, а также к способу их производства и может быть использовано для инструментов, таких как сверла, фрезы и неперетачиваемые режущие пластинки. Покрытое твердым материалом тело из стали, твердых металлов, керметов или керамики с однослойной или многослойной системой слоев содержит как минимум один твердый слой Ti1-XAlXN, полученный химическим осаждением из газовой фазы. Твердый слой представляет собой или однофазный слой кубической NaCl-структуры и стехиометрическим коэффициентом х>0,75 до х=0,93, и постоянной решетки afCC между 0,412 нм и 0,405 нм, или многофазный слой, основная фаза которого состоит из Ti1-XAlXN с кубической NaCl-структурой, со стехиометрическим коэффициентом х>0,75 до х=0,93, и постоянной решетки afCC между 0,412 нм и 0,405 нм. Помимо основной фазы в слое содержатся остальные фазы из Ti1-XAlXN с вюртцитовой структурой, и/или из TiNX с NaCl-структурой, причем содержание хлора твердого слоя Ti1-XAlXN лежит в диапазоне от 0,05 до 0,9 атомарных %. Тела из стали, твердых металлов, керметов или керамики покрывают одноуровневой или многоуровневой системой слоев, которая содержит по меньшей мере один твердый слой Ti1-XAlXN. На тела наносят покрытие в реакторе при температурах в диапазоне от 700 до 900°С при помощи химического осаждения, в качестве прекурсоров используют галогениды титана, галогениды алюминия, и реактивные азотсодержащие соединения, которые смешивают при повышенных температурах. Получаются тела с покрытиями, обладающие улучшенными характеристиками износоустойчивости и устойчивости к окислению. 2 н. и 8 з.п. ф-лы, 2 ил.

Description

Техническая область
Изобретение относится к телам с высокопрочным покрытием с одно- или многоуровневой системой слоев, которая содержит как минимум один слой Ti1-XAlXN, а также способам их производства. Покрытие, выполненное в соответствии с изобретением, может, в частности, применяться для инструментов из стали, твердых металлов, кермета и керамики, таких как сверла, фрезы и неперетачиваемые режущие пластинки. Тела, имеющие покрытие в соответствии с изобретением, обнаруживают улучшенные характеристики износостойкости и устойчивости к оксидации.
Уровень техники
Производство противоизносных покрытий в определенных областях системы материалов Ti-Al-N уже известно в соответствии с публикацией WO 03/085152 А2. При этом имеется возможность изготовления однофазных слоев TiAlN со структурой NaCl, при содержании AlN до 67%. Эти слои, которые производятся при помощи металлизации полимеров, имеют постоянную решетки afCC между 0,412 нм и 0,424 нм (Р.Кремер, М.Виттхаут, А фон Рихтховен, Д.Нойшутц, Фрезениус Дж. Аналитическая химия 361 (1998) 642-645). Такие кубические слои TiAlN обладают относительно высокой прочностью и износостойкостью. Однако при содержании AlN более 67% возникает смесь из кубических и гексагональных TiAlN, и при доле AlN более 75% возникает одна только более мягкая и неизносостойкая гексагональная вюртцитовая структура.
Также известно, что стойкость к окислению кубических слоев TiAlN возрастает при увеличении содержания AlN (М.Каватэ, А.Кимура, Т.Сузуки, Поверхности и технологии нанесения защитных слоев Surface and Coatings Technology 165 (2003) 163-167). Однако в научной литературе, описывающей производство TiAlN при помощи металлизации полимеров, существует устоявшаяся точка зрения, что при температурах выше 750°С практически не могут больше возникать однофазные слои TiAlN с высоким содержанием AlN, а также, что для фаз Ti1-XAlXN с x>0,75 всегда имеет место гексагональная вюртцитовая структура (К.Кутшей, P.X.Майерхофер, М.Катрейн, Ц.Мишотте, П.Польчик, Ц.Миттерер, Прок. 16-й инт. семинар Планзее, май 30 - июнь 03, 2005, Ройтте, Австрия, Том 2, стр.774-788).
