JP2009245876A - Memsスイッチ - Google Patents

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Takaaki Yoshihara
孝明 吉原
Hiroshi Kawada
裕志 河田
Yoshiki Hayazaki
嘉城 早崎
Takeo Shirai
健雄 白井
Chomei Matsushima
朝明 松嶋
Yosuke Hagiwara
洋右 萩原
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Abstract

【課題】接点の開閉特性を改善したMEMSスイッチを提供する。
【解決手段】MEMSスイッチ1は、基板2上に立設された回転支柱3を中心に回転する回転子4を備える。回転子4は、回転方向に等間隔となるように回転支柱3から放射状に延長された複数本の支持アーム8を有する。支持アーム8の回転方向の一側面側には第1の櫛歯電極9が形成され、基板2上において第1の櫛歯電極9と対向する位置には第2の櫛歯電極10が形成されており、回転子4は両櫛歯電極9,10間に駆動電圧が印加され静電引力が作用することで回転する。支持アーム8の前記一側面に配設された可動接点16は、基板2上において支持アーム8の前記一側面と対向する位置に形成された固定接点15に対して、回転子4の回転に伴って接離する。
【選択図】図1

Description

本発明は、MEMS(Micro Electro Mechanical System)技術を用いたMEMSスイッチに関するものである。
従来から、携帯電話端末器等の技術分野においては、アンテナ切替、バンド切替などに半導体スイッチング素子が用いられているが、この種の半導体スイッチング素子では使用する周波数が高周波になるとオン時の損失が増加し、オフ時のアイソレーション(絶縁性能)が低下することがある。そこで、近年では、高周波に対してもオン時の損失が低く、オフ時に高いアイソレーションを確保できるものとして、MEMS技術を用いて半導体製造プロセスにより作製される小型の機械式スイッチであるMEMSスイッチが注目されている。
この種のMEMSスイッチ1は、一般的に、図9に示すように基板(ベース部)2の一表面に沿って直線移動する可動部29を有し、基板2上に形成された固定接点(固定コンタクト電極)30と、可動部に設けられた可動接点(可動コンタクト電極)31とを可動部29の移動に伴って接離させるように構成される(たとえば特許文献1参照)。特許文献1に記載の発明では、可動部29は、基板2の厚み方向において基板2の一表面から離間しており、移動方向の両端部がそれぞれ各一対の支持梁32a,32bを介して基板2上に形成されたフレーム5に連結されることにより、図の上下方向(つまり支持梁32a,32bに直交する方向)に移動可能とされている。
しかして、可動部29に設けた櫛歯電極33と、基板2上に形成した櫛歯電極34との間に駆動電圧を印加して静電引力を作用させることにより、可動接点31を固定接点30に接触させる向きに可動部29が支持梁32a,32bを撓ませながら移動し、前記静電引力を消滅させると支持梁32a,32bの弾性によって、可動接点31を固定接点30から離間させる向きに可動部29が移動する。
国際公開第2005/015595号パンフレット(図1)
ところで、上述した構成のMEMSスイッチ1においては、可動部29が移動する際の支持梁32a,32bの撓み量が大きくなると、支持梁32a,32bが折損しスティッキング現象を生じる(つまり、可動接点31が固定接点30から離れなくなる)可能性があり、接点の開閉特性がよくないという問題がある。
本発明は上記事由に鑑みて為されたものであって、接点の開閉特性を改善したMEMSスイッチを提供することを目的とする。
請求項1の発明は、基板上に立設された回転支柱と、基板の厚み方向において基板から離間して設けられ、基板の一表面に沿う面内において回転支柱の周方向に等間隔となるように回転支柱から放射状に延長された複数本の支持アームと、支持アームにおける前記周方向の一側面側に形成され、当該一側面から突出した複数本の第1櫛歯片を有する第1の櫛歯電極と、基板上において支持アームの前記一側面と対向する位置に形成され、支持アームとの対向面から突出し隣接する2本の第1櫛歯片間にそれぞれ入り込む複数本の第2櫛歯片を有する第2の櫛歯電極と、基板上に形成された第1の固定接点と、支持アームのうち第1の固定接点と前記周方向に対向する位置に設けられ、第1および第2の両櫛歯電極間に駆動電圧を印加したときに生じる静電引力により回転支柱を中心に回転する支持アームの回転に伴って、第1の固定接点に接触する位置と第1の固定接点から離間する位置との間で移動する第1の可動接点とを備えることを特徴とする。
