JP4891224B2 - 半導体装置の製造方法、及び本方法により製造される半導体装置 - Google Patents

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Description

本発明は概して半導体装置に関し、特に半導体装置内部の受動素子に関する。
キャパシタ、抵抗体、インダクタなどのような受動素子を半導体装置内部で使用して非常に広い範囲の機能を実行する。受動素子は特定の機能または機能群に関して、例えば受動素子のサイズ及び寸法を制御することにより、そして/または受動素子を形成するために使用される材料を制御することにより最適化することができる。一例として、半導体装置の層間誘電体(ILD)領域の内部に形成される金属−絶縁体−金属(MIM)キャパシタについて考察する。高い容量密度が望ましい場合、MIMキャパシタは、キャパシタの厚さが出来る限り薄くなるように構成することができ、そして/または高い誘電率を有する材料を使用して構成することができる。他方、高性能キャパシタが望ましい場合、MIMキャパシタは、高い容量直線性、低い容量リーク、及び低い容量温度係数(TCC)を実現する材料を使用して構成することができる。
多くの用途に関して、高性能キャパシタ及び高密度キャパシタの両方が1つの集積回路の上で実現することが望ましい。しかしながら、現在の形成方法ではこのような回路を実現することができない。従って、高性能キャパシタ及び高密度キャパシタの両方が1つの集積回路の上で集積化されるような半導体素子、及び半導体素子を形成する方法が必要になる。
本発明の一の実施形態においては、半導体装置を形成する方法では、半導体基板であって、パターニング済み配線層が当該半導体基板の上に形成される構成の半導体基板を設け、第1誘電体材料をパターニング済み配線層の上に堆積させ、第1電極材料を第1誘電体材料の上に堆積させ、第2誘電体材料を第1電極材料の上に堆積させ、第2電極材料を第2誘電体材料の上に堆積させ、第3誘電体材料を第2電極材料の上に堆積させ、第3誘電体材料及び第2電極材料をパターニングして第1キャパシタの上部電極を形成し、そして第2誘電体材料及び第1電極材料をパターニングして第2キャパシタの上部電極を形成して、第1キャパシタの電極を形成し、かつ抵抗体を画定する。本発明の別の実施形態においては、パターニング済み配線層は第2キャパシタの下部電極を構成し、そして第1キャパシタには設けず、更に第1電極材料をパターニングする処理では抵抗体を画定しない。
説明を簡単かつ明瞭にするために、これらの図面に描かれる図は構造の概要を示し、そして公知の特徴及び方法に関する記述及び詳細を省略して本発明を不必要に不明瞭にすることがないようにしている。更に、これらの図面に描かれる図に含まれる構成要素は必ずしも寸法通りには描かれていない。例えば、これらの図における幾つかの構成要素の寸法を他の構成要素に対して誇張して描いて本発明の実施形態を理解し易くしている。異なる図の同じ参照番号は同じ構成要素を指す。
記述及び請求項において用いられているとすると、「第1」、「第2」、「第3」、「第4」などの用語は、同様な構成要素を区別するために使用し、必ずしも特定の連続する、または時系列に従った順番を表すために使用するのではない。ここで、このように使用する用語は適切な条件の下では入れ替え可能であるので、本明細書に記載する本発明の実施形態が、例えば本明細書に記載する例示の順番以外の、またはその他の順番以外の順番で動作することができることを理解されたい。また、「備える(comprise)」、「含む(include)」、「有する(have)」、及びこれらの全ての変形は包括的な意味を持たせているので、一連の構成要素を備えるプロセス、方法、製品、または装置は必ずしもこれらの構成要素に限定されるのではなく、明らかには列挙されていない、またはこのようなプロセス、方法、製品、または装置に固有の他の構成要素を含むことができるものとする。
記述及び請求項において用いられているとすると、「左の」、「右の」、「前の」、「後の」、「頂部の」、「底の」「上に」「下に」などの用語は、表現上の目的で使用し、必ずしも恒久的な相対位置を表わすために使用するのではない。ここで、このように使用する用語は適切な条件の下では入れ替え可能であるので、本明細書に記載する本発明の実施形態が、例えば本明細書に記載する例示の配置以外の、または他の配置以外の配置で動作することができることを理解されたい。本明細書において使用する「接続される(coupled)」という用語は、電気的に、機械的に、または他の方法で直接的に、或いは間接的に接続されるとして定義される。
本明細書において使用する「over」という単語は、必ずではないが、「on」を意味することを理解されたい。従って、例えば「第2誘電体材料を第1電極材料を覆って堆積させる」というフレーズは、本明細書において記載される複数の方法の内の少なくとも一つの方法の少なくとも一つの実施形態では、「第2誘電体材料を第1電極材料の上に堆積させる」処理を意味することができる。本明細書における同様のフレーズは、単語「over」及び「on」に関して同様の意味を有することができる。
図1は、本発明の或る実施形態による形成プロセスにおける特定の工程での半導体装置100の一部分の断面図である。図1に示すように、半導体装置100は半導体基板110と、半導体基板110上のパターニング済み配線層120と、パターニング済み配線層120上の誘電体材料130と、誘電体材料130上の電極材料140と、電極材料140上の誘電体材料150と、誘電体材料150上の電極材料160と、そして電極材料160上の誘電体材料170と、を備える。
一例として、パターニング済み配線層120は、一の実施形態では、ダマシン銅(damascene copper)を含む銅を含むことができる。パターニング済み配線層120はアルミニウム、またはこの技術分野では公知の別の導電材料を含むこともできる。一の実施形態では、パターニング済み配線層120は部分121と、そして部分121からギャップ123によって分離される部分122と、を含むことができる。少なくとも一つの実施形態では、ギャップ123は二酸化シリコン領域、二酸化シリコン系材料領域、または低誘電率材料領域を表わす。
別の例として、誘電体材料130は窒化シリコン、または酸素を含有しない別の誘電体材料を含むことができる。特定の実施形態では、誘電体材料130はプラズマを利用して成膜された窒化物(plasma−enhanced nitride:PEN)を含む。
更に別の例として、誘電体材料150は約8よりも大きい、好適には約20よりも大きい実効誘電率を有する材料、または複数の材料の組み合わせを含むことができる。一の実施形態では、誘電体材料150は、第1酸化ハフニウム層と、第1酸化ハフニウム層上の酸化タンタル層と、そして酸化タンタル層上の第2酸化ハフニウム層と、を含む積層体を含む。他の実施形態では、誘電体材料150は、酸化ジルコニウム、酸化アルミニウム、酸化チタン、チタン酸バリウムストロンチウム(BST)、窒化シリコン(PENを含む)を含むことができる。
別の実施形態では、誘電体材料150は積層構造を含むことができ、この積層構造では、前述の複数の材料、またはここでは触れない他の同様の材料の内のいずれかから成る複数の層が積み重ねられる。これらの別の実施形態では、電極材料のような隣接層に接触することになる積層構造の特定の層は、当該材料に適合することができるように選択される。この表現では、適合性とは、材料密着性、化学的及び電気的相互作用性などの観点での適合性を意味する。一例として、酸化タンタルは銅の上部に直接配置することができない、というのは、酸化タンタルが銅を酸化するからである。別の例として、酸化タンタルは窒化タンタルの上部に直接配置することができない、というのは、酸素が窒化タンタルに拡散し、かつ窒素が酸化タンタルに拡散して電極材料の電気特性及び誘電体材料の誘電特性にそれぞれ悪影響を及ぼすからである。これとは異なり、酸化ハフニウムは窒化タンタルと不所望の反応を起こすことがない。
