JP4944301B2 - 光電子装置およびその製造方法 - Google Patents
光電子装置およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4944301B2 JP4944301B2 JP2001019990A JP2001019990A JP4944301B2 JP 4944301 B2 JP4944301 B2 JP 4944301B2 JP 2001019990 A JP2001019990 A JP 2001019990A JP 2001019990 A JP2001019990 A JP 2001019990A JP 4944301 B2 JP4944301 B2 JP 4944301B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical component
- side wall
- adhesive
- wall
- optoelectronic device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
- G02B7/025—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses using glue
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
- H01L2224/48247—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/022—Mountings; Housings
- H01S5/02208—Mountings; Housings characterised by the shape of the housings
- H01S5/02216—Butterfly-type, i.e. with electrode pins extending horizontally from the housings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/022—Mountings; Housings
- H01S5/02218—Material of the housings; Filling of the housings
- H01S5/02234—Resin-filled housings; the housings being made of resin
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/022—Mountings; Housings
- H01S5/0225—Out-coupling of light
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光電子装置およびその製造方法に関する。特に、樹脂パッケージに搭載された光電子素子が光学部品によって封止されている光電子装置およびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
光電子素子としては、発光半導体素子である半導体レーザ素子や受光半導体素子が挙げられる。米国特許第5,748,658号には、半導体レーザ素子および受光半導体素子が搭載された光電子装置として、半導体レーザ装置、光ピックアップ装置、光ディスク装置等が開示されている。その構成を図7(a)および(b)に示す。図7(a)および(b)は、上面構成および断面構成を模式的に示している。なお、図7(a)において、図7(b)に示した光学部品92は省略している。
【0003】
図示した装置は、樹脂パッケージ90内に搭載された半導体レーザチップ70が光学部品92によって封止された構成を有している。樹脂パッケージ90は、絶縁材料からなる枠体91と、チップ搭載部74を含むリードフレーム73と、保護板79とから構成されており、半導体レーザチップ70は、ヒートシンク用シリコン基板71を介してチップ搭載部74に搭載されている。半導体レーザチップ70が搭載された樹脂パッケージ90を封止する光学部品92は、光学平板やホログラム光学部品などである。なお、図中、放熱板77および信号処理回路75も示されている。
【0004】
また、特開平8−288594号公報および特開平7−183414号公報には、段差を有する枠体からなる樹脂パッケージ上に紫外線硬化型の接着剤を用いてホログラム光学部品を搭載固定することによって、半導体レーザ素子を封止した半導体レーザ装置が記載されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の光電子装置及およびその製造方法において、以下に示すような課題がある。
【0006】
光ディスク装置等の大容量化および小型化等に伴って、これらの装置内に含まれている光ピックアップ装置の心臓部である半導体レーザ装置に用いられる光学部品の複合化および小型化がより強く求められている。その光学部品は、回折格子、プリズムおよびホログラム素子等であり、半導体レーザ装置が載置されたパッケージに接着剤で固定される。また、そのパッケージは、半導体レーザ装置と光ディスク装置等との光学的位置合わせのために、円筒内の内壁に当接して回転調整をするのに設けられたガイド壁(図7中、符号89)を有している。近年、光電子装置の小型化とともに、光学部品(図7中、符号92)の外囲部とガイド壁(89)の内壁とのすき間の距離が短くなっている。そのすき間は、接着剤が供給される接着部となるのであるが、すき間が狭くなったことによって、光学部品をパッケージに載置した後に接着剤を接着部(すき間)に供給することが困難になっている。
【0007】
特に、量産用の製造装置のノズルを用いて接着剤を供給する手法では、ノズルを狭いすき間の接着部に入れることが難しく、それゆえ、ノズルを接着部に十分ガイドして配置することができない。そのため、光学部品の必要な部分に接着剤を塗布することができなくなり、その結果、光学部品をパッケージに気密性良く固定することができないという問題が発生している。
【0008】
また、光学部品の上部やパッケージの周辺部等の接着部でない箇所にも不要な接着剤が塗布されて、光学特性やパッケージの機械的寸法精度が悪くなるという課題もある。例えば、パッケージのガイド壁の外周部に接着剤が塗布されると、その外周部の寸法を基準にして位置合わせをするために、他の製造装置等との関係で、位置あわせ等に不具合が生じたり、ハンドラーでつかめない場合が生じる。
【0009】
さらに、接着剤は狭い幅の接着部全体に幅広く供給されるために、接着剤が接着部に届く前に光学部品外囲部とガイド壁内壁との間に溜まって気泡を含むようになることも生じ、十分に接着することができなくなるという問題も生じる。
【0010】
本発明はかかる諸点に鑑みてなされたものであり、その主な目的は、接着剤の供給を容易に行うことができる光電子装置およびその製造方法を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明による光電子装置は、光電子素子と、前記光電子素子が搭載される搭載部と、前記搭載部の周辺を囲む枠体と、光学部品とを備え、前記光学部品は、前記枠体の上面のうちの前記搭載部寄りの内周部に位置する光学部品載置部に載置されており、前記枠体は、前記枠体の上面のうち前記内周部よりも外周側に位置する外周部の一部において対向して設けられた一対の第1側壁と、前記外周部のうち前記一対の第1側壁が設けられた部分以外の部分に対向して設けられた一対の第2側壁とを有し、前記一対の第2側壁のそれぞれは、前記第2側壁の内壁側に形成された切り欠き部と、前記切り欠き部が形成された部分以外の前記内壁側に形成された凸部とを有し、前記光学部品は、前記一対の第2側壁のそれぞれの前記凸部の間に配置され、かつ、前記第2側壁の前記切り欠き部に充填された接着剤によって固定されている。
【0012】
前記搭載部は、リードフレームのダイスパッドであり、前記第1側壁、前記第2側壁、前記光学部品載置部および前記枠体は、樹脂により一体成形されていることが好ましい。
