JP4940121B2 - ディスペンサ用レーザー変位センサー - Google Patents

ディスペンサ用レーザー変位センサー Download PDF

Info

Publication number
JP4940121B2
JP4940121B2 JP2007320539A JP2007320539A JP4940121B2 JP 4940121 B2 JP4940121 B2 JP 4940121B2 JP 2007320539 A JP2007320539 A JP 2007320539A JP 2007320539 A JP2007320539 A JP 2007320539A JP 4940121 B2 JP4940121 B2 JP 4940121B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
nozzle
sealing agent
displacement sensor
distance
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2007320539A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2008122397A (ja
Inventor
滿鎬 安
▲ジュン ヨン▼ 金
Original Assignee
トップ エンジニアリング カンパニー,リミテッド
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by トップ エンジニアリング カンパニー,リミテッド filed Critical トップ エンジニアリング カンパニー,リミテッド
Publication of JP2008122397A publication Critical patent/JP2008122397A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4940121B2 publication Critical patent/JP4940121B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/0208Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work for applying liquid or other fluent material to separate articles
    • B05C5/0212Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work for applying liquid or other fluent material to separate articles only at particular parts of the articles
    • B05C5/0216Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work for applying liquid or other fluent material to separate articles only at particular parts of the articles by relative movement of article and outlet according to a predetermined path
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D53/00Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/32Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by electrical effects other than those provided for in group B01D61/00
    • B01D53/323Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by electrical effects other than those provided for in group B01D61/00 by electrostatic effects or by high-voltage electric fields
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A47FURNITURE; DOMESTIC ARTICLES OR APPLIANCES; COFFEE MILLS; SPICE MILLS; SUCTION CLEANERS IN GENERAL
    • A47BTABLES; DESKS; OFFICE FURNITURE; CABINETS; DRAWERS; GENERAL DETAILS OF FURNITURE
    • A47B88/00Drawers for tables, cabinets or like furniture; Guides for drawers
    • A47B88/40Sliding drawers; Slides or guides therefor
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61LMETHODS OR APPARATUS FOR STERILISING MATERIALS OR OBJECTS IN GENERAL; DISINFECTION, STERILISATION OR DEODORISATION OF AIR; CHEMICAL ASPECTS OF BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES; MATERIALS FOR BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES
    • A61L9/00Disinfection, sterilisation or deodorisation of air
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C11/00Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
    • B05C11/10Storage, supply or control of liquid or other fluent material; Recovery of excess liquid or other fluent material
    • B05C11/1002Means for controlling supply, i.e. flow or pressure, of liquid or other fluent material to the applying apparatus, e.g. valves
    • B05C11/1015Means for controlling supply, i.e. flow or pressure, of liquid or other fluent material to the applying apparatus, e.g. valves responsive to a conditions of ambient medium or target, e.g. humidity, temperature ; responsive to position or movement of the coating head relative to the target
    • B05C11/1018Means for controlling supply, i.e. flow or pressure, of liquid or other fluent material to the applying apparatus, e.g. valves responsive to a conditions of ambient medium or target, e.g. humidity, temperature ; responsive to position or movement of the coating head relative to the target responsive to distance of target
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/45Nc applications
    • G05B2219/45238Tape, fiber, glue, material dispensing in layers, beads, filling, sealing
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/49Nc machine tool, till multiple
    • G05B2219/49362Tool, probe at constant height to surface during machining

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Veterinary Medicine (AREA)
  • Animal Behavior & Ethology (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Epidemiology (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Measurement Of Optical Distance (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)