更に別の実施形態では、誘電体材料150は混合体を含むことができ、この混合体では、前述の複数の材料、またはここでは触れない他の同様の材料の内のいずれかの種々の組み合わせのいずれかを、種々の比率の内のいずれかの比率で混合して誘電体材料層または誘電体材料層群を形成する。
更に別の例として、電極材料140は窒化タンタル、窒化チタン、タンタル、タングステン系金属、ニッケル系金属、他の高融点金属、及び同様の材料を含むことができる。以下に更に議論するように、電極材料140の一部分を、本発明の或る実施形態において抵抗体として使用することができ、本発明の或る実施形態では、電極材料160のどの部分も抵抗体としては使用しない。従って、電極材料160は電極材料140として上に列挙した複数の材料の内のいずれかを含むことができ、そして銅、アルミニウム、金などのような更に高い導電率の材料を含むこともできる。
誘電体材料170は誘電体材料130と同様の組成とすることができ、かつ例えば、アモルファス炭素を含むこともできる。誘電体材料170は少なくとも一つの実施形態では、電気的機能を提供することがないが、ビアエッチングのエッチング停止層として、そして/または電極材料160に対する後の工程でのパターニングの間のハードマスクとして機能することができる。MIMキャパシタにおける絶縁体として機能する他に、誘電体材料150及び130はエッチング停止層として機能することもでき、そして誘電体材料150は更に、電極材料160に対する後の工程でのパターニングの間のハードマスクとして機能することができる。
図2は、本発明の或る実施形態による形成プロセスにおける後の工程での半導体装置100の一部分の断面図である。図2に示すように、誘電体材料170及び電極材料160をパターニングしてキャパシタ210の電極212を形成している。図2に更に示すように、誘電体材料150及び電極材料140をパターニングしてキャパシタ220の電極221を形成し、キャパシタ210の電極212を形成し、そして抵抗体230を画定している。キャパシタ210及び220、及び抵抗体230の少なくとも一部分はパターニング済み配線層120の上に形成される。
本発明の一の実施形態では、パターニング済み配線層120の部分121はキャパシタ210の電極213を構成する。同じ、または別の実施形態では、パターニング済み配線層120の部分122はキャパシタ220の電極222を構成する。
一例として、電極211はキャパシタ210の上部電極とすることができ、電極212はキャパシタ210の中間電極とすることができ、そして電極213はキャパシタ210の下部電極とすることができる。別の例として、電極221はキャパシタ220の上部電極とすることができ、そして電極222はキャパシタ220の下部電極とすることができる。
一の実施形態では、キャパシタ210は高い容量密度を有することができる。別の表現をすると、キャパシタ210は高い単位面積当たり容量を有することができ、この場合、1平方マイクロメートル当たり約4フェムトファラド(fF/μm)以上の単位面積当り容量(C/A)として定義される。同じ、または別の実施形態では、キャパシタ220はキャパシタ210よりも単位面積当たり容量が小さいが、キャパシタ210よりも高い品質を有することができる。一例として、キャパシタ220は約1.6fF/μmの単位面積当たり容量(C/A)を有することができる。キャパシタ220はキャパシタ210よりも高い品質を有することができる、というのは理由の一つとして、キャパシタ220は、例えばリーク電流、直線性、及び/又は信頼度に関して、キャパシタ210を構成する複数の材料の内の少なくとも幾つかの材料よりも良好な特性を示す誘電体材料を含むからである。少なくとも一つの実施形態では、キャパシタ210及び220の一部分を構成する複数の誘電体材料の差はまた、キャパシタ210とキャパシタ220との間の品質の差、及び単位面積当たり容量の差に影響を与える。従って、この少なくとも一つの実施形態では、キャパシタ210を構成する複数の誘電体層の内の少なくとも一つの誘電体層は、キャパシタ220を構成する複数の誘電体層の内の少なくとも一つの誘電体層の材料とは異なる材料を含む。キャパシタ210及び220に関する幾つかの許容される誘電体材料の特定の例が上に挙げられている。
一例として、キャパシタ220は、高い直線性を示す材料、低い容量温度係数(TCC)を示す材料、及び低いリーク電流を示す材料の内の一つ以上を有することができ、これによってキャパシタ220を高性能キャパシタとすることができる。抵抗体230は、例えば高性能薄膜抵抗体とすることができる。
キャパシタ210及びキャパシタ220の両方が半導体基板110の上に、または上方に位置するので、半導体装置100は性能に関して、単一キャパシタが高い容量密度、または高い直線性、低い容量温度係数(TCC)、または低いリーク電流を示すとしても、単一キャパシタしか持たない半導体装置よりもずっと高い柔軟性を提供する。単なる一つの例として、半導体装置100のような半導体装置は無線通信システム及び有線通信システムの両方において非常に有用と成り得る。
図3は、本発明の或る実施形態による形成プロセスにおける後の工程での半導体装置100の一部分の断面図である。図3に示すように、電気コンタクト311はキャパシタ210の電極213に接続され、電気コンタクト312及び313はキャパシタ210の電極211に接続され、そして電気コンタクト314はキャパシタ210の電極212に接続されている。図3に更に示すように、電気コンタクト321及び322はキャパシタ220の電極221に接続され、電気コンタクト323はキャパシタ220の電極222に接続され、そして電気コンタクト331及び332は抵抗体230に接続されている。この技術分野では公知のように、抵抗体230は或る実施形態では、図3に示す2つの電気コンタクト331及び332に加えて更に別の電気コンタクト群に接続することができる。同様に、キャパシタ210の電極211,212,及び213、及びキャパシタ220の電極221及び222は、電極211,212,213,221,及び222に接続され、かつ図3に示す1つ、または2つの電気コンタクトに加えて更に別の電気コンタクト群に接続することができる。
図示の実施形態では、キャパシタ210は並列接続される2つのMIMキャパシタを有する積層型キャパシタを構成する。複数のMIMキャパシタを並列接続することにより、キャパシタ210は、非積層型キャパシタよりも高い単位面積当たり容量(C/A)を有することができるが、非積層型キャパシタよりも品質が劣る可能性がある、というのは、積層型キャパシタの誘電体材料の品質が悪いからである。
一の実施形態では、少なくとも電気コンタクト311,312,313,314,321,322,及び323は互いにほぼ同時に形成される。図示しない実施形態では、少なくとも電気コンタクト312,313,314,321,322,及び323は互いにほぼ同時に形成されるが、電気コンタクト311は形成されない。図示しない当該実施形態では、キャパシタ210の電極213は部分121を通して集積回路の別の部分に電気的に接続される。この技術分野の当業者であれば、当該部分121は、必ずではないが、電極211または212の全体の下に延在することができることが理解できるであろう。同様に、部分122は、必ずではないが、電極221の全体の下に延在することができる。更に、部分121及び122は、電極211,212,及び221の下に位置する連続体である必要はない。