【0013】
前記第2側壁の前記凸部は外壁側に傾いており、かつ、前記光学部品の側面外壁は内側に傾いていることが好ましい。
【0014】
前記第2側壁の高さは、前記第1側壁の高さよりも高く、前記第2側壁の外壁は、円弧状でかつ内壁側に傾いていることが好ましい。
【0015】
前記第2側壁と前記第1側壁とが合流する合流部の付近の前記第1側壁に側壁切り欠き部が設けられていることが好ましい。
【0016】
前記第2側壁の前記切り欠き部と前記第1側壁の前記側壁切り欠き部とがほぼ1方向に沿って設けられていることが好ましい。
【0017】
前記第1側壁は、前記光学部品の長辺側の長さよりも長く、前記第2側壁の前記切り欠き部まで延長されていることが好ましい。
【0018】
前記光学部品は、前記第2側壁よりも高く、かつ、前記光学部品の幅は、前記第2側壁の幅よりも狭いことが好ましい。
【0019】
前記接着剤は、紫外線硬化接着剤であることが好ましい。
【0020】
本発明による光電子装置の製造方法は、(a)光電子素子が搭載される搭載部を含む部材を用意する工程と、(b)前記搭載部の周辺を囲む枠体であって、前記枠体の上面のうちの前記搭載部寄りに位置する内周部に位置する光学部品載置部と、前記内周部よりも外側に位置する外周部の一部に対向して設けられた一対の第1側壁と、前記外周部のうち前記一対の第1側壁が設けられた部分以外の部分に対向して設けられた一対の第2側壁と、前記第2側壁の内壁側に形成された切り欠き部と、前記切り欠き部が形成された部分以外の前記内壁側に形成された凸部とを有する枠体を形成する工程と、(c)前記搭載部に光電子素子を搭載する工程と、(d)前記枠体の前記光学部品載置部に前記光学部品を載置する工程と、(e)接着剤を供給するためのノズルを用いて、前記接着剤を前記切り欠き部に供給し、それによって、前記光学部品を前記光学部品載置部に固定する工程とを包含する。
【0021】
ある実施形態では、前記工程(a)において、前記光電子素子が搭載される搭載部を含む部材として、複数のダイスパッドを含むリードフレームを用意し、前記工程(b)は、前記リードフレームを、イジェクターピンを備えた金型内にセットする工程と、前記金型で前記枠体を樹脂成形する工程と、前記イジェクターピンにより前記枠体の前記凸部を押して、前記金型から前記枠体を取り外す工程とを包含する。
【0022】
ある実施形態において、前記工程(e)において、前記ノズルは、前記切り欠き部の上方を前記切り欠き部に沿って走査される。
【0023】
前記工程(d)は、前記光学部品を紫外線硬化接着剤によって半固定した後、前記光学部品と前記光電子素子との光学位置合わせをする工程を包含することが好ましい。
【0024】
前記工程(e)は、前記接着剤として紫外線硬化接着剤を前記切り欠き部に供給した後、前記紫外線硬化接着剤を硬化させることによって本固定をする工程を包含することが好ましい。
【0025】
本発明による他の光電子装置は、光電子素子と、前記光電子素子が搭載される搭載部と、前記搭載部の周辺を囲む枠体と、光学部品とを備え、前記光学部品は、前記枠体の上面のうちの前記搭載部寄りの内周部に位置する光学部品載置部に載置されており、前記枠体は、前記枠体の上面のうち前記内周部よりも外周側に位置する外周部に設けられた側壁を有し、前記光学部品の側壁の下部には、傾斜部が設けられている。
【0026】
前記光学部品の前記傾斜部は、前記側壁の上面よりも低い位置に設けられていることが好ましい。
【0027】
ある実施形態において、前記側壁と前記傾斜部との間に接着剤が充填され、それによって、前記光学部品が固定されている。
【0028】
本発明のよる他の光電子装置の製造方法は、(a)光電子素子が搭載される搭載部を含む部材を用意する工程と、(b)前記搭載部の周辺を囲む枠体であって、前記枠体の上面のうちの前記搭載部寄りに位置する内周部に位置する光学部品載置部と、前記内周部よりも外側に位置する外周部に設けられた側壁とを有する枠体を形成する工程と、(c)前記搭載部に光電子素子を搭載する工程と、(d)光学部品の側壁の少なくとも下部に傾斜部が設けられた光学部品を前記光学部品載置部に載置する工程と、(e)接着剤を供給するためのノズルを用いて、前記光学部品の前記傾斜部と前記枠体の前記側壁との間に前記接着剤を供給し、それによって、前記光学部品を固定する工程とを包含し、前記工程(e)は、前記光学部品の前記傾斜部の一部に前記接着剤を供給し、前記光学部品の下部領域周辺に前記接着剤を流動させることによって実行される。
【0029】
ある実施形態において、前記工程(e)は、前記枠体の前記側壁の一方向に沿って前記ノズルを搬送して前記接着剤を供給する工程を包含する。
【0030】
本発明の光電子装置では、一対の第2側壁のそれぞれの内壁側に切り欠き部が形成されている。このため、この切り欠き部によって光学部品と第2側壁とのすき間を広げることができ、その結果、接着剤を供給するノズルの入り込みを容易にすることができる。また、接着剤が光学部品等の不要な部分へ塗布されることも減少でき、そして、内部の気泡も抜けやすくすることができる。さらに、一対の第2側壁のそれぞれが有する凸部の間に光学部品は配置される構成であるので、光学部品の位置合わせを簡便かつ的確に実行することができる。加えて、第2側壁をガイド壁として機能させた場合、光電子装置と光ディスク装置等との光学的位置合わせを容易に行うことができる。また、本発明の他の光電子装置では、光学部品の側壁の少なくとも下部に傾斜部が設けられているので、この傾斜部によって光学部品と側壁とのすき間が広がり、その結果、接着剤を供給するノズルの入り込みが容易となる。
【0031】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら、本発明による実施の形態を説明する。なお、本発明は、以下の実施形態に限定されない。
(実施形態1)
図1および図2を参照しながら、本発明による実施形態1にかかる光電子装置を説明する。図1(a)および(b)は、本実施形態にかかる光電子装置の外観形状を示す平面図および側面図である。図2(a)および(b)は、図1(a)の線IIA−IIA’および線IIB−IIB’に沿った断面構成を模式的に示している。
【0032】
本実施形態における光電子装置は、光電子素子105と、光電子素子105が搭載される搭載部107と、搭載部107の周辺を囲む枠体からなる樹脂パッケージ100と、光学部品101とを有している。光学部品101は、樹脂パッケージ100の上面のうちの搭載部107寄りの内周部に位置する光学部品載置部109に載置されている。
【0033】
樹脂パッケージ100の上面には、一対の第1側壁201a、bと、一対の第2側壁203a、bとが設けられている。第1側壁201a、bは、樹脂パッケージ100の上面の外周部の一部において互いに対向して設けられており、第2側壁203a、bは、第1側壁201a、bが設けられた部分以外の外周部において互いに対向して設けられている。本実施形態の樹脂パッケージ100は、箱形の外観形状を有しており、第1側壁201a、bは、光電子装置を上方から見た場合における樹脂パッケージ100の長辺側に設けられており、一方、第2側壁203a、bは短辺側に設けられている。また、光電子装置を上方から見た場合に、樹脂パッケージ100の光学部品載置部109の内側には、矩形の開口部が形成されており、この開口部のほぼ中央に光電子素子105が設けられている。
【0034】
第2側壁203a、bは、切り欠き部205a、bと、凸部207a、bとを内壁側に有している。切り欠き部205a、bは、第2側壁203a、bの内壁と光学部品101とのすき間を広げるために、第2側壁203a、bの内壁の一部を切り欠いた部分であり、一方、凸部207a、bは、第2側壁203a、bの内壁のうち切り欠き部a、bが形成されたなかった部分である。凸部207a、bが設けられた部分のパッケージ100の上面は、樹脂パッケージ100を作製する際に樹脂パッケージ100を金型から離すために使用するイジェクターピン(Eピン)によって押される箇所であり、図1(a)では、イジェクターピンによるピン跡が円形で示されている。
【0035】
