JP4939583B2 - 回路付きサスペンション基板集合体シートおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
また、支持枠の導体パターンの複数の開口部内で露出する絶縁層の部分が複数の識別マークとなる。
それにより、自動光学検査において、識別マークが明確に認識される。その結果、回路付きサスペンション基板の位置の識別精度が向上し、自動光学検査の判定精度が向上する。
さらに、回路付きサスペンション基板の一端部の位置および他端部の位置が識別される。したがって、複数の回路付きサスペンション基板が正確に同一方向に整列していない場合でも、各回路付きサスペンション基板の位置を正確に識別することができる。その結果、自動光学検査の判定精度がより向上する。
図1は、本発明の一実施の形態に係る集合体シートから作製されるサスペンション基板の平面図である。また、図2(a)および図2(b)は、それぞれ図1のサスペンション基板のA−A線断面図およびB−B線断面図である。
次に、サスペンション基板1の製造方法について説明する。製造過程で半製品として本発明の一実施の形態に係る集合体シートが作製される。
本実施の形態に係る集合体シート100は、複数のサスペンション基板1と枠部材CFとを備え、複数のサスペンション基板1は、整列状態で連結部JPにより支持される。枠部材CFの表面には、複数のサスペンション基板1に対応する複数の識別マークM1〜M4が設けられる。これにより、集合体シート100の複数のサスペンション基板1をAOIする際に、各サスペンション基板1の位置を識別することができる。
図9は、図8の集合体シート100上に形成される導体パターン25の開口部H1,H2およびその周辺を示す拡大平面図である。
以下、他の実施の形態に係る集合体シート100について、上記実施の形態と異なる点を説明する。図10は、他の実施の形態に係る集合体シート100を示す一部拡大平面図である。
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。
10 支持基板
11 絶縁層
12 クロム膜
16 導体層
18 被覆層
20 サスペンション本体部
22,27 電極パッド
24 タング部
25 導体パターン
26 開口部
28 孔部
50 AOI装置
51 基板吸着台
52 CCDカメラ
53 光源
54 画像処理装置
55 メモリ
100 集合体シート
CF 枠部材
CR 枠領域
CR1〜CR4 枠部
H1〜H4 開口部
J 連結領域
JP 連結部
M1〜M4 識別マーク
RR 除去領域
SR 基板領域
Claims (10)
- 複数の回路付きサスペンション基板と、
前記複数の回路付きサスペンション基板を整列状態で一体的に支持する支持枠とを備え、
前記複数の回路付きサスペンション基板の各々は、一端部および他端部を有し、
前記支持枠は、前記複数の回路付きサスペンション基板の一端部が連結される第1の枠部と、前記複数の回路付きサスペンション基板の他端部が連結される第2の枠部とを有し、
前記第1の枠部の表面には、自動光学検査の際に前記複数の回路付きサスペンション基板の一端部の位置をそれぞれ識別するための複数の識別マークが前記複数の回路付きサスペンション基板の一端部に対応して設けられるとともに、前記第2の枠部の表面には、自動光学検査の際に前記複数の回路付きサスペンション基板の他端部の位置をそれぞれ識別するための複数の識別マークが前記複数の回路付きサスペンション基板の他端部に対応して設けられ、
前記複数の回路付きサスペンション基板および前記支持枠は、一体的に形成される複数の絶縁層と、前記複数の絶縁層上にそれぞれ形成される複数の導体パターンとを含み、
前記複数の識別マークは、前記支持枠の導体パターンに複数の開口部が形成されることにより露出する絶縁層の部分であることを特徴とする回路付きサスペンション基板集合体シート。 - 前記第1の枠部の前記複数の識別マークは、前記複数の回路付きサスペンション基板の一端部にそれぞれ対応して設けられる複数組の第1および第2の識別マークを含み、前記第2の枠部の前記複数の識別マークは、前記複数の回路付きサスペンション基板の他端部にそれぞれ対応して設けられる複数組の第3および第4の識別マークを含むことを特徴とする請求項1記載の回路付きサスペンション基板集合体シート。
