JP2010254524A - オゾン発生装置 - Google Patents
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Abstract
オゾンの生成効率が低下しにくい安価なオゾン発生装置を提供する。
【解決手段】
絶縁基材1に設けられた複数の電極3、4と、電極3、4間に電圧を印加するための電源6とを備える。酸素を含むガスGを流通させるための複数の流通孔2を絶縁基材1及び電極3、4に貫通させて設ける。オゾン生成に必要な酸素がガスGの流通により流通孔2に連続的に供給されることになって酸素不足にならないようにすることができる。また、絶縁基材1に電極3、4を設けた後の組み立て作業が不要となる。
【選択図】図1
Description
第1のシート材(厚み0.4mm)の一面に導電体膜を印刷成形し、この導電体膜の上面に更に第2のシート材(厚み1.4mm)を積層して配置し、この第2のシート材の一面には導電体膜を印刷成形し、この導電体膜の上面には第3のシート材(厚み1.4mm)を積層して配置した。
第1のシート材(厚み0.7mm)の一面に導電体膜を印刷成形し、この導電体膜の上面に更に第2のシート材(厚み1.5mm)を積層して配置した。
電極3、4の開口8の内径と流通孔2の内径とを共に1mmの寸法に形成して、開口8の内面を流通孔2の内面で露出するように形成した(図8参照)。これ以外は実施例1と同様にしてオゾン発生装置を形成した。
電極3、4の開口8の内径を3mmの寸法に形成し、流通孔2を内径1mm、外径3mmのチタン酸バリウム系セラミックス製のチューブ(筒部材25)を接合することにより流通孔2を形成した(図13参照)。これ以外は実施例1と同様にしてオゾン発生装置を形成した。
ガスGをポリプロピレン製ボックス内にシリカゲルを充填したガス乾燥器(ガス乾燥手段26)を通過させた後、ガス貯留室11の上部の流入口10から導入され、絶縁基材1の流通孔2へ流入するように形成した(図14参照)。これ以外は実施例1と同様にしてオゾン発生装置を形成した。
図17に示す装置を作成し、オゾン生成を行った。電極3、4は長さ50mmの直方体形状からなるチタン製である。電極3、4の表面に溶射法により1mmの厚みでアルミナの層を形成して誘電体被膜36とした。また、電極3、4の内部には冷却水を循環した。このように形成される一対の電極3、4を、1mmの間隔を設けて対向配置し、均一な電界分布が得られるようにした。オゾン生成用のガスGは電極3、4の上部に設置したガスポート37から導入される。
上記のようなオゾン発生装置を用いて、空気10リットル/分のガスGを放電空間に導入し、電源6により電極3、4間に正弦波状波形を有する60Hz、10kVの電圧を印加し、電極3、4間の放電空間で放電を発生させ、オゾンを生成した。
1 絶縁基材
2 流通孔
3 電極
4 電極
6 電源
7 放熱器
20 温度調整手段
21 熱電素子
22 電熱線
23 温度測定手段
24 ガス供給手段
26 ガス乾燥手段
Claims (9)
- 絶縁基材に設けられた複数の電極と、電極間に電圧を印加するための電源とを備え、酸素を含むガスを流通させるための複数の流通孔を絶縁基材及び電極に貫通させて設けて成ることを特徴とするオゾン発生装置。
- 温度調整手段を絶縁基材に設けて成ることを特徴とする請求項1に記載のオゾン発生装置。
- 温度調整手段が放熱器であることを特徴とする請求項2に記載のオゾン発生装置。
- 温度調整手段が熱電素子であることを特徴とする請求項2に記載のオゾン発生装置。
- 温度調整手段が電熱線であることを特徴とする請求項2に記載のオゾン発生装置。
- 温度測定手段を絶縁基材に設けて成ることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載のオゾン発生装置。
- 絶縁基材の流通孔の周辺部分の誘電率が他の部分の誘電率よりも高いことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載のオゾン発生装置。
- 流通孔に対してガスを供給するためのガス供給手段を備えて成ることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載のオゾン発生装置。
- ガス供給手段にガスを乾燥させるためのガス乾燥手段を備えて成ることを特徴とする請求項8に記載のオゾン発生装置。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012176869A (ja) * | 2011-02-28 | 2012-09-13 | Murata Mfg Co Ltd | オゾン発生装置 |
JP2013076375A (ja) * | 2011-09-30 | 2013-04-25 | Ihi Corp | オゾン発生装置 |
JP2019199390A (ja) * | 2018-05-18 | 2019-11-21 | 株式会社豊田中央研究所 | オゾン発生装置 |
JP7490890B2 (ja) | 2020-09-16 | 2024-05-27 | テーデーカー エレクトロニクス アーゲー | 誘電バリア放電を生成するための装置及び方法 |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5944782A (ja) * | 1982-09-07 | 1984-03-13 | 増田 閃一 | 沿面コロナ放電素子およびその製造方法 |
JPS63183236U (ja) * | 1987-05-19 | 1988-11-25 | ||
JPH01278401A (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-08 | Teru Kyushu Kk | オゾン発生装置 |
JP2003080058A (ja) * | 2001-09-10 | 2003-03-18 | Yaskawa Electric Corp | 反応性ガスの発生方法およびその発生装置 |
