KR20110063712A - 자외선 조사 장치 - Google Patents

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KR20110063712A
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가부시키가이샤 지에스 유아사
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Abstract

자외선(紫外線) 조사(照射) 장치의 관리 부담을 가급적 저감하면서, 양호한 효율로 처리 대상물에 자외선을 조사할 수 있도록 한다. 처리 대상물을 향해 자외선을 조사하는 방전 램프와, 이 방전 램프와 상기 처리 대상물과의 사이의 공간에 가스를 공급하는 가스 공급 수단이 설치된 자외선 조사 장치에 있어서, 상기 가스 공급 수단은, 상기 방전 램프의 측방에 배치된 상기 가스의 분출구와, 상기 처리 대상물의 존재 측의 반대측에 있어서 상기 방전 램프의 주위 공간을 덮는 차폐체를 구비하여 구성되어 있다.

Description

자외선 조사 장치{ULTRAVIOLET LIGHT IRRADIATION DEVICE}
본 발명은, 처리 대상물을 향해 자외선(紫外線)을 조사(照射)하는 방전 램프와, 이 방전 램프와 상기 처리 대상물과의 사이의 공간에 가스를 공급하는 가스 공급 수단이 설치된 자외선 조사 장치에 관한 것이다.
이러한 자외선 조사 장치는, 처리 대상물에 대하여, 예를 들면, 172nm 등의 단파장의 자외선을 조사하여 처리 대상물의 세정 등의 처리를 행하는 장치이다.
이와 같은 자외선은, 분위기 중에 산소가 존재하면, 이 산소에 흡수되어 현저하게 감쇠(減衰)한다.
그러므로, 하기 특허 문헌 1에도 기재된 바와 같이, 자외선을 방사(放射)하는 방전 램프와 처리 대상물과의 사이의 공간에 질소 가스 등의 불활성 가스를 공급하여 자외선의 감쇠를 억제하는 것이 종래부터 행해지고 있다.
방전 램프와 처리 대상물과의 사이의 공간에 대한 불활성 가스의 공급 방법으로서는, 종래, 방전 램프와 이 방전 램프의 하측에 위치하는 처리 대상물에 대하여, 방전 램프의 위쪽으로 배치된 분출구로부터 불활성 가스를 단순하게 다운플로우(downflow)로 공급하는 방법 외에, 하기 특허 문헌 1에 기재된 바와 같이, 불활성 가스를 단순하게 다운플로우로 공급하지 않고, 불활성 가스의 분출구와 방전 램프와의 사이에 불활성 가스를 확산시키는 확산판을 배치하여, 불활성 가스를 균일하게 흐르도록 하는 방법도 고려되고 있다.
일본 특허 출원 공개번호 2005-197291호 공보
그러나, 전자(前者)의 단순하게 다운플로우로 불활성 가스를 공급하는 방법으로는, 이른바 백분(白粉)으로 칭(稱)해지는 분말상(粉末狀)의 물질이 방전 램프의 표면에 부착되는 경우가 있다.
이 백분은, 자외선 조사 장치를 설치한 룸(room)의 분위기 중에 존재하는 Si계의 부유 물질이 자외선 조사 장치 내에 침입하여, 방전 램프로부터 방사된 자외선과 반응하여 산화물로 된 것으로 여겨진다.
방전 램프의 표면에 백분이 부착되면, 이 백분이 자외선을 흡수함으로써 방전 램프로부터의 자외선 방사광량이 저하되고, 그 외에도 처리 대상물 불량의 일 요인인 파티클(particle)이 되는 등의 문제점이 있다.
그러므로, 자외선 조사 장치의 사용자는, 방전 램프에 부착된 백분을 정기적으로 청소하는 작업이 요구되었고, 장치의 관리 부담의 증대를 초래하고 있다.
또한, 후자(後者)의 불활성 가스의 분출구와 방전 램프와의 사이에 불활성 가스의 확산판을 배치하는 방법으로는, 상기 백분의 부착은 억제되지만, 전자와 같은 정도의 불활성 가스의 공급량으로는, 방전 램프 측으로 분사되는 불활성 가스의 풍량이 작아, 방전 램프에 대한 냉각 효과가 저하되는 경우가 있었다. 방전 램프에 대한 냉각 효과가 저하되면 방전 램프의 온도가 상승하여, 방사되는 자외선 강도가 저하된다.