図4は、半導体装置100を本発明の或る実施形態に従って形成する方法400を示すフローチャートである。方法400は、多数ある工程の中でもとりわけ、2つのパターニング工程を含み、方法400がマスク2枚の製造方法(two−mask manufacturing method)であることを示し、この2枚マスク製造方法では、1枚マスクMIMキャパシタ及び2枚マスクMIMキャパシタを抵抗体とともに1つの集積回路に集積化する。この技術分野の当業者であれば、上記の2つのマスクは、MIMキャパシタを本発明の或る実施形態に従って形成するために必要なマスクであり、かつ更に別のマスクが、例えばパターニング済み配線層、上部配線構造、基本MIMキャパシタ構造を形成するためには必要ではない任意に用いられる層、などのような集積回路の他の部分を形成するために必要となることが理解できるであろう。
方法400の工程410では、パターニング済み配線層が形成されている半導体基板を設ける。一例として、半導体基板は、図1に示した半導体基板110と同様のものとすることができ、パターニング済み配線層は、これもまた図1に示したパターニング済み配線層120と同様のものとすることができる。
方法400の工程420では、第1誘電体材料をパターニング済み配線層の上に堆積させる。一例として、第1誘電体材料は、図1に示した誘電体材料130と同様のものとすることができる。
方法400の工程430では、第1電極材料を第1誘電体材料の上に堆積させる。一例として、第1電極材料は、図1に示した電極材料140と同様のものとすることができる。
方法400の工程440では、第2誘電体材料を第1電極材料の上に堆積させる。一例として、第2誘電体材料は、図1に示した誘電体材料150と同様のものとすることができる。
方法400の工程450では、第2電極材料を第2誘電体材料の上に堆積させる。一例として、第2電極材料は、図1に示した電極材料160と同様のものとすることができる。
方法400の工程460では、第3誘電体材料を第2電極材料の上に堆積させる。一例として、第3誘電体材料は、図1に示した誘電体材料170と同様のものとすることができる。
方法400の工程470では、第3誘電体材料及び第2電極材料を、第1マスクを使用してパターニングして、第1キャパシタの上部電極を形成する。一例として、第1キャパシタは、図2に示したキャパシタ210と同様のものとすることができ、そして第1キャパシタの上部電極は、これもまた図2に示した電極211と同様のものとすることができる。
方法400の工程480では、第2誘電体材料及び第1電極材料を、第2マスクを使用してパターニングして、第2キャパシタの上部電極を形成し、第1キャパシタの中間電極を形成し、及び、抵抗体を画成する。一例として、第2キャパシタはキャパシタ220と同様のものとすることができ、第2キャパシタの上部電極は電極221と同様のものとすることができ、中間電極は電極212と同様のものとすることができ、そして抵抗体は抵抗体230と同様のものとすることができ、これらの電極221,212及び抵抗体230は全てが図2に示されている。
方法400の工程490では、第1キャパシタの少なくとも上部電極及び中間電極に、かつ第2キャパシタの少なくとも上部電極に接続される少なくとも一つの電気コンタクトを形成するとともに、抵抗体との少なくとも2つの電気コンタクトを形成する。一例として、電気コンタクト群は、全てが図3に初めて示されている電気コンタクト311,312,313,314,321, 322,323,331,及び332と同様のものとすることができる。方法400の一の実施形態においては、工程480では、これらの電気コンタクトを互いに同時に形成する。
方法400の一の実施形態では、パターニング済み配線層は第2キャパシタの下部電極を構成し、かつ第1キャパシタには設けない。方法400の異なる実施形態では、パターニング済み配線層は第1キャパシタの下部電極及び第2キャパシタの下部電極を構成する。方法400の当該異なる実施形態では、第1キャパシタの電極は第1キャパシタの中間電極を含み、そして第1キャパシタの中間電極は第1キャパシタの上部電極と第1キャパシタの下部電極との間に位置する。
図5は、本発明の或る実施形態による形成プロセスにおける特定の工程での半導体装置500の一部分の断面図である。図5に示すように、半導体装置500は半導体基板510と、半導体基板510上のパターニング済み配線層520と、パターニング済み配線層520上の誘電体材料530と、誘電体材料530上の電極材料540と、電極材料540上の誘電体材料550と、誘電体材料550上の電極材料560と、そして電極材料560上の誘電体材料570と、を備える。一例として、半導体基板510、パターニング済み配線層520、誘電体材料530、電極材料540、誘電体材料550、電極材料560、及び誘電体材料570は、図1に示した半導体基板110、パターニング済み配線層120、誘電体材料130、電極材料140、誘電体材料150、電極材料160、及び誘電体材料170のそれぞれと同様のものとすることができる。図示の実施形態では、パターニング済み配線層520は部分521と、部分521からギャップ523によって分離される部分522と、を含む。部分521、部分522、及びギャップ523は、図1に示した部分121、部分122、及びギャップ123のそれぞれと同様のものとすることができる。
図5に更に示すように、誘電体材料530をパターニングして、パターニング済み配線層520の部分525を露出させる開口531を形成しており、そして電極材料540を誘電体材料530の上、及び開口531の内部に堆積させて電極材料540がパターニング済み配線層520の部分525に物理的、かつ電気的にコンタクトする、または接続されるようにしている。
図6は、本発明の或る実施形態による形成プロセスにおける後の工程での半導体装置500の一部分の断面図である。図6に示すように、誘電体材料570及び電極材料560をパターニングして電極611を形成している。一例として、電極611は、図2に示した電極211と同様のものとすることができる。
図7は、本発明の或る実施形態による形成プロセスにおける後の工程での半導体装置500の断面図である。図7に示すように、電極611はキャパシタ710の電極である。図7に更に示すように、誘電体材料550及び電極材料540をパターニングしてキャパシタ720の電極721を形成し、キャパシタ710の電極712を形成し、そして抵抗体730を画定している。キャパシタ710及び720、及び抵抗体730の少なくとも一部分はパターニング済み配線層520の上に形成される。一例として、電極721及び抵抗体730は、それぞれ電極221及び抵抗体230と同様のものとすることができ、電極221及び抵抗体230は共に図2に初めて示される。別の例として、キャパシタ710は、図2に示したキャパシタ210と、キャパシタ710がキャパシタ210のように、高い容量密度を有することができるという点で同様のものとすることができる。更に別の例として、キャパシタ720は、図2に示したキャパシタ220と、キャパシタ220がキャパシタ210よりも高い品質を有することができるのと同じように、キャパシタ720がキャパシタ710よりも高い品質を有することができるという点で同様のものとすることができる。
本発明の一の実施形態では、パターニング済み配線層520の部分521はキャパシタ710の電極713を構成する。当該実施形態では、電極713及び電極712はキャパシタ710の下部電極を構成する。部分521が電極713を構成しない、異なる実施形態では、電極712がキャパシタ710の下部電極を構成する。同じ、または別の実施形態では、パターニング済み配線層520の部分522はキャパシタ720の電極722を構成する。