Description

本発明は、シーリング剤のようなペーストを吐き出すディスペンサに採用されるセンサーに係り、より詳細には、ノズルから吐き出されるシーリング剤のようなペーストの吐出圧力が低く、基板にペーストをさらに精密に塗布することができるペーストディスペンサにおいて、基板とシーリング剤を吐き出すノズルとの間の高さを正確に測定できるディスペンサの高さ測定用変位センサーに関する。
一般に、液晶表示装置(LCD;Liquid Crystal Display)は、従来の陰極線管(Cathode−Ray Tube;CRT)を用いた画像表示装置に比べて体積が小さくかつ軽量である。従って、近年では、液晶表示装置が陰極線管に代えてコンピュータ用モニターやTVなどに広く適用されつつある。
この種の液晶表示装置では、上基板と下基板との間に一定の空間を形成しており、前記空間には液晶が充填される。ここで、前記液晶表示装置が最適の状態で動作するためには、下基板と上基板とのセルギャップが一定に保持される必要がある。また、充填される液晶量が過度に多いか、または不足することを防止するべく、上基板と下基板とを貼り合わせるためのシーリング剤塗布の位置精度と塗布量の制御が必要である。なぜならば、前記セルギャップが一定でないか、または液晶量の過多或いは不足により液晶表示装置の画面全体にわたって表示むらといった不具合が生じるためである。
前記下基板と上基板との間に塗布されるシーリング剤は、前記セルギャップを一定に保持する役割を果たすのみならず、前記上基板と下基板とを貼り合わせる役割を果たす。
一方、シーリング剤を基板に塗布するシーリング剤ディスペンサは、前記基板が搭載されるステージとシーリング剤を吐き出すノズルが取り付けられたヘッドユニットとを含んでなる。
ここで、前記ノズルは、基板と相対運動をしながら前記基板に所定の形状のシーリング剤を塗布する。即ち、ノズルは、基板に対しX軸およびY軸に沿って相対運動をしながら基板上にシーリング剤を塗布する。当然のごとく、前記ノズルは、基板との高さが調節できるようにZ軸に沿った運動も可能である。
そして、前記シリンジのシーリング剤が消尽されれば、使用済のシリンジを取り外して新たなシリンジが装着される。
図1は、従来のシーリング剤ディスペンサのヘッドユニットを示す図である。これを参照
して、従来のシーリング剤ディスペンサのヘッドユニットについて説明する。
特開平9−323056号公報 特開2003−1170号公報
前記シーリング剤ディスペンサのヘッドユニットは、シーリング剤を貯蔵するシリンジ20と、前記シリンジ20の下部に取り付けられ、前記シーリング剤50を吐き出すノズル32とを含んでなる。
前記シリンジ20には、水平方向に沿って長い棒状のブラケット30が取り付けられ、前記ブラケット30の先端にノズル32が設けられる。そして、ノズル32と基板10との間の垂直距離を測定する変位センサー40が前記ノズル32の近傍に設けられる。
変位センサー40は、一般に、レーザーを用いる光学式の変位センサーが使われる。前記変位センサー40の底面は“へ”字状を有し、前記底面の一方側には、レーザービーム46を放出する発光部42が備えられる。そして、前記底面の他方側には、レーザービーム46を受光する受光部44が備えられる。
ここで、前記発光部42は、基板に向けてレーザービーム46を放出し、前記受光部44は、基板から反射されるレーザービームを受け入れることにより基板10とノズル32との距離を測定する。
また、前記シリンジ20と変位センサー40は、所定間隔Lほど離隔されており、一端の上面にシリンジ20が装着され、他端が前記変位センサー40の近所まで延びて、その端部の底面にシーリング剤50の吐き出されるノズル32が形成されるブラケット30が備えられる。
従って、前記変位センサー40の発光部42から発光されたレーザー46は、前記ノズル32から吐き出されるシーリング剤50が基板に塗布される地点の近所に反射されて受光部44に受光されることによって、基板10とノズル32との距離を測定する。
従って、シーリング剤50が塗布される基板10上に屈曲が存在すれば、前記レーザー46の受光部44への結像位置が変わって変位センサー40がその測定値を制御部に伝送して前記ノズル32の高さが補正される。
しかし、前記のような従来のシーリング剤ディスペンサでは、次のような問題点がある。前記ノズルとシーリング剤とが貯蔵されるシリンジが同軸上に形成されずに離隔されており、前記シーリング剤の流動経路が“L”字状に折曲された形態を取るために、シーリング剤の吐出に必要な圧力が高くて粘度の大きいシーリング剤の使用が制限される問題点がある。
