JP2017504954A - 圧電トランスおよび対向電極 - Google Patents
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Abstract
Description
表面構造セグメント5の幅B1は、図1Aに示すように、2つの隣接した表面構造セグメント5の間隔と同じである。
2 : 表面構造
3 : 輪郭
4 : 表面プロファイル
5 : 表面構造セグメント
6 : 放電開始点
7 : 出力側
10 : 対向電極
20 : 構造部分
21 : 端面
22 : トランス主部
100 : 装置
X : 長手方向軸
L : 長さ
B,B1: 幅
H : プロファイル深さ
Claims (18)
- 少なくとも1つの突出した表面構造セグメント(5)を備えた1つの表面構造(2)を有する圧電トランス(1)であって、
前記圧電トランス(1)は、1つの輪郭(3)を備え、プラズマを生成するために1つの対向電極(10)と協働してガス放電するために適しており、
前記表面構造は、前記ガス放電が、前記輪郭(3)上の複数の放電開始点(6)で開始されるように形成されており、
前記表面構造(2)の前記表面構造セグメント(5)の幅(B1)は、前記圧電トランス(1)の幅(B)よりも小さくなっている、
ことを特徴とする圧電トランス。 - 前記表面構造セグメント(5)は、前記圧電トランス(1)の輪郭(3)を画定することを特徴とする、請求項1に記載の圧電トランス。
- 前記表面構造セグメント(5)の前記幅(B1)は、10μmより大きいことを特徴とする、請求項1または2に記載の圧電トランス。
- 前記表面構造は、前記圧電トランス(1)の前記幅(B1)に渡り2mm〜4cm延伸していることを特徴とする、請求項1乃至3のいずれか1項に記載の圧電トランス。
- 前記表面構造(2)は、複数の表面構造セグメント(5)を備え、隣接した表面構造セグメント(5)間にはそれぞれ1つの間隙が配設されており、かつ当該表面構造セグメント(5)は当該間隙と共に前記表面構造(2)を形成していることを特徴とする、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の圧電トランス。
- 前記表面構造(2)は、1つの表面プロファイル(4)を備え、当該表面プロファイル(4)のプロファイル深さ(H)は1つの表面構造セグメント(5)の幅(B1)よりも大きいことを特徴とする、請求項5に記載の圧電トランス。
- 前記複数の放電開始点(6)は、1つの平面にあり、
前記表面構造セグメント(5)は、断面が三角形、たとえば長方形の四角形であり、または四角形以上の多角形である、
ことを特徴とする、請求項5または6に記載の圧電トランス。 - 前記表面構造(2)は、多角形の形状を有し、複数の表面構造セグメント(5)を備え、それぞれの表面構造セグメント(5)は、1つの多角形の連結体の直線部分によって規定されており、前記放電開始点(6)は様々な平面上に存在していることを特徴とする、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の圧電トランス。
- 前記表面構造(2)は、唯1つの表面構造セグメント(5)を備え、当該表面構造セグメント(5)は、前記圧電トランス(1)の出力側でそれ自身の端面を画定し、前記複数の放電開始点(6)は同一の平面上にあることを特徴とする、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の圧電トランス。
- 前記圧電トランス(1)は、当該圧電トランスの出力側に向かって先細となっていることを特徴とする、請求項1乃至9のいずれか1項に記載の圧電トランス。
- 前記圧電トランス(1)は、1つの構造部分(20)が設けられている1つのトランス主部を備え、前記表面構造(2)が当該構造部分(20)に形成されており、かつこの構造部分(20)は前記当該トランス主部と堅固に結合されていることを特徴とする、請求項1乃至10のいずれか1項に記載の圧電トランス。
- 前記表面構造(2)は導電性であることを特徴とする、請求項1乃至11のいずれか1項に記載の圧電トランス。
- 前記表面構造(2)は電気絶縁性であり、前記ガス放電は誘電体バリア放電であることを特徴とする、請求項1乃至11のいずれか1項に記載の圧電トランス。
- 請求項1乃至13のいずれか1項に記載の圧電トランスを有する装置(100)であって、
前記装置(100)が、前記表面構造(2)に向いて配設されている1つの対向電極(10)を備え、当該対向電極(10)は平板で形成されていることを特徴とする装置。 - 少なくとも1つの突出した表面構造セグメント(5)を有する、1つの表面構造(2)を備えた対向電極(10)であって、
前記対向電極(10)は1つの輪郭(3)を有し、かつプラズマの生成のための1つの圧電トランス(1)と協働してガス放電するために適しており、当該ガス放電は、前記輪郭(3)上の複数の放電開始点(6)で開始されることを特徴とする対向電極。 - 前記表面構造(2)は、複数の表面構造セグメント(5)を備え、当該表面構造セグメント(5)間には間隙が配設されており、当該間隙は当該表面構造セグメント(5)と共に前記表面構造(2)を形成していることを特徴とする、請求項15に記載の対向電極。
- 請求項15または16に記載の1つの対向電極(10)と1つの圧電トランスとを有する装置(100)であって、
前記装置(100)は、前記表面構造(2)と前記圧電トランス(1)との間のガスを放電するように形成されていることを特徴とする装置。 - 前記圧電トランス(1)は、前記対向電極(10)によって形成されている空洞内に少なくとも部分的に配設されていることを特徴とする、請求項17に記載の装置。
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