図8は、本発明の或る実施形態による形成プロセスにおける後の工程での半導体装置500の一部分の断面図である。図8に示すように、電気コンタクト811はキャパシタ710の電極713に接続され、電気コンタクト812及び813はキャパシタ710の電極611に接続され、そして電気コンタクト814はキャパシタ710の電極712に接続されている。この技術分野の当業者であれば、電気コンタクト814は、パターニング済み配線層520の部分521が設けられない実施形態においてのみ形成されることが理解できるであろう。部分521が設けられる実施形態では、電極712への電気コンタクトは部分521を通して行なわれる。
図8に更に示すように、電気コンタクト821及び822はキャパシタ720の電極721に接続され、電気コンタクト823はキャパシタ720の電極722に接続され、そして電気コンタクト831及び832は抵抗体730に接続されている。この技術分野では公知のように、抵抗体730は或る実施形態では、図8に示す2つの電気コンタクト831及び832の他に、更に別の電気コンタクト群に接続することができる。同様に、キャパシタ710の電極611,712,及び713、及びキャパシタ720の電極721及び722は、電極611,712,713,721,及び722に接続され、かつ図8に示す1つ、または2つの電気コンタクトの他に、更に別の電気コンタクト群に接続することができる。
一の実施形態では、少なくとも電気コンタクト811,812,813,814,821,822,及び823は互いにほぼ同時に形成される。図示しない実施形態では、少なくとも電気コンタクト812,813,814,821,及び822は互いにほぼ同時に形成されるが、電気コンタクト811及び/又は電気コンタクト823は形成されない。図示しない当該実施形態では、キャパシタ710の電極713及び/又はキャパシタ720の電極722は部分521及び部分522をそれぞれ通して集積回路の別の部分に電気的に接続される。
図9は、半導体装置500を本発明の或る実施形態に従って形成する方法900を示すフローチャートである。方法900は、多数ある工程の中でもとりわけ、3つのパターニング工程を含み、方法900がマスク3枚の製造方法(three−mask manufacturing method)であることを示し、この形成方法では、1マスクMIMキャパシタ及び3マスクMIMキャパシタを抵抗体とともに1つの集積回路に集積化する。この技術分野の当業者であれば、前出の文において触れた3つのマスクは、MIMキャパシタを本発明の或る実施形態に従って形成するために必要なマスクであり、かつ更に別のマスクが、例えばパターニング済み配線層、上部配線構造、基本MIMキャパシタ構造を形成するためには必要ではない任意に用いられる層、などのような集積回路の他の部分を形成するために必要となることが理解できるであろう。
方法900の工程905では、パターニング済み配線層が当該半導体基板の上に形成されている半導体基板を設け、この場合、パターニング済み配線層の各部分が第1キャパシタの下部電極及び第2キャパシタの下部電極を画定する。一例として、半導体基板は、図5に示した半導体基板510と同様のものとすることができ、そしてパターニング済み配線層は、これもまた図5に示したパターニング済み配線層520と同様のものとすることができる。別の例として、第1キャパシタは、図7に示したキャパシタ710と同様のものとすることができ、そして第2キャパシタは、これもまた図7に示したキャパシタ720と同様のものとすることができる。更に別の例として、パターニング済み配線層の内、第1及び第2キャパシタの下部電極を画定する部分は、図5に示した部分521及び522と同様のものとすることができる。
方法900の工程910では、第1誘電体材料をパターニング済み配線層の上に堆積させる。一例として、第1誘電体材料は、図5に示した誘電体材料530と同様のものとすることができる。
方法900の工程915では、第1誘電体材料を第1マスクを使用してパターニングして、パターニング済み配線層の一部分を露出させる開口を形成する。一例として、開口は開口531と同様のものとすることができ、かつパターニング済み配線層の露出部分は部分525と同様のものとすることができ、これらの開口531及び露光部分は共に、図5に初めて示される。
方法900の工程920では、第1電極材料を第1誘電体材料の上に、かつ開口の内部に堆積させて、第1電極材料がパターニング済み配線層の露出部分とコンタクトするようにする。一例として、第1電極材料は、図5に示した電極材料540と同様のものとすることができる。
方法900の工程925では、第2誘電体材料を第1電極材料の上に堆積させる。一例として、第2誘電体材料は、図5に示した誘電体材料550と同様のものとすることができる。
方法900の工程930では、第2電極材料を第2誘電体材料の上に堆積させる。一例として、第2電極材料は、図5に示した電極材料560と同様のものとすることができる。
方法900の工程935では、第3誘電体材料を第2電極材料の上に堆積させる。一例として、第3誘電体材料は、図5に示した誘電体材料570と同様のものとすることができる。
方法900の工程940では、第3誘電体材料及び第2電極材料を、第2マスクを使用してパターニングして、第1キャパシタの上部電極を形成する。一例として、第1キャパシタの上部電極は、図6に示した電極611と同様のものとすることができる。
方法900の工程945では、第2誘電体材料及び第1電極材料を、第3マスクを使用してパターニングして、第2キャパシタの上部電極と、第1キャパシタの下部電極の少なくとも一部分とを形成する。一例として、第2キャパシタの上部電極は、図7に示した電極721と同様のものとすることができ、そして第1キャパシタの下部電極、または下部電極の一部分は、図7に示した電極712と同様のものとすることができる。一の実施形態では、工程945では更に、抵抗体を形成することができる。一例として、抵抗体は、図7に示した抵抗体730と同様のものとすることができる。
方法900の工程950では、第1キャパシタの上部電極及び下部電極の各々に、かつ第2キャパシタの上部電極及び下部電極の各々に接続される少なくとも一つの電気コンタクトを形成し、これらの電気コンタクトの各々は互いにほぼ同時に形成される。別の実施形態においては、工程950では、第1キャパシタの上部電極に、かつ第2キャパシタの上部電極及び下部電極の各々に接続されるが、第1キャパシタの下部電極には接続されない電気コンタクトを形成することができる。当該別の実施形態では、キャパシタ710の電極713は部分521を通して集積回路の別の部分に電気的に接続される。更に別の実施形態においては、工程950では、第1キャパシタの上部電極と、そして第2キャパシタの上部電極とに接続されるが、(1)第1キャパシタの下部電極、または第2キャパシタの下部電極には接続されない、そして/または(2)第2キャパシタの下部電極には接続されない電気コンタクトを形成することができる。これらの別の実施形態では、キャパシタ710の電極713、及び/又はキャパシタ720の電極722は部分521及び522をそれぞれ通して集積回路の別の部分に電気的に接続される。
抵抗体を形成する方法900の或る実施形態においては、工程950または別の工程では更に、抵抗体との電気コンタクトを形成することができる。一例として、これらの電気コンタクトは、全てを図8に示した電気コンタクト811,812,813,814,821, 822,823,831,及び832の内の一つ以上と同様のものとすることができる。