본 발명은, 이러한 실정을 감안하여 이루어진 것으로서, 그 목적은, 자외선 조사 장치의 관리 부담을 가급적 저감하면서, 양호한 효율로 처리 대상물에 자외선을 조사할 수 있도록 하는 점에 있다.
본 출원의 제1 발명은, 처리 대상물을 향해 자외선을 조사하는 방전 램프와, 이 방전 램프와 상기 처리 대상물과의 사이의 공간에 가스를 공급하는 가스 공급 수단이 설치된 자외선 조사 장치에 있어서, 상기 가스 공급 수단은, 상기 방전 램프의 측방에 배치된 상기 가스의 분출구와, 상기 처리 대상물의 존재 측의 반대 측에 있어서 상기 방전 램프의 주위 공간을 덮는 차폐체(遮蔽體)를 구비하여 구성되어 있다.
본 발명의 발명자는, 단순하게 분출구로부터 가스를 방전 램프를 향해 다운플로우로 분출하는 구성에 있어서 가스의 기류 해석을 행한 바에 의하면, 분출구로부터 분출된 가스의 흐름에 소용돌이 모양, 특히 방전 램프 상방을 향해 휩쓸려 올라가는 수직 방향의 소용돌이 모양의 난류(亂流)가 발생하고 있다는 것을 확인할 수 있었다.
외부로부터 침입한 불순물이 이 소용돌이 모양의 난류에 의해 방전 램프 상방까지 휩쓸려 올라가, 이 휩쓸려 올라간 불순물이 다시 가스의 다운플로우를 타고 방전 램프에 부착됨으로써, 방전 램프에 상기 백분이 부착되는 것이다.
이에, 방전 램프의 측방에 배치된 분출구, 바람직하게는 방전 램프의 측방의 램프 상면보다 하부에 배치된 분출구로부터 상기 가스를 방전 램프를 향해 분사하고, 이에 따라 방전 램프에 부딪힌 상기 가스가 방전 램프 표면을 따른 층형(層形)의 흐름을 형성하도록 했다. 특히, 방전 램프 하면에 어스측 전극, 램프 상면에 고전압측 전극이 외부에 배치된 외부 전극형 방전 램프를 사용할 경우에는, 고전압으로 위험하기 때문에 방전 램프 상측에 분출구를 접근시키기 곤란하다. 그러므로, 방전 램프 상면, 특히 상측 외부 전극보다 하부에 분출구를 설치하는 것이 바람직하다.
이와 같이 가스를 직접 방전 램프에 분출함으로써, 비교적 적은 가스 유량으로 방전 램프는 적확(的確)하게 냉각되어, 방전 램프의 온도 상승에 따른 자외선의 방사 강도의 저하가 억제된다.
또한, 방전 램프 표면을 따른 층형의 가스의 청정한 흐름에 의해 방전 램프에 대한 백분의 부착이 억제된다.
상기 가스를 방전 램프를 향해 분사한다는 것은, 전기 가스가 방전 램프 표면을 따른 층형의 흐름을 형성하도록 상기 방전 램프 표면에 상기 가스를 분출하는 형태인 것이 바람직하다. 이렇게 함으로써 방전 램프 표면에 대한 백분의 부착을 충분히 억제할 수 있기 때문이다.
또한, 본 출원의 제2 발명은, 상기 제1 발명의 구성에 대하여, 상기 차폐체에, 상기 가스의 배출용의 배출구가 형성되어 있다.
따라서, 방전 램프 표면을 따라 형성된 층형의 가스의 청정한 흐름을 배출구로부터 배출시킴으로써, 소용돌이 모양, 특히 방전 램프 상측으로 향하여 휩쓸려 올라가는 것을 수반한 수직 방향의 소용돌이 모양의 흐름의 발생을 억제할 수 있다.
이로써, 가스의 흐름에 불순물이 혼입되는 것을 억제하여 방전 램프에 대한 백분의 부착을 억제할 수 있다.
