JP2013182904A - 積層型圧電アクチュエーター - Google Patents

Abstract

【課題】圧電素子を保持部材により保持した際に、電圧が入力された当該圧電素子の振動を妨げず、且つ小型化及び省スペース化を図ることが出来る積層型圧電アクチュエーターを提供する。
【解決手段】積層型圧電アクチュエーターは、積層された複数の圧電体１０と圧電体間に挟持された内部電極１１，１２とを備え、電圧を印加することにより振動する略矩形状の圧電素子２と、圧電素子２の内部電極１１，１２と電気的に接続した外部電極１５，１６と、外部電極１５，１６に接続して電力を外部電極１５，１６に供給するリード線と、リード線から供給される電力により発生した振動を外部に伝達する動力伝達部材と、を備えた積層型圧電アクチュエーターであって、外部電極１５，１６は、内部電極１１，１２を積層方向に貫通して形成したスルーホール１１ａ，１２ａに埋め込んだ導電材料を介して内部電極１１，１２と電気的に接続している。
【選択図】図１

Description

本件発明は、積層型圧電アクチュエーターに関し、具体的には、カメラにおけるオ−トフォ−カスレンズ駆動等の分野において用いられる略矩形状の圧電素子を使用した圧電アクチュエーターの電極配置及び電極間配線構造に関する。

近年のＯＡ機器やオーディオビジュアル機器の小型・軽量化、高機能化の要請に伴い、電磁気モータに比較して小型化が容易で、且つ、高トルク、低騷音等の長所を有する圧電材料を利用した圧電アクチュエーターが用いられるようになっている。特に、圧電体を積層して形成される積層型圧電アクチュエーターは、積層される圧電体の厚さを薄くすることで、低電圧で駆動することが出来、微小変位の制御性に優れることから、現在では、カメラのオ−トフォ−カスレンズ駆動や手ぶれ補正、ＩＣのウェハの露光装置等に利用されている。

積層型圧電アクチュエーターは、所定の領域に予め分極処理を施した圧電体と電極とが交互に積層された圧電素子に適正な電圧を入力し、所定の動作を発生させるものである。この、積層型圧電アクチュエーターは、従来より、圧電素子の内部に形成される電極の一部を当該圧電素子の圧電体端部側に集約して、この集約部分より内部の電極に電圧を印加するための外部電極が当該圧電体の積層方向に沿って延出した状態で設けられている。

図４は、従来における積層型圧電アクチュエーターに備わる圧電素子の各電極の配置パターンを例示した図である。以下に、図４を用いて、従来における積層型圧電アクチュエーターを構成する内部電極と外部電極との配置位置について簡単に説明する。図４（ａ）は、従来の圧電素子２０を、圧電体２１の積層方向からみた図である。また、図４（ｂ）、図４（ｃ）には、分割されて形成される第１の電極２２及び第２の電極２３からなる内部電極のパターンが示されている。また、図４（ｄ）には、内部グランド電極２４が示されている。図４（ａ）〜（ｄ）に示されるように、従来の積層型圧電アクチュエーターに備わる圧電素子２０は、内部電極２２，２３が圧電体２１の端部まで延出して形成される。図４（ｅ）は図４（ａ）のＸ方向からみた側面図であり、図４（ｆ）は図４（ａ）のＹ方向からみた側面図である。図４（ｅ）、図４（ｆ）に示されるように、従来の積層型圧電アクチュエーターに備わる圧電素子２０は、内部電極の第１の電極２２及び第２の電極２３、内部グランド電極２４のそれぞれと導通可能に、第１の外部電極２５及び第２の外部電極２６、外部グランド電極２７が形成される。

従来の積層型圧電アクチュエーターに用いられる圧電素子の電極配置及び電極間配線構造は、例えば特許文献１（特開平６−５３５６７号公報）に示される。特許文献１は、積層型圧電アクチュエーターに関する発明であり、具体的には、「第１の電極層（２２）、圧電材層（２３）、第２の電極層（２４）、圧電材層（２３）の順で積層された柱状の本体（２１）と、該本体の一の側面（２５）に、その積層方向上に延在して帯状に形成された第１の外部電極（２７）及び第２の外部電極（２８）と、上記本体の上記の側面（２５）に形成してあり、該側面に露出している上記第１の電極層の端部（２２ａ）と上記第２の外部電極との間に介在すると共に、上記一の面に露出している上記第２の電極層の端部（２４ａ）と上記第１の外部電極との間に介在する絶縁層（２６）とよりなる構成とした」ことを特徴とするものである。