第1側壁201a、bおよび第2側壁203a、bを含む樹脂パッケージ100は、リードフレーム103と共に樹脂によって一体成形されており、リードフレーム103の一部として構成されたダイスパッド107が、光電子素子105の搭載部107となっている。本実施形態において、光電子素子105は、ダイスパッド107上に搭載されており、具体的には、半導体レーザ素子が、シリコン基板よりなる受光素子を介してダイスパッド107上に設けられている。リードフレーム103は、銅製であり、その厚さは、0.2〜0.3mm程度である。リードフレーム103のダイスパッド107部分は、光電子素子105を搭載できるように、樹脂パッケージ100の内部において露出している。
【0036】
樹脂パッケージ100とともに光電子素子105を封止する光学部品101は、光電子素子105の上方に設けられている。光学部品101は、例えば、ホログラム素子、回折格子、プリズムおよびマイクロレンズ等であり、本実施形態では、光学部品としてホログラム素子101を用いている。ホログラム素子101は、位置合わせされて光学部品載置部109に搭載しており、凸部207a、bの間に配置されている。また、ホログラム素子101は、第2側壁203a、bの切り欠き部205a、bの間に充填された接着剤(不図示)によって光学部品載置部109に固定されている。なお、図1(a)では、半透明のホログラム素子101を点々のパターンで表している。
【0037】
本実施形態におけるホログラム素子101は、透明樹脂やガラス等の材料から構成されており、直方体形状(長辺:約10mm、短辺:約4mm、高さ:約5mm)を有している。ホログラム素子101の裏面部には、開口を有する中空部が設けられている。一方、ホログラム素子101の表面部には、回折格子によるホログラムパターンが形成されており、これによって、光ビームの回折、分割、収束等が行われる。本実施形態の光電子装置を例えば光ピックアップ装置として動作させる場合、光ピックアップ装置の構成は、例えば米国特許第5,748,658号によって開示されているような公知の技術に基づいて実現することができる。ここで、米国特許第5,748,658号を本願明細書に参考のため援用する。例えば、本実施形態の光電子装置(半導体レーザ装置)と、反射鏡と、対物レンズとから光ピックアップ装置を構成することができる。
【0038】
次に、樹脂パッケージ100の構成をさらに詳細に説明する。光電子素子105の搭載部107の周辺に設けられた光学部品載置部109は、光電子素子105の高さ(約200〜500ミクロン)よりも約1.5倍以上高い所定の高さに、平坦に設けられている。光学部品載置部109の外周部の一部には、光学部品載置部109を挟んで、第1側壁201a、bが対向して設けられており、第1側壁201a、bは、ホログラム素子101の長辺側部にも対向している。
【0039】
また、第2側壁203a、bも、光学部品載置部109を挟んで対向して設けており、ホログラム素子101の短辺側部に対向している。第2側壁203a、bの高さは、第1側壁201a、bの高さよりも高く、ホログラム素子101の高さよりも低くなるように設定してある。第2側壁203a、bの高さを第1側壁201a、201bの高さよりも低くすると、組立時において第2側壁を利用した位置合わせを行うことが困難となるからである。また、第2側壁203a、bの高さをホログラム素子101の高さよりも高くすると、第2側壁203a、bの高い側壁を縫ってホログラム素子101を載置することが困難となるからである。
【0040】
第2側壁203a、bは、外壁側が円弧状になるように構成されており、相対向する第2側壁203a、bの外壁の両者は、所定の円周上に位置している。このようにすることによって、樹脂パッケージ100の第2側壁203a、bの部分を円筒形空洞に、はめ込むことができる仕組みにすることができる。言い換えると、第2側壁203a、bをガイド壁として機能させることによって、光電子装置(または半導体レーザ装置)を光ディスク装置の対物レンズと位置合わせして取り付ける際、対物レンズと位置合わせされた円筒形空洞に対して第2側壁203a、bをはめ込んだ後、第2側壁203a、bを摺動させることによって、容易に光電子装置の回転調整を行うことができる。本実施形態では、円筒形空洞にはめ込みを容易にするために、第2側壁203a、bの上面を第1側壁201a、bの上面よりも高くし、第2側壁203a、bの外壁を円弧状するとともに、第2側壁203a、bの外壁を内部側に(例えば約4°)傾けている。
【0041】
第2側壁203a、bの内壁側には、切り欠き部205a、bを第2側壁の内壁の両脇から設けることによって形成された凸部207a、bも設けられている。第2側壁203a、bの内壁の全ての部分に切り欠き部205a、bを設けた構成にせずに、第2側壁203a、bの内壁側に凸部207a、bを残した構成にすると、樹脂パッケージ100を作製するための樹脂封止の際、イジェクタピンで凸部207a、bを押して、樹脂パッケージ100を金型から容易に取り外すことができるため、製造工程上の利点が大きい。第2側壁203a、bの内壁の全てに切り欠き部205a、bを設けた場合には、イジェクタピンで押すことができる平坦な部分を確保できなかったり、第2側壁203a、bの厚さが薄くなることによって、イジェクタピンで押すために必要な強度を確保できなくなってしまうという問題が発生し得る。したがって、このような問題を考えると、通常、切り欠き部205a、bを設けることは好ましくないことといえるかもしれないが、本実施形態では、切り欠き部205a、bを両脇から設けることで、このような問題が生じることを回避している。
【0042】
また、切り欠き部205a、bを両脇から設けることによって、切り欠き部205a、bに接着剤を供給するためのノズルを、直接上から搬送して切り欠き部に挿入するだけでなく、第2側壁203a、bの内壁の脇から横に容易に移動させることできるようになる。したがって、ノズルが樹脂パッケージ100に衝突することを低減することができる。
【0043】
切り欠き部205a、bは、接着剤をノズルで供給できる程度の切り欠き深さであれば良く、好適な深さを適時設定すればよい。本実施形態では、光電子装置を上方からみた場合において、第2側壁203aの上面と凸部207aの内壁とが重なるエッジ部分に対して、第2側壁203aの上面と切り欠き部205aの内壁とが重なるエッジ部分の方が、約0.3〜0.4mm程度外側に位置するように設計されている。第2側壁203aに対向する第2側壁203bも、第2側壁203aと同様に設計されている。
【0044】
図1(b)に示した例では、切り欠き部205a、bの内壁をほぼ垂直になるようにしているが、切り欠き部205a、bの内壁は傾斜させてもよい。切り欠き部205a、bの内壁の角度は適宜設定すればよく特に限定はされないが、例示的に示すと、垂直線(例えば、リードフレーム103に対する法線)に対して、切り欠き部205a、bの内壁を外壁側に約0°〜約30°(例えば約15°)傾けることができる。切り欠き部205a、bの内壁を傾斜させると、樹脂パッケージ100を作製する際の型抜けが良くなるという利点が得られる。
【0045】
第2側壁203a、bの凸部207a、bの位置は、凸部207a、bにホログラム素子101の位置合わせの機能を持たす場合のことを考慮すると、対称となるように配置するのが良い。特に、第2側壁203a、bの中心部に凸部207a、bを配置すると機械的にも強固であるため好ましい。凸部207a、bの間隔は、ホログラム素子101の大きさに合わせて設定されている。その間隔は、ホログラム素子101を組立載置する際の位置決めができ、かつ裕度(マージン)が確保されているものであればよい。裕度の分は、例えば、凸部207a、bの内壁を外壁側に若干傾ける等によって確保することができる。なお、凸部207a、bの内壁を外壁側に例えば5°程度傾けると、樹脂封止工程における型抜けが良くなるという利点も得られる。また、図1(b)に示すように、ホログラム素子101の側面外壁が内部側に傾いているような場合、ホログラム素子101を第1側壁および第2側壁のそれぞれの間に載置することが容易となるため好ましい。
【0046】
