JP2605100B2

JP2605100B2 - オゾン発生装置

Info

Publication number: JP2605100B2
Application number: JP63107232A
Authority: JP
Inventors: 公治松村; 恵介志柿; 宏之境
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 1988-04-28
Filing date: 1988-04-28
Publication date: 1997-04-30
Anticipated expiration: 2012-04-30
Also published as: JPH01278401A

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の目的〕（産業上の利用分野）本発明は、オゾン発生装置に関する。

（従来の技術）一般に、無声放電によるエネルギーや、水銀放電管か
ら放出される紫外線の光子エネルギー等によって、一部
の酸素分子が解離して原子状態となり、この原子状酸素
が酸素分子と結合して酸素３原子のオゾンが生成する。
無声放電によるオゾン発生装置例として、例えば第８図
に示す装置がある。この図において、平板状の接地電極
（1a）はこれを冷却するために設けられたウォータージ
ャケット（１）の一部として設置されている。この接地
電極（１）の上方には、平板状の誘電体（２）が接して
配置されており、この誘電体（２）は放電ギャップ
（３）を介して平板状の高圧電極（４）と近接対向して
配置され、この高圧電極（４）の上方には高圧電極
（４）を冷却するための冷却フィン（５）が接して設け
られている。オゾンを生成するための上記放電ギャップ
（３）は高圧電極（４）の下面と誘電体（２）の上面と
の間に形成され、この放電ギャップ（３）に原料ガス入
口（６）およびオゾンガス出口（７）に接続されてい
る。また、上記ウォータージャケット（１）には冷却水
入口（８）と冷却水出口（９）が設置されている。これ
らはすべて筐体（10）の内部に収納されている。

このような構成のオゾン発生装置において、高圧電極
（４）および接地電極（1a）に図示しない高電圧電源か
ら高電圧を供給し、放電ギャップ（３）内で無声放電を
発生させる。このとき原料ガス入口（６）から少なくと
も酸素を含むガスを供給すると、放電ギャップ３内で酸
素の一部が活性化されオゾンが発生する。発生したオゾ
ンは、オゾンガス出口（７）から取り出される。

（発明が解決しようとする課題）しかしながら、上記従来の技術では、オゾンの発生は
行なうことができるが、所望する温度及び湿度の変動に
より一定の安定した濃度のオゾンを発生することができ
ないという問題があった。

被処理体、例えば半導体ウエハのアッシング処理にオ
ゾンを使用する場合、上記のような濃度が不安定なオゾ
ンを上記半導体ウエハに供給することとなり、この半導
体ウエハのアッシング速度が各半導体ウエハ単位で異な
り、その結果上記半導体ウエハのアッシング不良等が発
生する原因となり、上記アッシング装置の信頼性を低下
させてしまうという問題があった。

本発明は、上記点に対処してなされたもので、発生す
るオゾンの濃度を常に一定に保つことができるオゾン発
生装置を提供しようとするものである。

〔発明の構成〕

（課題を解決するための手段）本発明のうち請求項１の発明は、原料ガスをオゾン発
生部に供給し、このオゾン発生部で放電によりオゾンを
発生させる装置において、上記原料ガスをオゾン発生部
に供給する配管に原料ガスの湿度を検出する湿度検出器
を設け、その出口側の配管を分岐して合流した構造と
し、その分岐した一方に加湿部を、他方に脱湿部をそれ
ぞれ調節弁を介して設け、上記湿度検出器で検出した湿
度に基づいて原料ガスを所定の湿度にすべく上記調節弁
を制御する湿度制御機構を設け、上記合流した配管に原
料ガスの温度を検出する温度検出器およびその検出温度
に基づいて原料ガスを所定の温度に調整する温調機構を
設けたことを特徴とする。

請求項２の発明は、原料ガスをオゾン発生部に供給
し、このオゾン発生部で放電によりオゾンを発生させる
装置において、上記原料ガスをオゾン発生部に供給する
配管に原料ガスの温度と湿度を検出する温湿度検出器を
設け、その出口側の配管を分岐して合流した構造とし、
その分岐した一方に加湿部を、他方に脱湿部をそれぞれ
調節弁を介して設け、上記温湿度検出器で検出した温湿
度に基づいて原料ガスを所定の温度と湿度にすべく上記
調節弁を制御する制御機構を設けたことを特徴とする。