即ち、垂直方向のシリンジ20に水平方向に長い棒状のブラケット30が取り付けられ、前記ブラケット30の先端にノズル32が設けられているために、シリンジ20間の距離が遠くてシーリング剤の吐出に要求される圧力が高くなる短所があった。
一方、既存のシーリング剤ディスペンサは、シーリング剤が基板上に吐き出される位置と基板上にレーザーが反射される測定点との間の間隔が遠くてシーリング剤の吐き出される基板とノズルとの間の間隔を正確に感知できなかったために、シーリング剤の塗布精密度を高めることができなかった。
本発明は、前記問題点を解決するためになされたものであって、ペーストディスペンサヘッドの構造を改善して、前記ペーストの流動及び吐出経路を一直線化することによって、ペーストの必要吐出圧力を低めるとともに、基板とノズルとの間隔を正確に感知して塗布精密度を高めうるペーストディスペンサに採用されうる変位センサーを提供することを目的とする。
前記目的を果たすための本発明の一態様による変位センサーは、レーザービームを基板に向けて出力する発光部と、前記発光部から出力されたレーザーの受信される受光部とを含むが、前記発光部及び受光部は、互いに離隔されて一体型とからなり、前記発光部と受光部との間にはディスペンサのシリンジ下部が取り付けられる結合孔が形成されたことを特徴とする。
本発明によれば、次のような効果が得られる。
第一に、シリンジとノズルとが同軸をなすように取り付けられて、従来とは異なって、直線化されることでシーリング剤の吐出に要求される圧力が低くなることにより、高粘度のシーリング剤を使うことができて、より多様な種類のシーリング剤を使うことができる効果があり、同じ粘度のシーリング剤を使う場合、ノズルから吐き出される吐出圧力が低くなってシーリング剤の塗布性が向上する効果がある。
第二に、シリンジ取り替えの時、ノズルとレーザー変位センサーとの距離が一定になるようにノズルの位置を補正することができ、シーリング剤の塗布をより精密に制御することができ、作業時間を短縮できる効果がある。
第三に、シーリング剤が基板上に吐き出される位置とレーザーが基板上に反射される測定点との間隔を最小化することによって、シーリング剤の吐き出される基板とノズルとの間の間隔をより正確に感知できるためにシーリング剤をより精密に塗布することができる効果がある。
以下、本発明のペーストディスペンサ用変位センサーの望ましい実施形態を添付した図面を参照して、詳しく説明する。
また、以下の説明で本発明のペーストディスペンサの一例としてシーリング剤ディスペンサを例示し、本発明のシーリング剤ディスペンサと関連した構成要素のうち、従来と同一の部分については、図1によって前述した従来の技術を参照し、その詳細な説明は、省略する。
図2は、本発明の変位センサーがシーリング剤ディスペンサに取り付けられた構成を示す正面図であり、図3は、図2のA方向から見た要部側面図であり、図4は、図2のディスペンサヘッドのノズルと基板とが接触した時、ビジョンカメラで撮影した測定点とノズルとの位置を示す図面である。
本発明が適用されるシーリング剤ディスペンサのヘッドは、先ずシーリング剤を貯蔵するシリンジ120が備えられる。また、前記シリンジ120の先端部にシリンジ120内部のシーリング剤150を基板の主面、即ち、基板の表面に吐き出すノズル130が装着される。そして、前記シリンジ120の先端部に前記ノズル130の吐出口先端部と基板110との相対距離を測定する本発明による変位センサー140が取り付けられる。また、前記基板110に対するノズル130の高さを調整する昇降部(図示せず)が備えられる。
従って、前記シリンジ120は、テーブル(図示せず)に定着されている前記基板110に対してX軸とY軸及びZ軸に運動可能に設けられて前記基板110に塗布されるシーリング剤150のパターン及び厚さと幅とを調節できるように設けられる。
そして、基板110の下面に前記変位センサー140によって距離が測定される地点とノズル130との距離を測定するビジョンカメラ170が備えられる。また、前記シリンジ120の結合位置を調整する調整部160が備えられる。
さらに詳しく説明すれば、前記シリンジ120は、一般的に円筒状に形成されることが望ましく、その内部にシーリング剤150が充填される。このとき、前記ノズル130とシリンジ120は、垂直方向に同軸上に位置するように取り付けられる。これとともに、前記ヘッド部のシリンジと前記変位センサーは、変位センサーの発光部と受光部とが一直線上に見える方向(即ち、側面;図3参照)から見る時、前記変位センサーに対して同一線上に位置するように設けられる。従って、前記シリンジ120に充填されてノズル130から吐き出されるシーリング剤150の流動経路は一直線になる。