次に、本実施形態にかかる光電子装置の製造方法を説明する。本実施形態の光電子装置は、例えば、次のようにして製造することができる。
【0047】
まず、ダイスパッド107を含むリードフレーム103を用意した後、このリードフレーム103を金型にセットする。次いで、通常の半導体装置の製造に適用されている樹脂封止工程を実行することによって、第1側壁および第2側壁(201a、201b、203a、203b)や光学部品載置部109等を一体成形して、樹脂パッケージ100を得る。
【0048】
次に、光硬化接着剤である紫外線硬化接着剤を塗布した光学部品載置部109にホログラム素子101を載置して、光学位置合わせした後、光照射して仮固定する。その後、再度、切り欠き部205a、bに沿って、接着剤供給用のノズルを移動させて接着剤を供給し、確実に本固定する。本固定の際に使用する接着剤も、紫外線硬化接着剤を使用することが好ましい。その理由は、供給時の接着剤の温度と流動性等との関係でノズルを細くできるからある。特にノズル先端を細くできると、その先端部をすき間に入れて確実に接着剤を供給できるため利点が大きい。
【0049】
以下、図3(a)〜(c)および図4(a)〜(d)を参照しながら、本実施形態にかかる光電子装置の製造方法をさらに詳述する。図3(a)〜(c)は、樹脂パッケージ形成工程を説明するための工程断面図であり、図4(a)〜(d)は、光学部品接着工程を説明するための工程断面図である。
【0050】
まず、光電子素子が搭載される搭載部(ダイスパッド)107を含むリードフレーム103を用意する。複数のダイスパッド107を含むリードフレーム103を用いる場合、一度に多数の光電子装置を製造することができるため利点が大きい。図3(a)に示すように、リードフレーム103を金型50にセットする。金型50には、樹脂パッケージを金型から押し出して離すためのイジェクタピン(Eピン)52が設けられている。
【0051】
次に、図3(b)に示すように、金型50内に樹脂54を流し込み、樹脂封止を行う。この樹脂封止によって、第1側壁201a、b、切り欠き部および凸部を有する第2側壁203a、b、光学部品載置部109等を含む樹脂パッケージ100が形成される。
【0052】
次に、図3(c)に示すように、Eピン52で樹脂パッケージ100中の凸部207a、bを押して、樹脂パッケージ100を金型50から抜く。なお、図3(a)および(b)には示していないが、上側の金型50だけでなく、下側の金型50にも型抜きを行うためのEピン52が設けられており、このEピン52で樹脂パッケージ100の裏面を押すことによっても型抜きが行われる。
【0053】
次に、図4(a)に示すように、樹脂パッケージ100内のダイスパッド107上に光電子素子105を搭載する。次に、樹脂パッケージ100の光学部品載置部109上に紫外線硬化接着剤を塗布し、その後、図4(b)に示すように、光学部品載置部109にホログラム素子101を載置し、次いで、凸部207a、bを基準にホログラム素子101の光学位置合わせした後、光照射を行ってホログラム素子101の仮固定をする。
【0054】
次に、図4(c)に示すように、接着剤供給用のノズル60を用意した後、ノズル60の先端部を切り欠き部205a、bとホログラム素子101との間のすき間に挿入し、このすき間にノズル60から紫外線硬化接着剤を供給することによって本固定を行う。図4(d)に示すように、本固定によって、ホログラム素子101は樹脂パッケージ100に確実に固定される。紫外線硬化接着剤は一般的に比較的粘度が高いので、接着剤を供給する時は、接着剤の温度を調節して、所望の流動性を得られるようにしておくことが好ましい。なお、接着剤を供給する際、ノズル60は、樹脂パッケージ100の上方から入れるだけでなく側方から入れることもできる。
【0055】
接着剤の供給時に多量の接着剤が供給されると、接着剤があふれてしまい、そのあふれた接着剤がホログラム素子101に付着し、光学特性を悪くすることがある。このような問題を回避するために、本実施形態の光電子装置では、図1(a)に示すように、第2側壁203a、bと第1側壁201a、bとの合流部付近の第1側壁201a、bに側壁切り欠き部209a、bを設けている。この側壁切り欠き部209a、bによって、多量の接着剤を供給しても、過剰な接着剤があふれてホログラム素子101に付着することを防止することができる。さらに、本実施形態の構成では、第2側壁203a、bの切り欠き部205a、bと側壁の切り欠き部209a、bとをほぼ1方向に沿って設けている。このため、切り欠き部205a、bに供給された過剰な接着剤があふれるのを速やかに解消することができる。
【0056】
また、第1側壁201a、bの長さをホログラム素子101の長辺側の長さよりも長くし、第1側壁201a、bを第2側壁203a、203bとの合流部の切り欠き部205a、bの内部側まで延長させることで、接着剤がホログラム素子101の短辺側に付着しやすくなるようにしている。
【0057】
本実施形態では、樹脂パッケージ100の第2側壁203a、bの内壁側に切り欠き部205a、bを有しているので、ホログラム素子101と第2側壁203a、bとのすき間を広げることができる。その結果、光電子装置の寸法が小さい場合でも、製造工程段階において接着剤供給用のノズル60の入り込みを容易にすることができる。
【0058】
また、ホログラム素子101と第2側壁203a、bとのすき間が広がっているので、光学部品の上部やパッケージの周辺部等の接着部でない箇所に不要な接着剤が塗布されることを減少させることができ、その結果、光学特性やパッケージの機械的寸法精度が悪くなることを防止することができる。さらに、ホログラム素子101と第2側壁203a、bとのすき間を広げていることによって、接着剤が接着箇所に届く前に当該すき間に溜まって気泡を含むようになることも防止することができる。つまり、内部の気泡を抜けやすくすることができ、その結果、ホログラム素子101と樹脂パッケージ100とを十分に接着させて固定することができる。加えて、第2側壁203a、bをガイド壁として機能させて、光電子装置と光ディスク装置等との光学的位置合わせを容易に行うことができる。
(実施形態2)
図5および図6を参照しながら、本発明による実施形態2にかかる光電子装置を説明する。図5および6は、本実施形態にかかる光電子装置の外観形状を示す平面図および側面図である。図6は、図5の線VI−VI’に沿った断面構成を模式的に示している。本実施形態の光電子装置は、上記実施形態1の光電子装置と同様な材料を用いて構成されており、ほぼ同等な形状を有しているが、以下の点が実施形態1の構成と異なる。なお、上記実施形態1と同様の構成の部分については、説明の簡略化のため説明を省略する。
【0059】
本実施形態の光電子装置では、図5に示すように、第2側壁403a、bと第1側壁401a、bとの間に側壁切り欠き部(図1(a)中の209a、b)が形成されていない。側壁切り欠き部を形成していない理由は、第1側壁401a、bと第2側壁403a、bとによってホログラム素子301の周囲を囲んで、ノズルから供給される接着剤をホログラム素子301の周囲に流動させることができるようにするためである。このようにして接着剤を流動させる場合には、接着剤の流動性が高くなるように調整することが好ましい。
【0060】
本実施形態において、ホログラム素子301は、底辺側に位置している底辺側傾斜部(下部側傾斜部)303と、底辺側傾斜部303の上部に位置する上部側傾斜部305を有している。ホログラム素子301に底辺側傾斜部303が設けられていることによって、ホログラム素子301と第1側壁および第2側壁(401a、bおよび403a、b)とのすき間を広くすることができる。底辺側傾斜部303は、例えば、通常の金型から部材を抜く時の傾斜角度よりも大きい角度で設けられており、部分的に接着剤をノズルから供給しても接着剤が底辺側傾斜部303上を流動できる程度の角度を有している。
【0061】