상기 분출구는, 방전 램프의 양쪽 측방에 배치되는 자외선 조사 장치인 것이 더욱 바람직하다. 이는, 방전 램프의 길이 방향 양 측면 영역을 대체로 균일하게 냉각하는 효과 및 백분의 부착 억제 효과를 높일 수 있기 때문이다. 분출구가 대항하고 있는 경우 등, 분출된 가스가 방전 램프의 하측에서 충돌하더라도, 방전 램프 전체적으로 본 경우, 냉각 효과 및 백분의 부착 억제 효과는 충분히 얻어지고 있다. 또한, 다음과 같은 경우에는, 가스가 누출되는 유로가 형성되므로, 바람직하다. 즉, 램프의 길이 방향에 대하여 수직인 일 방향으로 유리 기판 등의 피조사물을 반송하는 반송 수단을 구비하고 있는 경우에는, 피조사물의 흐름에 의해 일 방향으로 가스가 누출되게 된다.
또한, 본 출원의 제3 발명은, 상기 제1 또는 제2 발명의 구성에 더하여, 상기 방전 램프는, 일 방향으로 긴 편평형상(扁平形狀)이면서, 또한 단변(短邊) 방향의 단부가 완만한 만곡 형상을 가지도록 형성되고, 상기 분출구는, 상기 방전 램프의 단변 방향의 단부(端部)를 향해 상기 가스를 분출하도록, 상기 방전 램프의 양측으로 복수개 배열되어 배치된 구성으로 이루어져 있다.
즉, 방전 램프의 단변 방향의 단부를 향해 분출구로부터 분출된 가스는, 그 단부의 완만한 만곡 형상을 따라 흘러서 편평면에서 완만하게 퍼지고, 층형의 흐름을 형성한다.
이와 같이, 가스의 흐름이 방전 램프의 편평면에서 완만하게 퍼지므로, 가스의 흐름에 의한 소용돌이의 발생이 더욱 억제된다.
또한, 본 출원의 제4 발명은, 상기 제3 발명에 구성에 더하여, 상기 방전 램프의 양측에 배치되어 있는 상기 분출구는, 일측의 상기 분출구와 타측의 분출구가 상기 방전 램프의 길이 방향으로 서로 위치가 어긋난 상태로 나란히 배치되어 있다.
즉, 분출구로부터 분출된 상기 가스의 흐름은, 방전 램프의 편평면에서 완만하게 퍼져서 소용돌이 모양의 흐름의 발생을 억제하지만, 방전 램프의 양쪽으로부터 분출된 가스가 편평면상에서 충돌하는 구성으로는, 가스의 유속에 따라서는 소용돌이 모양의 흐름이 발생할 가능성도 있다.
이에, 가스의 분출구의 배열을 방전 램프의 양쪽에서 위치를 어긋나게 함으로써, 방전 램프의 편평면상에서의 가스의 충돌을 억제하여, 소용돌이 모양, 특히 방전 램프 위쪽을 향해 휩쓸려 올라가는 수직 방향의 소용돌이 모양의 흐름의 발생을 더욱 적확하게 배제할 수 있다.
상기 제1 발명에 의하면, 가스의 흐름을 적절하게 설정함으로써, 방전 램프의 온도 상승이나 방전 램프에 대한 백분의 부착을 억제하여, 자외선 조사 장치의 관리 부담을 가급적 저감하면서, 양호한 효율로 처리 대상물에 자외선을 조사할 수 있다.
또한, 상기 제2 발명에 의하면, 가스의 흐름에 있어서 소용돌이 모양, 특히 방전 램프 위쪽을 향해 휩쓸려 올라가는 수직 방향의 소용돌이 모양의 흐름의 발생이 억제되므로, 방전 램프에 대한 백분의 부착을 더욱 억제할 수 있다.
또한, 상기 제3 발명에 의하면, 가스의 흐름에 의한 소용돌이의 발생이 더욱 억제되므로, 방전 램프에 대한 백분의 부착을 더 한층 억제할 수 있다.