Также уже было обнаружено, что при помощи плазменного химического осаждения из газовой фазы возможно производство однофазных Ti1-XAlXN слоев из твердых материалов с x до 0,9 (Р.Пранге, дисс. RTHW Аахен (Рейн-Вестфальская техническая высшая школа), 1999, отчеты о прогрессе VDI (Союз Немецких Инженеров), 2000, серия 5, нр. 576, а также О.Крылов и другие, Поверхности и технологии нанесения покрытий Coating Techn. 151-152 (2002) 359-364). Недостатком при этом является, однако, недостаточная гомогенность состава покрытий и относительно высокое содержание хлора в слое. Кроме того, осуществление способа сложно и связано с большими затратами.
Для производства известных покрытий из твердых материалов Ti1-XAlXN при современном уровне техники применяются методы металлизации полимеров или методы плазменного химического осаждения из газовой фазы, которые работают при температурах до 700°С (А.Херлинг, Л.Хультман, М.Оден, Дж.Сйолен, Л.Карлссон, Дж.Вак Сей. технологии А 20 (2002) 5, 1815-1823, а также Д.Хейм, Р.Хохрайтер, Поверхности и технологии нанесения защитных покрытий Surface and Coatings Technology 98 (1998) 1553-1556). Недостатком этого метода является то, что нанесение покрытий на конструктивные элементы сложных геометрических форм сопряжено с трудностями. Метод металлизации полимеров является очень направленным процессом, а для метода плазменного химического осаждения из газовой фазы требуется высокая гомогенность плазмы, поскольку плотность мощности плазмы непосредственно влияет на атомное соотношение Ti/Al в слое. При помощи метода металлизации полимеров, который является почти единственным, применяемым в индустрии, не представляется возможным производство однофазных кубических Ti1-XAlXN-слоев с x>0,75.
Поскольку кубические TiAlN-слои имеют метастабильную структуру, их производство при помощи конвенционального метода химического осаждения из газовой фазы при температурах ≥1000°С невозможно в принципе, поскольку при температурах выше 1000°С возникает смесь из TiN и гексагонального AlN.
Также из патента США №6,238,739 В1 известно, что при помощи термического процесса химического осаждения без усиления с помощью плазмы могут получаться Ti1-XAlXN-слои с x между 0,1 и 0,6 в температурном диапазоне между 550°С и 650°С, если используется газовая смесь из хлоридов алюминия и титана, а также NH3 и Н2. Недостаток этого специального термического метода химического осаждения из газовой фазы заключается также в ограничении стехиометрии слоя x≤0,6 и в ограничении температуры до 650°С. Низкая температура при нанесении покрытия приводит к высокому содержанию хлора в слое до 12 атомных %, который является вредным при применении (С.Андербур, В.Гетта, Е.Бланкет, Ц.Шаброл, Ф.Шустер, Ц.Бернард, Р.Мадар, Поверхности и технологии нанесения покрытий Surface and Coatings Technology 115 (1999) 103-110).
Раскрытие изобретения
В основе изобретения лежит задача достигнуть значительно более хороших характеристик износоустойчивости и устойчивости к окислению для тел с покрытием из твердых материалов с одноуровневой или многоуровневой системой слоев, которая содержит как минимум один твердый слой Ti1-XAlXN.
Эта задача решается при помощи признаков изобретения, приведенных в формуле изобретения.
Соответствующие изобретению покрытые твердыми материалами тела отличаются тем, что они имеют по меньшей мере один слой Ti1-XAlXN, нанесенный при помощи химического осаждения из газовой фазы без усиления при помощи плазмы, который представлен как однофазный слой с кубической NaCl-структурой и стехиометрическим коэффициентом x>0,75 до x=0,93, и постоянной решетки afcc между 0,412 нм и 0,405 нм, или многофазным твердым слоем Ti1-XAlxN с основной фазой, состоящей из Ti1-XAlXN, с кубической структурой типа NaCl и стехиометрическим коэффициентом x>0,75 до x=0,93, и постоянной решетки afcc между 0,412 нм и 0,405 нм, причем остальные фазы Ti1-XAlXN содержатся в виде вюртцитовой структуры и/или как TiNX с NaCl-структурой. Дальнейшее отличие этого твердого Ti1-XAlXN-слоя состоит в том, что содержание хлора в нем находится между всего лишь 0,05 и 0,9 атомных %. Предпочтительно, чтобы содержание хлора в твердом Ti1-XAlXN-слое(слоях) лежало в диапазоне от всего лишь 0,1 до 0,5 атомных % и содержание кислорода в диапазоне от 0,1 до 5 атомных %.