また、底辺側傾斜部303の角度をその上部側傾斜部305の角度よりも大きくしている。これによって、光学部品載置部309と側壁(401a等)とが合わさるコーナー部601に対して、底辺側傾斜部303の下部を組立時の位置制御ができる程度に接近させることができ、接着剤の供給・流動スペースを確保することができる。また、底辺側傾斜部303の下部がコーナー部601に接近した部分(接近部)があることによって、接着剤の流動を少量の接着剤供給で可能にすることができ、このため、ノズルの入り難い周辺領域までノズルを移動させなくても接着剤を流動させて供給することが可能となる。その結果、ノズルの移動が少なくすることができるので、不要な部分への接着剤の塗布も減少するとともに、ホログラム素子(光学部品)301の接着を確実に行うことができるようになる。さらに、ホログラム素子301の底辺側傾斜部303の上部側には、ノズルの搬送やその位置制御を裕度をもって行うことができ、かつ接着剤を供給できる間隔が確保されているため、ノズルによる接着剤の供給を容易かつ確実に実行することができる。
【0062】
底辺側傾斜部303の傾斜角度θは、例えば20〜60度、好ましくは、30〜50度である。傾斜角度θが小さいと、スペースS1が狭くなるため、ノズルからの接着剤供給が困難となってしまう。反対に、傾斜角度θが大きいと、回折格子等を作り込んで光電子素子405を収納するための空間を設けるため必要な上部側幅W2が、ホログラム素子301の底辺部幅W1に対してさらに狭くなってしまい、足りなくなってしまう。また、その上部側幅W2を広くすると光電子装置の全体形状も大きくなり、小型化が図れない。したがって、これらの点を考慮して、ホログラム素子301の形状、特に、底辺側傾斜部303の傾斜角度θの角度を決定することが好ましい。
【0063】
底辺側傾斜部303は、ホログラム素子301の底辺側周辺の全領域に設ける必要もなく、第1側壁401a、bに沿った側だけに設けても良い。それは、接着剤のノズルからの供給を第1側壁401a、b側に沿って行った後、第2側壁403a、b側には、その接着剤の流動性を活かして供給することができるからである。なお、底辺側傾斜部303に対向する第1側壁401a、bと第2側壁403a、b側との接続部に該当するコーナー部を若干丸めておいたり、切り欠いたり、または傾斜角度を大きくしていると、第1側壁401a、1b側の接着剤が第2側壁403a、b側に容易に回り込めるようにすることができる。
【0064】
また、ホログラム素子301の底辺側傾斜部303の傾斜角度を、第2側壁403a、b側よりも第1側壁401a、b側の方が大きくなるようにしておくことが好ましい。このようにすれば、ノズルの移動の容易な高さの低い第1側壁401a、b側からの接着剤の供給スペースを十分確保することができるからである。
【0065】
第2側壁403a、bの高さH2は、第1側壁401a、bの高さH1よりも高い。また、第1側壁401a、bの内壁側の高さH3は、底辺側傾斜部303の高さH6よりも高くなるように構成されている。これは、接着剤601を囲み外部に漏らさないようにするためである。光学部品載置部309の高さH4は、光電子素子405の厚さH5よりも高くしてある。H5よりもH4を高くしたのは、次の理由による。すなわち、光電子素子405には、電気接続のためのワイヤボンディング等がなされることがあるが、それに必要な空間をホログラム素子301の内部側空間部を大きくすることによって確保するのではなく、光学部品載置部309の高さH4で確保するようにしたものである。
【0066】
本実施形態にかかる光電子装置の製造方法は、上記実施形態1で説明した製造方法とほぼ同様であるが、本固定での接着剤の供給工程が異なる。以下、この点を説明する。
【0067】
本実施形態における本固定工程では、第1側壁401a、bとホログラム素子301との間の2箇所のスペース部に対応させて、各々1本のノズル(計2本)を用意し、各々のノズルを同時に第1側壁401a、bに沿って搬送して、接着剤を供給した。高さの高い第2側壁403a、bとホログラム素子301との間にノズルを挿入するには精度が要求されるので、本実施形態では、高さの低い第1側壁401a、bとホログラム素子301との間に、単純な一方向のノズル搬送で接着剤を供給し、次いで、供給した接着剤を流動させて第2側壁403a、bとホログラム素子301との間にも回り込ませている。この方法により、ノズル搬送の方向を90度も変更させずに、高い側壁を避けて、ホログラム素子301の底辺周辺部の上から接着剤を供給して、ホログラム素子301をそれらの側壁に接着することができる(図6参照)。その時の流動性の制御等は、接着剤として例えば紫外線硬化接着剤等を用い、ノズルにヒータ等を巻いて温度コントロールをすることによって行うことができる。
【0068】
本実施形態では、ホログラム素子301に底辺側傾斜部303が設けられているので、ホログラム素子301と側壁(401a等)とのすき間を広げることができ、その結果、接着剤を供給するノズルの入り込みが容易になる。底辺側傾斜部303は、通常の金型から部材を抜く時の傾斜角度よりも大きい角度となるようにされており、部分的に接着剤をノズルから供給しても、ノズルの入り難い周辺領域まで接着剤が流動できる程度の角度にされている。このような構成によって、ノズルの移動距離を短くすることができるとともに、ノズルの移動方向も単純となって、接着剤を容易・確実に供給することができる。
【0069】
【発明の効果】
本発明によれば、第2側壁の内壁側に切り欠き部が形成されているので、光学部品と第2側壁とのすき間を広げることができる。その結果、接着剤供給用のノズルの入り込みが容易となり、接着剤の供給を容易に行うことができる光電子装置およびその製造方法を提供することができる。また、接着剤が不要な部分へ塗布されることも減少でき、内部の気泡も抜けやすくすることができる。光学部品の側壁の少なくとも下部に傾斜部が設けられている場合、この傾斜部によって光学部品と側壁とのすき間を広げることができるため、接着剤を供給するノズルの入り込みを容易にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)は、本発明による実施形態1にかかる光電子装置の平面図であり、(b)は、その側面図である。
【図2】(a)は、図1(a)における線IIA−IIA’に沿った断面図であり、(b)は、線IIB−IIB’に沿った断面図である。
【図3】(a)〜(c)は、実施形態1にかかる光電子装置の製造方法を説明するための工程断面図である。
【図4】(a)〜(d)は、実施形態1にかかる光電子装置の製造方法を説明するための工程断面図である。
【図5】実施形態2にかかる光電子装置の平面図である。
【図6】図5における線VI−VI’に沿った光電子装置の断面図である。
【図7】(a)は、従来の光電子装置の構成を説明するための平面図であり、(b)は、(a)の断面図である。
【符号の説明】
100 樹脂パッケージ
101 ホログラム素子
103 リードフレーム
105 光電子素子
107 搭載部
109 光学部品載置部
201a,201b 第1側壁
203a,203b 第2側壁
205a,205b 切り欠き部
207a,207b 凸部
Claims (13)
- 光電子素子と、前記光電子素子が搭載される搭載部と、前記搭載部の周辺を囲む枠体と、光学部品とを備え、
前記光学部品は、前記枠体の上面のうちの前記搭載部寄りの内周部に位置する光学部品載置部に載置されており、
前記枠体は、前記枠体の上面のうち前記内周部よりも外周側に位置する外周部の一部において対向して設けられた一対の第1側壁と、前記外周部のうち前記一対の第1側壁が設けられた部分以外の部分に対向して設けられた一対の第2側壁とを有し、
前記一対の第2側壁のそれぞれは、前記第2側壁の内壁側に形成された切り欠き部と、前記切り欠き部が形成された部分以外の前記内壁側に形成された凸部とを有し、
前記光学部品は、前記一対の第2側壁のそれぞれの前記凸部の間に配置され、かつ、前記第2側壁の前記切り欠き部に充填された接着剤によって固定されており、
前記第2側壁の高さは、前記第1側壁の高さよりも高く、
前記第2側壁の外壁は、円弧状でかつ内壁側に傾いている、光電子装置。 - 前記搭載部は、リードフレームのダイスパッドであり、前記第1側壁、前記第2側壁、前記光学部品載置部および前記枠体は、樹脂により一体成形されている、請求項1に記載の光電子装置。