請求項３の発明は、原料ガスをオゾン発生部に供給
し、このオゾン発生部で放電によりオゾンを発生させる
装置において、上記原料ガスをオゾン発生部に供給する
配管を分岐して合流した構造とし、その分岐した一方に
加湿部を、他方に脱湿部をそれぞれ調節弁を介して設
け、上記オゾン発生部に発生するオゾンの濃度を検出す
るオゾン濃度計を設け、このオゾン濃度計で検出したオ
ゾン濃度に基づいて原料ガスを所定の温度と湿度にすべ
く上記調節弁を制御する制御機構を設けたことを特徴と
する。

（作用）請求項１の発明によれば、特に原料ガスをオゾン発生
部に供給する配管を分岐して合流した構造とし、その分
岐した一方に加湿部を、他方に脱湿部をそれぞれ調節弁
を介して設け、湿度検出器で検出した湿度に基づいて原
料ガスを所定の湿度にすべく湿度制御機構により上記調
節弁を制御するようにし、また、合流した配管に設けら
れた温度検出器で検出した温度に基づいて原料ガスを所
定の温度に温調機構により調整するようにしたので、特
に原料ガスの湿度の制御が的確に行えると共に、オゾン
発生部に供給する直前の原料ガスの温度を最適に調整で
き、発生するオゾンの濃度を常に一定に保つことができ
る。

請求項２の発明によれば、特に原料ガスをオゾン発生
部に供給する配管を分岐して合流した構造とし、その分
岐した一方に加湿部を、他方に脱湿部をそれぞれ調節弁
を介して設け、温湿度検出器で検出した温湿度に基づい
て原料ガスを所定の温度と湿度にすべく制御機構により
上記調節弁を制御するようにしたので、特に原料ガスの
温度と湿度の制御が的確に行え、発生するオゾンの濃度
を常に一定に保つことができる。

請求項３の発明によれば、特に原料ガスをオゾン発生
部に供給する配管を分岐して合流した構造とし、その分
岐した一方に加湿部を、他方に脱湿部をそれぞれ調節分
を介して設け、上記オゾン発生部に設けられたオゾン濃
度計で検出したオゾン濃度に基づいて原料ガスを所定の
温度と湿度にすべく制御装置により上記調節弁を制御す
るようにしたので、特にオゾン濃度に基づいて原料ガス
の温度と湿度の制御が的確に行え、発生するオゾンの濃
度を常に一定に保つことができる。

（実施例）以下、本発明の一実施例につき、図面を参照して説明
する。

まず、オゾン発生装置の構成を説明する。

このオゾン発生装置は、オゾンを発生させるためのオ
ゾン発生部（11）と、オゾン発生部（11）に原料ガスを
供給するための原料ガス供給部（12）から構成されてい
る。

上記オゾン発生部（11）は、第２図に示すように例え
ばチタン製の平板状高圧電極（13）と、この高圧電極
（13）にスペーサ（14）によって調整された空隙（15）
とセラミック製誘電体（16）を介して対向した平板状高
圧電極（17）が設けられている。この両電極（13）（1
7）の外周には、電気絶縁性が良好でしかも熱伝導性が
良好なる材質例えばアルミナ，ベリリア，マグネシア等
のセラミックスから成る平板状熱伝導体（18）が接して
設けられており、それらの末端部は統合されて一体とな
り、保有熱量の充分に大きい冷熱源として機能する冷却
ブロック（19）に接合されている。この冷却ブロック
（19）は、冷却ブロック（19）を冷却するための冷却コ
イル（20）と、この冷却コイル（20）に冷却水を循環さ
せるための冷却装置（21）、更に上記冷却ブロック（1
9）を常に所定温度に保つため、この冷却ブロック（1
9）における検知温度に応じて上記冷却装置（21）に制
御信号を送る機能を持つ温度制御装置（22）を備えてい
る。

そして、上記空隙（15）と誘電体（16）を介して対向
して放電領域を形成した高圧電極（13）と接地電極（1
7）との間に、少なくとも酸素を含んだガスを供給する
ガス供給口（23）が設けられており、このガス供給口
（23）は後に説明する原料ガス供給部（12）に接続して
いる。更に、このガス供給口（23）の対向部には、少な
くともオゾンを含んだガスを放出可能なガス出口（24）
が設けられている。また、上記高圧電極（13）と接地電
極（17）に電圧を印加する如く高圧電源（25）が接続配
置されている。

