JP2007173297A - 圧電トランス及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】行方向にそれぞれ隣り合う圧電トランス30、31において、支持基板16内に列方向に下部電極が延在して列方向に並ぶ複数の圧電トランス30、又は、圧電トランス31を接続する。圧電基体27は、下部電極又は上部電極配線20により接続されるとともに、列方向に並ぶ圧電トランス30、31を一括して接続している。一方、列方向にそれぞれ隣り合う圧電トランスの圧電基体27は、右部電極配線26又は左部電極配線24により接続されるとともに、行方向に並ぶ圧電トランスを一括して接続している。この構成により、交差する右部電極配線26又は左部電極配線24と、これらと交差する上部電極配線20又は下部電極との間に電圧を印加することにより、任意の圧電トランス30、31のセット(組)に対してアクセスすることができる。
【選択図】図3B
Description
2…上部電極
3…下部電極
4…駆動部
5…発電部側圧電体
6…左部電極
7…右部電極
8…発電部
9…機械的振動
10…振動のノード点
11…上部電極上の支点
12…下部電極上の支点
13…左部電極上の支点
14…右部電極上の支点
15…端面での支点
16…支持基板
17…絶縁層
18…空隙
19…上部電極に対するビア
20…上部電極配線
21…下部電極に対するビア
22…下部電極配線
23…左部電極に対するビア
24…左部電極配線
25…右部電極に対するビア
26…右部電極配線
27…圧電基体
28…上部輪郭
29…底部輪郭
30…圧電トランス
31…隣り合う圧電トランス
32…振動方向
33…手前から奥方向に振動する圧電トランス
34…奥方向から手前に振動する圧電トランス
35…平面状電極
36…端面電極
37…外部入力電気端子
38…外部共用電気端子
39…外部出力電気端子
40…支持具
Claims (11)
- 支持基板と、
該支持基板面に形成される圧電体素子であって、電圧を加えると前記圧電体層の厚み方向に伸縮し、圧縮力を加えると電圧が発生する圧電体層を有する圧電体素子と、を有する圧電トランスにおいて、
前記圧電体層前記支持基板面に形成することを特徴とする圧電トランス。 - 前記支持基板において、第1の振動方向を有する第1の圧電体素子と、前記第1の振動方向と交差する第2の振動方向を有する第2の圧電体素子と、が設けられることを特徴とする請求項1に記載の圧電トランス。
- 前記第1の圧電体素子と、前記第2の圧電体素子と、を前記支持基板の面内において互い違いに設けることを特徴とする請求項2に記載の圧電トランス。
- 前記圧電体の振動方向がそれと隣り合う圧電体の振動方向と逆向きにであることを特徴とする請求項1又は2に記載の圧電トランス。
- 前記圧電体素子は、駆動部側圧電体層と該駆動部側圧電体層と前記支持基板の面内方向に接続される発電部側圧電体層と、を有し、
前記駆動部側圧電体層に、その厚さ方向に電圧を印加する上部電極及び下部電極が設けられ、
前記発電部側圧電体層に対して、その厚さ方向と交差する方向の側面に左部電極と右部電極とが設けられていることを特徴とする請求項1から4までのいずれか1項に記載の圧電トランス。 - 前記右部電極又は前記左部電極のうちの一端は側壁において固定され、他端は側壁において支持されずにフリーになっていることを特徴とする請求項5に記載の圧電トランス。
- 前記圧電体層が堆積膜であることを特徴とする請求項1から6までのいずれか1項に記載の圧電トランス。
- 2次元平面の行方向と列方向とに多数の圧電素子が整列配置される圧電トランスであって、
列方向に延在し、列方向に並ぶ圧電素子の駆動部側圧電体層と第1面で接続する第1の配線と、
列方向に延在し、列方向に並ぶ圧電素子の駆動部側圧電体層と前記第1面とは反対側の第2面で接続する第1の配線と、
前記駆動部側圧電体層と前記列方向に接続される発電部側圧電体層に対して、その厚さ方向と交差する方向の側面において接続し行方向に延在する第3の配線及び第4の配線と、
を有することを特徴とする圧電トランス。 - 前記第1の配線及び第2の配線は、前記行方向にそれぞれ隣り合う圧電素子を接続するとともに、列方向に並ぶ圧電素子を一括して接続し、
前記第3の配線及び第4の配線は、列方向にそれぞれ隣り合う圧電素子を接続するとともに、行方向に並ぶ圧電素子を一括して接続することを特徴とする請求項8に記載の圧電トランス。 - 支持基板上に犠牲層を形成する工程と、
前記犠牲層上に第1の電極構造を形成する工程と、
前記第1の電極構造上に圧電体堆積膜を形成する工程と、
前記圧電体堆積膜を島状に加工する工程と、
前記島状の圧電体堆積膜に対して、前記第1の電極構造と対向する位置に第2の電極構造を、前記対向方向と交差する対向方向を有する位置に第3及び第4の電極構造を形成する工程と
を有することを特徴とする圧電トランスの製造方法。 - 前記圧電堆積膜を形成する工程は、スパッタ法、化学気相成長法、分子線エピタキシー法、ゾルゲル法、エアロゾルデポジション法を用いることを特徴とする請求項10に記載の圧電トランスの製造方法。
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