- 前記第2側壁の前記凸部は外壁側に傾いており、かつ、前記光学部品の側面外壁は内側に傾いている、請求項1に記載の光電子装置。
- 前記第2側壁と前記第1側壁とが合流する合流部の付近の前記第1側壁に側壁切り欠き部が設けられている、請求項1に記載の光電子装置。
- 前記第2側壁の前記切り欠き部と前記第1側壁の前記側壁切り欠き部とがほぼ1方向に沿って設けられている、請求項4に記載の光電子装置。
- 前記第1側壁は、前記光学部品の長辺側の長さよりも長く、前記第2側壁の前記切り欠き部まで延長されている、請求項4に記載の光電子装置。
- 前記光学部品は、前記第2側壁よりも高く、かつ、前記光学部品の幅は、前記第2側壁の幅よりも狭い、請求項1に記載の光電子装置。
- 前記接着剤は、紫外線硬化接着剤である、請求項1に記載の光電子装置。
- (a)光電子素子が搭載される搭載部を含む部材を用意する工程と、
(b)前記搭載部の周辺を囲む枠体であって、前記枠体の上面のうちの前記搭載部寄りに位置する内周部に位置する光学部品載置部と、前記内周部よりも外側に位置する外周部の一部に対向して設けられた一対の第1側壁と、前記外周部のうち前記一対の第1側壁が設けられた部分以外の部分に対向して設けられ、高さが前記第1側壁の高さよりも高く、外壁が円弧状でかつ内壁側に傾いている一対の第2側壁と、前記第2側壁の内壁側に形成された切り欠き部と、前記切り欠き部が形成された部分以外の前記内壁側に形成された凸部とを有する枠体を形成する工程と、
(c)前記搭載部に光電子素子を搭載する工程と、
(d)前記枠体の前記光学部品載置部に前記光学部品を載置する工程と、
(e)接着剤を供給するためのノズルを用いて、前記接着剤を前記切り欠き部に供給し、それによって、前記光学部品を前記光学部品載置部に固定する工程と
を包含する、光電子装置の製造方法。 - 前記工程(a)において、前記光電子素子が搭載される搭載部を含む部材として、複数のダイスパッドを含むリードフレームを用意し、
前記工程(b)は、
前記リードフレームを、イジェクターピンを備えた金型内にセットする工程と、
前記金型で前記枠体を樹脂成形する工程と、
前記イジェクターピンにより前記枠体の前記凸部を押して、前記金型から前記枠体を取り外す工程と
を包含する、請求項9に記載の光電子装置の製造方法。 - 前記工程(e)において、前記ノズルは、前記切り欠き部の上方を前記切り欠き部に沿って走査される、請求項9に記載の光電子装置の製造方法。
- 前記工程(d)は、前記光学部品を紫外線硬化接着剤によって半固定した後、前記光学部品と前記光電子素子との光学位置合わせをする工程を包含する、請求項9に記載の光電子装置の製造方法。
- 前記工程(e)は、前記接着剤として紫外線硬化接着剤を前記切り欠き部に供給した後、前記紫外線硬化接着剤を硬化させることによって本固定をする工程を包含する、請求項12に記載の光電子装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001019990A JP4944301B2 (ja) | 2000-02-01 | 2001-01-29 | 光電子装置およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000023684 | 2000-02-01 | ||
JP2000-23684 | 2000-02-01 | ||
JP2000023684 | 2000-02-01 | ||
JP2001019990A JP4944301B2 (ja) | 2000-02-01 | 2001-01-29 | 光電子装置およびその製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010224560A Division JP2011014927A (ja) | 2000-02-01 | 2010-10-04 | 光電子装置およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001291902A JP2001291902A (ja) | 2001-10-19 |
JP4944301B2 true JP4944301B2 (ja) | 2012-05-30 |
Family
ID=18549810
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001019990A Expired - Fee Related JP4944301B2 (ja) | 2000-02-01 | 2001-01-29 | 光電子装置およびその製造方法 |
JP2010224560A Pending JP2011014927A (ja) | 2000-02-01 | 2010-10-04 | 光電子装置およびその製造方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010224560A Pending JP2011014927A (ja) | 2000-02-01 | 2010-10-04 | 光電子装置およびその製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US6441402B2 (ja) |
JP (2) | JP4944301B2 (ja) |
KR (1) | KR100758055B1 (ja) |
CN (2) | CN1215566C (ja) |
TW (1) | TW535012B (ja) |
Families Citing this family (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7345316B2 (en) * | 2000-10-25 | 2008-03-18 | Shipley Company, L.L.C. | Wafer level packaging for optoelectronic devices |
US6932519B2 (en) | 2000-11-16 | 2005-08-23 | Shipley Company, L.L.C. | Optical device package |
US6827503B2 (en) * | 2000-12-01 | 2004-12-07 | Shipley Company, L.L.C. | Optical device package having a configured frame |
US6883977B2 (en) * | 2000-12-14 | 2005-04-26 | Shipley Company, L.L.C. | Optical device package for flip-chip mounting |
US6583388B2 (en) * | 2001-11-13 | 2003-06-24 | Jds Uniphase Corporation | High thermal efficiency, small form-factor packages including thermally insulative cavities, and transfer molded variants |
JP2004022291A (ja) * | 2002-06-14 | 2004-01-22 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | El素子用封止板、及び該封止板多面取り用マザーガラス基板、並びにel素子 |
US7244965B2 (en) * | 2002-09-04 | 2007-07-17 | Cree Inc, | Power surface mount light emitting die package |
US7264378B2 (en) * | 2002-09-04 | 2007-09-04 | Cree, Inc. | Power surface mount light emitting die package |