Значение твердости по Виккерсу твердого слоя (слоев) Ti1-XAlXN находится в диапазоне от 2500 до 3800 HV.
В соответствии с изобретением, в твердом слое (слоях) Ti1-×Al×N до 30% массы могут составлять аморфные составляющие слоя.
Имеющийся на телах слой, в соответствии с изобретением, с его высокой прочностью между 2500 HV и 3800 HV, а также, по сравнению с уровнем техники значительно улучшенной устойчивостью к окислению, которая достигается благодаря высокой доле AlN и кубической фазе Ti1-XAlXN, обнаруживает наличие ранее не достигавшейся комбинации твердости и устойчивости к окислению, которая, особенно при высоких температурах, приводит к очень хорошей износоустойчивости.
Для производства тел изобретение предлагает способ, отличием которого является то, что на тела наносится покрытие в реакторе при температурах в диапазоне от 700 до 900°С при помощи химического осаждения из газовой фазы без усиления с помощью плазмы, причем в качестве прекурсоров находят применение галогениды титана, галогениды алюминия и реактивные азотсодержащие соединения, которые смешиваются при повышенных температурах.
В соответствии с изобретением в качестве реактивных азотсодержащих соединений могут использоваться NH3 и/или N2H4.
Предпочтительно смешивание прекурсоров в реакторе непосредственно перед зоной осаждения.
В соответствии с изобретением смешивание прекурсоров производится при температурах в диапазоне от 150 до 900°С.
Предпочтительно нанесение покрытие при давлениях в диапазоне от 102 до 105Па.
При помощи соответствующего изобретению способа возможно изготавливать Ti1-XAlXN-слои с NaCl-структурой при помощи сравнительно простого процесса химического осаждения из газовой фазы при температурах между 700°С и 900°С и давлениях между 102 Па и 105 Па. С помощью этого способа возможно получение как уже известных Ti1-XAlXN-составов слоя с x<0,75, так и новых типов состава слоя с х>0,75, которые невозможно получить никаким другим способом. Способ позволяет нанесение гомогенного покрытия также и на конструктивные элементы сложных геометрических форм.
Варианты осуществления изобретения
Ниже изобретение подробнее описано на примерах осуществления.
Пример 1. На неперетачиваемых режущих пластинках из WC/Co осаждается покрытие Ti1-XAlXN при помощи соответствующего изобретению термического химического метода осаждения из газовой фазы. Для этого в реактор с горячими стенками для химического осаждения из газовой фазы с внутренним диаметром до 75 мм вводится газовая смесь из 20 мл/мин AlCl3, 3,5 мл/мин TiCl4, 1400 мл/мин Н2, 400 мл/мин аргона при температуре 800°С и давлении 1 кПа.
Через второе газовое отверстие в реактор вводится смесь из 100 мл/мин NH3 и 200 мл/мин N2. Смешивание обоих газовых потоков происходит на расстоянии 10 см от держателя подложки. После нанесения покрытия в течение 30 минут получается серо-черный слой толщиной 6 µm.
При помощи проводимого при косом падении рентгенографического анализа тонких слоев выявляется только кубическая фаза Ti1-XAlXN (см. рентгенодифрактограмму фиг.1).
Вычисленная постоянная решетки составляет afCC=0,4085 нм. Определенное при помощи WDX (кристалл-дифракционной) спектрометрии атомное соотношение составляет 0,107. Также определенные содержания хлора и кислорода составляют 0,1 атомных % для Cl и 2,0 атомных % для О.
Расчет стехиометрического коэффициента дает x=0,90. При помощи идентора Виккерса измеряется твердость слоя, равную 3070 HV[0, 05]. Слой Ti1-XAlXN устойчив к окислению на воздухе до 1000°С.
