JP6009867B2 - 不揮発性記憶装置 - Google Patents
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Description
なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比係数などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比係数が異なって表される場合もある。
また、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図1は、第1の実施形態に係る不揮発性記憶装置の構成を例示する模式断面図である。
図1に表したように、本実施形態に係る不揮発性記憶装置110は、第1導電層10と、第2導電層20と、抵抗変化層30と、を含む。抵抗変化層30は、第1導電層10と第2導電層20との間に設けられる。抵抗変化層30は、低抵抗状態と高抵抗状態との間を遷移可能である。抵抗変化層30の構成の例については、後述する。
図3は、模式的斜視図である。図4は、模式的断面図である。
図2〜図4を参照しつつ、実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の構成の概要の例について説明する。
メモリ部MUは、第1配線WR1と、第2配線WR2と、メモリセルMCと、を有する。
なお、上記において、第1〜第3電極EL1〜EL3は必要に応じて設けることができ、場合によっては省略することが可能である。
抵抗変化層VRの構成の例については後述する。
図1に表したように、本実施形態に係る不揮発性記憶装置110(メモリセル1)は、第1導電層10(例えば第1電極EL1)と、第2導電層20(第2電極EL2)と、抵抗変化層30(VR)と、を含む。
例えば、ハフニウムとバリウムの比率(Hf:Ba)は、3:1としても良い。その比率は、2:1〜6:1の範囲にあることが好ましい。また、酸素と窒素の比率(O:N)は、例えば、8:1であり、その比率は、8:2〜8:0.5の範囲にあることが好ましい。
このようなメモリセル1の製造過程では、例えば、図示しない基体の上にスパッタ法を用いてTiNを成膜する。次に、TiN膜の上に、例えば、ALD(Atomic Layer Deposition)法を用いて酸化物を堆積する。さらに、その酸化物の上に、再度、TiN膜を形成する。続いて、フォトリソグラフィを用いてTiN/酸化物/TiNの積層構造を所定のパターンに加工し、メモリセル1を形成する。メモリセル1の幅は、例えば、10〜30nmである。
図6(a)は、低抵抗状態(セット状態)にあるメモリセル1を表す模式断面図である。図6(b)は、高抵抗状態(リセット状態)にあるメモリセル1を表す模式断面図である。
これらの図は、酸化ハフニウムの酸素サイトの一部を窒素で置換し、酸素欠陥を1個設けた酸化物hnの特性を示している。図7(a)および図7(c)は、それぞれ酸素原子の1つを窒素原子に置換したユニットセルを模式的に表している。図7(b)は、図7(a)に示すユニットセルに対応するエネルギーバンドを表している。図7(d)は、図7(c)に示すユニットセルに対応するエネルギーバンドを表している。それぞれ、横軸はエネルギー(eV)、縦軸は状態密度DOS(Density of state)である。ここで、エネルギーバンドは、模式図のユニットセルに対応した一例であり、エネルギーの値は実験的に観測されるものから1eV程度ずれることもある。
図8(a)、図8(b)および図8(c)は、酸化物hnの3つの状態に対応する結晶構造hn1、hn3、hn2をそれぞれ表している。図8(a)および図8(c)は、2つの安定状態hn1およびhn2にそれぞれ対応する。
これらの図は、酸化ハフニウムの金属サイトの一部をバリウムで置換し、酸素欠陥を1個設けた酸化物hbの特性を示している。図9(a)および図9(c)は、それぞれハフニウム原子の1つをバリウム原子に置換したユニットセルを模式的に表している。図9(b)は、図9(a)に示すユニットセルに対応するエネルギーバンドを表している。図9(d)は、図9(c)に示すユニットセルに対応するエネルギーバンドを表している。それぞれ、横軸はエネルギー(eV)、縦軸は状態密度DOSである。
図11は、第2の実施形態に係る不揮発性記憶装置の構成を例示する模式断面図である。
抵抗変化層30は、ハフニウムと、バリウムと、窒素と、フッ素と、を含有する酸化物を含む。例えば、抵抗変化層30に含まれる酸化物は、その金属サイトにハフニウムとバリウムとを含む。また、酸素サイトには、酸素と窒素とフッ素とを含む。
これらの図は、酸化ハフニウムの金属サイトの一部をバリウムで置換し、酸素サイトの一部を窒素およびフッ素で置換し、酸素欠陥を1個設けた酸化物hbfの特性を示している。図12(a)および図12(c)は、それぞれハフニウム原子の1つをバリウム原子に置換し、2つの酸素原子を窒素とフッ素とに置換したユニットセルを模式的に表している。
図12(b)は、図12(a)に示すユニットセルに対応するエネルギーバンドを表している。
図12(d)は、図12(c)に示すユニットセルに対応するエネルギーバンドを表している。それぞれ、横軸はエネルギー(eV)、縦軸は状態密度DOSである。
