JP6280217B2 - 圧電トランスおよび対向電極 - Google Patents
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- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 13
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 41
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 16
- 239000003570 air Substances 0.000 description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000005495 cold plasma Effects 0.000 description 4
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 4
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 206010052428 Wound Diseases 0.000 description 2
- 208000027418 Wounds and injury Diseases 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 2
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 2
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 2
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 2
- -1 ambient air Chemical compound 0.000 description 1
- 239000012080 ambient air Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
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- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
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- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/2475—Generating plasma using acoustic pressure discharges
- H05H1/2481—Generating plasma using acoustic pressure discharges the plasma being activated using piezoelectric actuators
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Description
表面構造セグメント5の幅B1は、図1Aに示すように、2つの隣接した表面構造セグメント5の間隔と同じである。
2 : 表面構造
3 : 輪郭
4 : 表面プロファイル
5 : 表面構造セグメント
6 : 放電開始点
7 : 出力側
10 : 対向電極
20 : 構造部分
21 : 端面
22 : トランス主部
100 : 装置
X : 長手方向軸
L : 長さ
B,B1: 幅
H : プロファイル深さ
Claims (18)
- 少なくとも1つの突出した表面構造セグメント(5)を含む1つの輪郭(3)を備えた1つの表面構造(2)を有する圧電トランス(1)であって、
前記圧電トランス(1)は、プラズマを生成するために1つの対向電極(10)との間でガス放電するために適した、前記輪郭(3)を備え、
前記表面構造(2)は、前記ガス放電が、前記輪郭(3)上の複数の放電開始点(6)で開始されるように形成されており、
前記表面構造(2)の前記表面構造セグメント(5)の幅(B1)は、前記圧電トランス(1)の幅(B)よりも小さくなっている、
ことを特徴とする圧電トランス。 - 前記表面構造セグメント(5)は、前記圧電トランス(1)の輪郭(3)を画定することを特徴とする、請求項1に記載の圧電トランス。
- 前記表面構造セグメント(5)の前記幅(B1)は、10μmより大きいことを特徴とする、請求項1または2に記載の圧電トランス。
- 前記表面構造(2)は、前記圧電トランス(1)の前記幅(B)に渡り2mm〜4cm延伸していることを特徴とする、請求項1乃至3のいずれか1項に記載の圧電トランス。
- 前記表面構造(2)は、複数の表面構造セグメント(5)を備え、隣接した表面構造セグメント(5)の間にはそれぞれ1つの間隙が配設されており、かつ当該表面構造セグメント(5)は当該間隙と共に前記表面構造(2)を形成していることを特徴とする、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の圧電トランス。
- 前記表面構造(2)は、1つの表面プロファイル(4)を備え、当該表面プロファイル(4)のプロファイル深さ(H)は1つの表面構造セグメント(5)の幅(B1)よりも大きいことを特徴とする、請求項5に記載の圧電トランス。
- 前記複数の放電開始点(6)は、1つの平面にあり、
前記表面構造セグメント(5)は、断面が三角形、たとえば長方形の四角形であり、または四角形以上の多角形である、
ことを特徴とする、請求項5または6に記載の圧電トランス。 - 前記表面構造(2)は、多角形の形状を有し、複数の表面構造セグメント(5)を備え、それぞれの表面構造セグメント(5)は、1つの多角形の連結体の直線部分によって規定されており、前記放電開始点(6)は様々な平面上に存在していることを特徴とする、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の圧電トランス。
- 前記表面構造(2)は、唯1つの表面構造セグメント(5)を備え、当該表面構造セグメント(5)は、前記圧電トランス(1)の出力側でそれ自身の端面を画定し、前記複数の放電開始点(6)は同一の平面上にあることを特徴とする、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の圧電トランス。