この構成によれば、第2の櫛歯電極は、第1の櫛歯電極との間に駆動電圧が印加され静電引力が作用すると第1の櫛歯電極を引き寄せて回転支柱を中心に支持アームを回転させ、第1の可動接点は、支持アームに設けられており、支持アームの回転に伴って第1の固定接点に接触する位置と第1の固定接点から離間する位置との間で移動するので、第1および第2の両櫛歯電極間に駆動電圧を印加することによって接点を開閉することができる。このとき支持アームは回転支柱を中心として回転するから、支持アームが撓むことによる支持アームの折損を生じることはなく、したがって、支持アームの折損に起因したスティッキング現象の発生を回避することができる。すなわち、従来構成に比較して、接点の開閉特性がよくなるという利点がある。しかも、第1の櫛歯電極は複数の第1櫛歯片を有し、第2の櫛歯電極は複数の第2櫛歯片を有するので、第1および第2の両櫛歯電極の対向面積を比較的広く確保することができ、比較的小さな駆動電圧で支持アームを駆動することが可能となる。
請求項2の発明は、請求項1の発明において、前記支持アームが3の倍数となる本数設けられ、前記回転支柱に対して3回対称に形成されていることを特徴とする。
この構成によれば、支持アームは回転支柱に対して3回対称に形成されているから、2回対称に形成されている場合に比べて支持アームの回転が安定するという利点がある。
請求項3の発明は、請求項1または請求項2の発明において、前記第1の可動接点が複数本の前記支持アームにそれぞれ設けられ、前記第1の固定接点が各第1の可動接点と対向する位置にそれぞれ形成されることを特徴とする。
この構成によれば、第1の可動接点および第1の固定接点が複数組設けられているため、いずれか1組の可動接点と固定接点との間で電気的接続を確保できればよいので、接点の電気的接続の信頼性が向上する。また、複数本の支持アームのそれぞれに第1の可動接点が設けられているから、支持アームを回転させることによって複数の接点を開閉することができる。
請求項4の発明は、請求項1ないし請求項3のいずれかの発明において、前記第1の可動接点が、前記支持アームの長手方向における先端寄りの位置に設けられていることを特徴とする。
この構成によれば、支持アームの長手方向における基端寄りの位置に第1の可動接点が設けられている場合に比べて、支持アームの回転に伴う第1の可動接点の移動距離を大きくとることができ、したがって、第1の固定接点と第1の可動接点との間の絶縁距離を長く確保でき、オフ時のアイソレーションを向上させることができる。
請求項5の発明は、請求項1ないし請求項4のいずれかの発明において、前記第1櫛歯片および前記第2櫛歯片が、それぞれ前記回転支柱を中心とする円弧の一部を形成する形状に湾曲していることを特徴とする。
この構成によれば、回転支柱を中心に支持アームが回転する際に、第1櫛歯片と第2櫛歯片との距離を略一定に維持することができ、第1櫛歯片と第2櫛歯片とが接触することを回避できる。
請求項6の発明は、請求項1ないし請求項5のいずれかの発明において、前記第1の櫛歯電極が前記第2の櫛歯電極から離れる向きに前記支持アームを付勢する復帰ばねを備えることを特徴とする。
この構成によれば、第1および第2の櫛歯電極間への駆動電圧の印加を解除したときに、復帰ばねによって支持アームを駆動電圧が印加される前の位置に復帰させることができ、スティッキング現象が生じにくくなる。
請求項7の発明は、請求項1ないし請求項5のいずれかの発明において、前記支持アームにおける前記周方向の他側面側に形成され、当該他側面から突出した複数本の第3櫛歯片を有する第3の櫛歯電極と、基板上において支持アームの前記他側面と対向する位置に形成され、支持アームとの対向面から突出し隣接する2本の第3櫛歯片間にそれぞれ入り込む複数本の第4櫛歯片を有し、第3の櫛歯電極との間に駆動電圧が印加されたときに生じる静電引力により支持アームを回転させる第4の櫛歯電極とを備えることを特徴とする。
この構成によれば、第1および第2の両櫛歯電極間に駆動電圧を印加して静電引力を作用させたときと、第3および第4の両櫛歯電極間に駆動電圧を印加して静電引力を作用させたときとで、支持アームは反対向きに回転することとなる。したがって、いずれの櫛歯電極間に駆動電圧を印加するかによって、接点の開閉状態を切り替えることができる。
