JP4982098B2 - 電気抵抗変化素子およびこの電気抵抗変化素子を備えた半導体装置ならびにその製造方法 - Google Patents
電気抵抗変化素子およびこの電気抵抗変化素子を備えた半導体装置ならびにその製造方法 Download PDFInfo
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- 230000008859 change Effects 0.000 title claims description 117
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 51
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 22
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 102
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 52
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 claims description 51
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims description 46
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 36
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 29
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 claims description 28
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 28
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 28
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 26
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 23
- WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L calcium difluoride Chemical group [F-].[F-].[Ca+2] WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 19
- 238000000137 annealing Methods 0.000 claims description 16
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 14
- 239000010436 fluorite Substances 0.000 claims description 13
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 11
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 7
- 239000011800 void material Substances 0.000 claims description 6
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 4
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 3
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 claims 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 189
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 36
- 230000015654 memory Effects 0.000 description 28
- 229910004143 HfON Inorganic materials 0.000 description 23
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 15
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 15
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 14
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 13
- VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N hafnium atom Chemical compound [Hf] VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 11
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 10
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 9
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 9
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Substances [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 8
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 8
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 8
- QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N Copper oxide Chemical compound [Cu]=O QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 7
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 7
- 229910052747 lanthanoid Inorganic materials 0.000 description 7
- 150000002602 lanthanoids Chemical class 0.000 description 7
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 7
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 5
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 5
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 5
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052689 Holmium Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910004121 SrRuO Inorganic materials 0.000 description 4
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- -1 ZrN or HfN Chemical class 0.000 description 4
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 239000008710 crystal-8 Substances 0.000 description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 4