JP2003089508A (ja) * | 2001-09-17 | 2003-03-28 | Toshiba Corp | オゾン発生システム |
JP2006302625A (ja) * | 2005-04-19 | 2006-11-02 | Matsushita Electric Works Ltd | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
JP2007254223A (ja) * | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Ngk Insulators Ltd | オゾン発生装置 |
JP2008186832A (ja) * | 2007-01-26 | 2008-08-14 | Nisshin:Kk | 放電装置およびそれを製造する方法 |
JP2008302337A (ja) * | 2007-06-11 | 2008-12-18 | Mitsubishi Electric Corp | オゾン処理システム |
JP2008308372A (ja) * | 2007-06-15 | 2008-12-25 | Ooensu:Kk | オゾン発生装置。 |
JP2009006283A (ja) * | 2007-06-28 | 2009-01-15 | Kyocera Corp | 構造体および装置 |
JP2009054359A (ja) * | 2007-08-24 | 2009-03-12 | Tohoku Univ | プラズマ発生装置およびプラズマ発生方法 |
JP2009238519A (ja) * | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Panasonic Electric Works Co Ltd | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
-
2009
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Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5944782A (ja) * | 1982-09-07 | 1984-03-13 | 増田 閃一 | 沿面コロナ放電素子およびその製造方法 |
JPS63183236U (ja) * | 1987-05-19 | 1988-11-25 | ||
JPH01278401A (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-08 | Teru Kyushu Kk | オゾン発生装置 |
JP2003080058A (ja) * | 2001-09-10 | 2003-03-18 | Yaskawa Electric Corp | 反応性ガスの発生方法およびその発生装置 |
JP2003089508A (ja) * | 2001-09-17 | 2003-03-28 | Toshiba Corp | オゾン発生システム |
JP2006302625A (ja) * | 2005-04-19 | 2006-11-02 | Matsushita Electric Works Ltd | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
JP2007254223A (ja) * | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Ngk Insulators Ltd | オゾン発生装置 |
JP2008186832A (ja) * | 2007-01-26 | 2008-08-14 | Nisshin:Kk | 放電装置およびそれを製造する方法 |
JP2008302337A (ja) * | 2007-06-11 | 2008-12-18 | Mitsubishi Electric Corp | オゾン処理システム |
JP2008308372A (ja) * | 2007-06-15 | 2008-12-25 | Ooensu:Kk | オゾン発生装置。 |
JP2009006283A (ja) * | 2007-06-28 | 2009-01-15 | Kyocera Corp | 構造体および装置 |
JP2009054359A (ja) * | 2007-08-24 | 2009-03-12 | Tohoku Univ | プラズマ発生装置およびプラズマ発生方法 |
JP2009238519A (ja) * | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Panasonic Electric Works Co Ltd | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012176869A (ja) * | 2011-02-28 | 2012-09-13 | Murata Mfg Co Ltd | オゾン発生装置 |
JP2013076375A (ja) * | 2011-09-30 | 2013-04-25 | Ihi Corp | オゾン発生装置 |
JP2019199390A (ja) * | 2018-05-18 | 2019-11-21 | 株式会社豊田中央研究所 | オゾン発生装置 |
JP7077136B2 (ja) | 2018-05-18 | 2022-05-30 | 株式会社豊田中央研究所 | オゾン発生装置 |
JP7490890B2 (ja) | 2020-09-16 | 2024-05-27 | テーデーカー エレクトロニクス アーゲー | 誘電バリア放電を生成するための装置及び方法 |
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