US7775685B2 (en) * | 2003-05-27 | 2010-08-17 | Cree, Inc. | Power surface mount light emitting die package |
US7692206B2 (en) * | 2002-12-06 | 2010-04-06 | Cree, Inc. | Composite leadframe LED package and method of making the same |
US6897486B2 (en) * | 2002-12-06 | 2005-05-24 | Ban P. Loh | LED package die having a small footprint |
TWI283764B (en) * | 2003-09-19 | 2007-07-11 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | LED light source and backlight system using thereof |
KR100541654B1 (ko) * | 2003-12-02 | 2006-01-12 | 삼성전자주식회사 | 배선기판 및 이를 이용한 고체 촬상용 반도체 장치 |
DE10361650A1 (de) * | 2003-12-30 | 2005-08-04 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Optoelektronisches Modul und Verfahren zu dessen Herstellung |
US7456499B2 (en) * | 2004-06-04 | 2008-11-25 | Cree, Inc. | Power light emitting die package with reflecting lens and the method of making the same |
US7280288B2 (en) | 2004-06-04 | 2007-10-09 | Cree, Inc. | Composite optical lens with an integrated reflector |
US7980743B2 (en) | 2005-06-14 | 2011-07-19 | Cree, Inc. | LED backlighting for displays |
US20070004066A1 (en) * | 2005-07-01 | 2007-01-04 | Dong-Sing Wuu | Method for manufacturing a light emitting device and a light emitting device manufactured therefrom |
JP4479614B2 (ja) * | 2005-07-12 | 2010-06-09 | パナソニック株式会社 | 光ピックアップ装置 |
US8039849B2 (en) * | 2005-11-23 | 2011-10-18 | Taiwan Oasis Technology Co., Ltd. | LED module |
US7960819B2 (en) * | 2006-07-13 | 2011-06-14 | Cree, Inc. | Leadframe-based packages for solid state emitting devices |
US8044418B2 (en) | 2006-07-13 | 2011-10-25 | Cree, Inc. | Leadframe-based packages for solid state light emitting devices |
US7459729B2 (en) * | 2006-12-29 | 2008-12-02 | Advanced Chip Engineering Technology, Inc. | Semiconductor image device package with die receiving through-hole and method of the same |
US7577029B2 (en) * | 2007-05-04 | 2009-08-18 | Mosaid Technologies Incorporated | Multi-level cell access buffer with dual function |
DE102009025266B4 (de) * | 2009-06-17 | 2015-08-20 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Optoelektronisches Halbleiterbauteil |
JP6985286B2 (ja) * | 2016-03-22 | 2021-12-22 | スージョウ レキン セミコンダクター カンパニー リミテッド | 発光素子およびこれを備えた発光モジュール |
JP6805081B2 (ja) * | 2017-05-26 | 2020-12-23 | 新光電気工業株式会社 | 発光装置用蓋体 |
KR102398578B1 (ko) * | 2017-12-04 | 2022-05-16 | 아크소프트 코포레이션 리미티드 | 지문인식 기능을 구비한 디스플레이 |
CN109273416A (zh) * | 2018-10-30 | 2019-01-25 | 上海索晔国际贸易有限公司 | 一种多阶光电器件支架 |
WO2022024325A1 (ja) * | 2020-07-30 | 2022-02-03 | 三菱電機株式会社 | 光学部品ユニット、光学ユニット、測距装置および光学ユニットの製造方法 |
WO2023124344A1 (zh) * | 2021-12-31 | 2023-07-06 | 青岛海信激光显示股份有限公司 | 激光器 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62281465A (ja) * | 1986-05-30 | 1987-12-07 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JPS63185240A (ja) * | 1987-01-28 | 1988-07-30 | Toshiba Corp | デ−タ伝送方式 |
JPS63185240U (ja) * | 1987-05-21 | 1988-11-29 | ||
JPH06203403A (ja) * | 1992-10-22 | 1994-07-22 | Matsushita Electron Corp | 半導体レーザ装置および光ピックアップ装置 |
US5748658A (en) | 1993-10-22 | 1998-05-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Semiconductor laser device and optical pickup head |
JP3045913B2 (ja) | 1993-12-24 | 2000-05-29 | 松下電子工業株式会社 | 半導体レーザ装置とその製造方法 |
JP3485645B2 (ja) * | 1994-07-29 | 2004-01-13 | 三洋電機株式会社 | 半導体レーザ装置とこれを用いた光ピックアップ装置 |
JP3206362B2 (ja) * | 1995-04-17 | 2001-09-10 | 松下電器産業株式会社 | 半導体レーザ装置 |
JP3313265B2 (ja) * | 1995-06-02 | 2002-08-12 | 松下電器産業株式会社 | 光ピックアップ用対物レンズ取付構造 |
JPH0935312A (ja) * | 1995-07-11 | 1997-02-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光ピックアップ用対物レンズ取付構造 |