特開平６−５３５６７号公報

しかし、特許文献１に開示の積層型圧電アクチュエーターは、電極層と圧電材層とが交互に積層して形成される柱状の本体（圧電素子に相当）における圧電材層の積層方向に沿った側面に外部電極が形成されるため、当該外部電極の形成位置を外して当該柱状の本体を保持しなければならない。なお、特許文献１の図１に示されるように、圧電素子に形成される外部電極は、従来より圧電素子の長手方向端部から長手方向全長の１／４間に形成される。これは、圧電素子の長手方向端部から長手方向全長の１／４間は、当該圧電素子を安定して保持する上で好ましい範囲であり、極力圧電素子の振動を阻害しないような配慮があってのことである。従って、特許文献１に開示の積層型圧電アクチュエーターは、圧電素子を保持する位置を外部電極の位置と近接させて配置することが好ましいが、この場合にはこれら部材同士の干渉が生じる恐れがある。

また、特許文献１に開示の積層型圧電アクチュエーターは、電極層と圧電材層とが交互に積層して形成される柱状の本体（圧電素子に相当）における圧電材層の積層方向に沿った側面に外部電極が形成されるため、配線の複雑化を招くと共に積層型圧電アクチュエーターの更なる小型化及び省スペース化の実現が困難となっていた。

本件発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、圧電素子を保持部材により保持した際に、電圧が入力された当該圧電素子の振動を妨げず、且つ小型化及び省スペース化を図ることが出来る積層型圧電アクチュエーターを提供することを目的とする。

本件発明者は、鋭意研究を行った結果、以下の積層型圧電アクチュエーターを採用することで、上記課題を達成できることに想到した。

本件発明に係る積層型圧電アクチュエーター： 積層された複数の圧電体と当該圧電体間に挟持された内部電極とを備え、電圧を印加することにより振動する略矩形状の圧電素子と、当該圧電素子の当該内部電極と電気的に接続した外部電極と、当該外部電極に接続して電力を当該内部電極に供給するリード線と、当該リード線から供給される電力により発生した振動を外部に伝達する動力伝達部材と、を備えた積層型圧電アクチュエーターであって、当該外部電極は、当該内部電極を当該積層方向に貫通して形成したスルーホールに埋め込んだ導電材料を介して当該内部電極と電気的に接続したことを特徴とするものである。

本件発明に係る積層型圧電アクチュエーターにおいて、前記内部電極は、分割されて形成される第１の内部電極及び第２の内部電極からなり、前記外部電極が当該第１の内部電極及び第２の内部電極のそれぞれと導通する第１の外部電極及び第２の外部電極からなり、当該第１の外部電極及び当該第２の外部電極にそれぞれ位相をずらした交流電圧を印加することにより、縦振動モードと屈曲振動モードとからなる振動を同時に励起して前記動力伝達部材が楕円振動を行うものであり、前記スルーホールを、前記圧電素子の長手方向中心線付近で、且つ当該圧電素子の長手方向端部から長手方向全長の１／４間に設けたことが好ましい。

本件発明に係るレンズ駆動機構： 本件発明に係るレンズ駆動機構は、レンズを光軸方向に移動させる駆動源として、レンズの外周側に上述の積層型圧電アクチュエーターを備えたことを特徴とするものである。

本件発明に係る積層型圧電アクチュエーターは、外部電極を圧電素子の側面に形成するのではなく、内部電極を積層方向に貫通して形成したスルーホールに埋め込んだ導電材料を介して当該内部電極と電気的に接続することで、圧電素子の内部電極積層方向の表面側に形成することが出来る。そのため、本件発明に係る積層型圧電アクチュエーターによれば、圧電素子に電圧を印加した際の振動を妨げず、且つ小型化及び省スペース化を図ることが出来る。

本件発明に係る積層型圧電アクチュエーターに備わる圧電素子の各電極の配置パターンを例示した図である。 本件発明に係る積層型圧電アクチュエーターを説明するための図である。 図１とは異なる形態の積層型圧電アクチュエーターに備わる圧電素子の各電極の配置パターンを例示した図である。 従来における積層型圧電アクチュエーターに備わる圧電素子の各電極の配置パターンを例示した図である。