- 前記圧電トランス(1)は、当該圧電トランスの出力側に向かって先細となっていることを特徴とする、請求項1乃至9のいずれか1項に記載の圧電トランス。
- 前記圧電トランス(1)は、1つの構造部分(20)が設けられている1つのトランス主部を備え、前記表面構造(2)が当該構造部分(20)に形成されており、かつこの構造部分(20)は前記当該トランス主部と堅固に結合されていることを特徴とする、請求項1乃至10のいずれか1項に記載の圧電トランス。
- 前記表面構造(2)は導電性であることを特徴とする、請求項1乃至11のいずれか1項に記載の圧電トランス。
- 前記表面構造(2)は電気絶縁性であり、前記ガス放電は誘電体バリア放電であることを特徴とする、請求項1乃至11のいずれか1項に記載の圧電トランス。
- 請求項1乃至13のいずれか1項に記載の圧電トランスを有する装置(100)であって、
前記装置(100)が、前記表面構造(2)に向いて配設されている1つの対向電極(10)を備え、当該対向電極(10)は平板で形成されていることを特徴とする装置。 - 少なくとも1つの突出した表面構造セグメント(5)を含む1つの輪郭(3)を有する、1つの表面構造(2)を備えた対向電極(10)であって、
前記対向電極(10)はプラズマの生成のための1つ圧電トランス(1)との間にガス放電するために適した、前記輪郭(3)を備え、、当該ガス放電は、前記輪郭(3)上の複数の放電開始点(6)で開始されることを特徴とする対向電極。 - 前記表面構造(2)は、複数の表面構造セグメント(5)を備え、当該表面構造セグメント(5)間には間隙が配設されており、当該間隙は当該表面構造セグメント(5)と共に前記表面構造(2)を形成していることを特徴とする、請求項15に記載の対向電極。
- 請求項15または16に記載の1つの対向電極(10)と1つの圧電トランスとを有する装置(100)であって、
前記装置(100)は、前記表面構造(2)と前記圧電トランス(1)との間のガスを放電するように形成されていることを特徴とする装置。 - 前記圧電トランス(1)は、前記対向電極(10)によって形成されている空洞内に少なくとも部分的に配設されていることを特徴とする、請求項17に記載の装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102013112316.3 | 2013-11-08 | ||
DE201310112316 DE102013112316A1 (de) | 2013-11-08 | 2013-11-08 | Piezoelektrischer Transformator und Gegenelektrode |
PCT/EP2014/068172 WO2015067388A1 (de) | 2013-11-08 | 2014-08-27 | Piezoelektrischer transformator und gegenelektrode |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017504954A JP2017504954A (ja) | 2017-02-09 |
JP6280217B2 true JP6280217B2 (ja) | 2018-02-14 |
Family
ID=51485580
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016528146A Active JP6280217B2 (ja) | 2013-11-08 | 2014-08-27 | 圧電トランスおよび対向電極 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10164165B2 (ja) |
EP (1) | EP3066700B1 (ja) |
JP (1) | JP6280217B2 (ja) |
CN (1) | CN105684176B (ja) |
DE (1) | DE102013112316A1 (ja) |
WO (1) | WO2015067388A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102015113656A1 (de) * | 2015-08-18 | 2017-02-23 | Epcos Ag | Plasmagenerator und Verfahren zur Einstellung eines Ionenverhältnisses |
DE102017105401B4 (de) * | 2017-03-14 | 2019-01-31 | Tdk Electronics Ag | Vorrichtung zur Erzeugung eines nichtthermischen Atmosphärendruck-Plasmas |
US10512150B2 (en) * | 2018-05-03 | 2019-12-17 | GM Global Technology Operations LLC | Systems and apparatuses for high performance atmosphere thin film piezoelectric resonant plasmas to modulate air flows |
DE102021128964B3 (de) | 2021-11-08 | 2023-03-09 | Hochschule für angewandte Wissenschaft und Kunst Hildesheim/Holzminden/Göttingen, Körperschaft des öffentlichen Rechts | Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung von Plasmen mit erhöhter Pulsenergie durch dielektrisch behinderte elektrische Entladungen |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2716708A (en) * | 1950-11-17 | 1955-08-30 | Nat Res Dev | Apparatus for launching ultrasonic waves |
