KR20050108193A - 씰런트 디스펜서 및 그 제어방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (13)
- 테이블에 탑재된 기판의 주면과 실린지에 장착된 노즐의 토출구와의 상대거리를 계측하는 계측수단; 그리고,씰런트가 충진된 실린지와 노즐이 동일 축 상에 위치하도록 구성된 도포 헤드부:를 포함하여 구성되는 씰런트 디스펜서.
- 제 1항에 있어서,상기 계측수단은,기판을 향해 거리측정용 광을 출력하는 발광부; 그리고,상기 기판에서 반사되는 광을 수신하는 수광부;를 포함하여 구성되는 레이저 변위센서인 것을 특징으로 하는 씰런트 디스펜서.
- 제 2항에 있어서,상기 헤드부의 실린더와 노즐은 상기 레이저 변위센서의 발광부와 수광부의 사이에 위치되는 것을 특징으로 하는 씰런트 디스펜서.
- 제 2항에 있어서,상기 헤드부의 실린더와 상기 레이저 변위센서는,상기 레이저 변위센서의 발광부와 수광부가 일직선상으로 보이는 방향에서 볼 때, 상기 레이저 변위센서에 대해 동일선상에 위치하도록 설치됨을 특징으로 하는 씰런트 디스펜서.
- 제 2항 내지 제 4 항중 어느 한 항에 있어서,상기 레이저 변위센서의 발광부와 수광부는 한 몸체를 이루며, 상기 발광부와 수광부의 사이에 노즐이 결합되는 결합공이 형성되어, 상기 결합공에 노즐이 결합되는 것을 특징으로 하는 씰런트 디스펜서.
- 제 2항 내지 제 4 항중 어느 한 항에 있어서,상기 레이저 변위센서의 발광부와 수광부는 각각 분할되어 형성되며, 상기 노즐을 사이에 두고 서로 대향되게 설치되는 것을 특징으로 하는 씰런트 디스펜서.
- 제 2항에 있어서,상기 레이저 변위센서의 발광부에서 출력된 거리측정용 광이 기판에 반사되는 지점은 기판상에 씰런트가 도포되는 지점으로부터 도포되는 씰런트에 의해 거리측정용 광이 간섭되지 않는 최소거리만큼 이격되는 것을 특징으로 하는 씰런트 디스펜서.
- 제 1항에 있어서,상기 노즐과 기판간의 간격을 조절하도록 상기 실린지 혹은, 상기 기판 중 적어도 어느 하나를 승강시키는 승강부를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 씰런트 디스펜서.
- 제 1항에 있어서,상기 실린지의 장착위치를 확인하는 비젼카메라; 그리고,상기 실린지의 결합위치를 조정하는 조정부:를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 씰런트 디스펜서.
- 제 9항에 있어서,상기 비젼카메라는,상기 계측수단이 기판표면과의 거리를 측정하는 지점과 노즐이 위치하는 지점간의 거리를 측정하는 것을 특징으로 하는 씰런트 디스펜서.
- 노즐과 기판을 접촉시키는 접촉단계;계측수단이 기판과의 거리를 측정하는 측정점과 노즐간의 거리를 측정하는 측정단계:상기 측정단계에서 측정된 거리가 설정치 이내인지를 판단하는 판단단계;상기 측정단계에서 측정된 거리가 설정치를 벗어날 경우 상기 노즐의 위치를 보정하는 보정단계: 그리고,상기 측정단계에서 측정된 거리가 설정치 이내일 경우 상기 노즐과 기판의 거리를 소정간격 이격시키고 씰런트의 도포를 시작하는 도포단계:를 포함하여 구성되는 씰런트 디스펜서의 제어방법.
- 제 11항에 있어서,상기 도포단계에서 계측수단에 의해 측정된 기판표면의 높이 변화에 따라 상기 노즐과 기판의 거리가 유지되도록 노즐을 승강시켜서 됨을 특징으로 하는 씰런트 디스펜서의 제어방법.
- 제 11항에 있어서,상기 도포단계에서 계측수단에 의해 측정된 기판표면의 높이 변화에 따라 상기 노즐과 기판의 거리가 유지되도록 기판을 승강시키는 것을 특징으로 하는 씰런트 디스펜서의 제어방법.
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