また、前記変位センサー140は、距離測定用レーザーを基板110に向けて出力する発光部142と、前記発光部142から出力されたレーザー146が受信される受光部144からなるレーザー変位センサーであることが望ましい。ここで、前記変位センサー140の発光部142と受光部144は、一体型とからなるが、互いに所定距離離隔され、前記発光部142と受光部144との間にノズル130が取り付けられる結合孔148が形成される。従って、前記シリンジ120の先端部に取り付けられたノズル130は、前記変位センサー140の結合孔148に取り付けられる。
ここで、前記図2に示されたシーリング剤ディスペンサのノズル130と基板110は、所定間隔離隔されるが、その離隔される間隔が数十μmほどに非常に小さいので、前記ノズル130の先端部のみを拡大して示した。
図2の拡大された部分に示すように、前記変位センサー140の発光部142から出力されたレーザー146が基板110に反射される測定点112の位置は、前記シーリング剤150がノズル130から吐き出されて基板110に塗布される地点から若干離隔されるように設けられることが望ましい。
このとき、前記測定点112の位置とシーリング剤150が基板110に塗布される位置とが離隔される程度は塗布されるシーリング剤150によって距離測定が干渉されない最小限の距離であることが望ましい。これは、前記レーザー146が基板110に反射される測定点112の位置と前記シーリング剤150が基板110上に吐き出される地点の位置とが同一であって、前記変位センサー140の距離測定が基板110に塗布されるシーリング剤150によって干渉される場合を排除するためである。
従って、本発明のシーリング剤ディスペンサヘッドの高さ調節装置のノズル130で塗布されるシーリング剤150が基板110に吐き出される位置と変位センサー140による測定点112と一定距離離隔されるが、その距離が非常に微細であるので、基板110表面の高さの差がないと言え、前記変位センサー140による測定値とノズル130の先端部から基板110の表面までの実距離は同一である。
そして、前記ノズル130の向かい側には、ビジョンカメラ170が前記基板110の下部に設けられる。前記ビジョンカメラ170は、変位センサー140から出力されたレーザー146が基板110上に反射される測定点112とシーリング剤150が基板110に吐き出される位置との距離を測定する役割を果たす。
また、前記シリンジ120の結合位置を微細に調整できる調整部160が備えられるが、前記調整部160は、前記シリンジ120の結合位置及び角度を調整できるようにモーターなどで構成されることが望ましく、このような調整部160の構成は、当業者に自明なものなので、これについての詳細な説明は、省略する。
前記した実施形態は、ノズル130の高さを変化させて前記ノズル130と基板110との間の距離を調節する方式や前記ノズルは動かずに前記基板を支持するテーブル(図示せず)の高低を調節して前記ノズルと基板との間の距離を調節することもできる。
以上で説明したような構成を有したシーリング剤ディスペンサが、前記シリンジ120内部のシーリング剤150を消尽すれば、前記シリンジ120を交換するが、このとき、前記シリンジ120に取り付けられるノズル130の位置は、常に一定ではなく、多少の誤差が生ずることもある。
従って、本発明は、シーリング剤ディスペンサの制御方法を提示する。
本発明のシーリング剤ディスペンサの制御方法は、ノズルと基板とを接触させる接触段階と、計測手段が基板との距離を測定する測定点とノズルとの間の距離を測定する測定段階と、前記測定段階で測定された距離が設定値以内であるか否かを判断する判断段階と、前記測定段階で測定された距離が設定値を外れる場合、前記ノズルの位置を補正する補正段階と、そして、前記測定段階で測定された距離が設定値以内である場合、前記ノズルと基板との距離を所定間隔離隔させてシーリング剤の塗布を始める塗布段階と、を含んで構成される。」
以下、本発明のシーリング剤ディスペンサの制御方法の望ましい実施形態を詳しく説明する。
また、本実施形態で、シーリング剤ディスペンサの構成は、前述した実施形態に従うことにし、その詳細な説明は、省略する。
図4は、シーリング剤ディスペンサのノズルと基板とが接触した時、ビジョンカメラで撮影した測定点とノズルとの位置を表わす図面である。ここで、図面番号175は、ビジョンカメラで撮影した画面である。