請求項8の発明は、請求項7の発明において、前記第3櫛歯片および前記第4櫛歯片が、それぞれ前記回転支柱を中心とする円弧の一部を形成する形状に湾曲していることを特徴とする。
この構成によれば、回転支柱を中心に支持アームが回転する際に、第3櫛歯片と第4櫛歯片との距離を略一定に維持することができ、第3櫛歯片と第4櫛歯片とが接触することを回避できる。
請求項9の発明は、請求項7または請求項8の発明において、前記第1の櫛歯電極および前記第2の櫛歯電極からなる電極対と、前記第3の櫛歯電極および前記第4の櫛歯電極からなる電極対とが、前記支持アームの長手方向に沿った支持アームの中心線および前記基板の厚み方向に沿った前記回転支柱の中心線を含む平面に対して面対称に形成されていることを特徴とする。
この構成によれば、第1および第2の両櫛歯電極間に駆動電圧を印加したときと、第3および第4の両櫛歯電極間に駆動電圧を印加したときとで、静電引力によって支持アームに作用するモーメントの大きさを揃えることができ、支持アームの強度等の設計が簡単になる。
請求項10の発明は、請求項7ないし請求項9のいずれかの発明において、前記第1の可動接点が、前記支持アームにおける前記周方向の前記一側面に設けられており、前記第1および第2の両櫛歯電極間に静電引力が作用して支持アームが回転したときに前記第1の固定接点に接触することを特徴とする。
この構成によれば、第1および第2の両櫛歯電極間に駆動電圧を印加することで第1の可動接点を第1の固定接点に接触させることができ、第3および第4の両櫛歯電極間に駆動電圧を印加することで第1の可動接点を第1の固定接点から離間させることができるので、第3および第4の両櫛歯電極間に作用する静電引力により、第1の固定接点に当接した状態の第1の可動接点を第1の固定接点から強制的に引き離すことができる。
請求項11の発明は、請求項10の発明において、前記基板上において前記支持アームの他側面と対向する位置には第2の固定電極が形成されており、支持アームの前記他側面には、前記第3および第4の両櫛歯電極間に静電引力が作用して支持アームが回転したときに第2の固定接点に接触する第2の可動接点が設けられていることを特徴とする。
この構成によれば、第1および第2の両櫛歯電極間に駆動電圧を印加することで第1の可動接点を第1の固定接点に接触させるとともに第2の可動接点を第2の固定接点から離間させることができ、第3および第4の両櫛歯電極間に駆動電圧を印加することで第1の可動接点を第1の固定接点から離間させるとともに第2の可動接点を第2の固定接点に接触させることができるので、第1および第2の両櫛歯電極間に駆動電圧を印加したときと、第3および第4の両櫛歯電極間に駆動電圧を印加したときとで、接点状態を切り替えることができる。
請求項12の発明は、請求項11の発明において、前記第2の可動接点が複数本の前記支持アームにそれぞれ設けられ、前記第2の固定接点が各第2の可動接点と対向する位置にそれぞれ形成されることを特徴とする。
この構成によれば、第2の可動接点および第2の固定接点が複数組設けられているため、いずれか1組の可動接点と固定接点との間で電気的接続を確保できればよいので、接点の電気的接続の信頼性が向上する。また、複数本の支持アームのそれぞれに第2の可動接点が設けられているから、支持アームを回転させることによって複数の接点を開閉することができる。
請求項13の発明は、請求項11または請求項12の発明において、前記第2の可動接点が、前記支持アームの長手方向における先端寄りの位置に設けられていることを特徴とする。
この構成によれば、支持アームの長手方向における基端寄りの位置に第2の可動接点が設けられている場合に比べて、支持アームの回転に伴う第2の可動接点の移動距離を大きくとることができ、したがって、第2の固定接点と第2の可動接点との間の絶縁距離を長く確保でき、オフ時のアイソレーションを向上させることができる。
本発明は、回転支柱を中心とした支持アームの回転に伴って第1の固定接点に第1の可動接点が接離するので、従来構成に比較して接点の開閉特性がよくなるという利点がある。
(実施形態1)
本実施形態のMEMSスイッチ1は、図1および図2に示すように平面視が円形状の基板2と、基板2上に立設された回転支柱3と、回転支柱3によって基板2の一表面上に当該一表面から離間するように支持された回転子4と、回転子4を包囲する形で基板2の一表面上における外周部に形成された円環状のフレーム5と、回転子4を駆動するためのアクチュエータ6と、アクチュエータ6により回転子4を駆動することで開閉する接点装置7とを備えている。なお、ここでは基板2をシリコン基板とするが、シリコン以外の半導体を基板2に用いることも可能である。