以下、本件発明に係る積層型圧電アクチュエーターについて、図を用いて具体的に説明していく。

本件発明に係る積層型圧電アクチュエーター： 本件発明に係る積層型圧電アクチュエーター１は、積層された複数の圧電体１０と当該圧電体間に挟持された内部電極１１，１２とを備え、電圧を印加することにより振動する略矩形状の圧電素子２と、当該圧電素子２の当該内部電極１１，１２と電気的に接続した外部電極１５，１６と、当該外部電極１５，１６に接続して電力を当該内部電極１１，１２に供給するリード線と、当該リード線から供給される電力により発生した振動を外部に伝達する動力伝達部材３と、を備えたものである。そして、本件発明に係る積層型圧電アクチュエーター１において、当該外部電極１５，１６は、当該内部電極１１，１２を当該積層方向に貫通して形成したスルーホール１１ａ，１２ａに埋め込んだ導電材料を介して当該内部電極１１，１２と電気的に接続したことを特徴とするものである。

本件発明に係る積層型圧電アクチュエーター１は、積層された複数の圧電体１０と当該圧電体間に挟持された内部電極１１，１２とを備えた圧電素子２の振動を、動力に変えて外部に伝達するものである。従って、本件発明の圧電体１０は、優れた圧電効果を発揮出来ることが好ましく、その材質としてエネルギー変換効率に優れるセラミックス材料（例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）やマグネシウムニオブ酸鉛（ＰＭＮ）、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ^３）等）が好適に用いられる。また、内部電極１１，１２は、銀（Ａｇ）−パラジウム（Ｐｄ）系合金、パラジウム（Ｐｄ）、白金（Ｐｔ）等の金属材料を用いて形成され、使用される圧電体１０の焼成温度を考慮して、適当な材料が選択される。

本件発明に係る積層型圧電アクチュエーター１は、圧電体１０の材料に、上述したような優れた圧電効果を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等を用いることで、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する際の効率化を図ることが出来る。このチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等は、電圧を印加すると伸縮する特性（圧電効果）があるため、アクチュエーターに広く使用されている材料である。従って、本件発明に係る積層型圧電アクチュエーター１は、例えば圧電素子２をチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）の積層構造とすることで低電圧での駆動が可能となり、静粛性の向上や低速高推力が得られる等の効果を得ることが出来る。

図１は、本件発明に係る積層型圧電アクチュエーターに備わる圧電素子の構成を例示した図である。図１に示すように、本件発明に係る積層型圧電アクチュエーター１に用いられる圧電素子２は、複数の圧電体１０と複数の内部電極１１，１２とを交互に積層して構成され、これら複数積層された圧電体１０及び内部電極１１，１２を挟持するように積層方向の表面に、圧電体１０が積層されて構成される（図１（ａ）参照のこと。）。なお、この積層方向の表面に備えられる圧電体１０は、分極処理が施されていない絶縁体である点で、圧電素子２の内部に積層される圧電体１０と相違する。ちなみに、積層方向の表面に備えられる層は、絶縁性を有するものであれば、圧電体１０以外のもので構成されていても良い。

図２は、本件発明に係る積層型圧電アクチュエーターを説明するための図である。図２には、本件発明の圧電素子２を圧電体１０の積層方向の表面側からみた図が示されている。本件発明に係る積層型圧電アクチュエーター１は、圧電素子２の内部電極１１，１２のそれぞれと電気的に接続する外部電極１５，１６が備えられる。この外部電極１５，１６には、図示せぬ通電用のリード線及びフレキシブル基板及び通電用コイルワイヤが半田及び接着等で接続される。この通電用のリード線等から供給される電力により、図２に示す動力伝達部材３が、当該圧電体１０の積層方向に対して上下及び左右に分離して発生した複数の振動を外部に伝達する。ちなみに、外部電極１５，１６の材質は、内部電極１１，１２と同じ材質であれば、内部電極１１，１２との接触面において容易に電食が発生することがなく好ましい。従って、外部電極１５，１６の材質には、内部電極１１，１２と同様に、銀（Ａｇ）−パラジウム（Ｐｄ）系合金等が好適に用いられる。

図２に示す動力伝達部材３は、本件発明の圧電素子２に発生した振動を外部に伝達するための用いられるものであり、エポキシ接着剤等を用いて圧電素子２の所定位置に接着される。本件発明に係る積層型圧電アクチュエーター１では、通電用のリード線等から供給される電力により、圧電素子２が圧電体１０の積層方向に対して例えば上下及び左右に分離して複数の振動（縦振動、屈曲振動等）を発生し、動力伝達部材３が被動力伝達部材３０との接触面において楕円を描くような回転振動を発生させる。すなわち、本件発明に係る積層型圧電アクチュエーター１は、圧電素子２の振動によって、動力伝達部材３と当接配置される被動力伝達部材３０を支持軸３１を中心に回転させ、この被動力伝達部材３０の回転を動力に変換するものである。ちなみに、この動力伝達部材３における振動の速度や楕円状に回転する方向を制御することにより、被動力伝達部材３０の回転方向や速度を調節することが可能となる。