図12(b)および図12(d)に示すように、共に約3eVのバンドギャップを有する絶縁体である。
これらの図は、酸化物hbfの5つの状態に対応する結晶構造hbf1〜hbf5をそれぞれ表している。図13(a)および図13(e)は、2つの安定状態hbf1およびhbf2にそれぞれ対応する。
図14(a)および図14(c)は、それぞれ酸素原子の1つをフッ素原子に置換したユニットセルを模式的に表している。
図14(b)は、図14(a)に示すユニットセルに対応するエネルギーバンドを表している。
図14(d)は、図14(c)に示すユニットセルに対応するエネルギーバンドを表している。それぞれ、横軸はエネルギー(eV)、縦軸は状態密度DOSである。
図14(b)および図14(d)に示すように、共に約1eV程度のバンドギャップを有する絶縁体である。
図16は、第3の実施形態に係る不揮発性記憶装置の構成を例示する模式断面図である。
抵抗変化層30は、ハフニウム(Hf)と、ランタン(La)と、窒素(N)と、フッ素(F)と、を含有する酸化物を含む。そして、酸化物は、その金属サイトにハフニウムとランタンとを含む。また、酸素サイトには、酸素と窒素とフッ素とを含む。
これらの図は、酸化ハフニウムの金属サイトの一部をランタンで置換し、酸素サイトの一部を窒素およびフッ素で置換し、酸素欠陥を1個設けた酸化物hlの特性を示している。
図17(a)および図17(c)は、それぞれハフニウム原子の1つをランタン原子に置換し、2つの酸素原子を窒素とフッ素に置換したユニットセルを模式的に表している。
図17(b)は、図17(a)に示すユニットセルに対応するエネルギーバンドを表している。
図17(d)は、図17(c)に示すユニットセルに対応するエネルギーバンドを表している。それぞれ、横軸はエネルギー(eV)、縦軸は状態密度DOSである。
図17(b)および図17(d)に示すように、それぞれ約3eVおよび2.5eVのバンドギャップを有する絶縁体である。
これらの図は、酸化物hlの5つの状態に対応する結晶構造hl1〜hl5をそれぞれ表している。図18(a)および図18(e)は、2つの安定状態hl1およびhl2にそれぞれ対応する。
なお、上記の説明に用いた図7〜図18の各図は、本願発明者によるシミュレーションの結果得られたものである。
図19は、第4の実施形態に係る不揮発性記憶装置の構成を例示するブロック図である。
図19に表したように、不揮発性記憶装置110にメモリ部MUと制御部CUとが設けられる。
一方、選択されたワード線WLにつながる複数のメモリセルMCのデータを一括で読み出す場合には、例えば、ビット線BLのそれぞれに対して個別にセンスアンプが配置され、ビット線BLのそれぞれは、ビット線選択信号BLSで、カラム側選択回路302aを介して、個別にセンスアンプに接続される構成を採用することもできる。
図22は、第4の実施形態に係る不揮発性記憶装置の一部の構成を例示する模式的断面図である。すなわち、図22は、図21のA1−A2線断面図である。
図21及び図22に表したように、実施形態に係る不揮発性記憶装置111におけるメモリ部MUは、互いに積層された複数の要素メモリ層MAを有する。複数の要素メモリ層MAは、例えばZ軸方向に沿って積層される。本具体例では、4つの要素メモリ層MA、すなわち、第1〜第4要素メモリ層MA1〜MA4が設けられているが、要素メモリ層MAの数は、任意である。
図23は、第5の実施形態に係る不揮発性記憶装置の構成を例示する模式的断面図である。
図23に表したように、本実施形態に係る不揮発性記憶装置120は、例えば、フラッシュメモリ型のメモリセルを有する。このメモリセルは、MIS(metal-insulator-semiconductor)トランジスタの構成を有する。
また、各具体例のいずれか2つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
Claims (2)
- 第1導電層と、
第2導電層と、
前記第1導電層と前記第2導電層との間に設けられ、低抵抗状態と高抵抗状態との間を遷移可能な抵抗変化層であって、ハフニウム(Hf)およびジルコニウム(Zr)の少なくともいずれかと、バリウム(Ba)、ランタン(La)、ガドリニウム(Gd)およびルテチウム(Lu)からなる群より選択される少なくともいずれか1つの元素と、窒素(N)と、を含有する酸化物を含む抵抗変化層と、
を備え、
前記抵抗変化層は、第1の部分と、前記第2導電層と前記第1の部分との間に設けられた第2の部分と、を有し、
前記第1の部分における第1窒素濃度と、前記第2の部分における第2窒素濃度と、の差の絶対値を、前記第1窒素濃度および前記第2窒素濃度のうちの低い方で除した値は、前記第1の部分における前記いずれか1つの元素の第1濃度と、前記第2の部分における前記いずれか1つの元素の第2濃度と、の差の絶対値を、前記第1濃度および前記第2濃度のうちの低い方で除した値よりも小さい不揮発性記憶装置。 - 前記第1導電層から前記第2導電層に向かう第1の方向における前記第2の部分の厚さは、前記第1の方向における前記第1の部分の厚さよりも厚い請求項1記載の不揮発性記憶装置。
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