回転支柱3は、基板2の一表面上における中心部に配置され、当該一表面に沿う断面が円形状となる円柱形状に形成されている。ここで、基板2表面からの高さ寸法は、回転支柱3と回転子4とフレーム5とで一律に揃えられている。
回転子4は、図1に示すように回転支柱3の外周面から、基板2の一表面に沿う面内で放射状に延長された3本の支持アーム8を具備する。これら支持アーム8は、回転支柱3の周方向において等間隔で配置され、且つそれぞれの先端部とフレーム5との間に所定の隙間を有するように長さ寸法が設定されている。回転子4は基板2の一表面に沿う面内で回転支柱3を中心に回転するものであって、以下では、図1の反時計回りの回転を正回転、時計回りの回転を逆回転という。
アクチュエータ6は、各支持アーム8の幅方向の一側面(ここでは、回転子4の正回転時に前面となる側面)側にそれぞれ形成された第1の櫛歯電極9と、基板2上において各支持アーム8の前記一側面と対向する各位置にそれぞれ形成された第2の櫛歯電極10とを具備する。第1の櫛歯電極9は、支持アーム8のうち長手方向の両端部を除く部位に形成されている。
第1の櫛歯電極9は、支持アーム8の前記一側面からそれぞれ突出し、支持アーム8の長手方向に沿って等間隔に並設された複数本の第1櫛歯片9aを有する。一方、第2の櫛歯電極10は、基板2上に形成された基台10bと、基台10bにおける支持アーム8の前記一側面との対向面からそれぞれ突出し、支持アーム8の長手方向に沿って等間隔に並設された複数本の第2櫛歯片10aとを有する。図示例では、基台10bはフレーム5の内側面から突出し先端面を支持アーム8の前記一側面に突き合わせた形に形成されている。ここに、第2櫛歯片10aは、隣接する2本の第1櫛歯片9a間にそれぞれ入り込むように形成されており、支持アーム8の長手方向における第1櫛歯片9aとの間隔は全ての第2櫛歯片10aにおいて略一律となるように設定される。
しかして、第1の櫛歯電極9と第2の櫛歯電極10との間に駆動電圧を印加することによって、第1の櫛歯電極9と第2の櫛歯電極10との間に静電引力が作用する。ここで作用する静電引力は、第1櫛歯片9aと第2櫛歯片10aとの対向面積を増加させる向きに作用するから、第1の櫛歯電極9が第2の櫛歯電極10に引き寄せられることとなる。すなわち、第1の櫛歯電極9を設けた支持アーム8が第2の櫛歯電極10に引き寄せられることとなるので、回転子4は回転支柱3をねじり変形させながら回転支柱3を中心として正回転する。その後、両櫛歯電極9,10間への駆動電圧の印加を停止し、両櫛歯電極9,10間の静電引力を消滅させれば、回転支柱3の弾性によって回転子4は回転支柱3を中心として逆回転し、駆動電圧が印加される前の位置(以下、初期位置という)に復帰する。
このように、櫛歯状に形成された第1および第2の櫛歯電極9,10をアクチュエータ6に採用したことにより、MEMSスイッチ1全体を小型化しながらも、両櫛歯電極9,10間の対向面積を比較的広く確保することが可能であるから、比較的小さい駆動電圧であっても両櫛歯電極9,10間に静電引力を生じさせて回転子4を駆動することが可能となる。
ここにおいて、本実施形態では、第1の櫛歯電極9は、導電性材料を用いて支持アーム8および回転支柱3と連続一体に形成されており、第2櫛歯電極10は、導電性材料を用いてフレーム5と連続一体に形成されている。ただし、回転支柱3と基板2との間、並びにフレーム5と基板2との間は、後述の絶縁層11(図2参照)によって電気的に絶縁されるものとする。そして、回転支柱3の表面上には第1の櫛歯電極9への通電用である第1の電極パッド12が形成され、基台10bの表面上には第2の櫛歯電極10への通電用である第2の電極パッド13が形成される。
接点装置7は、基板2上であって支持アーム8の前記一側面と対向する位置に形成された接点台14を具備し、さらに、接点台14における支持アーム8との対向面に配設された第1の固定接点15と、支持アーム8の前記一側面において固定接点15と対向する位置に配設された第1の可動接点16とを有する。この可動接点16は、回転子4の回転に伴って移動し、回転子4を初期位置から正回転させた際に固定接点15に当接するものであって、本実施形態では、支持アーム8の先端部に可動接点16を設けることで、回転子4の回転に伴う可動接点16の移動距離を比較的大きくとるようにしてある。これにより、回転子4が初期位置にあるときの固定接点15と可動接点16との間の絶縁距離を長く確保でき、接点装置7のオフ時のアイソレーションの向上を図ることができる。