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052706 scandium Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052692 Dysprosium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052691 Erbium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052693 Europium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052688 Gadolinium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052777 Praseodymium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052772 Samarium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052771 Terbium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052775 Thulium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910010037 TiAlN Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052769 Ytterbium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 3
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 3
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 3
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 229910019001 CoSi Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052765 Lutetium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052762 osmium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 239000003870 refractory metal Substances 0.000 description 2
- 229910052702 rhenium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 description 2
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002887 superconductor Substances 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 2
- VLJQDHDVZJXNQL-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-n-(oxomethylidene)benzenesulfonamide Chemical compound CC1=CC=C(S(=O)(=O)N=C=O)C=C1 VLJQDHDVZJXNQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910016063 BaPb Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910016062 BaRuO Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004247 CaCu Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005751 Copper oxide Substances 0.000 description 1
- 229910019974 CrSi Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910005347 FeSi Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017563 LaCrO Inorganic materials 0.000 description 1
- 241000877463 Lanio Species 0.000 description 1
- 229910012465 LiTi Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017028 MnSi Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910016006 MoSi Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910005883 NiSi Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910005881 NiSi 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021140 PdSi Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910019847 RhSi Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910019895 RuSi Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910008484 TiSi Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910006249 ZrSi Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 229910000431 copper oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 238000012217 deletion Methods 0.000 description 1
- 230000037430 deletion Effects 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001027 hydrothermal synthesis Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000734 martensite Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 1
- 230000006911 nucleation Effects 0.000 description 1
- 238000010899 nucleation Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229910001924 platinum group oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021340 platinum monosilicide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052713 technetium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052716 thallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C13/00—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00