上記原料ガス供給部（12）は、原料ガスを所望する温
度及び湿度に調整可能な如く、原料ガス供給源例えば空
気供給源（26）から原料空気と所望流量に調節する気体
流量調節器（27）を介して温湿度調節機構（28）が連設
しており、この温湿度調節機構（28）で温湿度制御した
原料ガスを上記オゾン発生部（11）に供給可能としてい
る。この温湿度調節機構（28）は、例えば上記気体流量
調節器（27）から流導される原料ガス中の絶対湿度を検
出する湿度検出器（29）を介した出口側配管（30a）が
並列状態に分岐し、一方は可変バルブ例えばダイアフラ
ム式調節弁（31）を介して加湿部（32）に接続し、他方
は可変バルブ例えばダイアフラム式調整弁（33）を介し
て脱湿部（34）に夫々接続している。上記加湿部（32）
は例えば所望湿度に制御された水の中をバブリングさせ
るか、或いは水蒸気雰囲気中に原料ガスを通過させて加
湿する構造となっている。また、上記脱湿部（34）は例
えばシリカゲル（商品名）或いはゼオライトから形成さ
れた触媒により上記原料ガスに含有する水分を吸着させ
るか、或いは上記原料ガスを水蒸気の露点温度以下に冷
却して水蒸気を凝縮即ち液化して除去する構造となって
いる。このような加湿部（32）及び脱湿部（34）の夫々
出口側に接続された配管（30b）は連結して温度検出器
（35）及び温調機構（36）に接続しており、この温度検
出器（35）で検出した原料ガス温度に基づき上記温調機
構（36）により上記原料ガス中の水蒸気が凝結して結露
しない程度で加熱及び冷却を行なう構造となっている。
また、上記加湿部（32）及び脱湿部（34）へ供給する原
料ガスの比率或いは切換えを制御するために、上記ダイ
アフラム式調整弁（31）（33）が湿度制御機構（37）に
より可変自在に設けられており、上記湿度検出器（29）
からの出力データに基づいて湿度制御機構（37）が上記
ダイアフラム式調整弁（31）（33）を設定制御可能とな
っている。このように原料ガス供給部（12）が構成され
ており、この原料ガス供給部（12）の上記温調機構（3
6）と上記オゾン発生部（11）に接続してこのオゾン発
生部（11）に上記温湿度制御された原料ガスを供給可能
となっている。このようにしてオゾン発生装置が構成さ
れている。

次に上述したオゾン発生装置によるオゾンの発生方法
を説明する。

まず、空気供給源（26）から外気を吸収し、この吸入
した空気を気体流量調節器（27）により所望する流量に
調節して湿度検出器（29）へ供給する。この湿度検出器
（29）は、例えば金属酸化物系セラミックや無機質、高
分子などの抵抗変化を利用した半導体式湿度センサー
や、水晶振動式湿度センサー，マイクロ波湿度センサー
等により構成されており、このようなセンサーにより上
記原料ガス即ち空気の絶対湿度を検出し、この検出した
データを温湿度制御機構（37）に電気的に伝達する。そ
して、上記原料ガスは湿度検出器（29）を介した後、分
岐した配管（30a）内を流れてダイアフラム式調整弁（3
1）（33）に到達するが、この時、上記湿度検出器（2
9）から伝達した湿度データを基に上記原料ガスを所望
する湿度に調整する如く上記湿度制御機構（37）により
ダイアフラム式調整弁（31）（33）の開閉或いは開度調
整を行なう。これは上記原料ガスの湿度が所望する湿度
より低い場合、上記ダイアフラム式調整弁（31）を開
き、また、ダイアフラム式調整弁（33）を閉じることに
より上記原料ガスを加湿部（32）へ供給し、この加湿部
（32）で上記所望する湿度となる量の湿潤空気或いは水
蒸気を混合することにより加湿する。また、上記原料ガ
スの湿度が所望する湿度より低い場合、上記ダイアフラ
ム式調整弁（31）を閉じ、また、ダイアフラム式調整弁
（33）を開くことにより上記原料ガスを脱湿部（34）へ
供給し、この脱湿部（34）で上記所望する湿度となる量
の乾燥空気とを混合するか、またはシルカゲル（商品
名）或いはゼオライトから形成された触媒により上記原
料ガスに含有する水分を吸着させるか、または上記原料
ガスを水蒸気の露点温度以下に冷却して上記所望する湿
度になるまで水蒸気を凝縮即ち液化して除去する等によ
り脱湿する。このように加湿部（32）及び脱湿部（34）
により上記原料ガスの湿度制御を行なった後、配管（30
b）に連設している温度検出器（35）により上記原料ガ
スの温度を検出し、この検出した温度に基づいて温調機
構（36）により上記原料ガスを所望する温度に温調す
る。この温調機構（36）は、例えばペルチェ効果素子
や、流体を利用した加熱及び冷却による間接的温調等、
何れを使用してもよい。このように温湿度調節機構（2
8）により温度及び湿度を制御した原料ガスをオゾン発
生部（11）に供給してオゾンを発生させる。これは第２
図に示すように、冷却ブロック（19）の温度を温度制御
装置（22）によってモニターしつつ、冷却装置（21）か
ら冷却水等を冷却コイル（20）内に循環させ、冷却ブロ
ック（19）を所定温度まで冷却する。この冷却ブロック
（19）の冷却に伴って、高圧電極（13）と接地電極（1
7）の外周に装着した平板状熱伝導体（18）が冷却され
る。