또한, 상기 제4 발명에 의하면, 가스의 소용돌이 모양의 흐름의 발생을 더욱 적확하게 배제 가능하므로, 방전 램프에 대한 백분의 부착을 더욱 억제할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 주요부의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 주요부의 측면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 평면에서 볼 때의 불활성 가스의 분사 위치를 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 장치의 개략적인 구성도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 주요부의 측면도이다.
이하, 본 발명의 자외선 조사 장치를 엑시머 램프를 사용한 유리 기판용 세정 장치에 적용한 경우의 실시예를, 도면을 참조하여 설명한다.
세정 장치 CL은, 세정 처리의 처리 대상물인 유리 기판(1)에 대하여 200nm 이하의 진공 자외선(구체적으로는 172nm 파장의 자외선)을 조사하여, 자외선 및 자외선에 의해 발생한 활성 산소의 세정 작용에 의해 유리 기판(1) 표면의 유기 오염물을 분해 제거하는 장치이며, 도 4의 개략적인 단면도에 나타낸 바와 같이, 하우징(2) 내에, 유리 기판(1)을 반송하는 반송 롤러(3)가 나란히 배치되고, 반송 롤러(3)에 의한 반송 경로의 중앙부에 치우친 위치에, 이른바 엑시머 램프로 불리우는 복수개의 방전 램프(4)가 유리 기판(1)의 반송 방향(도 4의 화살표 TD로 나타낸 방향, 도 1 내지 도 3에서도 동일)으로 나란히 배치되어 있다. 이와 같이, 방전 램프, 특히 하방 조사면이 평면인 편평형 방전 램프의 하방 조사면측과 유리 기판 등의 비반송물과의 사이에는 유리창 등이 배치되지 않고, 기체를 개재시키기만 하는 장치 구성이며, 방전 램프의 배치 공간이 장치 외부의 공간에 개방되어 있다. 이와 같은 자외선 조사 장치를 반(半)개방형의 자외선 조사 장치라고 한다.
세정 장치 CL에서는, 상류측(도 4의 우측)의 입구로부터 유리 기판(1)이 반입되어 오면 반송 롤러(3)에 의해 유리 기판(1)을 하류측으로 설정 속도로 반송 구동하고, 방전 램프(4)가 유리 기판(1)에 대하여 자외선을 조사한다.
방전 램프(4)가 조사하는 172nm 대역 등의 진공 자외선은 공기중의 산소에 의하여 많이 흡수되므로, 하우징(2) 내에서의 유리 기판(1)의 반송 경로 부근의 분위기는, 외부로부터 공급되는 청정한 불활성 가스에 의해 치환되어 있고, 상기 반송 경로를 통과한 불활성 가스는 하우징(2)의 하부의 배기구(2a)로부터 배출된다.
그리고, 본 실시예에서는, 상기 불활성 가스로서 질소 가스를 사용하고 있지만, 다른 불활성 가스를 사용해도 된다. 또한, 목적에 따라 자외선을 조사하여 실질적으로 처리를 행할 수 있는 정도의 소량의 공기나 산소 등을 불활성 가스에 혼입(「프로세스 가스」라고 함)해도 된다. 또한, 2종류 이상의 가스를 혼합한 것을 사용해도 된다.
본 실시예에서 예시하는 방전 램프(4)는, 유리 기판(1)의 반송 방향으로 절단한 것을 사시도로서 나타낸 도 1, 유리 기판(1)의 반송 방향으로 절단한 것을 반송 가로 폭 방향에서 본 도 2, 및 방전 램프(4)의 상면보다 약간 위쪽에서 수평 방향으로 절단한 것을 평면에서 본 도 3에 나타낸 바와 같이, 일 방향[유리 기판(1)의 반송 가로 폭 방향]으로 긴 편평형상을 가지고 있고, 가늘고 긴 편평한 통의 길이 방향 양단을 폐색(閉塞)한 구조로 되어 있다.
보다 상세하게는, 방전 램프(4)는, 그것의 편평면의 법선 방향에서 보면 상기 일 방향[유리 기판(1)의 반송 가로 폭 방향]으로 가늘고 긴 직사각형을 이루고, 상기 편평면의 단변 방향[유리 기판(1)의 반송 방향]의 단부(측단부)는 외측으로 볼록하고 둥글게 되어, 완만한 만곡 형상을 가지고 있다.
