JP4935248B2 - 混成集積回路装置、および混成集積回路装置の製造方法 - Google Patents

混成集積回路装置、および混成集積回路装置の製造方法 Download PDF

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Description

本発明は、ICチップやコンデンサ、抵抗などの部品を一枚の回路基板の上にまとめて組み込んだ混成集積回路装置、およびその製造方法に関する。
従来より、回路基板と、回路基板に表面実装される電子部品とを備えた混成集積回路装置が知られている(特許文献1〜4参照)。そして、特許文献1に類似した構造の混成集積回路装置を、図5を用いて以下に説明する。
図5に示す回路基板10は、回路配線、該回路配線に電気的に接続された第1パッド12、および第2パッド14を有している。
また、図5に示す電子部品20は、半導体素子25、該半導体素子25を封止するモールド樹脂26、モールド樹脂26の側面から延びる第1リード22、およびモールド樹脂26の側面のうち第1リード22の反対側から延びる第2リード24を有している。そして、両2リード22、24と両パッド12、14とは、半田等の接続材料31、32によりそれぞれ電気的に接続されている。
ここで、回路基板10とモールド樹脂26やリード22、24とでは熱膨張係数が大きく異なる。すると、図5の左右方向におけるモールド樹脂26やリード22、24と回路基板10との変形量の違いに起因して、接続材料31、32の端部(図5中の符号P1、P2に示す部分)に応力集中が生じる。その結果、接続材料31、32にクラックが生じたり、接続材料31、32がパッド12、14から剥離するといった問題が生じる。
この問題に対し図5に示す混成集積回路装置では、両リード22、24および接続材料31、32を、モールド樹脂26の一部および両パッド12、14の一部とともに樹脂部材44で覆うことで、接続材料31、32の端部P1、P2に応力集中が生じることの抑制を図っている。
特開平5−326781号公報 特開2003−94479号公報 特開平11−186608号公報 特開平5−102645号公報
しかしながら、本願の発明者らの試作検討により、上記構造では樹脂部材44の端部(図5中の符号P3に示す部分)に生じる応力集中が大きくなることが分かった。そして、この応力集中により樹脂部材44の端部P3にクラックKが生じると、接続材料31、32の端部P1、P2における応力集中を樹脂部材44により抑制するといった上記効果が十分に発揮されなくなってしまう。
そこで、本発明の目的は、電子部品のリードと回路基板のパッドとを接続する接続材料の損傷を抑制する混成集積回路装置、およびその製造方法を提供することにある。
請求項1からのいずれか一項記載の発明では、第1および第2リードのうち第1リードのみが、第1接続材料、モールド樹脂の少なくとも一部および第1パッドの少なくとも一部とともに樹脂部材で覆われている。すなわち、第2リードは、第2接続材料、モールド樹脂の少なくとも一部および第2パッドの少なくとも一部とともに樹脂部材で覆われておらず、解放されている。
すると、熱膨張係数の異なる回路基板とモールド樹脂とが熱により膨張、収縮したとしても、応力は第2接続材料の端部(例えば、図1中の符号P1に示す部分)に集中しやすくなるため、第2接続材料にクラックが生じたり、第2接続材料が第2パッドから剥離するといった第2接続材料の損傷が発生する。
その結果、回路基板およびモールド樹脂の熱膨張、収縮により生じた応力は、第2接続材料の損傷部分により逃がされることとなるため、第1リードを覆う樹脂部材の端部(例えば、図1中の符号P3に示す部分)に生じる応力集中は低減される。よって、樹脂部材の端部にクラックが生じることを抑制でき、ひいては、この樹脂部材により第1接続材料の端部(例えば、図1中の符号P1に示す部分)に応力集中が生じることを抑制できる。
なお、第2リードは、電子部品を回路基板上に支持する機能を少なくとも有するダミーリードとして構成されているので、上述の如く第2接続材料が損傷することは、混成集積回路装置の品質に影響を与えない。
また、特許請求の範囲に記載の「樹脂部材で覆われている」との文言は、第1リードのうち回路基板と反対側の面が樹脂部材で覆われているという意味である。従って、第1および第2リードのうち回路基板側の面と回路基板との間には、樹脂部材が充填されていても充填されていなくてもよい。