Пример 2. На неперетачиваемых режущих пластинках из минералокерамики Si3N4 сначала при помощи известного стандартного химического процесса осаждения из газовой фазы при 950°С наносится слой из нитрида титана толщиной 1 µm.
После этого с помощью соответствующего изобретению метода химического осаждения из газовой фазы с применением описанной в примере 1 газовой смеси при давлении 1 кПа и температуре 850°С осаждается серо-черный слой.
Рентгенографический анализ тонкого слоя показывает, что тут имеет место гетерогенная смесь Ti1-XAlXN со структурой NaCl и AlN с вюртцитовой структурой. На полученной рентгенодифрактограмме с фиг.2 максимумы кубического Ti1-XAlXN обозначены как «с», а максимумы гексагонального AlN (вюртцитовая структура) обозначены как «h». В слое преобладает доля кубического Ti1-XAlXN.
Вычисленная постоянная решетки кубической фазы составляет afCC=0,4075 нм. Вторая, гексагональная фаза AlN имеет постоянную решетки а=0,3107 нм и с=0,4956 нм. Определенная с помощью идентора Виккерса прочность слоя составляет 3150 HV[0, 01]. Двухфазный слой Ti1-XAlXN устойчив к окислению на воздухе до 1050°С.

Claims (10)

1. Покрытое твердым материалом тело из стали, твердых металлов, керметов или керамики с однослойной или многослойной системой слоев, содержащее как минимум один твердый слой Ti1-XAlXN, полученный химическим осаждением из газовой фазы, представляющий собой или однофазный слой кубической NaCl-структуры со стехиометрическим коэффициентом х>0,75 до х=0,93 и постоянной решетки afCC между 0,412 нм и 0,405 нм, или многофазный слой, основная фаза которого состоит из Ti1-XAlXN с кубической NaCl-структурой, со стехиометрическим коэффициентом х>0,75 до х=0,93 и постоянной решетки afCC между 0,412 нм и 0,405 нм, а помимо основной фазы содержатся остальные фазы из Ti1-XAlXN с вюртцитовой структурой и/или из TiNX с NaCl-структурой, причем содержание хлора твердого слоя Ti1-XAlXN лежит в диапазоне от 0,05 до 0,9 ат.%.
2. Тело по п.1, отличающееся тем, что содержание хлора в твердом слое или слоях Ti1-XAlXN лежит в диапазоне от 0,1 до 0,5 ат.%.
3. Тело по п.1, отличающееся тем, что содержание кислорода в твердом слое или слоях Ti1-XAlXN лежит в диапазоне от 0,1 до 5 ат.%.
4. Тело по п.1, отличающееся тем, что значение твердости твердого слоя или слоев Ti1-XAlXN лежит в диапазоне от 2500HV до 3800 HV.
5. Тело по п.1, отличающееся тем, что от 0 до 30 мас.% твердого слоя или слоев Ti1-XAlXN представляют аморфные составляющие слоя.
6. Способ производства покрытых твердыми материалами тел из стали, твердых металлов, керметов или керамики с одноуровневой или многоуровневой системой слоев, которая содержит по меньшей мере один твердый слой Ti1-XAlXN, отличающийся тем, что на тела наносят покрытие в реакторе при температурах в диапазоне от 700°С до 900°С при помощи химического осаждения, в качестве прекурсоров используют галогениды титана, галогениды алюминия и реактивные азотсодержащие соединения, которые смешивают при повышенных температурах.
7. Способ по п.6, отличающийся тем, что в качестве реактивных азотсодержащих соединений применяют NH3 и/или N2H4.
8. Способ по п.6, отличающийся тем, что прекурсоры смешивают в реакторе непосредственно перед зоной осаждения.
9. Способ по п.6, отличающийся тем, что смешивание прекурсоров производят при температурах в диапазоне от 150°С до 900°С.
10. Способ по п.6, отличающийся тем, что нанесение покрытия производят при давлениях в диапазоне от 102 Па до 105 Па.