図10は、本発明の或る実施形態による形成プロセスにおける特定の工程での半導体装置1000の一部分の断面図である。図10に示すように、半導体装置1000は半導体基板1010と、半導体基板1010上に形成されるパターニング済み配線層1020と、パターニング済み配線層1020上の誘電体材料1090と、誘電体材料1090上の電極材料1080と、電極材料1080上の誘電体材料1030と、誘電体材料1030上の電極材料1040と、電極材料1040上の誘電体材料1050と、誘電体材料1050上の電極材料1060と、そして電極材料1060上の誘電体材料1070と、を備える。
一例として、半導体基板1010、パターニング済み配線層1020、誘電体材料1030、電極材料1040、誘電体材料1050、電極材料1060、及び誘電体材料1070は、図1に示した半導体基板110、パターニング済み配線層120、誘電体材料130、電極材料140、誘電体材料150、電極材料160、及び誘電体材料170のそれぞれと同様のものとすることができる。別の例として、電極材料1080は電極材料140と同様のものとすることができ、そして誘電体材料1090は誘電体材料130と同様のものとすることができ、電極材料140及び誘電体材料130は両方ともに図1に初めて示される。
図示の実施形態では、パターニング済み配線層1020は部分1021と、部分1021からギャップ1023によって分離される部分1022と、を含む。部分1021、部分1022、及びギャップ1023は、図1に示した部分121、部分122、及びギャップ123のそれぞれと同様のものとすることができる。
図10に更に示すように、誘電体材料1090をパターニングして、パターニング済み配線層1020の一部分を露出させる開口1031及び開口1032を形成しており、そして電極材料1080を誘電体材料1090の上に、かつ開口1031及び1032の内部に堆積させて電極材料1080がパターニング済み配線層1020の露出部分に物理的、かつ電気的にコンタクトする、または接続されるようにしている。
図11は、本発明の或る実施形態による形成プロセスにおける後の工程での半導体装置1000の一部分の断面図である。図11に示すように、誘電体材料1070及び電極材料1060をパターニングして電極1111を形成している。一例として、電極1111は、図2に示した電極211と同様のものとすることができる。
図12は、本発明の或る実施形態による形成プロセスにおける後の工程での半導体装置1000の断面図である。図12に示すように、誘電体材料1050及び電極材料1040をパターニングして電極1212及び電極1221を形成している。一例として、電極1221は図7に示した電極721と同様のものとすることができる。
図13は、本発明の或る実施形態による形成プロセスにおける後の工程での半導体装置1000の一部分の断面図である。図13に示すように、電極1111及び1212はキャパシタ1310の電極である。図13に更に示すように、電極1221はキャパシタ1320の電極である。図13に更に示すように、誘電体材料1030及び電極材料1080をパターニングしてキャパシタ1310の電極1313、キャパシタ1320の電極1322、及び抵抗体1330を形成している。キャパシタ1310及び1320、及び抵抗体1330の少なくとも一部分はパターニング済み配線層1020の上に形成される。一例として、電極1212及び電極1221は、電極212及び電極221のそれぞれと同様のものとすることができ、電極212及び電極221は共に図2に初めて示される。別の例として、キャパシタ1310は、図2に示したキャパシタ210と、キャパシタ1310がキャパシタ210のように、高い容量密度を有することができるという点で同様のものとすることができる。更に別の例として、キャパシタ1320は、図2に示したキャパシタ220と、キャパシタ220がキャパシタ210よりも高い品質を有することができるのと同じように、キャパシタ1320がキャパシタ1310よりも高い品質を有することができるという点で同様のものとすることができる。
図14は、本発明の或る実施形態による形成プロセスにおける後の工程での半導体装置1000の一部分の断面図である。図14に示すように、電気コンタクト1411はキャパシタ1310の電極1313に接続され、電気コンタクト1412及び1413はキャパシタ1310の電極1111に接続され、電気コンタクト1414はキャパシタ1310の電極1212に接続され、そして電気コンタクト1415はパターニング済み配線層1020の部分1021に接続されている。図14に更に示すように、電気コンタクト1421及び1422はキャパシタ1320の電極1221に接続され、電気コンタクト1423はキャパシタ1320の電極1322に接続され、電気コンタクト1424はパターニング済み配線層1020の部分1022に接続され、そして電気コンタクト1431及び1432は抵抗体1330に接続されている。
キャパシタ1310の電気コンタクト1313との電気コンタクトは、種々の方法の内のいずれかの方法を使用して取ることができる。一例として、電極1313との電気コンタクトは、電気コンタクト1411を通してのみ、電気コンタクト1415を通してのみ、またはパターニング済み配線層1020の部分1021を通してのみ取ることができる。別の例として、電極1313との電気コンタクトは、電気コンタクト1411及び1415、及びパターニング済み配線層1020の部分1021の内のいずれか2つを通して、すなわち電気コンタクト1411及び1415を通して、電気コンタクト1411及び部分1021を通して、または電気コンタクト1415及び部分1021を通して取ることができる。更に別の例として、電極1313との電気コンタクトは、電気コンタクト1411及び1415、及びパターニング済み配線層1020の部分1021の3つ全てを通して同時に取ることができる。同様に、キャパシタ1320の電極1322との電気コンタクトは種々の方法によって取ることができる。一例として、電極1322との電気コンタクトは、電気コンタクト1423を通してのみ、電気コンタクト1424を通してのみ、またはパターニング済み配線層1020の部分1022を通してのみ取ることができる。別の例として、電極1322との電気コンタクトは、電気コンタクト1423及び1424、及びパターニング済み配線層1020の部分1022の内のいずれか2つを通して、すなわち電気コンタクト1423及び1424を通して、電気コンタクト1423及び部分1022を通して、または電気コンタクト1424及び部分1022を通して取ることができる。更に別の例として、電極1322との電気コンタクトは、電気コンタクト1423及び1424、及びパターニング済み配線層1020の部分1022の3つ全てを通して同時に取ることができる。
この技術分野の当業者であれば、キャパシタ1310及び1320の内の一方に使用される特定の電気的コンタクト形成法が、キャパシタ1310及び1320の内の他方に使用される特定の電気的コンタクト形成法に必ず影響する訳ではないことが理解できるであろう。そうではなく、上述の電気的コンタクト形成法の内のいずれかをいずれかのキャパシタに、他のキャパシタに関して選択される特定の電気的コンタクト形成法に関係なく、使用することができる。