방전 램프(4)의 재질은 합성 석영 유리이며, 방전 램프(4) 내에는, 예를 들면, 크세논, 아르곤, 크립톤 등의 희가스, 필요에 따라 불소, 염소 등의 할로겐 가스 등이 봉입(封入)되어 있다.
도시하지 않았지만, 방전 램프(4)의 편평면에는 상면측과 하면측[유리 기판(1) 존재측]에 한쌍의 전극이 형성되어 있다.
상면측의 전극은 금속막의 전극이 일양(一樣)하게 형성된 납작한 전극이며, 하면측의 전극은 금속막이 메쉬형으로 형성된 메쉬 전극이다.
이 상하 한쌍의 전극에 교류 고전압이 인가되면, 방전 램프(4)의 내부 공간에서 이른바 유전체 배리어 방전(dielectric-barrier discharge)이 발생하여 방전 램프(4) 내의 봉입 가스 등에 작용하여, 봉입 가스가 크세논인 경우, 상기 172nm 대역의 자외선을 발생시킨다. 발생한 자외선은 하면측의 메쉬 전극의 간극을 통과하여 외부로 방사된다.
방전 램프(4)는, 이 자외선을 방사하는 편평면이 유리 기판(1)의 반송 방향을 따라 설치되어 있으므로, 반송되는 유리 기판(1)에 대하여 균등한 강도의 자외선을 비교적 긴 거리에 걸쳐 조사할 수 있다.
다음으로, 방전 램프(4)의 근방에 질소 가스를 공급하는 가스 공급 수단 GS에 대하여 설명한다.
방전 램프(4) 근방에 있어서의 가스 공급 수단 GS에 의한 질소 가스의 공급 유로는, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 둥근 파이프(11)와, 이 둥근 파이프(11)의 하단에 접속되는 각진 파이프(12)와, 유리 기판(1)의 존재측의 반대측, 즉 상부측에 있어서 방전 램프(4)의 주위 공간을 덮는 차폐체(13)에 의해 형성되어 있다.
둥근 파이프(11)는, 1개의 각진 파이프(12)에 대하여 복수개가 접속되고, 외부로부터 공급되는 청정한 질소 가스를 각진 파이프(12)의 내부 공간으로 불어넣는다.
각진 파이프(12)는, 유리 기판(1)의 반송 가로 폭 방향에 있어서 방전 램프(4)와 대략 같은 길이를 가지고 있고, 각진 파이프(12)의 양쪽 면에는, 질소 가스를 분출하는 복수개의 개구(12a)가 형성되어 있다. 이 개구(12a)는, 각진 파이프(12)의 길이 방향으로 원칙적으로 등(等) 피치로 배열되어 형성되어 있다.
이 둥근 파이프(11)와 각진 파이프(12)를 접속한 것은, 유리 기판(1)의 반송 방향으로 배열된 각각의 방전 램프(4) 사이에 배치되어 있고, 상세한 것은 후술하지만, 각각의 각진 파이프(12)는 그것의 양측에 위치하는 방전 램프(4)를 향해 질소 가스를 분출하고 있다.
차폐체(13)는, 유리 기판(1)의 반송 가로 폭 방향에서 볼 때 대략 "コ"자형의 단면을 가지고 있고, "コ"자형의 개방측을 하측으로 향하는 자세로 방전 램프(4) 근방을 위쪽으로부터 덮고 있다. 차폐체(13)의 하단 위치는, 각진 파이프(12)의 하단 위치보다 약간 하측에 위치하고 있고, 방전 램프(4)의 측단부로부터 각진 파이프(12) 측을 향해 방사되는 자외선을 차폐체(13)에 의해 차단하고 있다.
차폐체(13)도, 유리 기판(1)의 반송 가로 폭 방향에 있어서 방전 램프(4)와 대략 같은 길이를 가지고 있다.
각진 파이프(12)의 측면과 차폐체(13)의 세로벽부(13a)와는 근소한 간극을 두고 근접 배치되어 있고, 세로벽부(13a)에는, 각진 파이프(12)의 개구(12a)보다 지름이 약간 큰 분출구(13b)가, 각각의 개구(12a)에 대응하여, 유리 기판(1)의 반송 방향에서 볼 때 개구(12a)와 동심형이 되도록 형성되어 있다.