JPH1012974A (ja) * | 1996-06-26 | 1998-01-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ホログラムレーザーユニット |
US5821532A (en) * | 1997-06-16 | 1998-10-13 | Eastman Kodak Company | Imager package substrate |
JPH1125465A (ja) * | 1997-06-30 | 1999-01-29 | Victor Co Of Japan Ltd | 半導体レーザ装置 |
-
2001
- 2001-01-29 JP JP2001019990A patent/JP4944301B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2001-01-31 US US09/772,861 patent/US6441402B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-02-01 TW TW090102043A patent/TW535012B/zh not_active IP Right Cessation
- 2001-02-01 CN CNB011023228A patent/CN1215566C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2001-02-01 KR KR1020010004754A patent/KR100758055B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2001-02-01 CN CNB2005100785794A patent/CN100373595C/zh not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-07-12 US US10/193,173 patent/US6680491B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-10-04 JP JP2010224560A patent/JP2011014927A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011014927A (ja) | 2011-01-20 |
US6680491B2 (en) | 2004-01-20 |
US20020175387A1 (en) | 2002-11-28 |
CN100373595C (zh) | 2008-03-05 |
CN1722413A (zh) | 2006-01-18 |
TW535012B (en) | 2003-06-01 |
US20010010584A1 (en) | 2001-08-02 |
KR100758055B1 (ko) | 2007-09-11 |
US6441402B2 (en) | 2002-08-27 |
KR20010078224A (ko) | 2001-08-20 |
JP2001291902A (ja) | 2001-10-19 |
CN1316780A (zh) | 2001-10-10 |
CN1215566C (zh) | 2005-08-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4944301B2 (ja) | 光電子装置およびその製造方法 | |
JP3161142B2 (ja) | 半導体装置 | |
US7567602B2 (en) | Optical pickup device, semiconductor laser device and housing usable for the optical pickup device, and method of manufacturing semiconductor laser device | |
US7187051B2 (en) | Solid image-pickup device and method for manufacturing the solid image pickup device | |
JP3087676B2 (ja) | ゲル状樹脂を用いた光結合系及び実装構造 | |
JP4827593B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
CN100433339C (zh) | 固体摄像器件及其制造方法 | |
KR20090038490A (ko) | 반도체 장치 및 그 제조 방법 | |
US6144107A (en) | Solid state pickup device excellent in heat-resistance and method of manufacturing the device | |
KR20040071658A (ko) | 고체촬상장치, 반도체 웨이퍼, 광학장치용 모듈,고체촬상장치의 제조방법, 및 광학장치용 모듈의 제조방법 | |
US5970200A (en) | Apparatus having optical components and a manufacturing method thereof | |
JP4807987B2 (ja) | 気密封止パッケージおよび光サブモジュール | |
JP3703839B2 (ja) | 封止された光部品用のリードフレーム | |
KR100622171B1 (ko) | 반도체 장치 | |
KR101967261B1 (ko) | 이미지 센서 패키지 및 이것의 제조 방법 | |
JP2006528834A (ja) | カプセル化された光パッケージ | |
JP2003029095A (ja) | フェルール付ファイバ及び光モジュール、並びに光モジュールの製造方法 | |
US6805495B2 (en) | Optical communication module | |
JP2007019116A (ja) | 固体撮像装置とその製造方法 | |
KR102610835B1 (ko) | 광 모듈 및 그 제조방법 | |
JP4339195B2 (ja) | リードフレーム、リードフレーム封止装置及びリードフレーム筐体の製造方法 | |
KR20030095201A (ko) | 반도체 장치 | |
JPH1020158A (ja) | 光モジュールおよびその製造方法 | |
JP2011091187A (ja) | 電子装置 | |
JP2000040834A (ja) | マルチチップモジュールの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080116 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100803 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100803 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101004 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110607 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110715 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20120117 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120207 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120302 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150309 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |