JP5725688B2 - 大気圧プラズマジェット装置 - Google Patents
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Description
単1のガス種、又はプラズマ中において相互に化学反応しにくい2以上のガス種から成る原料ガスを用いて大気圧プラズマジェットを発生させる大気圧プラズマジェット発生手段と、大気圧プラズマジェット処理の処理対象物を収容可能な処理室と、前記処理室内が前記原料ガスで充填され、外部に対し陽圧になるように、前記処理室内に前記原料ガスを供給する供給手段と、前記処理室を構成する第1の壁面に対向する、前記処理室を構成する第2の壁面に設けられた導入口と、前記導入口と接続し、前記処理室へ、前記大気圧プラズマジェットを導入するプラズマジェットノズルと、を備えることを特徴とする大気圧プラズマジェット装置。
前記処理室は、前記処理対象物の前記処理室への導入、及び/又は前記処理対象物の前記処理室からの取り出しに利用可能な処理対象物出入り口を備えることを特徴とする請求項1記載の大気圧プラズマジェット装置を要旨とする。
(3)請求項3の発明は、
前記処理対象物出入り口を、前記処理室における一方の側と、前記処理室における前記一方の側とは反対側とに、それぞれ備えることを特徴とする請求項2記載の大気圧プラズマジェット装置を要旨とする。
(4)請求項4の発明は、
前記処理対象物出入り口における開口面積を調整する開口面積調整手段を備えることを特徴とする請求項2又は3記載の大気圧プラズマジェット装置を要旨とする。
(5)請求項5の発明は、
前記原料ガスが、窒素、及び酸素のうちの一方であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の大気圧プラズマジェット装置を要旨とする。
大気圧プラズマジェット装置1は、図1に示すように、大気圧プラズマジェット発生手段3と、筒状部材5とから成る。
原料ガスの種類を窒素とし、原料ガスの流量を40L/minとして、大気圧プラズマジェット発生手段3にて大気圧プラズマジェット25を発生させた。このとき、プラズマプルームは、筒状部材5の導出口27から2cm先まで到達した。
3.大気圧プラズマジェット装置1の作用効果
筒状部材5の導入口23からは、大気圧プラズマジェット25とともに、原料ガスが導入され、筒状部材5の内部は、原料ガスで陽圧になるため、筒状部材5の内部に空気が混入することがない。導入口23から導入された大気圧プラズマジェット25は、原料ガスで充填されている筒状部材5の内部では減衰しにくいので、筒状部材5の導出口27に至り、そこから更に下方に向けて噴射される。その結果、大気圧プラズマジェット25が到達する最大距離は、少なくとも、筒状部材5の分だけ長くなる。また、筒状部材5の外径は細いため、微細な隙間に挿入することができる。よって、筒状部材5を処理対象物表面に存在する凹部に差し込み、筒状部材5の導出口27から大気圧プラズマジェット25を噴出させることにより、凹部の奥まで容易に表面改質することができる。
図2に示すように、大気圧プラズマジェット装置1は、大気圧プラズマジェット発生手段3と、処理室29とから成る。なお、大気圧プラズマジェット発生手段3の構成は、前記実施例1と同様である。
処理室29における下部33の上側に、処理対象物として、PETシート39を置いた。このPETシート39の大きさは、上部31の開口面とほぼ等しい大きさである。そして、原料ガスの種類を窒素とし、原料ガスの流量を40L/minとして、大気圧プラズマジェット発生手段3にて大気圧プラズマを発生させた。すると、導入口35から、処理室29の内部に向けて、大気圧プラズマジェット25が噴出した。大気圧プラズマジェット25は、図5に示すように、PETシート39まで至り、そこから更に横方向に広がった。大気圧プラズマジェット25の噴射は、10秒間行い、その後、PETシート39を取り出した。
上記のように大気圧プラズマジェット25を噴射した後で、PETシート39の親水性改善効果を調べたところ、PETシート39の上面は、その全面にわたって顕著に親水性となっていた。
基本的には前記実施例2と同様であるが、処理室29の右側に、高さ3cm、幅11cmの長方形の開口部40を備え、この開口部40に、同じサイズの断面を持ち、水平方向の長さが13cmの矩形ダクト41が接続されている。そして、矩形ダクト41の出口に、開口面積を調整するシャッター(開口面積調整手段)43を備えている。開口部40及び矩形ダクト41は、処理室29への処理対象物の導入、及び、処理室29からの処理対象物の取り出しに利用可能である。
シャッター43を充分開け、矩形ダクト41を通して、処理室29内に処理対象物を導入する。その後、シャッター43を下げ、矩形ダクト41の開口面積を小さくする。次に、前記実施例2と同様にして、処理室29内に大気圧プラズマジェットを噴射し、親水化処理を行う。親水化処理が終わると、シャッター43を開け、矩形ダクト41を通して、処理室29から処理対象物を取り出す。
本実施例3の大気圧プラズマジェット装置1は、開口部40及び矩形ダクト41を備えており、そこから処理対象物の出し入れができるので、処理対象物の出し入れのとき、処理室29を全面開放する必要がない。そのため、処理対象物の出し入れごとに処理室29の内部を原料ガスで置換する工程が必要なく、表面改質のプロセスを迅速化することができる。
なお、本実施例3でも、前記実施例2と同様に、長大なプラズマプルームが生じ、処理対象物の表面改質効果を奏した。
基本的には前記実施例3と同様であるが、処理室29の右側に開口部40及び矩形ダクト41を備えることに加え、処理室29の左側にも、開口部45及び矩形ダクト46を備えている。そして、矩形ダクト46の出口には、その開口面積を調整するシャッター(開口面積調整手段)47を備えている。
シャッター43を充分開け、矩形ダクト41を通して、処理室29内に処理対象物を導入する。その後、シャッター43を下げ、矩形ダクト41の開口面積を小さくする。次に、前記実施例2と同様にして、処理室29内に大気圧プラズマジェット25を噴射し、親水化処理を行う。親水化処理が終わると、シャッター47を開け、矩形ダクト46を通して、処理室29から処理対象物を取り出す。
本実施例4の大気圧プラズマジェット装置1は、開口部40、45及び矩形ダクト41、46を備えており、例えば、開口部40及び矩形ダクト41を通して、処理対象物を処理室29内に導入し、開口部45及び矩形ダクト46を通して、処理対象物を取り出すことができるので、処理対象物の出し入れのとき、処理室29を全面開放する必要がない。そのため、処理対象物の出し入れごとに処理室29の内部を原料ガスで置換する工程が必要なく、表面改質のプロセスを迅速化することができる。
なお、本実施例4でも、前記実施例2と同様に、長大なプラズマプルームが生じ、処理対象物の表面改質効果を奏した。
(比較例1)
前記実施例1の大気圧プラズマジェット装置1から、筒状部材5を取り除き、大気圧プラズマジェットを発生させた。原料ガスの流量等、運転条件は前記実施例1と同様とした。このとき、プラズマプルームの長さは、約2cmに過ぎなかった。
(比較例2)
前記実施例1の大気圧プラズマジェット装置1と基本的には同一の構成であるが、原料ガスの種類を空気に変えて、大気圧プラズマジェットを発生させた。原料ガスの流量等、運転条件は前記実施例1と同様とした。すると、大気圧プラズマジェットは、筒状部材5の内部で強く減衰してしまい、筒状部材5の先端からプラズマの噴出が観測できなかった。また、筒状部材5の先端に処理対象物を近づけて保持しても、表面改質の効果が見られなかった。
(参考例1)
前記実施例3の大気圧プラズマジェット装置1において、シャッター43を全開としたまま、大気圧プラズマジェット25を噴出した。このとき、プラズマプルームの長さは、約4cmであり、従来の大気圧プラズマジェットの長さである2cmよりは長かったが、前記実施例3におけるプラズマプルームの長さには及ばなかった。
尚、本発明は前記実施例になんら限定されるものではなく、本発明を逸脱しない範囲において種々の態様で実施しうることはいうまでもない。
3・・・大気圧プラズマジェット発生手段
5・・・筒状部材
7・・・プラズマジェット筒
9・・・パルス電極
11・・・内部電極
13・・・外部電極
15・・・プラズマジェットノズル
17・・・放電プラズマ
21、35・・・導入口
23・・・絶縁リング
25・・・大気圧プラズマジェット
27・・・導出口
29・・・処理室
31・・・上部
33・・・下部
37・・・隙間
39・・・PETシート
40、45・・・開口部
41、46・・矩形ダクト
43、47・・・シャッター
Claims (5)
- 単1のガス種、又はプラズマ中において相互に化学反応しにくい2以上のガス種から成る原料ガスを用いて大気圧プラズマジェットを発生させる大気圧プラズマジェット発生手段と、
大気圧プラズマジェット処理の処理対象物を収容可能な処理室と、
前記処理室内が前記原料ガスで充填され、外部に対し陽圧になるように、前記処理室内に前記原料ガスを供給する供給手段と、
前記処理室を構成する第1の壁面に対向する、前記処理室を構成する第2の壁面に設けられた導入口と、
前記導入口と接続し、前記処理室へ、前記大気圧プラズマジェットを導入するプラズマジェットノズルと、
を備えることを特徴とする大気圧プラズマジェット装置。 - 前記処理室は、前記処理対象物の前記処理室への導入、及び/又は前記処理対象物の前記処理室からの取り出しに利用可能な処理対象物出入り口を備えることを特徴とする請求項1記載の大気圧プラズマジェット装置。
- 前記処理対象物出入り口を、前記処理室における一方の側と、前記処理室における前記一方の側とは反対側とに、それぞれ備えることを特徴とする請求項2記載の大気圧プラズマジェット装置。
- 前記処理対象物出入り口における開口面積を調整する開口面積調整手段を備えることを特徴とする請求項2又は3記載の大気圧プラズマジェット装置。
- 前記原料ガスが、窒素、及び酸素のうちの一方であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の大気圧プラズマジェット装置。
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