この技術分野では公知のように、抵抗体1330は或る実施形態では、図14に示す2つの電気コンタクト1431及び1432の他に、更に別の電気コンタクト群に接続することができる。同様に、キャパシタ1310の電極1111,1212,及び1313、及びキャパシタ1320の電極1221及び1322は、電極1111,1212,1313,1221,及び1322に接続され、かつ図14に示す1つ、または2つの電気コンタクトの他に、更に別の電気コンタクト群に接続することができる。図示の実施形態では、キャパシタ1310はキャパシタ210のように、並列接続される2つのMIMキャパシタを有する積層型キャパシタを含む。
一の実施形態では、少なくとも電気コンタクト1411,1412,1413,1414,1421,1422,及び1423は互いにほぼ同時に形成される。図示しない実施形態では、少なくとも電気コンタクト1412,1413,1414,1421,1422,及び1423は互いにほぼ同時に形成されるが、電気コンタクト1411は形成されない。図示しない当該実施形態では、キャパシタ1310の電極1313は部分1021を通して集積回路の別の部分に電気的に接続される。
図15は、半導体装置1000を本発明の或る実施形態に従って形成する方法1500を示すフローチャートである。方法1500は、多数ある工程の中でもとりわけ、4つのパターニング工程を含み、方法1500がマスク4枚の製造方法(four−mask manufacturing method)であることを示し、この方法では、2マスクMIMキャパシタ及び3マスクMIMキャパシタを抵抗体とともに1つの集積回路に集積化する。この技術分野の当業者であれば、上記の4つのマスクは、MIMキャパシタを本発明の或る実施形態に従って形成するために必要なマスクであり、かつ更に別のマスクが、例えばパターニング済み配線層、上部配線構造、基本MIMキャパシタ構造を形成するためには必要ではない任意に用いられる層、などのような集積回路の他の部分を形成するために必要となることが理解できるであろう。
方法1500の工程1505では、パターニング済み配線層が当該半導体基板の上に形成されている半導体基板を設ける。一例として、半導体基板は、図10に示した半導体基板1010と同様のものとすることができる。別の例として、パターニング済み配線層は、これもまた図10に示したパターニング済み配線層1020と同様のものとすることができる。
方法1500の工程1510では、第1誘電体材料をパターニング済み配線層の上に堆積させる。一例として、第1誘電体材料は、図10に示した誘電体材料1090と同様のものとすることができる。
方法1500の工程1515では、第1誘電体材料を、第1マスクを使用してパターニングして、第1開口及び第2開口を第1誘電体材料に形成する。一例として、第1開口は開口1031と同様のものとすることができ、そして第2開口は開口1032と同様のものとすることができ、これらの開口1031及び1032は共に図10に初めて示される。
方法1500の工程1520では、第1電極材料を第1誘電体材料の上に、かつ第1及び第2開口の内部に堆積させる。一例として、第1電極材料は、図10に示した電極材料1080と同様のものとすることができる。
方法1500の工程1525では、第2誘電体材料を第1電極材料の上に堆積させる。一例として、第2誘電体材料は、図10に示した誘電体材料1030と同様のものとすることができる。
方法1500の工程1530では、第2電極材料を第2誘電体材料の上に堆積させる。一例として、第2電極材料は、図10に示した電極材料1040と同様のものとすることができる。
方法1500の工程1535では、第3誘電体材料を第2電極材料の上に堆積させる。一例として、第3誘電体材料は、図10に示した誘電体材料1050と同様のものとすることができる。
方法1500の工程1540では、第3電極材料を第3誘電体材料の上に堆積させる。一例として、第3電極材料は、図10に示した電極材料1060と同様のものとすることができる。
方法1500の工程1545では、第4誘電体材料を第3電極材料の上に堆積させる。一例として、第4誘電体材料は、図10に示した誘電体材料1070と同様のものとすることができる。
方法1500の工程1550では、第4誘電体材料及び第3電極材料を、第2マスクを使用してパターニングして、第1キャパシタの上部電極を形成する。一例として、第1キャパシタは図13に示したキャパシタ1310と同様のものとすることができ、そして第1キャパシタの上部電極は図11に示した電極1111と同様のものとすることができる。
方法1500の工程1555では、第3誘電体材料及び第2電極材料を、第3マスクを使用してパターニングして、第1キャパシタの中間電極、及び第2キャパシタの上部電極を形成する。一例として、第2キャパシタは図13に示したキャパシタ1320と同様のものとすることができる。別の例として、第1キャパシタの中間電極は図12に示した電極1212と同様のものとすることができ、そして第2キャパシタの上部電極は、これもまた図12に示した電極1221と同様のものとすることができる。
方法1500の工程1560では、第2誘電体材料及び第1電極材料を、第4マスクを使用してパターニングして、第1キャパシタの下部電極、及び第2キャパシタの下部電極を形成する。少なくとも一つの実施形態では、工程1560を実行することにより抵抗体も形成する。一例として、第1キャパシタの下部電極は電極1313と同様のものとすることができ、そして第2キャパシタの下部電極は電極1322と同様のものとすることができ、これらの電極1313及び1322は共に、図13に初めて示される。別の例として、抵抗体は、これもまた図13に示した抵抗体1330と同様のものとすることができる。
方法1500の工程1565では、第1キャパシタの上部電極、中間電極、及び下部電極の各々に、かつ第2キャパシタの上部電極及び下部電極の各々に接続される電気コンタクト群を形成する。工程1560において抵抗体を形成する実施形態においては、工程1565または別の工程では更に、抵抗体との電気コンタクトを形成する。一例として、これらの電気コンタクトは、全てが図14に初めて示される電気コンタクト1411,1412,1413,1414,1415,1421, 1422,1423,1424,1431,及び1432の内の一つ以上と同様のものとすることができる。
この技術分野の当業者には、2つのMIMキャパシタを有する集積回路は、上に記載したプロセスフローの他の、他のプロセスフローを使用して形成することができることが明らかであろう。例えば、図示しない実施形態では、2つのMIMキャパシタを有する半導体装置は次のようにして形成することができる。すなわち、半導体基板であって、パターニング済み配線層が当該半導体基板の上に形成される構成の半導体基板を設け、第1誘電体材料をパターニング済み配線層の上に堆積させ、第1誘電体材料をパターニングしてパターニング済み配線層に向かって開いた第1開口を第1キャパシタに形成し、第1電極材料を第1誘電体材料の上に、かつ第1開口の内部に堆積させ、第2誘電体材料を第1電極材料の上に堆積させ、第2誘電体材料、第1電極材料、及び第1誘電体材料をパターニングしてパターニング済み配線層に向かって開いた第2開口を第2キャパシタに形成し、第2電極材料を第2誘電体材料の上に、かつ第2開口の内部に堆積させ、第3誘電体材料を第2電極材料の上に堆積させ、第3誘電体材料及び第2電極材料をパターニングして第1キャパシタの上部電極、及び第2キャパシタの下部電極を画定し、第3電極材料を第3誘電体材料の上に堆積させ、第4誘電体材料を第3電極材料の上に堆積させ、第4誘電体材料及び第3電極材料をパターニングして第2キャパシタの上部電極を画定し、第2誘電体材料及び第1電極材料をパターニングして第1キャパシタの下部電極と第2キャパシタの下部電極とを絶縁し、更に抵抗体を画定し、そしてこれらのキャパシタの電極との、そして抵抗体との電気コンタクトを形成する。