RU2007145953/02A 2005-07-04 2006-07-04 Устойчивое покрытие и способ его производства RU2405858C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102005032860A DE102005032860B4 (de) 2005-07-04 2005-07-04 Hartstoffbeschichtete Körper und Verfahren zu deren Herstellung
DE102005032860.1 2005-07-04

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2007145953A RU2007145953A (ru) 2009-08-10
RU2405858C2 true RU2405858C2 (ru) 2010-12-10

Family

ID=36822291

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2007145953/02A RU2405858C2 (ru) 2005-07-04 2006-07-04 Устойчивое покрытие и способ его производства

Country Status (13)

Country Link
US (1) US7767320B2 (ru)
EP (1) EP1902155B1 (ru)
JP (1) JP4996602B2 (ru)
KR (1) KR20080028980A (ru)
CN (1) CN101218370B (ru)
BR (1) BRPI0613793B1 (ru)
CA (1) CA2613091C (ru)
DE (1) DE102005032860B4 (ru)
ES (1) ES2567589T3 (ru)
MX (1) MX2008000148A (ru)
PL (1) PL1902155T3 (ru)
RU (1) RU2405858C2 (ru)
WO (1) WO2007003648A1 (ru)

Families Citing this family (75)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102005032860B4 (de) 2005-07-04 2007-08-09 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Hartstoffbeschichtete Körper und Verfahren zu deren Herstellung
AT505221B1 (de) * 2007-05-08 2009-09-15 Bihler Edelstahl Gmbh Werkzeug mit beschichtung
DE102007000512B3 (de) 2007-10-16 2009-01-29 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Hartstoffbeschichtete Körper und Verfahren zu deren Herstellung
DE102008013966A1 (de) * 2008-03-12 2009-09-17 Kennametal Inc. Hartstoffbeschichteter Körper
DE102008013964A1 (de) * 2008-03-12 2009-09-17 Kennametal Inc. Hartstoffbeschichteter Körper
DE102008013965A1 (de) * 2008-03-12 2009-09-17 Kennametal Inc. Hartstoffbeschichteter Körper
CN102002684B (zh) * 2009-08-31 2014-07-30 日立金属株式会社 滑动部件
DE102009046667B4 (de) 2009-11-12 2016-01-28 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Beschichtete Körper aus Metall, Hartmetal, Cermet oder Keramik sowie Verfahren zur Beschichtung derartiger Körper
AT510981B1 (de) 2011-03-18 2012-08-15 Boehlerit Gmbh & Co Kg Beschichteter körper, verwendung desselben und verfahren zu dessen herstellung
AT510963B1 (de) † 2011-03-18 2012-08-15 Boehlerit Gmbh & Co Kg Beschichteter körper und verfahren zu dessen herstellung
DK2761058T3 (da) * 2011-09-30 2019-11-04 Oerlikon Surface Solutions Ag Pfaeffikon Aluminiumtitaniumnitrid-coating med tilpasset morfologi til forbedret slidstyrke ved maskinbearbejdning og fremgangsmåde dertil
JP5838769B2 (ja) * 2011-12-01 2016-01-06 三菱マテリアル株式会社 表面被覆切削工具
JP5796778B2 (ja) * 2012-01-23 2015-10-21 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層がすぐれた耐熱性と耐摩耗性を維持する表面被覆切削工具
JP6024981B2 (ja) 2012-03-09 2016-11-16 三菱マテリアル株式会社 高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
AT511950B1 (de) 2012-03-14 2013-04-15 Boehlerit Gmbh & Co Kg Beschichteter Körper und Verfahren zum Beschichten eines Körpers
JP5935479B2 (ja) * 2012-04-20 2016-06-15 三菱マテリアル株式会社 高速ミーリング切削加工、高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
JP5939509B2 (ja) * 2012-07-25 2016-06-22 三菱マテリアル株式会社 高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