請求項2、記載の発明では、樹脂部材は、第1リード、モールド樹脂および回路基板の間に入り込む下層樹脂部材と、第1リードに対し下層樹脂部材よりも上層に配置される上層樹脂部材とを有した構成である。
これによれば、下層樹脂部材には広がり率の小さい樹脂を採用して、第1リード、モールド樹脂および回路基板の間に樹脂部材を隙間なく入り込ませることを容易にできる。また、上層樹脂部材には広がり率の大きい樹脂を採用して、樹脂部材の厚みを大きく確保することができる。
なお、広がり率とは、樹脂を0.5g平板上にディスペンサーで塗布した後に硬化しその樹脂の高さと広がり径を測定し、広がり率=(広がり高さ/広がり径)と定義したものである。
請求項3、記載の発明では、下層樹脂部材と上層樹脂部材とは、一体に樹脂成形されている。また、請求項6記載の発明では、下層樹脂部材と上層樹脂部材とは、軟化した状態の各々の樹脂を同時に硬化させることで一体に樹脂成形されている。そのため、下層樹脂部材と上層樹脂部材との接合部分における強度低下を抑制できる。
このように軟化した状態の各々の樹脂を同時に硬化させる具体例として次の方法が挙げられる。すなわち、先ず、下層樹脂部材を低粘度化させて、モールド樹脂および回路基板の間に下層樹脂部材を入り込ませる。その後、このように低粘度化した状態の下層樹脂部材とともに上層樹脂部材を同時に硬化させる。
ここで、回路基板のうち電子部品が表面実装される側の面には、導体および該導体を覆うコーティング樹脂が形成されている場合において、樹脂部材とコーティング樹脂とが重なりあって形成されてしまうと、冷熱時の応力に起因して、樹脂部材とコーティング樹脂との接触部分にクラックが生じやすくなる。
これに対し、請求項4記載の発明では、樹脂部材の端部とコーティング樹脂の端部とは、所定の距離以上離間して配置されているので、上記クラックの発生を回避できる。
以下、本発明の複数の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、図中、同一符号を付してある。
(第1実施形態)
図1は、本発明の第1実施形態が適用された混成集積回路装置における電子部品の実装構造を示す断面図である。また、図2は、混成集積回路装置における電子部品の実装構造を示す上面図であり、図1の紙面上方から見たときの図に相当する。以下、これらの図を参照して、混成集積回路装置における電子部品の実装構造について説明する。
図1に示されるように、混成集積回路装置は、回路基板10上に表面実装(以下SMDという(SMD:Surface Mount Device))部品20を搭載したのち、回路基板10内の回路配線に電気的に接続された複数個のパッド11〜14とSMD部品20から引き延ばされた複数本のリード21〜24とが接続材料31、32を介して電気的に接続されることで構成されている。
SMD部品20は、複数本のリード21〜24と接続された半導体素子25と、この半導体素子25を封止するモールド樹脂26とを有している。複数本のリード21〜24はモールド樹脂26の側面から延びており、以下、図1の左側から延びるリード21〜23を第1リードと呼び、第1リード21〜23の反対側(図1の右側)から延びるリード24を第2リードと呼ぶ。また、第1リード21〜23と接続された接続材料およびパッドを第1接続材料31および第1パッド11〜13と呼び、第2リード24と接続された接続材料およびパッドを第2接続材料32および第2パッド14と呼ぶ。
第1リード21は電源が供給される電源端子、第1リード22はGND端子、第1リード23は信号を出力する出力端子である。そして、第2リード24は第1リード22と同電位に設定されたGND端子である。また、第2リード24の、図1(b)の上下方向長さとしての幅寸法は、第1リード21〜23各々の幅寸法よりも大きく設定されている。
なお、第2リード24の電気的機能は第1リード22と同じであるため、第2リード24および第2接続材料32等に電気接続不良が生じても、混成集積回路装置の品質に影響を与えない。そして、SMD部品20が傾かないように回路基板10上に支持することが、第2リード24の主な機能であり、従って、第2リード24はダミーリードとして構成される。