前の節において記載したプロセスによって形成される構造は、図7に最初に示したキャパシタ710と同様の第1キャパシタを含むことができるが、追加の誘電体材料及び/又は電極材料が電極611に類似する電極の一端または両端に、かつ誘電体材料550に類似する誘電体材料の一部分の上に位置することができるという点で少なくとも異なっている。また、前の節において記載したプロセスによって形成される構造は更に、図13に最初に示したキャパシタ1320と同様の第2キャパシタを含むことができるが、追加の誘電体材料及び/又は電極材料が電極1221に類似する電極の一端または両端に、かつ誘電体材料1030に類似する誘電体材料の一部分の上に位置することができるという点、及び電極材料1080に類似する電極材料、及び誘電体材料1030に類似する誘電体材料がこれらの材料の内部に深い開口を有することができるので、前述の材料群が異なる構造を有することになるという点で、少なくとも異なっている。また、前の節において記載したプロセスによって形成される構造は更に、例えば図13に最初に示した抵抗体1330と同様の抵抗体を含むことができる。
図16は、本発明の或る実施形態による形成プロセスにおける特定の工程での半導体装置1600の一部分の断面図である。図16に示すように、半導体装置1600は、半導体基板であって、パターニング済み配線層1620が当該半導体基板の上に形成される構成の半導体基板1610と、パターニング済み配線層1620上の誘電体材料1630と、誘電体材料1630上の電極材料1640と、電極材料1640上の誘電体材料1650と、誘電体材料1650上の電極材料1660と、そして電極材料1660上の誘電体材料1670と、を備える。一例として、半導体基板1610、誘電体材料1630、電極材料1640、誘電体材料1650、電極材料1660、及び誘電体材料1670は、全てが図1に初めて示される半導体基板110、誘電体材料130、電極材料140、誘電体材料150、電極材料160、及び誘電体材料170のそれぞれと同様のものとすることができる。別の例として、パターニング済み配線層1620は図1に示したパターニング済み配線層120と同様のものとすることができるが、パターニング済み配線層1620が図示の実施形態では、パターニング済み配線層120の部分122に対応する部分1622しか含まない点が異なる。パターニング済み配線層120の部分121に対応する部分は全く、パターニング済み配線層1620には設けられない。
図16に更に示すように、誘電体材料1670及び電極材料1660をパターニングして、キャパシタ1615の電極1611を形成している。図16に更に示すように、誘電体材料1650及び電極材料1640をパターニングして、キャパシタ1625の電極1621を形成し、かつキャパシタ1615の電極1612を形成している。キャパシタ1615及び1625の少なくとも一部分はパターニング済み配線層1620の上に形成される。
本発明の一の実施形態では、パターニング済み配線層1620の部分1622はキャパシタ1625の電極1682を構成する。一例として、電極1611はキャパシタ1615の上部電極とすることができ、そして電極1612はキャパシタ1615の下部電極とすることができる。別の例として、電極1621はキャパシタ1625の上部電極とすることができ、そして電極1682はキャパシタ1625の下部電極とすることができる。
図16に更に示すように、電気コンタクト1662及び1663はキャパシタ1615の電極1611に接続され、そして電気コンタクト1664はキャパシタ1615の電極1612に接続されている。電気コンタクト1671及び1672はキャパシタ1625の電極1621に接続され、そして電気コンタクト1673はキャパシタ1625の電極1682に接続されている。この技術分野では公知のように、キャパシタ1615の電極1611及び1612、及びキャパシタ1625の電極1621及び1682は、電極1611,1612,1621,及び1682に接続され、かつ図16に示す1つ、または2つの電気コンタクトの他に、更に別の電気コンタクト群に接続することができる。一の実施形態では、少なくとも電気コンタクト1662,1663,1664,1671,1672,及び1673は互いにほぼ同時に形成される。
半導体装置1600は更に、電極材料1640及び誘電体材料1650の一部分によって構成される部分1690を備える。一の実施形態では、部分1690を使用して抵抗体を構成することができ、この抵抗体は図2に最初に示した抵抗体230と同様のものとすることができる。当該実施形態では、電気コンタクト群は抵抗体に、抵抗体230に関して示し、そして記載した方法と同様の方法により接続することができる。
図17は、半導体装置1600を本発明の或る実施形態に従って形成する方法1700を示すフローチャートである。方法1700の工程1710では、パターニング済み配線層が当該半導体基板の上に形成されている半導体基板を設け、この場合、パターニング済み配線層は第2キャパシタの下部電極を構成し、そして第1キャパシタには設けられない。一例として、半導体基板は、図16に示した半導体基板1610と同様のものとすることができ、そしてパターニング済み配線層は、これもまた図16に示したパターニング済み配線層1620と同様のものとすることができる。別の例として、第1キャパシタはキャパシタ1615と同様のものとすることができ、第2キャパシタはキャパシタ1625と同様のものとすることができ、そして第2キャパシタの下部電極は電極1682と同様のものとすることができ、キャパシタ1615、キャパシタ1625、及び電極1682は全て、図16に初めて示される。
方法1700の工程1720では、第1誘電体材料をパターニング済み配線層の上に堆積させる。一例として、第1誘電体材料は、図16に示した誘電体材料1630と同様のものとすることができる。
方法1700の工程1730では、第1電極材料を第1誘電体材料の上に堆積させる。一例として、第1電極材料は、図16に示した電極材料1640と同様のものとすることができる。
方法1700の工程1740では、第2誘電体材料を第1電極材料の上に堆積させる。一例として、第2誘電体材料は、図16に示した誘電体材料1650と同様のものとすることができる。
方法1700の工程1750では、第2電極材料を第2誘電体材料の上に堆積させる。一例として、第2電極材料は、図16に示した電極材料1660と同様のものとすることができる。
方法1700の工程1760では、第3誘電体材料を第2電極材料の上に堆積させる。一例として、第3誘電体材料は、図16に示した誘電体材料1670と同様のものとすることができる。
方法1700の工程1770では、第3誘電体材料及び第2電極材料をパターニングして第1キャパシタの上部電極を形成する。一例として、第1キャパシタの上部電極は図16に示した電極1611と同様のものとすることができる。
方法1700の工程1780では、第2誘電体材料及び第1電極材料をパターニングして第2キャパシタの上部電極、及び第1キャパシタの一の電極を形成する。一例として、第2キャパシタの上部電極は電極1621と同様のものとすることができ、そして前記一の電極は電極1612と同様のものとすることができ、電極1621及び1612は共に図16に初めて示される。
方法1700の工程1790では、少なくとも第1キャパシタの上部電極及び下部電極に、かつ第2キャパシタの上部電極及び下部電極に接続される少なくとも一つの電気コンタクトを形成する。一例として、これらの電気コンタクトは、全てが図14に初めて示される電気コンタクト1662,1663,1664,1671,1672,及び1673の内の一つ以上と同様のものとすることができる。方法1700の一の実施形態においては、工程1790では、これらの電気コンタクトを互いに同時に形成する。