DE102012107129A1 (de) * 2012-08-03 2014-02-06 Walter Ag TiAIN-beschichtetes Werkzeug
JP6090063B2 (ja) * 2012-08-28 2017-03-08 三菱マテリアル株式会社 表面被覆切削工具
JP5939396B2 (ja) * 2012-09-28 2016-06-22 三菱マテリアル株式会社 温度センサ
JP5939397B2 (ja) * 2012-09-28 2016-06-22 三菱マテリアル株式会社 温度センサ
JP6037113B2 (ja) * 2012-11-13 2016-11-30 三菱マテリアル株式会社 高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
JP5618429B2 (ja) * 2012-12-28 2014-11-05 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆部材およびその製造方法
JP6143158B2 (ja) 2012-12-28 2017-06-07 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆部材およびその製造方法
US9103036B2 (en) 2013-03-15 2015-08-11 Kennametal Inc. Hard coatings comprising cubic phase forming compositions
JP6268530B2 (ja) * 2013-04-01 2018-01-31 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
JP6150109B2 (ja) * 2013-04-18 2017-06-21 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
DE102013104254A1 (de) 2013-04-26 2014-10-30 Walter Ag Werkzeug mit CVD-Beschichtung
US9896767B2 (en) 2013-08-16 2018-02-20 Kennametal Inc Low stress hard coatings and applications thereof
US9168664B2 (en) 2013-08-16 2015-10-27 Kennametal Inc. Low stress hard coatings and applications thereof
JP6238131B2 (ja) * 2013-12-26 2017-11-29 住友電工ハードメタル株式会社 被膜および切削工具
JP6270131B2 (ja) * 2014-01-22 2018-01-31 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
JP6394898B2 (ja) * 2014-01-31 2018-09-26 三菱マテリアル株式会社 高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
DE102014103220A1 (de) 2014-03-11 2015-09-17 Walter Ag TiAIN-Schichten mit Lamellenstruktur
JP6296298B2 (ja) * 2014-08-28 2018-03-20 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
EP3000913B1 (en) 2014-09-26 2020-07-29 Walter Ag Coated cutting tool insert with MT-CVD TiCN on TiAI(C,N)
JP6120229B2 (ja) 2015-01-14 2017-04-26 住友電工ハードメタル株式会社 硬質被膜、切削工具および硬質被膜の製造方法
AT516062B1 (de) 2015-01-15 2016-02-15 Boehlerit Gmbh & Co Kg Verfahren zum Beschichten eines Gegenstandes und damit hergestellte Beschichtung
WO2016148056A1 (ja) * 2015-03-13 2016-09-22 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
JP6590255B2 (ja) * 2015-03-13 2019-10-16 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
JP7160677B2 (ja) * 2015-07-27 2022-10-25 ヴァルター アーゲー ＴｉＡｌＮコーティングを有する工具とその工具の製造方法
CN108291300B (zh) 2015-11-25 2020-09-08 三菱日立工具株式会社 氮化钛铝硬质皮膜、硬质皮膜包覆工具及它们的制造方法
EP3387164B1 (en) * 2015-12-07 2024-01-17 IHI Bernex AG Coated extrusion tool
JP6638936B2 (ja) 2016-01-13 2020-02-05 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具およびその製造方法
US9994958B2 (en) * 2016-01-20 2018-06-12 Sumitomo Electric Hardmetal Corp. Coating, cutting tool, and method of manufacturing coating
WO2017170603A1 (ja) * 2016-03-31 2017-10-05 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
US10737332B2 (en) * 2016-04-07 2020-08-11 Tungaloy Corporation Coated cutting tool
US11015242B2 (en) 2016-07-07 2021-05-25 Moldino Tool Engineering, Ltd. Hard coating, hard-coated tool, and their production methods
JPWO2018047734A1 (ja) * 2016-09-06 2019-06-24 住友電工ハードメタル株式会社 切削工具およびその製造方法
JPWO2018047733A1 (ja) * 2016-09-06 2019-06-24 住友電工ハードメタル株式会社 切削工具およびその製造方法
WO2018047735A1 (ja) * 2016-09-06 2018-03-15 住友電工ハードメタル株式会社 切削工具およびその製造方法
