JP4857014B2 - 抵抗変化素子とそれを用いた抵抗変化型メモリ - Google Patents
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Description
(1)図11Aに示す抵抗変化層3の粒界91がリーク電流のパスとなっている可能性がある。図11Bに示すように、酸窒化物が粒界92に位置する、即ち、抵抗変化層3が酸窒化された粒界92を有する、ことでリーク電流を低減できる。
(2)図12Aに示すように、抵抗変化層3が、相対的に高抵抗である窒化物Bのマトリクス93中に、相対的に低抵抗である窒化物Aのドメイン94がグラニュラー状に分散した構造(グラニュラー構造)を有する場合、窒化物Aのドメイン94を経由してホッピング的な伝導が生じている可能性がある。図12Bに示すように、上記ドメインの少なくとも一部が酸窒化物からなる、即ち、抵抗変化層3が酸窒化されたドメイン95を含む、ことでリーク電流を低減できる。
実施例1では、図1に示す構成を有する抵抗変化素子1を作製し、その抵抗変化特性を評価した。また、実施例1では、抵抗変化層3を、第1の元素であるTiと、第2の元素であるAlと、窒素とからなる窒化物固溶体とし、当該固溶体におけるTiの含有率X1とAlの含有率X2との合計に対する上記X2の重量比Z(Z=X2/(X1+X2))を変化させたサンプルを9種類(サンプル1−1〜1−9)作製して、それぞれの素子サンプルにおける抵抗変化特性を評価した。素子サンプルの具体的な作製方法を、図15A〜図15Eを参照しながら説明する。
パルスジェネレータを用い、各素子サンプルの上部電極と下部電極との間に、SET電圧として3V(正バイアス電圧)、RESET電圧として−3V(負バイアス電圧、大きさ3V)、READ電圧として0.01V(正バイアス電圧)を印加した(各電圧のパルス幅は200ns)。SET電圧およびRESET電圧を印加した後、READ電圧の印加により読み出した電流値からサンプルの電気抵抗値を算出し、算出した電気抵抗値の最大値をRMAX、最小値をRMINとして、(RMAX−RMIN)/RMINで示す式より、サンプルの抵抗変化比を求めた。
実施例2では、図4に示す構成を有するメモリ素子31を作製し、その抵抗変化特性を評価した。評価した素子サンプルは、上述した図10A〜図10Hに示す方法により作製し、重量比Z=0.7のTAN層からなる抵抗変化層3とした。
実施例3では、図4に示す構成を有するメモリ素子31を作製し、その抵抗変化特性を評価した。評価した素子サンプルは、上述した図10A〜図10Hに示す方法により作製し、TiとAlとNとOとからなる(重量比Z=0.7)抵抗変化層3とした。
実施例4では、図14Kに示す構成を有するメモリ素子74を作製し、その抵抗変化特性を評価した。評価した素子サンプルは、上述した図14A〜図14Kに示す方法により作製し、重量比Z=0.7のTAN層からなる抵抗変化層3とした。
2 下部電極
3、3a、3b 抵抗変化層
4 上部電極
11 多層構造体(積層体)
12 基板
13 中間電極
21 トランジスタ
22 ソース
23 ドレイン
24 ゲート絶縁膜
25 ゲート電極
26 素子分離部
31、31a (抵抗変化型)メモリ素子
32 ビット線
33 ワード線
34 プラグ
35 プラグ
36 層間絶縁層
37、37a、37b、37c パストランジスタ
38 参照素子群
39 選択素子
40 (抵抗変化型)メモリ素子
41 参照素子
42 (メモリ素子31の)出力
43 (参照素子41の)出力
44a、44b 負帰還増幅回路
45 (負帰還増幅回路44aにより増幅した)出力
46 (負帰還増幅回路44bにより増幅した)出力
47 差動増幅回路
48 出力信号
51 (抵抗変化型)メモリアレイ
52 (抵抗変化型)メモリアレイ
53 (抵抗変化型)メモリアレイ
61、61a、61b 保護絶縁膜
62 プラグ用開口部
63 バリアメタル
64 プラグメタル
66 保護絶縁膜
67 プラグ用開口部
68 密着用メタル
69 配線用メタル
70 プラグ
71 電極
72 プラグ用開口部
73 プラグ
74 (抵抗変化型)メモリ素子
81 メタルマスクA
82 メタルマスクB
85 開口部
91 粒界
92 (酸窒化された)粒界
93 マトリクス
94 ドメイン
95 (酸窒化された)ドメイン
96 窒化物膜
97 酸窒化物膜
Claims (11)
- 電気抵抗値が異なる2以上の状態が存在し、かつ、所定の電圧または電流の印加により、前記2以上の状態から選ばれる1つの状態から他の状態へと変化する抵抗変化層を備え、
前記抵抗変化層が、窒化物を形成しうる第1および第2の元素と、窒素と、を含み、
前記第1の元素が、Ti、Ta、Co、CuおよびNbから選ばれる少なくとも1種であり、
前記第2の元素が、Al、Hf、CrおよびSiから選ばれる少なくとも1種である抵抗変化素子。 - 前記第1の元素がTiであり、
前記第2の元素がAlであり、
前記抵抗変化層におけるTiの含有率X1(重量%)とAlの含有率X2(重量%)との合計に対する前記X2の比Z(Z=X2/(X1+X2))が、0.5〜0.9である請求項1に記載の抵抗変化素子。 - 前記抵抗変化層が、前記第1の元素の窒化物と、前記第2の元素の窒化物とを含む請求項1に記載の抵抗変化素子。
- 窒化物の状態における前記第1の元素の体積抵抗率が10-1Ω・cm以下であり、
窒化物の状態における前記第2の元素の体積抵抗率が103Ω・cm以上である請求項1に記載の抵抗変化素子。 - 前記抵抗変化層が、酸素をさらに含む請求項1に記載の抵抗変化素子。
- 前記抵抗変化層が、前記第1の元素および前記第2の元素から選ばれる少なくとも1種の元素の酸窒化物を含む請求項5に記載の抵抗変化素子。
- 基板と、前記基板上に配置された多層構造体とを備え、
前記多層構造体は、上部電極と下部電極とを備え、
前記抵抗変化層が、前記上部電極と前記下部電極との間に配置されている請求項1に記載の抵抗変化素子。 - 前記所定の電圧または電流がパルス状である請求項1に記載の抵抗変化素子。
- 請求項1〜8のいずれかに記載の抵抗変化素子をメモリ素子として備える抵抗変化型メモリ。
- 2以上の前記抵抗変化素子が、マトリクス状に配列されている請求項9に記載の抵抗変化型メモリ。
- 前記2以上の抵抗変化素子に、情報の記録および読出時に前記素子を選択するためのスイッチング素子が接続されている請求項10に記載の抵抗変化型メモリ。
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JP2008171870A (ja) | 抵抗変化型メモリとその製造方法 |
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