シリンジ120が取り替えられれば、接触段階が実施される。前記接触段階では、前記シリンジ120を下降させ、前記ノズル130と基板110とを接触させてノズル130と基板110との距離を0にする。このとき、前記変位センサー140の発光部142から出力されるレーザー146が、基板110に反射されて受光部144に入力されるが、前記ノズル130と基板110との距離が0であるので、前記レーザー146が反射される地点である測定点112は、前記ノズル130と基板110との離隔位置より若干側面に移動する。
そして、測定段階が実施される。前記測定段階では、前記測定点112と基板110上にシーリング剤150が塗布される位置の離隔された距離dを測定する。このような距離測定は、基板110の下部に設けられたビジョンカメラ170で撮影して測定する。ここで、前記シーリング剤150が塗布される基板110が透明なガラスであるので、前記変位センサー140の測定点112とノズル130とが前記基板110に投影される。
このとき、前記した基板110上にシーリング剤150が塗布される位置が前記ノズル130の鉛直下部であり、前記ビジョンカメラ170がノズル130の向かい側に位置しているので、前記ノズル130の基板110に投影される位置を、シーリング剤150が基板110に塗布される位置と見なし、前記変位センサー140の測定点112とノズル130との距離dを測定する。
前記した測定段階以後には判断段階が実施されるが、前記判断段階では、前記測定段階で測定された変位センサー140の測定点112とノズル130との距離dが設定値以内であるか否かを判断する。このとき、前記設定値は、前記測定点112とノズル130とが離隔される距離dの適正な範囲を意味する。
このような設定値は、シーリング剤150の種類とか塗布圧力や塗布速度など塗布条件によって変わる値であり、当業者には自明に導出されうる値であるので、詳しい説明は、省略する。もし、前記判断段階で判断された測定点112とノズル130との距離dが設定値を外れる場合には、前記シリンジ120とノズル130との位置が適正ではないと判断し、前記調整部160を使って前記シリンジ120とノズル130との位置を適切に調整する。そして、シリンジ120とノズル130との位置を調整した後には、再び測定段階に回帰して測定点112とノズル130との距離dを測定することが望ましい。
また、判断段階で判断された測定点112とノズル130との距離dが設定値以内である場合、前記ノズル130が適正な位置にあると判断して、ノズル130と基板110との距離をシーリング剤150の塗布条件によって適正な所定距離ほど離隔させて、シーリング剤150を塗布し始める塗布段階を行う。
塗布段階でノズル130と基板110との距離が離隔されれば、前記変位センサー140の測定点112は、図2に示されたように、前記基板110上にシーリング剤150の吐き出される地点の近所に形成される。
このような状態で変位センサー140は、ノズル130と基板110との相対運動によってシーリング剤150が塗布される位置の基板110に対するノズル130の高さを測定する。もし、前記基板110が屈曲されていれば、屈曲地点でレーザーが反射される地点の高さが変わるので、前記レーザーの変位センサー140の受光部144での結像位置が変わって前記ノズル130の高さを測定できる。
そして、前記変位センサー140で測定されたノズル130と基板110との距離は、制御部(図示せず)に送られ、前記制御部(図示せず)では、シーリング剤150が塗布される基板110表面の高さ変化によって昇降部(図示せず)を稼動して、前記ノズル130と基板110との距離を調節することによって、前記基板110に吐き出されるシーリング剤150の厚さ及び幅が一定に保持されるように塗布させうる。
本発明は、シーリング剤の吐き出されるノズルと基板との間の高さを正確に測定できる変位測定センサーに係り、液晶表示装置のシーリング剤ディスペンサに適用される。
従来技術に係るシーリング剤ディスペンサのヘッドユニットを示す斜視図である。 本発明の変位センサーが採用されたシーリング剤ディスペンサの構成を示す正面図である。 図2中のA方向から見た要部側面図である。 図2のディスペンサヘッドのノズルと基板とが接触した時、ビジョンカメラで撮影した測定点とノズルとの位置を示す図面である。
符号の説明
110:基板 112:測定点
120:シリンジ 130:ノズル
140:レーザー変位センサー 142:発光部
144:受光部 148:結合孔
150:シーリング剤 160:調整部
170:ビジョンカメラ