方法1700の一の実施形態では、工程1780を使用して抵抗体を半導体基板の上に形成することができる。当該実施形態では、一例として、抵抗体は図2に示した抵抗体230と同様のものとすることができる。抵抗体は、第1電極材料及び第2誘電体材料の一部分を使用して形成することができる。一例として、第1電極材料及び第2誘電体材料の一部分は、図16に示した部分1690と同様のものとすることができる。
本発明について特定の実施形態を参照しながら記載してきたが、この技術分野の当業者であれば、種々の変更を、本発明の技術思想または技術範囲から逸脱しない範囲において加え得ることが分かるであろう。このような変更の種々の例がこれまでの記述に示されている。従って、本発明の実施形態の開示は本発明の技術範囲を例示するために為されるのであり、本発明を制限するために為されるのではない。本発明の技術範囲は添付の請求項が要求する範囲によってのみ制限されるものである。例えば、この技術分野の当業者にとっては、本明細書において議論される半導体装置は種々の実施形態において用いることができ、かつこれらの実施形態の内の或る実施形態に関するこれまでの議論が、考えられる全ての実施形態を完全に記述したものに必ずしもなっている訳ではないことを容易に理解することができると思われる。
更に、効果、他の利点、及び技術的問題に対する解決法について、特定の実施形態に関して上に記載してきた。しかしながら、効果、利点、及び問題解決法、及び効果、利点、または問題解決法をもたらし得る、またはさらに顕著にし得るいかなる要素または要素群も、請求項群のいずれか、または全ての必須の、必要な、または基本的な特徴または要素であると解釈されるべきではない。
更に、本明細書に開示する実施形態及び限定事項は、実施形態及び/又は限定事項が、(1)明示的に請求項において請求されておらず、かつ(2)均等論に基づいて請求項における表現要素及び/又は限定事項の均等物となる、または均等物となる可能性のある場合に、寄与論に基づいて公衆に寄与されるものとはならない。
本発明の或る実施形態による形成プロセスにおける特定の工程での半導体装置の一部分の断面図。 本発明の或る実施形態による形成プロセスにおける後の工程での、図1の半導体装置の一部分の断面図。 本発明の或る実施形態による形成プロセスにおける後の工程での、図2の半導体装置の一部分の断面図。 図1〜3の半導体装置を本発明の或る実施形態に従って形成する方法を示すフローチャート。 本発明の或る実施形態による形成プロセスにおける特定の工程での別の半導体装置の一部分の断面図。 本発明の或る実施形態による形成プロセスにおける後の工程での、図5の半導体装置の一部分の断面図。 本発明の或る実施形態による形成プロセスにおける後の工程での、図6の半導体装置の断面図。 本発明の或る実施形態による形成プロセスにおける後の工程での、図7の半導体装置の一部分の断面図。 図5〜8の半導体装置を本発明の或る実施形態に従って形成する方法を示すフローチャート。 本発明の或る実施形態による形成プロセスにおける特定の工程での別の半導体装置の一部分の断面図。 本発明の或る実施形態による形成プロセスにおける後の工程での、図10の半導体装置の一部分の断面図。 本発明の或る実施形態による形成プロセスにおける後の工程での、図11の半導体装置の断面図。 本発明の或る実施形態による形成プロセスにおける後の工程での、図12の半導体装置の一部分の断面図。 本発明の或る実施形態による形成プロセスにおける後の工程での、図13の半導体装置の一部分の断面図。 図10〜14の半導体装置を本発明の或る実施形態に従って形成する方法を示すフローチャート。 本発明の或る実施形態による形成プロセスにおける特定の工程での別の半導体装置の一部分の断面図。 図16の半導体装置を本発明の或る実施形態に従って形成する方法を示すフローチャート。

Claims (4)

  1. パターニング済み配線層が当該半導体基板の上に形成される構成の半導体基板を設ける工程と、
    第1誘電体材料をパターニング済み配線層の上に堆積させる工程と、
    第1電極材料を第1誘電体材料の上に堆積させる工程と、
    第2誘電体材料を第1電極材料の上に堆積させる工程と、
    第2電極材料を第2誘電体材料の上に堆積させる工程と、
    第2電極材料をパターニングして第1キャパシタの上部電極を形成する工程と、
    第1電極材料をパターニングして、第2キャパシタの一の電極、及び第1キャパシタの一の電極を形成するとともに抵抗体を画定する工程との順序からなる、半導体装置の製造方法。
  2. パターニング済み配線層が当該半導体基板の上に形成され、及び、前記パターニング済み配線層の一部分が第1キャパシタの下部電極及び第2キャパシタの下部電極を画定している半導体基板を設ける工程と、
    第1誘電体材料を前記パターニング済み配線層の上に堆積させる工程と、
    第1誘電体材料をパターニングして前記パターニング済み配線層の一部分を露出させる開口を形成する工程と、
    第1電極材料を第1誘電体材料の上に、かつ開口の内部に堆積させて、第1電極材料がパターニング済み配線層の前記部分とコンタクトする工程と、
    第2誘電体材料を第1電極材料の上に堆積させる工程と、
    第2電極材料を第2誘電体材料の上に堆積させる工程と、
    第2電極材料をパターニングして第1キャパシタの上部電極を形成する工程と、
    第1電極材料をパターニングして第2キャパシタの上部電極、及び第1キャパシタの下部電極を形成する工程との順序からなる、半導体装置の製造方法。
  3. パターニング済み配線層が当該半導体基板の上に形成されている半導体基板を設ける工程と、
    第1誘電体材料を前記パターニング済み配線層の上に堆積させる工程と、
    第1誘電体材料をパターニングして第1開口及び第2開口を第1誘電体材料に形成する工程と、
    第1電極材料を第1誘電体材料の上に、かつ第1及び第2開口の内部に堆積させる工程と、
    第2誘電体材料を第1電極材料の上に堆積させる工程と、
    第2電極材料を第2誘電体材料の上に堆積させる工程と、
    第3誘電体材料を第2電極材料の上に堆積させる工程と、
    第3電極材料を第3誘電体材料の上に堆積させる工程と、
    第3電極材料をパターニングして第1キャパシタの上部電極を形成する工程と、
    第3誘電体材料及び第2電極材料をパターニングして第1キャパシタの中間電極及び第2キャパシタの上部電極を形成する工程と、
    第2誘電体材料及び第1電極材料をパターニングして第1キャパシタの下部電極、及び第2キャパシタの下部電極を形成する工程との順序からなる、半導体装置の製造方法。
  4. パターニング済み配線層が当該半導体基板の上に形成されている半導体基板を設ける工程と、
    第1誘電体材料を前記パターニング済み配線層の上に堆積させる工程と、
    第1電極材料を第1誘電体材料の上に堆積させる工程と、
    第2誘電体材料を第1電極材料の上に堆積させる工程と、
    第2電極材料を第2誘電体材料の上に堆積させる工程と、
    第2電極材料をパターニングして第1キャパシタの上部電極を形成する工程と、
    第1電極材料をパターニングして第2キャパシタの一の電極及び第1キャパシタの一の電極を形成する工程との順序からなり、
    前記パターニング済み配線層は第2キャパシタの下部電極を構成し、かつ第1キャパシタには設けられない、半導体装置の製造方法。
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