第1リード21〜23、第2リード24、モールド樹脂26および回路基板10の間には、下層樹脂部材41が入り込んで充填されている。また、第1リード21〜23は、第1接続材料31、モールド樹脂26の側面、および第1パッド11〜13の端部とともに、回路基板10のSMD部品20実装側から上層樹脂部材42で覆われている。なお、第2リード24の回路基板10側の面は、下層樹脂部材41と接触しているため下層樹脂部材41により拘束されているものの、第2リード24の回路基板10と反対側の面は、上層樹脂部材42で覆われておらず、解放されている。
回路基板10には、例えば熱膨張係数が約7ppm/℃のセラミック基板を用いてもよいし、例えば熱膨張係数が14〜17ppm/℃の樹脂基板を用いてもよい。また、SMD部品20のモールド樹脂26には、例えば約20ppm/℃の樹脂を用いて好適である。そして、回路基板10とモールド樹脂26との熱膨張係数の差が大きいほど、本実施形態の後述する効果が好適に発揮される。
なお、リード21〜24には、Cuリードを用いてもよいし、Ni−Fe合金リードを用いてもよい。接続材料31、32は、半田等の周知となっている様々な材料で構成され、鉛が含有された半田だけでなく、鉛フリー半田も適用可能となっており、接続材料31、32が強度の高くない鉛フリー半田で構成される場合に、本実施形態の後述する効果が好適に発揮される。
下層樹脂部材41および上層樹脂部材42は、熱膨張係数が例えば10〜50ppm/℃、より好ましくは16〜30ppm/℃となる材料で構成されている。例えば、両樹脂部材41、42は、フィラーが含有された熱硬化型エポキシ材料によって構成される。具体的には、両樹脂部材41、42は、フィラー材質がシリカ、フィラー形状が球形で、かつ、フィラー含有量が60〜80wt%程度とされたエポキシ樹脂で構成される。
また、下層樹脂部材41と上層樹脂部材42は、共に、フィラーを含有する樹脂、例えば熱硬化性エポキシ材料で構成されているが、それぞれに含有されるフィラーの大きさが異なったものとされている。
これら両樹脂部材41、42に含有されるフィラーの大きさは、まず、リード21〜24やSMD部品20のモールド樹脂26の下方位置まで浸透させる必要があるか否かによって決定される。すなわち、モールド樹脂26と回路基板10との間の隙間が狭い場合には、モールド樹脂26の下方に樹脂自体が回り込まない場合が発生し得る。このような場合、モールド樹脂26の下層樹脂部材41による拘束力が少なくなり、その部分が剥離し、接合強度を確保できなくなるという問題が発生する可能性がある。したがって、隙間の狭い部分に入り易い浸入性の高い樹脂材料を用いることで、上記の問題を防ぐことが可能となる。
本実施形態の場合、下層樹脂部材41をリード21〜24の下方位置まで浸透させるようにしていることから、少なくとも下層樹脂部材41に関してはリード21〜24の下方位置まで浸透できるようなフィラーの大きさとする必要がある。このような要求を満たすフィラーとしては、例えばフィラー径が30μm以下(平均径5μm)であれば良いことが確認されている。
一方、浸入性の高い樹脂は、耐久性に関しても満たしているとは限らない。このため、下層樹脂部材41を浸透性の高い樹脂材料で構成した場合、上層樹脂部材42は下層樹脂部材41の耐久性を補えるような樹脂材料とするのが好ましい。このように耐久性を補うためには、上層樹脂部材42の厚み、具体的には、第1リード21〜23の端部からの樹脂厚(以下、単に樹脂厚という)を厚くする必要がある。これは、樹脂厚が薄いと冷熱耐久試験で第1リード21〜23の端部からクラックが発生し、さらに、冷熱サイクルで接続材料31にクラックが発生して電気接続不良に至るためである。
樹脂厚は50μm以上とすれば、十分な冷熱サイクル寿命が得られることが本願の発明者らの試験により明らかになった。このように、上層樹脂部材42の樹脂厚を50μm以上とすれば、上層樹脂部材42のクラックを防止でき、冷熱サイクル寿命を向上させることができるという効果が得られる。
ただし、このように上層樹脂部材42の樹脂厚が決められる場合、上層樹脂部材42に含有されるフィラーの大きさも制約を受ける。すなわち、樹脂厚が50μmで有る場合には、それ以上の大きさのフィラーが含有されていると、フィラーが第1リード21〜23の端部に存在したときに、基材となるエポキシ材料がほとんど存在しない状態になってしまうため好ましくない。したがって、樹脂厚が50μmとされる場合にも対応できるように、上層樹脂部材42に含有されるフィラー径を例えば50μm以下(平均径10μm)とするのが好ましい。