Claims (2)

  1. テーブルに定着された基板に対してシーリング剤を所定のパターンで塗布するシーリング剤ディスペンサ用のレーザー変位センサーであって、
    レーザービームを基板に向けて出力する発光部と、
    前記発光部から出力されたレーザーの受信される受光部とを含み、
    前記発光部及び受光部は、一型からなり、
    前記発光部と受光部との間には、ディスペンサのシリンジ下部が取り付けられる結合孔が形成されたことを特徴とするレーザー変位センサー。
  2. ディスペンサのシリンジと、シリンジに取り付けられたノズルと、レーザー変位センサーの発光部及び受光部は、同一平面上に位置するように設けられることを特徴とする請求項1に記載のレーザー変位センサー。
JP2007320539A 2004-05-12 2007-12-12 ディスペンサ用レーザー変位センサー Active JP4940121B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2004-0033395 2004-05-12
KR1020040033395A KR100710683B1 (ko) 2004-05-12 2004-05-12 씰런트 디스펜서

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005138694A Division JP4749758B2 (ja) 2004-05-12 2005-05-11 シーリング剤ディスペンサ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2008122397A JP2008122397A (ja) 2008-05-29
JP4940121B2 true JP4940121B2 (ja) 2012-05-30

Family

ID=36760392

Family Applications (3)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005138694A Active JP4749758B2 (ja) 2004-05-12 2005-05-11 シーリング剤ディスペンサ
JP2007320539A Active JP4940121B2 (ja) 2004-05-12 2007-12-12 ディスペンサ用レーザー変位センサー
JP2007320585A Active JP5128924B2 (ja) 2004-05-12 2007-12-12 シーリング剤ディスペンサ

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005138694A Active JP4749758B2 (ja) 2004-05-12 2005-05-11 シーリング剤ディスペンサ

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007320585A Active JP5128924B2 (ja) 2004-05-12 2007-12-12 シーリング剤ディスペンサ

Country Status (5)

Country Link
US (3) US7540924B2 (ja)
JP (3) JP4749758B2 (ja)
KR (1) KR100710683B1 (ja)
CN (3) CN101549338B (ja)
TW (2) TWI293712B (ja)

Families Citing this family (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100540633B1 (ko) * 2003-06-20 2006-01-11 주식회사 탑 엔지니어링 페이스트 도포기 및 그 제어 방법
KR100710683B1 (ko) * 2004-05-12 2007-04-24 주식회사 탑 엔지니어링 씰런트 디스펜서
JP4725710B2 (ja) * 2004-12-14 2011-07-13 オムロン株式会社 光学式変位センサのセンサヘッド
JP4532512B2 (ja) * 2006-02-24 2010-08-25 トップ エンジニアリング カンパニー,リミテッド シーラント塗布状態に基づいた液晶滴下量決定方法
KR100795509B1 (ko) * 2006-02-24 2008-01-16 주식회사 탑 엔지니어링 페이스트 패턴 검사 방법
KR101254811B1 (ko) * 2006-06-30 2013-04-15 엘지디스플레이 주식회사 봉지재 발포 장치 및 그 제어 방법
KR100807824B1 (ko) * 2006-12-13 2008-02-27 주식회사 탑 엔지니어링 페이스트 디스펜서
KR101341785B1 (ko) * 2007-02-28 2013-12-13 엘지디스플레이 주식회사 디스펜싱 장비 및 이를 이용한 평판표시장치의 제조 방법
KR100899674B1 (ko) * 2008-01-22 2009-05-28 주식회사 탑 엔지니어링 시린지 장착이 가능한 변위 센서 및 이를 구비한 디스펜서
US9017610B2 (en) * 2008-04-25 2015-04-28 Roche Diagnostics Hematology, Inc. Method of determining a complete blood count and a white blood cell differential count
US9602777B2 (en) 2008-04-25 2017-03-21 Roche Diagnostics Hematology, Inc. Systems and methods for analyzing body fluids
JP2010044037A (ja) * 2008-08-08 2010-02-25 Top Engineering Co Ltd ペーストディスペンサーのノズルの吐出口とレーザー変位センサーの結像点の位置測定装置及びその方法{positiondetectionapparatusandmethodfordetectingpositionsofnozzleorrificeandopticalpointoflaserdisplacementsensorofpastedispenser}
JP5126544B2 (ja) * 2009-01-26 2013-01-23 オムロン株式会社 光学式変位センサのセンサヘッド
WO2010095338A1 (ja) * 2009-02-18 2010-08-26 シャープ株式会社 シール剤塗布装置、及び液晶装置の製造方法
KR101089747B1 (ko) * 2009-07-29 2011-12-07 에이피시스템 주식회사 도포 장치의 제어 방법
CN101989010B (zh) * 2009-08-05 2012-11-21 北京京东方光电科技有限公司 封框胶涂布装置及方法
KR101797076B1 (ko) * 2011-04-14 2017-11-13 엘지디스플레이 주식회사 디스플레이 제조 장치 및 디스플레이 제조 방법
KR20120117073A (ko) 2011-04-14 2012-10-24 장경원 물 절약형 변기의 형성, 제조 방법.
ES2774942T3 (es) * 2011-07-22 2020-07-23 Roche Diagnostics Hematology Inc Detección y posicionamiento de aplicador de muestras
CN103128032B (zh) * 2011-12-01 2015-09-16 苏州工业园区高登威科技有限公司 一种化妆品下盖体抹油装置
CA2878419A1 (en) 2012-07-13 2014-01-16 Roche Diagnostics Hematology, Inc. Controlled dispensing of samples onto substrates
US8944001B2 (en) * 2013-02-18 2015-02-03 Nordson Corporation Automated position locator for a height sensor in a dispensing system
CN103383468B (zh) * 2013-06-28 2016-07-06 京东方科技集团股份有限公司 封框胶涂布设备的检测系统及检测方法、封框胶涂布机
CN104511388B (zh) * 2014-12-29 2017-08-04 深圳市华星光电技术有限公司 光阻涂布设备及光阻涂布方法
US9993837B2 (en) * 2015-01-26 2018-06-12 United States Gypsum Company Nozzle for sealant applicator having application enhancing formation
CN105195378B (zh) * 2015-08-19 2017-12-22 韦凤艳 一种led半导体制造用点胶设备
CN105195386B (zh) * 2015-08-19 2017-12-22 韦凤艳 一种固体热胶点胶设备
WO2017073982A1 (ko) * 2015-10-30 2017-05-04 한국생산기술연구원 3차원 스캐닝 시스템
US10343181B2 (en) * 2017-01-06 2019-07-09 The Boeing Company Automated maskless paint applicator
CN109718968A (zh) * 2018-12-26 2019-05-07 惠科股份有限公司 涂布机的喷嘴模组及喷嘴的调节方法
DE102021105583A1 (de) * 2021-03-09 2022-09-15 Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft Düse zum Auftragen eines Haftmaterials, Applikationsvorrichtung zum Auftragen eines Haftmaterials, Verfahren zum Auftragen eines Haftmaterials sowie Bauteil für ein Fahrzeug
KR102353287B1 (ko) * 2021-12-08 2022-01-19 (주)에이피엠텍 레이저 기반의 구조물 변위량 계측 장치를 이용한 위험감시 모니터링 시스템

