JP5576057B2 - オゾン発生装置 - Google Patents
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- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Description
第1のシート材(厚み0.4mm)の一面に導電体膜を印刷成形し、この導電体膜の上面に更に第2のシート材(厚み1.4mm)を積層して配置し、この第2のシート材の一面には導電体膜を印刷成形し、この導電体膜の上面には第3のシート材(厚み1.4mm)を積層して配置した。
第1のシート材(厚み0.7mm)の一面に導電体膜を印刷成形し、この導電体膜の上面に更に第2のシート材(厚み1.5mm)を積層して配置した。
電極3、4の開口8の内径と流通孔2の内径とを共に1mmの寸法に形成して、開口8の内面を流通孔2の内面で露出するように形成した(図8参照)。これ以外は実施例1と同様にしてオゾン発生装置を形成した。
電極3、4の開口8の内径を3mmの寸法に形成し、流通孔2を内径1mm、外径3mmのチタン酸バリウム系セラミックス製のチューブ(筒部材25)を接合することにより流通孔2を形成した(図13参照)。これ以外は実施例1と同様にしてオゾン発生装置を形成した。
ガスGをポリプロピレン製ボックス内にシリカゲルを充填したガス乾燥器(ガス乾燥手段26)を通過させた後、ガス貯留室11の上部の流入口10から導入され、絶縁基材1の流通孔2へ流入するように形成した(図14参照)。これ以外は実施例1と同様にしてオゾン発生装置を形成した。
図17に示す装置を作成し、オゾン生成を行った。電極3、4は長さ50mmの直方体形状からなるチタン製である。電極3、4の表面に溶射法により1mmの厚みでアルミナの層を形成して誘電体被膜36とした。また、電極3、4の内部には冷却水を循環した。このように形成される一対の電極3、4を、1mmの間隔を設けて対向配置し、均一な電界分布が得られるようにした。オゾン生成用のガスGは電極3、4の上部に設置したガスポート37から導入される。
上記のようなオゾン発生装置を用いて、空気10リットル/分のガスGを放電空間に導入し、電源6により電極3、4間に正弦波状波形を有する60Hz、10kVの電圧を印加し、電極3、4間の放電空間で放電を発生させ、オゾンを生成した。
1 絶縁基材
2 流通孔
3 電極
4 電極
6 電源
7 放熱器
20 温度調整手段
21 熱電素子
22 電熱線
23 温度測定手段
24 ガス供給手段
26 ガス乾燥手段
Claims (6)
- 絶縁基材に設けられた複数の電極と、前記電極間に電圧を印加するための電源とを備え、酸素を含むガスを流通させるための複数の流通孔を前記絶縁基材及び前記電極に貫通させて設けて形成されるオゾン発生装置であって、
前記流通孔に対してガスを供給するためのガス供給手段としてガス貯留室を備え、
前記ガス貯留室には、前記絶縁基材の前記流通孔のガス導入口側の面に接触する端部隔壁が設けられ、
前記端部隔壁には前記ガス導入口に対応させて流出口が形成され、前記端部隔壁には温度調整手段として放熱器が形成されて成ることを特徴とするオゾン発生装置。 - 前記放熱器は空冷式であって、前記端部隔壁に設けられる吸熱フィンと、前記ガス貯留室の側部隔壁に設けられる放熱フィンとを備えて成ることを特徴とする請求項1に記載のオゾン発生装置。
- 前記放熱器は水冷式であって、前記端部隔壁に設けられる通水路を備えて成ることを特徴とする請求項1に記載のオゾン発生装置。
- 温度測定手段を前記絶縁基材に設けて成ることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載のオゾン発生装置。
- 前記絶縁基材の前記流通孔の周辺部分の誘電率が他の部分の誘電率よりも高いことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載のオゾン発生装置。
- 前記ガス供給手段にガスを乾燥させるためのガス乾燥手段を備えて成ることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載のオゾン発生装置。
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