JP5812096B2 - Memsスイッチ - Google Patents
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Description
固定支持部と、
前記固定支持部に少なくとも1端が固定支持され、延在する可動表面を有する板状可撓梁と、
前記可撓梁の可動表面に配置された可動電気接点と、
前記固定支持部に対する位置が固定され、前記可動電気接点に対向する固定電気接点と、
前記固定支持部から前記可動電気接点に向かって、前記可撓梁の可動表面上方に延在し、電圧駆動することにより前記可動電気接点を前記固定電気接点に向かって変位させることのできる第1圧電駆動素子と、
少なくとも前記可撓梁の可動表面に配置され、電圧駆動することにより前記可動電気接点が前記固定電気接点から離れる向きに、前記可撓梁の可動部を駆動する第2圧電駆動素子と、
を有し、
前記第1圧電駆動素子、前記第2圧電駆動素子の夫々が、下部電極と下部電極上に配置された圧電材料層と圧電材料層の上に配置された上部電極を有し、
前記可動電気接点は前記可撓梁の幅方向中央部に配置され、前記第2圧電駆動素子は前記可動電気接点の幅方向両側に配置された1対の圧電駆動部を有する。
Claims (10)
- 固定支持部と、
前記固定支持部に少なくとも1端が固定支持され、延在する可動表面を有する板状可撓梁と、
前記可撓梁の可動表面に配置された可動電気接点と、
前記固定支持部に対する位置が固定され、前記可動電気接点に対向する固定電気接点と、
前記固定支持部から前記可動電気接点に向かって、前記可撓梁の可動表面上方に延在し、電圧駆動することにより前記可動電気接点を前記固定電気接点に向かって変位させることのできる第1圧電駆動素子と、
少なくとも前記可撓梁の可動表面に配置され、電圧駆動することにより前記可動電気接点が前記固定電気接点から離れる向きに、前記可撓梁の可動部を駆動する第2圧電駆動素子と、
を有し、
前記第1圧電駆動素子、前記第2圧電駆動素子の夫々が、下部電極と下部電極上に配置された圧電材料層と圧電材料層の上に配置された上部電極を有し、
前記可動電気接点は前記可撓梁の幅方向中央部に配置され、前記第2圧電駆動素子は前記可動電気接点の幅方向両側に配置された1対の圧電駆動部を有する、
MEMSスイッチ。 - 前記固定支持部が支持Si基板上に、酸化シリコン層を介して、活性Si層が結合されたSOI基板で形成され、
前記可撓梁が前記活性Si層で形成され、一定の幅を有し、長さ方向に延在するストライプ形状を有する請求項1記載のMEMSスイッチ。 - 前記可撓梁が両持ち梁構造であり、前記可動電気接点および前記第2圧電駆動素子が前記両持ち梁の中間部に配置されている請求項2に記載のMEMSスイッチ。
- 前記可撓梁が片持ち梁構造であり、前記可動電気接点および前記第2圧電駆動素子が前記片持ち梁の自由端近傍に配置されている請求項2に記載のMEMSスイッチ。
- 前記第1圧電駆動素子を制御する第1制御回路と、
前記第2圧電素子を制御する第2制御回路と、
をさらに有する請求項1記載のMEMSスイッチ。 - 前記第1制御回路と前記第2制御回路とが相互誘導で結合されている、請求項5記載のMEMSスイッチ。
- 前記第1制御回路と前記第2制御回路を制御するマイクロプロセッサをさらに含む請求項5記載のMEMSスイッチ。
- さらに前記第1制御回路の稼動数をカウントするカウンタを含み、前記マイクロプロセッサは前記第1制御回路の複数回の稼動に対して前記第2制御回路を1回稼動させる請求項7記載のMEMSスイッチ。
- 固定支持部と、
前記固定支持部に少なくとも1端が固定支持され、延在する可動表面を有する板状可撓梁と、
前記可撓梁の可動表面に配置された可動電気接点と、
前記固定支持部に対する位置が固定され、前記可動電気接点に対向する固定電気接点と、
前記固定支持部から前記可動電気接点に向かって、前記可撓梁の可動表面上方に延在し、電圧駆動することにより前記可動電気接点を前記固定電気接点に向かって変位させることのできる第1圧電駆動素子と、
少なくとも前記可撓梁の可動表面に配置され、電圧駆動することにより前記可動電気接点が前記固定電気接点から離れる向きに、前記可撓梁の可動部を駆動する第2圧電駆動素子と、
を有し、
前記第1圧電駆動素子を制御する第1制御回路と、
前記第2圧電素子を制御する第2制御回路と、
をさらに有し、
前記第1制御回路と前記第2制御回路とが相互誘導で結合されている、
MEMSスイッチ。 - 固定支持部と、
前記固定支持部に少なくとも1端が固定支持され、延在する可動表面を有する板状可撓梁と、
前記可撓梁の可動表面に配置された可動電気接点と、
前記固定支持部に対する位置が固定され、前記可動電気接点に対向する固定電気接点と、
前記固定支持部から前記可動電気接点に向かって、前記可撓梁の可動表面上方に延在し、電圧駆動することにより前記可動電気接点を前記固定電気接点に向かって変位させることのできる第1圧電駆動素子と、
少なくとも前記可撓梁の可動表面に配置され、電圧駆動することにより前記可動電気接点が前記固定電気接点から離れる向きに、前記可撓梁の可動部を駆動する第2圧電駆動素子と、
を有し、
前記第1圧電駆動素子を制御する第1制御回路と、
前記第2圧電素子を制御する第2制御回路と、
をさらに有し、
前記第1制御回路と前記第2制御回路を制御するマイクロプロセッサをさらに含み、
さらに前記第1制御回路の稼動数をカウントするカウンタを含み、前記マイクロプロセッサは前記第1制御回路の複数回の稼動に対して前記第2制御回路を1回稼動させる
MEMSスイッチ。
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