Family Cites Families (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4734572A (en) * 1986-02-14 1988-03-29 Unimation Inc. Dual light source locating and tracking system
JPS63101704A (ja) * 1986-10-19 1988-05-06 Mitsubishi Electric Corp レ−ザ加工機用距離計測装置
JPS6415295A (en) * 1987-07-10 1989-01-19 Toshiba Corp Position detector
JPH0745116Y2 (ja) 1987-07-17 1995-10-11 エヌオーケー株式会社 ディジタル楽器用シ−ケンサのデ−タ入力装置
JPH0292483A (ja) * 1988-09-29 1990-04-03 Honda Motor Co Ltd レーザ加工装置
DE4002356C2 (de) * 1990-01-26 1996-10-17 Sick Optik Elektronik Erwin Abstandsmeßgerät
JPH03293512A (ja) * 1990-04-12 1991-12-25 Omron Corp 光センサ
JP2740588B2 (ja) * 1991-07-24 1998-04-15 日立テクノエンジニアリング株式会社 塗布描画装置
US5320250A (en) * 1991-12-02 1994-06-14 Asymptotic Technologies, Inc. Method for rapid dispensing of minute quantities of viscous material
JPH05200540A (ja) * 1992-01-21 1993-08-10 Sony Corp クリーム半田の塗布方法及び装置
US5415693A (en) * 1992-10-01 1995-05-16 Hitachi Techno Engineering Co., Ltd. Paste applicator
JP3221187B2 (ja) * 1993-11-04 2001-10-22 トヨタ自動車株式会社 粘性流体塗布方法および装置
JP3732538B2 (ja) 1994-09-29 2006-01-05 芝浦メカトロニクス株式会社 シール剤の塗布装置およびその方法
US6023323A (en) * 1994-10-20 2000-02-08 Nissan Motor Co., Ltd. Laser beam type distance measuring device
JPH091026A (ja) * 1995-06-23 1997-01-07 Hitachi Techno Eng Co Ltd ペースト塗布機
US5932012A (en) * 1995-06-23 1999-08-03 Hitachi Techno Engineering Co., Ltd. Paste applicator having positioning means
JPH09173938A (ja) * 1995-12-22 1997-07-08 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 処理液吐出装置およびその吐出ノズルと基板表面とのギャップ調整方法
JP3113212B2 (ja) * 1996-05-09 2000-11-27 富士通株式会社 プラズマディスプレイパネルの蛍光体層形成装置および蛍光体塗布方法
JPH09323056A (ja) 1996-06-05 1997-12-16 Hitachi Techno Eng Co Ltd ペースト塗布機
JP3238102B2 (ja) * 1997-07-04 2001-12-10 川崎重工業株式会社 粘性流体の供給制御装置および方法
JPH1133458A (ja) 1997-07-22 1999-02-09 Toshiba Corp 液状体の塗布装置
JPH11276962A (ja) * 1998-03-27 1999-10-12 Toshiba Corp ぺースト塗布装置
JP2002126602A (ja) * 2000-10-27 2002-05-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd 回転式塗布装置
JP3619791B2 (ja) 2001-06-26 2005-02-16 株式会社 日立インダストリイズ ペースト塗布機
JP4327386B2 (ja) 2001-09-13 2009-09-09 シャープ株式会社 液晶表示装置、液晶表示パネルの製造装置および液晶表示パネルの製造方法
KR100438576B1 (ko) * 2001-11-30 2004-07-02 엘지전자 주식회사 플라즈마 디스플레이 패널의 제조장치
KR100506642B1 (ko) * 2001-12-19 2005-08-05 마츠시타 덴끼 산교 가부시키가이샤 디스플레이 패널의 패턴 형성방법 및 형성장치
JP2003211046A (ja) 2002-01-21 2003-07-29 Nec Kagoshima Ltd シール剤塗布装置およびシール剤塗布方法
TWI242663B (en) * 2002-07-09 2005-11-01 Seiko Epson Corp Jetting method of liquid, jetting apparatus of liquid, production method of substrate for electro-optical apparatus and production method of electro-optical apparatus
KR100700176B1 (ko) * 2002-12-18 2007-03-27 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정 표시패널의 디스펜서 및 이를 이용한 노즐과 기판의갭 제어방법
KR100710683B1 (ko) * 2004-05-12 2007-04-24 주식회사 탑 엔지니어링 씰런트 디스펜서