- G11C13/0002—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements
- G11C13/0007—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements comprising metal oxide memory material, e.g. perovskites
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/011—Manufacture or treatment of multistable switching devices
- H10N70/041—Modification of switching materials after formation, e.g. doping
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/20—Multistable switching devices, e.g. memristors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/821—Device geometry
- H10N70/826—Device geometry adapted for essentially vertical current flow, e.g. sandwich or pillar type devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/881—Switching materials
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Description
アモルファスなZrおよびHfの少なくとも一方を主成分として含む金属酸化物または金属酸窒化物を有する膜が設けられていてもよい。
組成式がM2ON2(ここでMはZr、Hfのいずれか一種類以上)によって記述されしかも結晶の属する空間群がIa/3(国際表記の206番)、
組成式がM7O8N4(ここでMはZr、Hfのいずれか一種類以上)によって記述されしかも結晶の属する空間群がR/3(国際表記の146番)、
組成式がM7O2(4p+3)/pN4(p−1)/p(ここでMはZr、Hfのいずれか一種類以上、pは1以上の整数でかつ、pが奇数であるかまたはpが6の倍数である場合)によって記述されしかも結晶の属する空間群がP/3(国際表記の143番)
および組成式がM7O2(4p+3)/pN4(p−1)/p(ここでMはZr、Hfのいずれか一種類以上、pは1以上の整数でかつ、pが6の倍数に2を足した整数であるかまたはpが6の倍数に4を足した整数である場合)によって記述されしかも結晶の属する空間群がR/3(国際表記の146番)
のいずれかであってもよい。
前記第1の膜上に、800℃以下の温度で結晶化する物質を含む第2の膜を成膜するステップと、800℃を超える温度でアニールを施すことによって前記第1の膜と前記第2の膜との界面におけるエネルギーが最も低くなる方向が前記第1の膜の主面に実質的に垂直なるように配向させるステップと、を備えたことを特徴とする。
本発明の第1実施形態による半導体装置を図1に示す。本実施形態の半導体装置は電気抵抗変化素子(不揮発性記憶素子)1を備えている。この電気抵抗変化素子1は、基板11上に設けられ、抵抗変化膜4と、この抵抗変化膜4を挟むように形成された2つの電極2、6とを備えている。抵抗変化膜4は図1に示すように、111方向が基板11に対して垂直となるような配向を持っている。
次に、本発明の第2実施形態による半導体装置を説明する。
次に、本発明の第3実施形態による半導体装置を説明する。
次に、本発明の第4実施形態による半導体装置を説明する。
次に、本発明の第5実施形態による半導体装置を、図11を参照して説明する。本実施形態の半導体装置は、図1に示す第1実施形態の半導体装置において、電気抵抗変化素子1を、図11に示す電気抵抗変化素子1Aに置き換えた構成となっている。本実施形態に係る電気抵抗変化素子1Aは、図1に示す電気抵抗変化素子において、抵抗変化膜4を非晶質膜7と、膜厚方向(膜面に垂直な方向)に絶縁破壊誘導路を有する膜8との積層膜に置き換えた構成となっている。
次に、本発明の第6実施形態による半導体装置を説明する。
次に、本発明の第7実施形態による半導体装置を説明する。
次に、本発明の第8実施形態による半導体装置の製造方法を図16乃至図18を参照して説明する。本実施形態の製造方法によって製造される半導体装置は、少なくとも1個のメモリセルを有する記憶装置であって、メモリセルは、上記第1乃至第7実施形態のいずれかの電気抵抗変化素子、例えば第1実施形態の電気抵抗変化素子1と、選択トランジスタとを備えている。
次に、本発明の第9実施形態による半導体装置の製造方法を、図16乃至図18を参照して説明する。本実施形態の製造方法によって製造される半導体装置は記憶装置であって、第8実施形態の製造方法によって製造される抵抗変化膜の窒素の組成を変えた構成となっている。
次に、本実施形態の半導体装置を、図20を参照して説明する。本実施形態の半導体装置は、選択トランジスタ型(1T1R型)配置の集積記憶装置であって、その模式的な構成を図20に示す。本実施形態の集積記憶装置は、上記第1乃至第7実施形態で説明した電気抵抗変化素子を、メモリセルの不揮発性記憶素子183として用いた構成となっている。この場合、メモリセルは、不揮発性記憶素子183と、選択トランジスタ182とを備えている。メモリセルをこのような構成にすると、高速動作が可能となる利点があるが、メモリセルが大きくなる欠点がある。なお、メモリセルは、ビット線185と、ワード線184の交差領域に設けられる。不揮発性記憶素子183の一端はビット線185に接続され、他端は選択トランジスタ182のソース・ドレインの一方に接続される。選択トランジスタ182のソース・ドレインの他方が読み出しワード線186に接続され、ゲートがワード線184に接続される。
2 電極
4 抵抗変化膜
6 電極
7 非晶質膜
8 絶縁破壊誘導路を有する膜
11 基板
20 選択トランジスタ
22a、22b ソース/ドレイン領域
24 ゲート絶縁膜
24a 界面層
24b 界面層
26 電極
Claims (11)
- ZrおよびHfの少なくとも一方の元素を主成分として含む金属酸窒化物を有し、前記金属酸窒化物が蛍石型構造、蛍石型構造において陰イオンサイトが欠損した構造、立方晶の蛍石型結晶系が六方晶の結晶系となる状態に歪んだ構造、立方晶の蛍石型結晶系が菱面体晶の結晶系となる状態に歪んだ構造のいずれかである結晶構造を有する抵抗変化膜と、
前記抵抗変化膜を挟むように設けられた1対の第1および第2電極と、
を備え、
前記抵抗変化膜の結晶構造は、一部または全部にBevanクラスターを有し、Vを蛍石型結晶構造における陰イオンサイトに陰イオンが存在しない空孔、Mを上記金属酸窒化物の金属元素、Sを蛍石型結晶構造における最大の8面体型空隙サイトとしたとき、前記Bevanクラスターのユニットセルにおける「−S−V−M−V−S−」となる直鎖状の連鎖の配列の方向が前記膜の主面に対して実質的に垂直である結晶の向きを有することを特徴とする電気抵抗変化素子。 - 前記抵抗変化膜は、少なくとも2個以上のBevanクラスターが「−V−M−V−」方向に接することで、「−S−(V−M−V−S−)n」(ただしnは2以上の整数)となる連鎖を有し、前記連鎖の方向が前記抵抗変化膜の主面に対して実質的に垂直であるような結晶の向きを有することを特徴とする請求項1記載の電気抵抗変化素子。
- 前記第1および第2電極の少なくとも一方の電極と、前記抵抗変化膜との間に、アモルファスなZrおよびHfの少なくとも一方を主成分として含む金属酸化物または金属酸窒化物を有する膜が設けられていることを特徴とする請求項1または2記載の電気抵抗変化素子。
- 前記抵抗変化膜は、酸窒化物を有し、窒素の含有比率が10.0原子%以上57.1原子%以下であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の電気抵抗変化素子。