そして、冷却状態の上記高圧電極（13）及び接地電極
（17）に高圧電源（25）で例えば周波数１〜10KHz,電圧
１〜10KV程度の高電圧を印加する。この時、上記原料ガ
ス供給部（12）から所望の流量が例えば0.1〜20Sl/min
程度の少なくとも酸素を含んだガス即ち空気を、ガス供
給口（23）から空隙（15）に流す。ここで、電圧を印加
した両電極（13）（17）の間に誘電体（16）と空隙（1
5）を設けた放電領域で生ずる無声放電によりオゾンが
発生し、ガス出口（24）より図示しないオゾンを使用す
る処理部等にオゾンを含んだガスが送られる。

尚、生成されたオゾンの寿命は温度に依存し、第３図
に示すように温度が高くなるとオゾンの寿命は急激に短
くなる。このため、発熱体である両電極（13）（17）付
近の温度を十分に下げる必要があり、上記平板状熱伝導
体（18）の温度が例えば20℃以下となるように冷却ブロ
ック（19）の温度を制御するのが望ましい。

上記のようにオゾンを発生させる場合、上記オゾン発
生部（11）に供給する原料ガスの温度及び湿度を所望値
に設定するが、この設定する温度を上記したように高く
すると発生したオゾンの寿命が短かくなってしまうた
め、０〜40℃程度の範囲で好ましくは常温以下に制御す
ることが好ましい。また、上記設定する湿度は、この湿
度即ち原料ガス中に含まれる水蒸気量が多くなると、こ
の水蒸気がオゾン分解における増感剤として作用し、発
生したオゾンの寿命を著しく低下させてしまい高濃度の
オゾンは得られない。また、この湿度が高く即ち含有す
る水蒸気量が多くなり飽和水蒸気量を越えるとこの水蒸
気は凝縮して結露し、この結露した水蒸気が上記オゾン
発生部（11）の高圧電極（13）及び接地電極（17）表面
に付着し、その結果放電効果が急激に低下するため高濃
度のオゾンが得られない。そのため、この高濃度のオゾ
ンを得るためには上記湿度を低く例えば０〜80％で好ま
しくは60％以下に制御することが必要となり、所望する
濃度のオゾンを発生できる湿度に設定制御する。

上記実施例では原料ガスの所望する湿度への設定を、
加湿部（32）或いは脱湿部（34）へ選択的に切換えて一
方に供給する例について説明したが、これに限定するも
のではなく、例えば上記加湿部（32）及び脱湿部（34）
へ供給する原料ガスの割合を変化させ、湿潤空気及び乾
燥空気の混合割合を変えることによる湿度調整でも同様
な効果を得ることができる。

また、上記実施例では原料ガスとして空気を使用して
説明したが、放電によりオゾンが発生する原料であれば
これに限定するものではなく、例えば酸素ボンベからの
酸素を原料ガスとしても同様に行なうことができる。

以上述べたようにこの実施例によれば、原料ガスをオ
ゾン発生部に供給し、このオゾン発生部で放電によりオ
ゾンを発生させる際、上記オゾン発生部で発生するオゾ
ンを一定の所望濃度で発生させる如く、上記原料ガスの
温度及び湿度を制御することにより、上記オゾン発生部
へ供給する原料ガスの温度及び湿度を所定値に設定して
供給するため、上記オゾン発生部で発生するオゾンの濃
度を常に一定に保つことが可能となる。