이 개구(12a) 및 분출구(13b)의 존재 높이는, 방전 램프(4)의 높이 방향(즉 두께 방향)의 중앙 위치와 일치되어 있고, 각진 파이프(12)의 내부 공간에 공급된 질소 가스는, 개구(12a) 및 분출구(13b)를 통과하여, 방전 램프(4) 측단부의 정상부(頂上部)를 향해 분출된다.
차폐체(13)에 상측을 덮는 방전 램프(4)는, 양쪽의 분출구(13b)로부터 균등한 거리로 되는 중앙 위치에 도시하지 않은 지지 부재에 의해 장착되어 있다.
차폐체(13)의 상면에는, 질소 가스를 배출하는 슬릿형의 배출구(13c)가 형성되어 있다.
배출구(13c)는, 유리 기판(1)의 반송 방향[방전 램프(4)의 단변측 방향]에 있어서의 방전 램프(4)의 중앙 위치의 바로 위에 위치하고 있고, 도 3에 가상선으로 나타낸 바와 같이, 방전 램프(4)의 길이 방향으로 복수개가 배열된 상태로 형성되어 있다.
1개의 방전 램프(4)에 대하여, 유리 기판(1)의 반송 방향의 상류측 및 하류측의 양측[보다 상세하게는, 상류측 및 하류측의 양쪽의 측협(側脇)]에 위치하는 분출구(13b)로부터 질소 가스가 분사되지만, 도 3의 평면도에 있어서 질소 가스의 분출 위치를 화살표 A로 나타낸 바와 같이, 상류측과 하류측으로 등 피치로 배열된 분출구(13b)의 배열이 서로 1/2피치만큼 어긋나 지그재그 배치형상으로 위치가 어긋나 있다.
다만, 분출구(13b)의 배열된 단부만 상류측과 하류측이 대향하는 상태로 배치되어 있다.
전술한 바와 같은 배치 구성에 있어서, 외부로부터 받아들인 청정한 질소 가스가 둥근 파이프(11)를 거쳐 각진 파이프(12)의 내부 공간에 공급되면, 각진 파이프(12)의 개구(12a) 및 차폐체(13)의 분출구(13b)를 거쳐, 방전 램프(4)의 만곡 형상의 측단부를 향해 질소 가스가 분출된다.
방전 램프(4)의 측단부에 부딪힌 질소 가스는, 도 2의 화살표 B로 질소 가스가 흐르는 방향을 나타낸 바와 같이, 방전 램프(4)의 측단부의 만곡 형상을 따라 방전 램프(4)의 상면측과 하면측으로 나뉘어지고, 각각이 또한, 방전 램프(4)의 상하의 편평면을 따라 흐른다. 이와 같은 방전 램프(4)의 표면을 따른 흐름에 의해, 방전 램프(4)의 표면 상에 청정한 질소 가스의 층이 형성된다.
방전 램프(4)의 상면측의 편평면을 따라 흐른 질소 가스는, 또한 배출구(13c)로 흘러 외부로 배출된다.
이와 같이 유로가 형성되는 질소 가스에 의해, 방전 램프(4)의 하면측과 유리 기판(1)과의 사이의 공간이 적확하게 질소 가스에 의해 치환되는 것은 물론, 비교적 적은 유량의 질소 가스로 방전 램프(4)가 효과적으로 냉각되고, 청정한 질소 가스의 흐름에 의해 백분의 부착이 효과적으로 억제된다. 또한, 위쪽으로 흐른 질소 가스가 배출구(13c)를 거쳐 배출됨으로써, 백분을 흩날리게 하는 기류의 어지러운 움직임도 억제할 수 있다. 아래로 흐른 질소 가스는, 하우징(2)의 하부의 배기구(2a)로부터 배출되거나, 처리 대상물과 함께 TD 방향으로 흐른다.
[다른 실시예]
이하, 본 발명의 다른 실시예를 기술한다.