なお、上層樹脂部材42に関しては、下層樹脂部材41と異なり、モールド樹脂26の下方位置まで入り込む必要がない。このため、下層樹脂部材41の耐久性を補う樹脂材料とするために、下層樹脂部材41に含有されたフィラーのよりも上層樹脂部材42に含有されたフィラーの方が大きくなるようにする方がより好ましい。
このようにして、両樹脂部材41、42に含有されるフィラーの大きさが設定されている。そして、本願の発明者らが行った実験によれば、これら両樹脂部材41、42に含有されるフィラーの大きさの関係は、例えば、下層樹脂部材41に含有されたフィラーに対して、上層樹脂部材42に含有されたフィラーは1.5倍以上の大きさとなることを確認している。
次に、このように構成される混成集積回路装置の製造方法を、図2および図3を用いて以下に説明する。
<表面実装工程>
先ず、図2(a)に示す如くSMD部品20を回路基板10に表面実装する。
すなわち、回路基板10の上にSMD部品20を搭載した後、SMD部品20に備えられた複数本のリード21〜24が回路基板10に備えられた複数個のパッド11〜14と対応するように配置する。次に、これら複数本のリード21〜24と複数個のパッド11〜14をそれぞれ接続材料31、32にて接合することで電気的に接続する。
<紫外線照射工程>
次に、図2(b)に示す如くSMD部品20に紫外線を照射する。
すなわち、モールド樹脂26の側面のうち第1リード21〜23の上方部分(図2(a)中の符号S1に示す部分)に紫外線を照射する。なお、モールド樹脂26の上面(図2(a)中の符号S2に示す部分)には紫外線照射が禁止されている
図3を用いて紫外線照射方法をより詳細に説明すると、先ず、複数のスロット51が内部に形成されたラック50を準備し、これらスロット51の各々に、SMD部品20が実装された状態の回路基板10を挿入配置する。この際、モールド樹脂26の紫外線照射面S1が上方を向くように、全ての回路基板10が同じ向きとなるように並べて配置する。
その後、ラック50の上方から全ての回路基板10に対して一度に紫外線を照射する。この際、ラック50を床面に対して傾けて設置(例えば10°〜20°)することで、紫外線照射面S1が紫外線照射方向に対して垂直に近くなるようにできるので、紫外線照射面S1に効率よく紫外線を照射できる。
<下層樹脂部材充填工程>
次に、図2(c)に示す如く、第1リード21〜23、第2リード24、モールド樹脂26および回路基板10の間に、溶融した状態の下層樹脂部材41を流し込む。このとき、下層樹脂部材41に含有したフィラーを球状としているため、基材となるエポキシ材料とフィラー間の潤滑性が向上し、結果として、下層樹脂部材41の注入性、浸透性を向上させることが可能となる。また、フィラーを球状とすれば、フィラーに突起状部分が存在しないため、SMD部品20や回路基板10に備えられる素子を傷付け、素子機能を低下させてしまうようなことを防止できる。
なお、第1リード21〜23、第2リード24、モールド樹脂26および回路基板10の間に下層樹脂部材41を充填させる具体的手順を以下に説明すると、先ず、所望の量の下層樹脂部材41を充填させたい箇所にディスペンサーにて塗布し、その後、塗布した下層樹脂部材41の温度を上昇させて低粘度とする。例えば、100℃で30分間かけて低粘度化させる。すると、充填させたい箇所に下層樹脂部材41が流れ込む。
<上層樹脂部材塗布工程>
次に、図2(d)に示す如く、モールド樹脂26の紫外線照射面S1と接触するように、上層樹脂部材42を塗布する。塗布範囲は、第1リード21〜23の上面、第1接続材料31、紫外線照射面S1を含むモールド樹脂26の側面、および第1パッド11〜13の端部である。
そして、上層樹脂部材42を上述の如く塗布した後、熱硬化性樹脂である下層樹脂部材41とともに例えば150℃で60分間かけて硬化させる。従って、前記モールド樹脂26および前記回路基板10の間に入り込ませるために一端低粘度化させた下層樹脂部材41と上層樹脂部材42とを同時に硬化させることで、下層樹脂部材41と上層樹脂部材42とは一体に樹脂成形されることとなる。
以上により、本実施形態に係る混成集積回路装置が完成する。