US11286570B2 (en) * 2017-01-26 2022-03-29 Walter Ag Coated cutting tool
JP6667713B2 (ja) 2017-02-28 2020-03-18 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具およびその製造方法
KR102232131B1 (ko) 2017-02-28 2021-03-24 스미또모 덴꼬오 하드메탈 가부시끼가이샤 표면 피복 절삭 공구 및 그 제조 방법
WO2018158975A1 (ja) 2017-02-28 2018-09-07 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具およびその製造方法
RU2760426C2 (ru) * 2017-04-07 2021-11-25 Сандвик Интеллекчуал Проперти Аб Снабженный покрытием режущий инструмент
CN109112500B (zh) 2017-06-22 2022-01-28 肯纳金属公司 Cvd复合材料耐火涂层及其应用
JP6931458B2 (ja) * 2017-07-18 2021-09-08 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性と耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
KR102167200B1 (ko) * 2017-08-15 2020-10-19 가부시키가이샤 몰디노 피복 절삭 공구
JP6844704B2 (ja) * 2017-08-15 2021-03-17 株式会社Ｍｏｌｄｉｎｏ 被覆切削工具
KR102064172B1 (ko) * 2017-09-01 2020-01-09 한국야금 주식회사 내마모성과 인성이 우수한 경질피막
EP3769871A4 (en) * 2018-03-22 2021-12-22 Sumitomo Electric Hardmetal Corp. COATED SURFACE CUTTING TOOL AND ITS MANUFACTURING PROCESS
CN111971138B (zh) * 2018-03-22 2023-02-21 住友电工硬质合金株式会社 表面被覆切削工具及其制造方法
CN111886093B (zh) 2018-03-22 2023-01-31 住友电工硬质合金株式会社 表面被覆切削工具及其制造方法
JP6565092B1 (ja) * 2018-03-22 2019-08-28 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具およびその製造方法
JP6565091B1 (ja) * 2018-03-22 2019-08-28 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具およびその製造方法
JP6565093B1 (ja) * 2018-03-22 2019-08-28 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具およびその製造方法
EP3769869A4 (en) 2018-03-22 2021-12-29 Sumitomo Electric Hardmetal Corp. Surface coated cutting tool and method for manufacturing same
US11157717B2 (en) * 2018-07-10 2021-10-26 Next Biometrics Group Asa Thermally conductive and protective coating for electronic device
US20210105888A1 (en) * 2019-10-04 2021-04-08 Kennametal Inc. Coated nozzles for arc torches
WO2021245784A1 (ja) * 2020-06-02 2021-12-09 住友電工ハードメタル株式会社 切削工具
JP7043714B1 (ja) * 2020-06-02 2022-03-30 住友電工ハードメタル株式会社 切削工具
WO2021245782A1 (ja) * 2020-06-02 2021-12-09 住友電工ハードメタル株式会社 切削工具
JPWO2022239139A1 (ru) * 2021-05-12 2022-11-17
US20240051033A1 (en) 2022-08-10 2024-02-15 Iscar, Ltd. CUTTING TOOL WITH A TiAlN COATING HAVING RAKE AND RELIEF SURFACES WITH DIFFERENT RESIDUAL STRESSES

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5330853A (en) 1991-03-16 1994-07-19 Leybold Ag Multilayer Ti-Al-N coating for tools
DE4115616C2 (de) * 1991-03-16 1994-11-24 Leybold Ag Hartstoff-Mehrlagenschichtsystem für Werkzeuge
JPH0533795A (ja) 1991-07-24 1993-02-09 Sanyo Electric Co Ltd 扇風機
JP2999346B2 (ja) * 1993-07-12 2000-01-17 オリエンタルエンヂニアリング株式会社 基体表面被覆方法及び被覆部材
FR2745299B1 (fr) * 1996-02-27 1998-06-19 Centre Nat Rech Scient Procede de formation de revetements de ti1-xalxn
FR2767841B1 (fr) 1997-08-29 1999-10-01 Commissariat Energie Atomique PROCEDE DE PREPARATION PAR DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR (CVD) D'UN REVETEMENT MULTICOUCHE A BASE DE Ti-Al-N
SE519005C2 (sv) * 1999-03-26 2002-12-17 Sandvik Ab Belagt hårdmetallskär
SE9903089D0 (sv) * 1999-09-01 1999-09-01 Sandvik Ab Coated grooving or parting insert