次に本発明の他の実施例を第４図，第５図，第６図を
参照して説明する。

第４図に示すオゾン発生部（11）におけるオゾン発生
装置は第１の実施例と同様な構成であるため、具体的な
説明は省略する。

原料ガス供給源例えば空気供給源（26）から気体流量
調節器（27）を介して温湿度検出器（38）が連設してい
る。この温湿度検出器（38）は第１の実施例で説明した
湿度検出器（29）及び温度検出器（35）の機能を兼備え
ており、この温湿度検出器（38a）は同様に可変バルブ
例えばダイアフラム式調整弁（31）（33）を介して夫々
の加湿部（32）及び脱湿部（34）に連設している。この
加湿部（32）及び脱湿部（34）の夫々出口に接続した配
管（30b）により温湿度検出器（38b）を介して高圧電源
（25）を備えたオゾン発生部（11）に連設している。ま
た、上記温湿度検出器（38a）（38b）で検出した温湿度
データに基づいて上記気体流量調節器（27）及びダイア
フラム式調整弁（31）（33）を調整可能な如く制御機構
（39）が設けられている。

上記したオゾン発生装置において、まず、空気供給源
（26）から空気を気体流量調節器（27）を介して温湿度
検出器（38a）へ供給する。この時、所望する流量のオ
ゾンガス及びオゾン濃度のオゾンを発生させるために制
御機構（39）により上記気体流量調節器（27）が制御さ
れる。そして、温湿度検出器（38a）で上記空気温度及
び相対湿度を検出し、この検出した相対湿度が所望する
湿度より低い場合は、この原料ガスを加湿部（32）に流
導する如く上記ダイアフラム式調整弁（31）を開き、ま
た、上記検出した相対湿度が所望する湿度より高い場合
はこの原料ガスを脱湿部（34）に流導する如く上記ダイ
アフラム式調整弁（33）を開くように上記制御機構（3
9）により制御して加湿或いは脱湿を行なう。そして、
この温湿度制御した空気を更に所望する温湿度になって
いるか温湿度検出器（38b）で検出し、これをオゾン発
生部（11）へ供給して上記第１の実施例と同様にオゾン
を発生させる。

上記オゾン発生装置は一定の所望濃度のオゾンを発生
させるために相対湿度を制御し、この相対湿度の制御に
より必然的に温度が決定される構成により上記第１の実
施例の温調機構をなくすことができる。

このような温度及び湿度による発生オゾン濃度への影
響を第５図に示す。これは横軸を運軸時間〔hr〕縦軸を
オゾン濃度〔g/m³〕及び原料空気相対湿度〔％〕及び原
料空気温度〔℃〕とした時の、原料空気相対湿度及び原
料空気温度及びオゾン濃度の変化を示すものである。こ
の特性例から原料空気相対湿度を低下させると、それに
応じてオゾン濃度が上昇する傾向があることが判かる。
また、一定濃度のオゾンを発生させるために原料空気相
対湿度及び原料空気を一定制御した特性例を第６図に示
す。これは横軸を運転時間〔hr〕，縦軸をオゾン濃度
〔g/m³〕及び原料空気相対湿度〔％〕及び原料空気温度
〔℃〕とした時の、原料空気相対湿度を60％及び原料空
気温度を25℃に制御した時の発生オゾン濃度の特性を示
すものである。この特性ではオゾン濃度が3.5g/m³に一
定発生する如く上記原料空気相対湿度を60％に設定制御
したが、他の濃度のオゾンを得るために異なる湿度に設
定制御してもよい。

このように原料ガスの温度及び相対湿度を制御する構
成としても上記第１の実施例と同様な効果を得ることが
できる。

上記実施例では原料ガスの温度及び湿度のみを検出し
て一定濃度のオゾンを発生させる例について説明した
が、例えば第７図に示すようにオゾン発生部（11）で発
生するオゾンの濃度をオゾン濃度計（40）で検出し、そ
の濃度に基づいて温湿度制御する構成や、或いはこのオ
ゾン濃度計（40）の検出のみで温湿度検出器（38a）（3
8b）を除いた構成でも上記第１の実施例と同様な効果を
得ることができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、次のような優れ
た効果が得られる。