Also Published As

Publication number Publication date
US20100043704A1 (en) 2010-02-25
KR20050108193A (ko) 2005-11-16
US20080210894A1 (en) 2008-09-04
TWI365973B (en) 2012-06-11
CN101551256B (zh) 2012-03-07
JP2008122397A (ja) 2008-05-29
JP2005324190A (ja) 2005-11-24
CN100504549C (zh) 2009-06-24
CN101549338B (zh) 2012-04-25
TW200537213A (en) 2005-11-16
TW200815826A (en) 2008-04-01
US7540924B2 (en) 2009-06-02
CN1773351A (zh) 2006-05-17
JP4749758B2 (ja) 2011-08-17
CN101549338A (zh) 2009-10-07
KR100710683B1 (ko) 2007-04-24
US20050269375A1 (en) 2005-12-08
JP5128924B2 (ja) 2013-01-23
TWI293712B (en) 2008-02-21
CN101551256A (zh) 2009-10-07
JP2008122398A (ja) 2008-05-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4940121B2 (ja) ディスペンサ用レーザー変位センサー
JP2008122398A5 (ja)
JP4824698B2 (ja) 液体塗布装置のノズルクリアランス調整方法および液体塗布装置
KR100229855B1 (ko) 페이스트 도포기
JP2006075780A (ja) 塗布装置と塗布方法
KR100825990B1 (ko) 페이스트 디스펜서의 높이측정용 변위센서
TWI531417B (zh) Paste method of paste
JP4232979B2 (ja) 液体塗布物の画像処理方法及び装置、並びに液体塗布装置
KR100984157B1 (ko) 씰런트 디스펜서 및 그 제어방법
KR100984156B1 (ko) 페이스트 디스펜서의 높이측정용 변위센서
KR100822894B1 (ko) 페이스트 도포장치의 단면적 측정 위치 보정방법
TW201109089A (en) Method for applying paste
KR20090115701A (ko) 씰런트 디스펜서 및 그 제어방법
JP2011020073A (ja) ペースト塗布装置
JP2703700B2 (ja) ペースト塗布機
KR200410967Y1 (ko) 디스플레이 패널의 디스펜싱 머신
KR101107499B1 (ko) 페이스트 디스펜서 및 그 제어방법
KR20080009240A (ko) 페이스트 도포장치의 단면적 측정 위치 보정방법

Legal Events

Date Code Title Description
RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20080723

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20080808

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110405

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20110705

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20110708

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20110805

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20110810

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110816

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120207

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120227

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150302

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4940121

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250