JP5031634B2 - プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 - Google Patents
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Description
筐体と、
前記筐体の内部に設けられた一対の電極と、
前記電極間に所定の電力を供給する電源と、
前記一対の電極間に形成されたガス流路を前記電極に沿うように通過するように、処理ガスを供給する処理ガス供給装置を備えた間接型プラズマ処理装置であって、
前記筐体の前記ガス流路の下流側に、前記電極間で発生された放電によって前記処理ガスをプラズマ化したプラズマ流体を被処理物に対して噴射するための開口が形成され、
前記開口を囲むように設けられたシールド部材と、前記シールド部材の内側に設けられ、前記プラズマ流体に対して紫外線を照射する紫外線光源とをさらに備え、
前記シールド部材は、前記電極間で発生され、被処理物に対して噴射されるプラズマ流体を所定の領域内に閉じ込めると共に、前記シールド部材の内面で反射された紫外線を再びプラズマ流体に照射するように構成されていることを特徴とする。
本発明の第1実施形態に係るプラズマ処理装置及びプラズマ処理方法について、図面を参照しつつ説明する。図1は、第1実施形態におけるプラズマ処理装置の構成及び表面処理方法の概念を示す。
図3は、本発明の第2実施形態に係るプラズマ処理装置の構成を示す。第2実施形態では、筐体2の開口2aを囲むようにシールド部材(隔壁)11が設けられており、紫外線光源7は、このシールド部材11の内側に設けられている。その他の構成は、上記第1実施形態の場合と同様であるため省略する。
図4は、本発明の参考例に係るプラズマ処理装置の構成を示す。この参考例では、エアカーテン14によりシールドを構成している。その他の構成は、上記第2実施形態の場合と同様であるため省略する。
図6は、本発明の他の参考例に係るプラズマ処理装置の構成を示す。上記ガス流路41として機能する反応容器42は、円筒状に形成されており、被処理物10の表面10aに対してほぼ垂直になるように設けられている。反応容器42の円筒状の外周面には、環状の電極31a及び32aがそれぞれ全周にわたって密着するように、垂直方向に所定の間隔を隔てて設けられている。さらに、反応容器42の下端の開口部42aの近傍には、環状に形成された紫外線光源7が設けられている。このような構成によれば、垂直に設けられた反応容器42の内、電極31aと32aの間に挟まれた部分42bがプラズマ生成部として機能する。そして、プラズマ生成部42bで生成され、反応容器42の下端の開口部42aから被処理物10の表面10aに向けて噴射されるプラズマ流体に対して紫外線が照射される。
図8(a)及び(b)は、本発明のさらに他の参考例に係るプラズマ処理装置の構成を示す。この参考例では、プラズマ生成部として機能するガス流路41を2次元的に多数配列し、被処理物10の表面10aを、広い面積にわたって同時にプラズマ処理することを可能にしている。図8(a)に示すように、平板状の電極31aと32a及び誘電体(絶縁体)33が垂直方向に積層されて反応容器42を形成している。図8(b)に示すように、この反応容器42には、水平方向に2次元的に多数配列された貫通穴(ガス流路41)が形成されている。反応容器42の上部には、放熱器を兼ねたガス貯蔵部43が設けられており、処理ガス供給装置(図示せず)から供給された処理ガスが、各ガス流路41に均一に供給される。また、反応容器42の下端部近傍の長手方向の両側には、直管状の紫外線光源7が設けられており、ガス流路41の下端の開口部から被処理物10の表面10aに向けて噴射されるプラズマ流体に対して均一に紫外線が照射される。
2 筐体
2a 開口
31、21 電極体
31a、32a 電極
31b、32b、33 誘電体(絶縁体)
4 処理ガス
41 ガス流路
42 反応容器
42a プラズマ生成部
43 ガス貯蔵部
5 処理ガス供給装置
6 電源
7 紫外線光源
8 光源電源
9 プラズマ流体
10 被処理物
10a 被処理物の表面
10b 被処理物の表面の凹凸
11 シールド部材(隔壁)
12 シールドガス噴出口
13 コンプレッサ
14 エアカーテン
15 シールドガス
16 紫外線
Claims (4)
- 筐体と、
前記筐体の内部に設けられた一対の電極と、
前記電極間に所定の電力を供給する電源と、
前記一対の電極間に形成されたガス流路を前記電極に沿うように通過するように、処理ガスを供給する処理ガス供給装置を備えた間接型プラズマ処理装置であって、
前記筐体の前記ガス流路の下流側に、前記電極間で発生された放電によって前記処理ガスをプラズマ化したプラズマ流体を被処理物に対して噴射するための開口が形成され、
前記開口を囲むように設けられたシールド部材と、前記シールド部材の内側に設けられ、前記プラズマ流体に対して紫外線を照射する紫外線光源とをさらに備え、
前記シールド部材は、前記電極間で発生され、被処理物に対して噴射されるプラズマ流体を所定の領域内に閉じ込めると共に、前記シールド部材の内面で反射された紫外線を再びプラズマ流体に照射するように構成されていることを特徴とする間接型プラズマ処理装置。 - 前記紫外線光源は放電ランプであることを特徴とする請求項1に記載の間接型プラズマ処理装置。
- 前記放電ランプを前記電源から供給される電力によって点灯させることを特徴とする請求項2に記載の間接型プラズマ処理装置。
- 前記紫外線光源は紫外線LEDであることを特徴とする請求項1に記載の間接型プラズマ処理装置。
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