そして、本件発明に係る積層型圧電アクチュエーター１は、圧電素子２に積層される内部電極１１，１２を当該積層方向に貫通させてスルーホール１１ａ，１２ａを形成し、このスルーホール１１ａ，１２ａに導電材料を埋め込むことで、この導電材料を介して当該内部電極１１，１２と外部電極１５，１６とを電気的に接続する。

図１には、複数の圧電体１０と複数の内部電極１１，１２とが交互に積層された圧電素子２において、これらが積層した方向に貫通し形成された複数のスルーホール１１ａ，１２ａが示されている。本件発明に係る積層型圧電アクチュエーター１によれば、各内部電極１１，１２間をスルーホール１１ａ，１２ａを通じて導通させるので、従来のような圧電体の端部に延出させた内部電極に外部電極を接触させる構造よりも短絡の危険性が少なく、信頼性の向上及び組立性の向上を図ることが出来る。

また、本件発明に係る積層型圧電アクチュエーター１は、図１や図２に示すように、圧電素子２において圧電体１０の積層方向の表面に外部電極１５，１６を設けることで、従来のように圧電素子２の当該積層方向に沿った側面に設けられる当該圧電素子２を保持する部材と同一面に外部電極１５，１６を設けた場合に比べて、圧電素子２の振動を阻害する要素を減少させることが出来る。なお、従来のように、圧電素子２の当該積層方向に沿った側面に設けられる当該圧電素子２を保持する部材と外部電極１５，１６とを同一面に設けた場合において、当該圧電素子２を保持する部材と当該外部電極１５，１６とを近接配置させた場合、双方の部材が干渉する恐れや、外部電極１５，１６に電圧を印加して分極処理を行ったときの圧電素子２の構造強度の変化により当該外部電極１５，１６にクラックが発生し易くなる等の問題がある。

以上のことから、本件発明に係る積層型圧電アクチュエーター１は、圧電素子２において圧電体１０の積層方向の表面に外部電極１５，１６を設けることで、当該圧電素子２を振動の妨げとならない位置で安定して保持することが可能となる。ちなみに、圧電素子２を構成する圧電体１０の材料として、エネルギー変換効率に優れるチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等を用いて圧電効果を図ろうとしても、当該圧電素子２の振動を阻害しない位置で固定することが出来なければ、圧電体１０の振動が妨げられてしまう。この場合、いくら圧電素子１０の材料に圧電効果に優れるチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等を用いたとしても、積層型圧電アクチュエーター１の性能が損なわれ、低電圧での駆動も困難となる。

また、本件発明に係る積層型圧電アクチュエーター１は、図１や図２に示すような構造を採用することで、圧電体１０の積層方向の表面の任意の場所に外部電極１５，１６を設けることが出来るため、配線の複雑化を招くことがない。そして、従来の積層型圧電アクチュエーターは、圧電素子における圧電体の積層方向に沿った側面に外部電極を設けていたため、その分当該側面に配設される外部電極と圧電素子を収容する保持部材との間の間隔を広くとらなければならなかったが、本件発明に係る積層型圧電アクチュエーター１によればその必要がない。従って、本件発明に係る積層型圧電アクチュエーター１は、圧電素子２の振動を阻害せずに、従来よりも更なる小型化及び省スペース化を実現することが可能となる。

ちなみに、本件発明の圧電素子２に形成されるスルーホール１１ａ，１２ａに埋め込まれる導電材料は、容易に電食が発生しないよう、内部電極１１，１２や外部電極１５，１６と同じ材質であることが好ましい。従って、当該導電材料には、内部電極１１，１２や外部電極１５，１６と同様に、銀（Ａｇ）−パラジウム（Ｐｄ）系合金等を用いることが好ましいが、内部電極と外部電極との導通がとれるような導電性の樹脂やゴム等であっても用いることが出来る。