ここで、モールド樹脂26やリード22、24と回路基板10とでは熱膨張係数が大きく異なる。すると、図1の左右方向におけるモールド樹脂26と回路基板10との変形量の違いに起因して、接続材料31、32の端部(図1中の符号P1、P2に示す部分)に応力集中が生じる。その結果、接続材料31、32にクラックが生じたり、接続材料31、32がパッド11〜14から剥離するといった問題が生じる。
この問題に対し上記構成および製造方法による本実施形態によれば、第1リード21〜23および第1接続材料31を、モールド樹脂26の側面および第1パッド11〜13の端部とともに上層樹脂部材42で覆われているので、第1接続材料31の端部P1、P2に応力集中が生じることを抑制できる。
さらに、上記構成および製造方法による本実施形態によれば、第1および第2リード21〜24のうち第1リード21〜23のみが、第1接続材料31、モールド樹脂26の側面および第1パッド11〜13の端部とともに上層樹脂部材42で覆われている。すなわち、第2リード24は、第2接続材料32、モールド樹脂26の側面および第2パッド14の端部とともに上層樹脂部材42で覆われておらず、解放されている。
すると、熱膨張係数の異なる回路基板10とモールド樹脂26とが熱により膨張、収縮したとしても、応力は第2接続材料32の端部(図1中の符号P1に示す部分)に集中しやすくなるため、第2接続材料32にクラックが生じたり、第2接続材料32が第2パッドから剥離するといった第2接続材料32の損傷が発生する。
その結果、回路基板10およびモールド樹脂26の熱膨張、収縮により生じた応力は、第2接続材料32の損傷部分により図1の左右方向に逃がされることとなるため、第1リード21〜23を覆う上層樹脂部材42の端部(図1中の符号P3に示す部分)に生じる応力集中は低減される。よって、上層樹脂部材42の端部P3にクラックが生じることを抑制でき、ひいては、この上層樹脂部材42により第1接続材料31の端部(図1中の符号P1に示す部分)に応力集中が生じることを抑制できる。
なお、第2リード24は上述の如くダミーリードとして構成されているので、第2接続材料32が上述の如く損傷することは、混成集積回路装置の品質に影響を与えない。
(第2実施形態)
図4は本第2実施形態に係る混成集積回路装置における、電子部品の実装構造を示す断面図である。本第2実施形態に係る回路基板10は両面基板であり、回路基板10のうちSMD部品20が実装された面の反対側の面には、電子部品としてのコンデンサ60が実装されている。すなわち、コンデンサ60は、半田等の接続材料33により回路基板10の回路配線16に電気的に接続されている。
導体としての回路配線16は、回路基板10に形成されたスルーホール15内部の配線17を介してSMD部品20が実装される側に形成された回路配線18と電気接続されている。回路配線18はコーティング樹脂43により覆われている。また、コーティング樹脂43上には、接着剤71を介して放熱板70が設けられている。
ここで、コーティング樹脂43と上層樹脂部材42とが重なりあって形成されてしまう場合には、冷熱時の応力に起因して、コーティング樹脂43と上層樹脂部材42との接触部分にクラックが生じやすくなる。これに対し、本第2実施形態では、そして、コーティング樹脂43の端部と上層樹脂部材42の端部とが、所定の距離Lだけ離間するように、コーティング樹脂43および上層樹脂部材42は形成されている。そのため、上記クラックの発生を回避できる。
(他の実施形態)
上記各実施形態では、第2リード24の上面(回路基板10と反対側の面)は、上層樹脂部材42で覆われていないが、第2リード24の上面を上層樹脂部材42により部分的に覆うようにしてもよい。すなわち、上層樹脂部材42がモールド樹脂26の側面と第2パッド14とを連結するように覆うことは、第2リード24および接続材料32を図1の左右方向に解放できなくなるため許されないが、モールド樹脂26の側面と第2パッド14とが連結しないよう上層樹脂部材42で覆う構造は許される。
具体的には、例えば、第2リード24の上面のうちモールド樹脂26に隣接する部分のみを上層樹脂部材42で覆い、第2リード24の上面のうち接続材料32または回路基板10と隣接する部分は上層樹脂部材42で覆わないようにしてもよい。また、第2リード24の上面のうち接続材料32または回路基板10と隣接する部分のみを上層樹脂部材42で覆い、第2リード24の上面のうちモールド樹脂26に隣接する部分は上層樹脂部材42で覆わないようにしてもよい。