(1) 상기 실시예에서는, 방전 램프(4)로서 편평형상의 것을 예시하고 있지만, 단면 형상이 원형인 방전 램프 등 각종 형상의 것에 본 발명을 적용할 수 있다.
(2) 상기 실시예에서는, 방전 램프(4)에 대하여, 유리 기판(1)의 반송 방향 상류측의 분출구(13b)와 하류측의 분출구(13b)에서, 반송 가로 폭 방향에서의 배치가 지그재그로 되어 있는 경우를 예시하고 있지만, 상류측의 분출구(13b)와 하류측의 분출구(13b)가 모두 대향하는 위치로 되도록 배치하여 구성해도 된다.
(3) 상기 실시예에서는, 본 발명의 자외선 조사 장치를 세정 장치 CL에 적용하는 경우를 예시하고 있지만, 자외선을 사용하는 각종 처리 장치에 적용할 수 있다.
(4) 상기 실시예에서는, 1개의 방전 램프(4)에 대하여 그것의 양쪽 측협으로부터 질소 가스를 분출하는 구성으로서, 가스 공급 수단 GS가 각 방전 램프(4)마다 질소 가스를 공급하는 경우를 예시하고 있지만, 복수개 배열된 방전 램프에 대하여 함께 가스를 분출하는 형태로 공급하도록 구성해도 된다.
(5) 상기 실시예에서는, 차폐체(13)에 있어서의 방전 램프(4)의 상측 위치[방전 램프(4)에 대하여 유리 기판(1)의 존재측과 반대측의 위치]에 배출구(13c)를 형성하는 경우를 예시하고 있지만, 도 5에 나타낸 바와 같이 차폐체(13)에 배출구(13c)를 구비하지 않도록 구성할 수도 있다. 도 5는, 상기 실시예에서의 도 2에 대응하는 것이다.
차폐체(13)에 배출구(13c)를 구비하지 않는 경우, 도 5에 있어서 방전 램프(4)의 상면을 따라 흐르는 질소 가스는, 일단 상승한 후, 인접하는 분출구(13b) 사이의 압력이 낮은 부분을 통과하여, 방전 램프(4)의 아래쪽[방전 램프(4)에 대하여 유리 기판(1)의 존재측]으로 배출된다.
이와 같이 구성한 경우라도, 방전 램프(4)의 표면에 형성되는, 층형의 청정한 질소 가스의 흐름에 의해, 방전 램프(4)에 대한 백분의 부착이 억제된다.
본 출원은, 2008년 9월 18일 출원된 일본특허 출원번호 2008-240090에 기초한 것이며, 그 내용은 여기에 참조로서 원용된다.
GS: 가스 공급 수단
4: 방전 램프
13: 차폐체
13b: 분출구
13c: 배출구

Claims (4)

  1. 처리 대상물을 향해 자외선(紫外線)을 조사(照射)하는 방전 램프와, 상기 방전 램프와 상기 처리 대상물과의 사이의 공간에 가스를 공급하는 가스 공급 수단이 설치된 자외선 조사 장치로서,
    상기 가스 공급 수단은, 상기 방전 램프의 측방에 배치된 상기 가스의 분출구와, 상기 처리 대상물의 존재 측의 반대 측에 있어서 상기 방전 램프의 주위 공간을 덮는 차폐체(遮蔽體)를 구비하여 구성되어 있는, 자외선 조사 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 차폐체에, 상기 가스 배출용의 배출구가 형성되어 있는, 자외선 조사 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 방전 램프는, 일 방향으로 긴 편평형상(扁平形狀)이면서, 또한 단변(短邊) 방향의 단부(端部)가 완만한 만곡 형상을 가지도록 형성되고,
    상기 분출구는, 상기 방전 램프의 단변 방향의 단부를 향해 상기 가스를 분출하도록, 상기 방전 램프의 양측에 복수개 나란히 배치되어 구성되어 있는, 자외선 조사 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 방전 램프의 양측에 배치되어 있는 상기 분출구는, 한쪽의 상기 분출구와 다른 쪽의 상기 분출구가 상기 방전 램프의 길이 방향으로 서로 위치가 어긋난 상태로 나란히 배치되어 있는, 자외선 조사 장치.
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