また、本件発明に係る積層型圧電アクチュエーター１は、内部電極が、分割されて形成される第１の内部電極１１及び第２の内部電極１２からなり、外部電極が当該第１の内部電極１１及び第２の内部電極１２のそれぞれと導通する第１の外部電極１５及び第２の外部電極１６からなり、当該第１の外部電極１５及び当該第２の外部電極１６にそれぞれ位相をずらした交流電圧を印加することにより、縦振動モードと屈曲振動モードとからなる振動を同時に励起して動力伝達部材３が楕円振動を行うものである。そして、本件発明に係る積層型圧電アクチュエーター１は、スルーホール１１ａ，１２ａ，１３ａを、圧電素子２の長手方向Ａ中心線Ｌ付近で、且つ当該圧電素子２の長手方向Ａ端部２ａ，２ｂから長手方向Ａ全長の１／４間に設けたことが好ましい。

ここで、図１には、本件発明の圧電素子２に備わる内部電極１１，１２、外部電極１５，１６、内部グランド電極１３、外部グランド電極１７の配置パターンが例示されている。図１において、図１（ａ）が外部電極の第１の外部電極１５及び第２の外部電極１６、外部グランド電極１７の各配置パターンを示したものである。また、図１（ｂ），（ｄ），（ｆ），（ｈ）が内部電極の第１の内部電極１１及び第２の内部電極１２の各配置パターンを示したものである。また、図１（ｃ），（ｅ），（ｇ），（ｉ）が内部グランド電極１３の配置パターンを示したものである。図１には、圧電体１０の領域内において、内部電極の第１の内部電極１１と第２の内部電極１２とがそれぞれ対角線上に区分けされて配置されている。そして、外部電極の第１の外部電極１５及び第２の外部電極１６とのそれぞれが、当該第１の内部電極１１及び第２の内部電極１２と、スルーホール１１ａ，１２ａを介して導通可能に配置される。

本件発明の圧電素子２は、図１において左上と右下に位置する第１の内部電極１１と、右上と左下に位置する第２の内部電極１２とに、位相がπ／２異なる交流電圧を第１の外部電極１５及び第２の外部電極１６を通して印加させることで、縦振動モードと屈曲振動モードとからなる振動が同時に励起して動力伝達部材３が楕円振動を行うこととなる。

なお、図１には、圧電素子２内に積層して備えられる内部グランド電極１３と、当該内部グランド電極１３を当該積層方向に貫通して形成されるスルーホール１３ａと、当該スルーホール１３ａに埋め込んだ導電材料を介して当該内部電極１３と電気的に接続する外部グランド電極１７とが示されている。ここで、グランド内部電極１３は、圧電素子２内に備えられ、積層型圧電アクチュエーター１の駆動回路から発生するノイズを抑制し、また、このノイズが他の電子機器に悪影響を及ぼすことを抑制する。積層型圧電アクチュエーター１の駆動回路から発生するノイズは、例えば、当該積層型圧電アクチュエーター１の圧電素子２に生じる振動を信号として検出し、当該圧電素子２に印加する交流電圧を所定の位相差になるように制御する際に、当該制御に乱れを生じさせ、積層型圧電アクチュエーター１の駆動を不安定にさせてしまう。従来は、積層型圧電アクチュエーター１の駆動回路に発生するノイズを抑制するために別途アース線を設ける必要があり、配線の複雑化を招くと共に、更なる小型化及び省スペース化を図る上で障害となっていた。

図３は、図１とは異なる形態の積層型圧電アクチュエーターに備わる圧電素子の構成を例示した図である。例えば、本件発明の圧電素子は、図３に示すような内部電極１１，１２、外部電極１５，１６、内部グランド電極１３，１４、外部グランド電極１７，１８の配置パターンを採用することも出来る。図３において、図３（ａ）が外部電極の第１の外部電極１５及び第２の外部電極１６、外部グランド電極１７，１８の各配置パターンを示したものである。また、図３（ｂ），（ｄ），（ｆ），（ｈ）が内部電極の第１の電極１１及び第２の電極１２の各配置パターンを示したものである。また、図３（ｃ），（ｅ），（ｇ），（ｉ）が内部グランド電極１３，１４の配置パターンを示したものである。図２に示す圧電素子２において、図１に示す圧電素子２と構成上大きく異なる点は、内部グランド電極１３，１４が２つの領域に区分けされている点である。このように、グランド電極が２つの領域で区分けされることで、積層型圧電アクチュエーター１の駆動回路から発生するノイズの抑制効果を更に得ることが可能となる。