- 各回路付きサスペンション基板に対応する第1、第2、第3および第4の識別マークは、当該回路付きサスペンション基板を取り囲むように配置されることを特徴とする請求項2記載の回路付きサスペンション基板集合体シート。
- 各回路付きサスペンション基板に対応する第1、第2、第3および第4の識別マークは、当該回路付きサスペンション基板の少なくとも一部を含む四角形状領域の四隅に配置されることを特徴とする請求項2または3記載の回路付きサスペンション基板集合体シート。
- 前記第1の枠部の前記複数の識別マークは、前記複数の回路付きサスペンション基板の一端部にそれぞれ対応して設けられる複数の第1の識別マークを含み、前記第2の枠部の前記複数の識別マークは、前記複数の回路付きサスペンション基板の他端部にそれぞれ対応して設けられる複数の第2の識別マークを含むことを特徴とする請求項1記載の回路付きサスペンション基板集合体シート。
- 前記複数の開口部は、連続的に湾曲する外周を有することを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の回路付きサスペンション基板集合体シート。
- 前記複数の開口部は、略円形形状を有することを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の回路付きサスペンション基板集合体シート。
- 前記複数の開口部の直径は、0.10mm以上0.15mm以下であることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の回路付きサスペンション基板集合体シート。
- 前記支持枠の前記導体パターンに形成される前記複数の開口部の各々の内面と前記支持枠の前記導体パターンの側面との間の最短の距離が0.05mm以上であることを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載の回路付きサスペンション基板集合体シート。
- 複数の回路付きサスペンション基板と前記複数の回路付きサスペンション基板を整列状態で一体的に支持する支持枠とを含む回路付きサスペンション基板集合体シートの製造方法であって、
金属基板を用意する工程と、
前記金属基板上に前記複数の回路付きサスペンション基板用の絶縁層および前記支持枠用の絶縁層をそれぞれ形成する工程と、
前記複数の回路付きサスペンション基板用の絶縁層上および前記支持枠用の絶縁層上に前記複数の回路付きサスペンション基板用の導体パターンおよび前記支持枠用の導体パターンをそれぞれ形成することにより複数の回路付きサスペンション基板および前記支持枠を作製するとともに、前記支持枠用の導体パターンに、前記複数の回路付きサスペンション基板の位置をそれぞれ識別するための複数の識別マークを前記複数の回路付きサスペンション基板に対応して設ける工程と、
前記複数の識別マークにより各回路付きサスペンション基板の位置を識別するとともに、各回路付きサスペンション基板の自動光学検査を行う工程と、
前記複数の回路付きサスペンション基板と前記支持枠との間の不要な金属基板および絶縁層の部分を除去する工程とを備え、
前記支持枠は、前記複数の回路付きサスペンション基板の一端部が連結される第1の枠部と、前記複数の回路付きサスペンション基板の他端部が連結される第2の枠部とを有し、
前記支持枠用の絶縁層は、前記第1の枠部用の第1の絶縁層と、前記第2の枠部用の第2の絶縁層とを含み、
前記支持枠用の導体パターンは、前記複数の回路付きサスペンション基板の一端部に対応する複数の開口部を有する第1の導体パターンと、前記複数の回路付きサスペンション基板の他端部に対応する複数の開口部を有する第2の導体パターンとを含み、
前記第1の導体パターンの前記複数の開口部から露出する前記第1の絶縁層の部分が前記複数の回路付きサスペンション基板の一端部の位置をそれぞれ識別するための前記複数の識別マークとなり、
前記第2の導体パターンの前記複数の開口部から露出する前記第2の絶縁層の部分が前記複数の回路付きサスペンション基板の他端部の位置をそれぞれ識別するための前記複数の識別マークとなることを特徴とする回路付きサスペンション基板集合体シートの製造方法。
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