- 前記抵抗変化膜の連鎖の方向が、前記抵抗変化膜の主面の法線に対して10度以下の角度であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の電気抵抗変化素子。
- 前記抵抗変化膜中の結晶は、
組成式がM2ON2(ここでMはZr、Hfのいずれか一種類以上)によって記述されしかも結晶の属する空間群がIa/3(国際表記の206番)、
組成式がM7O8N4(ここでMはZr、Hfのいずれか一種類以上)によって記述されしかも結晶の属する空間群がR/3(国際表記の146番)、
組成式がM7O2(4p+3)/pN4(p−1)/p(ここでMはZr、Hfのいずれか一種類以上、pは1以上の整数でかつ、pが奇数であるかまたはpが6の倍数である場合)によって記述されしかも結晶の属する空間群がP/3(国際表記の143番)
および組成式がM7O2(4p+3)/pN4(p−1)/p(ここでMはZr、Hfのいずれか一種類以上、pは1以上の整数でかつ、pが6の倍数に2を足した整数であるかまたはpが6の倍数に4を足した整数である場合)によって記述されしかも結晶の属する空間群がR/3(国際表記の146番)
のいずれかであることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の電気抵抗変化素子。 - 請求項1乃至6のいずれかに記載の前記電気抵抗変化素子を、記憶装置の不揮発性記憶素子として備えていることを特徴とする半導体装置。
- 前記電気抵抗変化素子に一端が接続されたトランジスタを備えていることを特徴とする請求項7記載の半導体装置。
- 請求項1乃至6のいずれかに記載の前記電気抵抗変化素子と、前記電気抵抗変化素子に一端が接続されたトランジスタとを含む不揮発性ロジック素子を備えていることを特徴する半導体装置。
- 請求項1乃至9のいずれかに記載の半導体装置の製造方法であって、
基板上にZrおよびHfの少なくとも一方を主成分として含む前記金属酸窒化物からなる第1の膜を成膜するステップと、
前記第1の膜上に、800℃以下の温度で結晶化する物質を含む第2の膜を成膜するステップと、
800℃を超える温度でアニールを施すことによって前記第1の膜と前記第2の膜との界面におけるエネルギーが最も低くなる方向が前記第1の膜の主面に実質的に垂直になるように配向させるステップと、
を備え、前記第1の膜は、前記アニール後にZrおよびHfの少なくとも一方の元素を主成分として含む金属酸窒化物を有し、前記金属酸窒化物が蛍石型構造、蛍石型構造において陰イオンサイトが欠損した構造、立方晶の蛍石型結晶系が六方晶の結晶系となる状態に歪んだ構造、立方晶の蛍石型結晶系が菱面体晶の結晶系となる状態に歪んだ構造のいずれかである結晶構造を有し、
前記結晶構造は、一部または全部にBevanクラスターを有し、Vを蛍石型結晶構造における陰イオンサイトに陰イオンが存在しない空孔、Mを上記金属酸窒化物の金属元素、Sを蛍石型結晶構造における最大の8面体型空隙サイトとしたとき、前記Bevanクラスターのユニットセルにおける「−S−V−M−V−S−」となる直鎖状の連鎖の配列の方向が前記膜の主面に対して実質的に垂直である結晶の向きを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 800℃以下の温度で結晶化する前記物質は、シリコンを主成分とすることを特徴とする請求項10記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006094630A JP4982098B2 (ja) | 2006-03-30 | 2006-03-30 | 電気抵抗変化素子およびこの電気抵抗変化素子を備えた半導体装置ならびにその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006094630A JP4982098B2 (ja) | 2006-03-30 | 2006-03-30 | 電気抵抗変化素子およびこの電気抵抗変化素子を備えた半導体装置ならびにその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007273548A JP2007273548A (ja) | 2007-10-18 |
JP4982098B2 true JP4982098B2 (ja) | 2012-07-25 |
Family
ID=38676079
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006094630A Expired - Fee Related JP4982098B2 (ja) | 2006-03-30 | 2006-03-30 | 電気抵抗変化素子およびこの電気抵抗変化素子を備えた半導体装置ならびにその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4982098B2 (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4857014B2 (ja) * | 2006-04-19 | 2012-01-18 | パナソニック株式会社 | 抵抗変化素子とそれを用いた抵抗変化型メモリ |
JP4655021B2 (ja) * | 2006-10-12 | 2011-03-23 | セイコーエプソン株式会社 | 可変抵抗素子 |
JP5332149B2 (ja) * | 2007-08-20 | 2013-11-06 | 富士通株式会社 | 抵抗変化素子、抵抗変化メモリおよびそれらの作製方法 |
JP5208538B2 (ja) * | 2008-02-21 | 2013-06-12 | 株式会社東芝 | 半導体記憶素子 |
JP5512525B2 (ja) * | 2008-09-08 | 2014-06-04 | 株式会社東芝 | 不揮発性記憶素子及び不揮発性記憶装置 |
JP5395799B2 (ja) * | 2008-09-12 | 2014-01-22 | 株式会社東芝 | 不揮発性記憶装置 |
JP4774109B2 (ja) | 2009-03-13 | 2011-09-14 | シャープ株式会社 | 不揮発性可変抵抗素子のフォーミング処理の制御回路、並びにフォーミング処理の制御方法 |
WO2011024271A1 (ja) * | 2009-08-26 | 2011-03-03 | 株式会社 東芝 | 不揮発性記憶素子及び不揮発性記憶装置 |
KR101902392B1 (ko) | 2011-10-26 | 2018-10-01 | 엘지이노텍 주식회사 | 발광 소자 |
JP6009867B2 (ja) * | 2012-08-31 | 2016-10-19 | 株式会社東芝 | 不揮発性記憶装置 |
JP6581446B2 (ja) * | 2015-09-09 | 2019-09-25 | 東芝メモリ株式会社 | 絶縁膜及び記憶装置 |
EP3654378A1 (en) * | 2018-09-19 | 2020-05-20 | Shenzhen Goodix Technology Co., Ltd. | Memristor electrode and method for manufacturing same, memristor, and resistive random access memory |
JP2021150523A (ja) | 2020-03-19 | 2021-09-27 | キオクシア株式会社 | 半導体記憶装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61146713A (ja) * | 1984-12-21 | 1986-07-04 | Asahi Chem Ind Co Ltd | チタン酸バリウムの製造方法 |
-
2006
- 2006-03-30 JP JP2006094630A patent/JP4982098B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007273548A (ja) | 2007-10-18 |
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