JP4682917B2 - 大気圧プラズマ発生方法及び装置 - Google Patents
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まず、本発明の大気圧プラズマ発生装置の第1の実施形態について、図1〜図4を参照して説明する。
実施例1:第2の不活性ガスとしてのアルゴンガス(流量500sccm)と
反応性ガスとしての酸素ガス(流量50sccm)の混合ガス
実施例2:第2の不活性ガスとしてのヘリウムガス(流量500sccm)と
反応性ガスとしての酸素ガス(流量50sccm)の混合ガス
比較例1:反応性ガスとしての酸素ガス(流量500sccm)のみの単独ガス
比較例2:反応性ガスとしての酸素ガス(流量50sccm)のみの単独ガス
をそれぞれ用いて、被処理物Sの表面のプラズマによる親水化処理を行った。その被処理物Sの表面に水を垂らし、図3に示すように、水滴の接触角Θを測定し、親水性の良否の判定を行った。
次に、本発明の大気圧プラズマ発生装置の第2の実施形態について、図5、図6を参照して説明する。尚、以下の実施形態の説明では、先行する実施形態と同一の構成要素については同一の参照符号を付して説明を省略し、主として相違点についてのみ説明する。
次に、本発明の大気圧プラズマ発生装置の第3の実施形態について、図7を参照して説明する。
次に、本発明の大気圧プラズマ発生装置の第4の実施形態について、図8を参照して説明する。
次に、本発明の大気圧プラズマ発生装置の第5の実施形態について、図9を参照して説明する。
次に、本発明の大気圧プラズマ発生装置の第6の実施形態について、図10を参照して説明する。
2 反応容器
4 高周波電源
5 第1の不活性ガス
6 一次プラズマ
7 混合ガス容器
8 混合ガス
10 混合ガス領域
11 二次プラズマ
12 第2の不活性ガス
13 反応性ガス
14 反応容器
16 混合ガス容器
18 不活性ガス容器
19 反応性ガス容器
21 プラズマ筒体
22 プラズマ展開空間
23 プラズマ発生部
24 反応空間
25a、25b 電極
27 開口
28 プラズマ展開部
29 混合ガス領域
31 開口
Claims (4)
- 反応空間を形成する反応容器に第1の不活性ガスを供給するとともに高周波電界を印加し、前記反応空間からプラズマ化した前記第1の不活性ガスから成る一次プラズマを吹き出させるプラズマ発生工程と、前記反応容器の外側に配設された不活性ガス容器に第2の不活性ガスを供給して、前記反応容器から吹き出した前記一次プラズマに第2の不活性ガスを衝突させることで前記第2の不活性ガスをプラズマ化させ、前記不活性ガス容器の外側に反応性ガスを供給して、プラズマ化した前記第2の不活性ガスに対して反応性ガスを混合することで前記反応性ガスをプラズマ化させて二次プラズマとして展開するプラズマ展開工程とを有することを特徴とする大気圧プラズマ発生方法。
- 前記第1の不活性ガスと前記第2の不活性ガスが同種の不活性ガスであることを特徴とする請求項1に記載の大気圧プラズマ発生方法。
- 前記第1の不活性ガス及び前記第2の不活性ガスは、アルゴン、ヘリウム、キセノン、ネオン、窒素、クリプトン又はこれらの1種又は複数種の混合ガスから選ばれたものであることを特徴とする請求項1又は2に記載の大気圧プラズマ発生方法。
- 反応空間を形成する反応容器と、前記反応空間に第1の不活性ガスを供給する第1の不活性ガス供給手段と、前記反応空間に高周波電界を印加する高周波電源と、前記反応容器の外側に配設され第2の不活性ガスが供給される不活性ガス容器と、前記不活性ガス容器の外側に配設され反応性ガスが供給される反応性ガス容器とを備え、
前記反応容器から吹き出した前記第1の不活性ガスからなる一次プラズマに対して前記不活性ガス容器に供給された前記第2の不活性ガスが衝突することで前記第2の不活性ガスがプラズマ化し、このプラズマ化した前記第2の不活性ガスに対して前記反応性ガス容器に供給された前記反応性ガスが混合することで前記反応性ガスがプラズマ化されて二次プラズマとして展開することを特徴とする大気圧プラズマ発生装置。
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