また、図１又は図３に示されるように、本件発明に係る積層型圧電アクチュエーター１における圧電素子２に形成されるスルーホール１１ａ，１２ａ，１３ａ，１４ａは、圧電素子２の長手方向Ａ中心線Ｌ付近で、且つ当該圧電素子２の長手方向Ａ端部２ａ，２ｂから長手方向Ａ全長の１／４間に設けられる（図２参照のこと。）。本件発明の圧電素子２は、スルーホール１１ａ，１２ａ，１３ａ，１４ａを、当該圧電素子２の長手方向Ａ中心線Ｌ付近に設けることで、積層型圧電アクチュエーター１の駆動を安定させることが出来る。

また、本件発明の圧電素子２は、スルーホール１１ａ，１２ａ，１３ａ，１４ａを、当該圧電素子２の長手方向Ａ端部２ａ，２ｂから長手方向Ａ全長の１／４間に設けることで、当該圧電素子２の振動効率の低下を防ぐことが出来る。これは、圧電素子２を保持部材によって安定的に保持するにあたって、通常、当該圧電素子２の長手方向Ａ端部２ａ，２ｂから長手方向Ａ全長の１／４間で保持されるため、当該外部電極１５，１６と当該圧電素子２が保持部材により保持される位置が、長手方向Ａ端部２ａ，２ｂからの距離でみて同じ距離であることが圧電素子２の振動効率の観点からみて好ましいからである。

本件発明に係るレンズ駆動機構： 本件発明に係るレンズ駆動機構は、レンズを光軸方向に移動させる駆動源として、レンズの外周側に本件発明の積層型圧電アクチュエーター１を備えたことが好ましい。

本件発明に係る積層型圧電アクチュエーター１は、その性能を損なわずに小型化を図ることが出来るため、レンズを光軸方向に移動させる駆動源として用いた場合に、備えられるユニットの小型化及び省スペース化を図ることが可能となる。

本件発明に係る積層型圧電アクチュエーターによれば、圧電素子を適正位置で保持出来るため、当該圧電素子の振動を妨げず、低電圧で駆動させることが出来る。また、本件発明に係る積層型圧電アクチュエーターを採用することにより、圧電素子を駆動する際に配線の複雑化を招くことなく、積層型圧電アクチュエーターの小型化及び省スペース化を図ることが出来る。

以上のことから、本件発明に係る積層型圧電アクチュエーターは、撮像装置におけるレンズ駆動用として用いる他にも、工業分野において全体システムを構成する上で重要な機械要素である位置決め機構等にも好適に用いることが出来る。

１ 積層型圧電アクチュエーター
２ 圧電素子
３ 動力伝達部材
１０ 圧電体
１１ 内部電極（第１の内部電極）
１１ａ スルーホール（内部電極（第１の内部電極）用）
１２ 内部電極（第２の内部電極）
１２ａ スルーホール（内部電極（第２の内部電極）用）
１３ 内部グランド電極
１３ａ スルーホール（内部グランド電極用）
１５ 外部電極（第１の外部電極）
１６ 外部電極（第２の外部電極）
１７ 外部グランド電極
３０ 被動力伝達部材
３１ 支持軸

Claims (3)

1. 積層された複数の圧電体と当該圧電体間に挟持された内部電極とを備え、電圧を印加することにより振動する略矩形状の圧電素子と、
   当該圧電素子の当該内部電極と電気的に接続した外部電極と、
   当該外部電極に接続して電力を当該外部電極に供給するリード線と、
   当該リード線から供給される電力により発生した振動を外部に伝達する動力伝達部材と、を備えた積層型圧電アクチュエーターであって、
   当該外部電極は、当該内部電極を当該積層方向に貫通して形成したスルーホールに埋め込んだ導電材料を介して当該内部電極と電気的に接続したことを特徴とする積層型圧電アクチュエーター。
2. 前記内部電極は、分割されて形成される第１の内部電極及び第２の内部電極からなり、
   前記外部電極が当該第１の内部電極及び第２の内部電極のそれぞれと導通する第１の外部電極及び第２の外部電極からなり、
   当該第１の外部電極及び当該第２の外部電極にそれぞれ位相をずらした交流電圧を印加することにより、縦振動モードと屈曲振動モードとからなる振動を同時に励起して前記動力伝達部材が楕円振動を行うものであり、
   前記スルーホールを、前記圧電素子の長手方向中心線付近で、且つ当該圧電素子の長手方向端部から長手方向全長の１／４間に設けた請求項１に記載の積層型圧電アクチュエーター。
3. レンズを光軸方向に移動させる駆動源として、レンズの外周側に請求項１又は請求項２に記載の積層型圧電アクチュエーターを備えたことを特徴とするレンズ駆動機構。

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