JP3669600B2 (ja) | 1994-12-29 | 2005-07-06 | 本田技研工業株式会社 | 内燃機関の点火装置 |
US6147448A (en) * | 1998-07-13 | 2000-11-14 | Huang; Hsien-Jung | Piezolelectric porcelain step-up discharge tube |
JP4278750B2 (ja) * | 1998-12-21 | 2009-06-17 | 株式会社タムラ製作所 | 圧電トランス |
JP2002100821A (ja) * | 2000-09-25 | 2002-04-05 | Toshiba Corp | 圧電トランス |
US6812623B2 (en) | 2001-09-28 | 2004-11-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Piezoelectric transformer |
JP2004342331A (ja) * | 2003-05-12 | 2004-12-02 | Sekisui Chem Co Ltd | プラズマ放電電極及びプラズマ放電処理方法 |
DE102005032890B4 (de) * | 2005-07-14 | 2009-01-29 | Je Plasmaconsult Gmbh | Vorrichtung zur Erzeugung von Atmosphärendruck-Plasmen |
JP2007107491A (ja) * | 2005-10-17 | 2007-04-26 | Seiji Baba | 容積型内燃機の燃焼促進用空気処理装置 |
JP2007173297A (ja) | 2005-12-19 | 2007-07-05 | Sharp Corp | 圧電トランス及びその製造方法 |
CN101743072B (zh) | 2007-04-11 | 2012-11-14 | 伊诺瓦有限公司 | 具有风车式电极的压电变压器 |
DE102008018827B4 (de) * | 2008-04-15 | 2010-05-12 | Maschinenfabrik Reinhausen Gmbh | Vorrichtung zur Erzeugung eines Atmosphärendruck-Plasmas |
JP2012089314A (ja) | 2010-10-18 | 2012-05-10 | Ngk Insulators Ltd | 電界発生装置 |
DE102011000261A1 (de) * | 2011-01-21 | 2012-07-26 | Hochschule für angewandte Wissenschaft und Kunst Fachhochschule Hildesheim/Holzminden/Göttingen | Dielektrische Koplanarentladungsquelle für eine Oberflächenbehandlung unter Atmosphärendruck |
JP2012217761A (ja) | 2011-04-13 | 2012-11-12 | Hitachi Ltd | プラズマ滅菌装置 |
DE102012103938A1 (de) | 2012-05-04 | 2013-11-07 | Reinhausen Plasma Gmbh | Plasmamodul für eine Plasmaerzeugungsvorrichtung und Plasmaerzeugungsvorrichtung |
-
2013
- 2013-11-08 DE DE201310112316 patent/DE102013112316A1/de not_active Withdrawn
-
2014
- 2014-08-27 CN CN201480060969.6A patent/CN105684176B/zh active Active
- 2014-08-27 EP EP14758833.9A patent/EP3066700B1/de active Active
- 2014-08-27 WO PCT/EP2014/068172 patent/WO2015067388A1/de active Application Filing
- 2014-08-27 JP JP2016528146A patent/JP6280217B2/ja active Active
- 2014-08-27 US US15/035,198 patent/US10164165B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10164165B2 (en) | 2018-12-25 |
US20160284970A1 (en) | 2016-09-29 |
EP3066700A1 (de) | 2016-09-14 |
EP3066700B1 (de) | 2018-10-03 |
CN105684176A (zh) | 2016-06-15 |
DE102013112316A1 (de) | 2015-05-13 |
WO2015067388A1 (de) | 2015-05-14 |
JP2017504954A (ja) | 2017-02-09 |
CN105684176B (zh) | 2018-10-19 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170524 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170525 |
|
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|
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|
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
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