（１）請求項１の発明によれば、特に原料ガスをオゾン
発生部に供給する配管を分岐して合流した構造とし、そ
の分岐した一方に加湿部を、他方に脱湿部をそれぞれ調
節弁を介して設け、湿度検出器で検出した湿度に基づい
て原料ガスを所定の湿度にすべく湿度制御機構により上
記調節弁を制御するようにし、また、合流した配管に設
けられた温度検出器で検出した温度に基づいて原料ガス
を所定の温度に温調機構により調整するようにしたの
で、特に原料ガスの湿度の制御が的確に行えると共に、
オゾン発生部に供給する直前の原料ガスの温度を最適に
調整でき、発生するオゾンの濃度を常に一定に保つこと
ができる。

（２）請求項２の発明によれば、特に原料ガスをオゾン
発生部に供給する配管を分岐して合流した構造とし、そ
の分岐した一方に加湿部を、他方に脱湿部をそれぞれ調
節弁を介して設け、温湿度検出器で検出した温湿度に基
づいて原料ガスを所定の温度と湿度にすべく制御機構に
より上記調節弁を制御するようにしたので、特に原料ガ
スの温度と湿度の制御が的確に行え、発生するオゾンの
濃度を常に一定に保つことができる。

（３）請求項３の発明によれば、特に原料ガスをオゾン
発生部に供給する配管を分岐して合流した構造とし、そ
の分岐した一方に加湿部を、他方に脱湿部をそれぞれ調
節弁を介して設け、上記オゾン発生部に設けられたオゾ
ン濃度計で検出したオゾン濃度に基づいて原料ガスを所
定の温度と湿度にすべく制御装置により上記調節弁を制
御するようにしたので、特にオゾン濃度に基づいて原料
ガスの温度と湿度の制御が的確に行え、発生するオゾン
の濃度を常に一定に保つことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を説明するためのオゾン発生
装置の構成図、第２図は第１図のオゾン発生部説明図、
第３図は第２図の温度とオゾン分解半減期の関係を示す
曲線図、第４図は本発明方法の他の実施例説明図、第５
図，第６図は第４図の温湿度制御によるオゾン濃度説明
図、第７図は第４図の他の実施例説明図、第８図は従来
のオゾン発生装置の構成図である。 11……オゾン発生部、28……温湿度調節機構 29……湿度検出器、32……加湿部 34……脱湿部、35……温度検出器 36……温調機構、37……湿度制御機構

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献特開昭58−99107（ＪＰ，Ａ) 特開昭55−23031（ＪＰ，Ａ) 実開昭58−42131（ＪＰ，Ｕ)

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】原料ガスをオゾン発生部に供給し、このオ
ゾン発生部で放電によりオゾンを発生させる装置におい
て、上記原料ガスをオゾン発生部に供給する配管に原料
ガスの湿度を検出する湿度検出器を設け、その出口側の
配管を分岐して合流した構造とし、その分岐した一方に
加湿部を、他方に脱湿部をそれぞれ調節弁を介して設
け、上記湿度検出器で検出した湿度に基づいて原料ガス
を所定の湿度にすべく上記調節弁を制御する湿度制御機
構を設け、上記合流した配管に原料ガスの温度を検出す
る温度検出器およびその検出温度に基づいて原料ガスを
所定の温度に調整する温調機構を設けたことを特徴とす
るオゾン発生装置。
【請求項２】原料ガスをオゾン発生部に供給し、このオ
ゾン発生部で放電によりオゾンを発生させる装置におい
て、上記原料ガスをオゾン発生部に供給する配管に原料
ガスの温度と湿度を検出する温湿度検出器を設け、その
出口側の配管を分岐して合流した構造とし、その分岐し
た一方に加湿部を、他方に脱湿部をそれぞれ調節弁を介
して設け、上記温湿度検出器で検出した温湿度に基づい
て原料ガスを所定の温度と湿度にすべく上記調節弁を制
御する制御機構を設けたことを特徴とするオゾン発生装
置。
【請求項３】原料ガスをオゾン発生部に供給し、このオ
ゾン発生部で放電によりオゾンを発生させる装置におい
て、上記原料ガスをオゾン発生部に供給する配管を分岐
して合流した構造とし、その分岐した一方に加湿部を、
他方に脱湿部をそれぞれ調節弁を介して設け、上記オゾ
ン発生部に発生するオゾンの濃度を検出するオゾン濃度
計を設け、このオゾン濃度計で検出したオゾン濃度に基
づいて原料ガスを所定の温度と湿度にすべく上記調節弁
を制御する制御機構を設けたことを特徴とするオゾン発
生装置。