SE9903122D0 (sv) * 1999-09-06 1999-09-06 Sandvik Ab Coated cemented carbide insert
JP2001341008A (ja) * 2000-06-02 2001-12-11 Hitachi Tool Engineering Ltd 窒化チタンアルミニウム膜被覆工具及びその製造方法
CN1190516C (zh) * 2000-12-29 2005-02-23 中国科学院金属研究所 用于海军航空发动机压气机叶片的离子镀TiAlN涂层
DE60336453D1 (de) * 2002-01-21 2011-05-05 Mitsubishi Materials Corp "oberflächenbeschichtetes schneidwerkzeugglied mit harter beschichtungsschicht, die einen hervorragenden reibwiderstand beim hochgeschwindigkeitsschneiden aufweist, und verfahren zur bildung der harten beschichtungsschicht auf der fläche des schneidwerkzeugs"
AU2003227598A1 (en) * 2002-04-11 2003-10-20 Cemecon Ag Coated bodies and a method for coating a body
SE526336C2 (sv) * 2002-07-01 2005-08-23 Seco Tools Ab Skär med slitstark refraktär beläggning av MAX-fas
DE102005032860B4 (de) 2005-07-04 2007-08-09 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Hartstoffbeschichtete Körper und Verfahren zu deren Herstellung
DE102009046667B4 (de) 2009-11-12 2016-01-28 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Beschichtete Körper aus Metall, Hartmetal, Cermet oder Keramik sowie Verfahren zur Beschichtung derartiger Körper

Also Published As

Publication number Publication date
US20090123779A1 (en) 2009-05-14
DE102005032860B4 (de) 2007-08-09
MX2008000148A (es) 2008-03-26
CA2613091A1 (en) 2007-01-11
US7767320B2 (en) 2010-08-03
JP2008545063A (ja) 2008-12-11
RU2007145953A (ru) 2009-08-10
BRPI0613793B1 (pt) 2021-10-13
PL1902155T3 (pl) 2016-07-29
CA2613091C (en) 2017-07-04
JP4996602B2 (ja) 2012-08-08
EP1902155A1 (de) 2008-03-26
WO2007003648A1 (de) 2007-01-11
BRPI0613793A2 (pt) 2011-02-15
KR20080028980A (ko) 2008-04-02
DE102005032860A1 (de) 2007-01-11
CN101218370A (zh) 2008-07-09
ES2567589T3 (es) 2016-04-25
EP1902155B1 (de) 2016-02-03
CN101218370B (zh) 2010-06-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2405858C2 (ru) Устойчивое покрытие и способ его производства
RU2501887C2 (ru) Элемент для резания, покрытый твердым материалом
JP3416937B2 (ja) 積層体
KR101739088B1 (ko) 금속, 초경합금, 서멧 또는 세라믹 물질로 구성된 코팅체 및 상기 코팅체의 코팅 방법
RU2491368C2 (ru) Элемент, покрытый твердым материалом
US8257841B2 (en) Bodies coated with a hard material and method for the production thereof
RU2588933C2 (ru) Покрытые высокопрочным материалом изделия из металла, твёрдого сплава, металлокерамики или керамики и способ изготовления таких изделий
US8507110B2 (en) Coated cutting tool and a method of making thereof
KR20100015344A (ko) 코팅된 절삭 공구 및 이의 제조 방법
KR20170059421A (ko) 코팅된 절삭 공구
CN105828992A (zh) 切削工具
JPH08127863A (ja) 積層体
JP3119414B2 (ja) 硬質被覆層がすぐれた層間密着性を有する表面被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具
KR20230111223A (ko) 피복 절삭 공구
KR20230111224A (ko) 피복 절삭 공구
JP3371823B2 (ja) 硬質被覆層がすぐれた層間密着性を有する表面被覆超硬合金製切削工具
Olsson et al. Chemical vapour deposition of boron carbides on uncoated and TiC-coated cemented carbide substrates
Kathrein et al. Wear protection in cutting tool applications by PACVD (Ti, Al) N and Al 2 O 3 coatings
Caputo et al. Chemical Vapor Deposition of Erosion-Resistant TiB 2 Coatings
JPH0929509A (ja) 硬質被覆層がすぐれた層間密着性を有する表面被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具