また、上記各実施形態では、モールド樹脂26の上面への紫外線照射を禁止しているが、本発明の実施にあたり、モールド樹脂26の上面への紫外線照射を許可するようにしてもよい。
このように、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の実施形態に適用可能である。
本発明の第1実施形態が適用された混成集積回路装置における、電子部品の実装構造を示す断面図。 図1の混成集積回路装置を示す上面図である。 第1実施形態に係る混成集積回路装置の製造方法を説明する模式図である。 本発明の第2実施形態が適用された混成集積回路装置における、電子部品の実装構造を示す断面図である。 従来の特許文献1に類似した構造の混成集積回路装置を示す断面図である。
符号の説明
10:回路基板、11、12、13:第1パッド、14:第2パッド、20:SMD部品(電子部品)、21、22、23:第1リード、24:第2リード、25:半導体素子、26:モールド樹脂、31:第1接続材料、32:第2接続材料、41:下層樹脂部材、42:上層樹脂部材、43:コーティング樹脂、50:ラック。

Claims (6)

  1. 回路配線、該回路配線に電気的に接続された第1パッド、および第2パッドを有する回路基板と、
    半導体素子、該半導体素子を封止するモールド樹脂、前記モールド樹脂の側面から延びる第1リード、および前記モールド樹脂の側面のうち前記第1リードの反対側から延びる第2リードを有し、前記回路基板に表面実装される電子部品と、
    前記第1リードと前記第1パッドとを電気的に接続する第1接続材料と、
    前記第2リードと前記第2パッドとを電気的に接続する第2接続材料と、
    を備え、
    前記第2リードは、前記電子部品を前記回路基板上に支持する機能を少なくとも有するダミーリードとして構成され、
    前記第1および第2リードのうち前記第1リードのみが、第1接続材料、前記モールド樹脂の少なくとも一部、および前記第1パッドの少なくとも一部とともに樹脂部材で覆われていることを特徴とする混成集積回路装置。
  2. 前記樹脂部材は、前記第1リード、前記モールド樹脂および前記回路基板の間に入り込む下層樹脂部材と、前記第1リードに対し前記下層樹脂部材よりも上層に配置される上層樹脂部材とを有した構成である請求項1記載の混成集積回路装置。
  3. 前記下層樹脂部材と前記上層樹脂部材とは、一体に樹脂成形されている請求項2記載の混成集積回路装置。
  4. 前記回路基板のうち前記電子部品が表面実装される側の面には、導体および該導体を覆うコーティング樹脂が形成されており、
    前記樹脂部材の端部と前記コーティング樹脂の端部とは、所定の距離以上離間して配置されている請求項1から3のいずれか一項記載の混成集積回路装置。
  5. 回路配線、該回路配線に電気的に接続された第1パッド、および第2パッドを有する回路基板と、
    半導体素子、該半導体素子を封止するモールド樹脂、前記モールド樹脂の側面から延びる第1リード、および前記モールド樹脂の側面のうち前記第1リードの反対側から延びる第2リードを有し、前記回路基板に表面実装される電子部品と、
    前記第1リードと前記第1パッドとを電気的に接続する第1接続材料と、
    前記第2リードと前記第2パッドとを電気的に接続する第2接続材料と、
    を備え、
    前記第2リードは、信号の入出力を行わないダミーリードとして構成され、
    前記第1および第2リードのうち前記第1リードのみが、第1接続材料、前記モールド樹脂の少なくとも一部、および前記第1パッドの少なくとも一部とともに樹脂部材で覆われており、
    前記樹脂部材は、前記第1リードおよび前記モールド樹脂と前記回路基板との間に入り込む下層樹脂部材と、前記第1リードに対し前記下層樹脂部材よりも上層に配置される上層樹脂部材とを有した構成であり、
    前記下層樹脂部材と前記上層樹脂部材とは、一体に樹脂成形されていることを特徴とする混成集積回路装置。
  6. 請求項2から5のいずれか一項に記載の混成集積回路装置の製造方法であって、
    前記下層樹脂部材と前記上層樹脂部材とは、軟化した状態の各々の樹脂を同時に硬化させることを特徴とする混成集積回路装置の製造方法。
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