ここで、可動接点16は、3本の支持アーム8にそれぞれ設けられており、接点台14は、フレーム5の内側面から突出する形で各可動接点16に対向する各位置にそれぞれ形成されている。固定接点15は各接点台14に対して一対ずつ配設されており、可動接点16がこれら一対の固定接点15に接触することにより、可動接点16を介して一対の固定接点15間が導通するようにしてある。各固定接点15からはそれぞれリードパターン17が延出されており、これらのリードパターン17は、接点台14の表面およびフレーム5の表面を通してフレーム5の外周面にまで引き出される。なお、固定接点15およびリードパターン17と接点台14およびフレーム5との間は絶縁され、可動接点16と支持アーム8との間も絶縁されるものとする。
以上説明した構成のMEMSスイッチ1によれば、第1および第2の両櫛歯電極9,10間に駆動電圧が印加されると、両櫛歯電極9,10間に作用する静電引力によって回転子4が回転支柱3を中心に初期位置から正回転し、このとき、回転子4の回転(正回転)に伴って支持アーム8に設けた可動接点16が移動して固定接点15に当接する。可動接点16が固定接点15に当接すると、一対の固定接点15間が可動接点16を介して導通することとなる。そして、第1および第2の両櫛歯電極9,10間への駆動電圧の印加が停止すると、両櫛歯電極9,10間の静電引力が消滅して、回転支柱3の弾性によって回転子4は回転支柱3を中心に逆回転し初期位置に復帰する。このとき、回転子4の回転(逆回転)に伴って支持アーム8に設けた可動接点16が移動して固定接点15から離間する。
要するに、第1の電極パッド12と第2の電極パッド13との間に駆動電圧を印加する状態と印加しない状態とを切り替えることで、固定接点15に対して可動接点16を接離させて接点装置7の開閉状態を切り替えることができる。ここで、可動接点16は3本の支持アーム8のそれぞれに設けられているから、回転子4の回転に伴って3組の固定接点15間の導通・非導通が同時に切り替わることとなる。接点装置7の接点出力(各組の固定接点15間の導通・非導通)は、リードパターン17を通して取り出すことが可能である。
このように、本実施形態のMEMSスイッチ1は、支持アーム8が回転支柱3を中心として回転するものであるから、支持アーム8が撓むことによる支持アーム8の折損を生じることはなく、したがって、支持アーム8の折損に起因したスティッキング現象(つまり、可動接点が固定接点から離れなくなる現象)の発生を回避することができ、従来構成に比較して接点の開閉特性が改善される。
このMEMSスイッチ1では、回転支柱3をねじり変形させながら回転子4が回転し可動接点が移動するので、回転子4の回転範囲は、回転支柱3のねじり変形時に生じる最大剪断応力が回転支柱3の許容剪断応力以下となるように設定される。なお、実際には、回転支柱3のねじり変形だけでなく、支持アーム8の撓みが可動接点16の移動に寄与することもある。
ところで、上述した構成の本実施形態のMEMSスイッチ1は、基板2としてのシリコン基板上に、絶縁層(シリコン酸化膜)11を介して活性層(シリコン層)が積層された構成のSOI(Silicon on Insulator)基板を用いて製造される。
具体的に説明すると、SOI基板の活性層の表面側にフォトレジスト層を形成し、フォトリソグラフィ技術を用いて前記フォトレジスト層のパターニングを行い、パターニングされたフォトレジスト層をマスクとして活性層の一部に絶縁層に達する深さまで異方性エッチングを施すことにより、図1および図2に示す回転支柱3と回転子4とフレーム5と第1および第2の櫛歯電極9,10と接点台14とが形成される。その後、上記異方性エッチングにより形成された孔を通して、絶縁層11の一部をフッ酸等によりエッチング除去することで、回転子4を基板2から離間させる。このとき回転支柱3やフレーム5および基台10bについては、残った絶縁層11を介して基板2に結合された状態を維持するようにする。その後、上述のフォトレジスト層を除去する。
また、本実施形態のMEMSスイッチ1を使用するに当たっては、第1および第2の両櫛歯電極9,10間への駆動電圧を印加するために、駆動電圧を発生する駆動回路を両櫛歯電極9,10と電気的に接続することが必要になる。そこで、一般的には、図3に示すように第1の電極パッド12と第2の電極パッド13とのそれぞれに対してワイヤボンディングにより駆動回路(図示せず)をワイヤ18で接続する。ただし、図3の例に限るものではなく、たとえば図4に示すようにMEMSスイッチ1をセラミック材料やガラス材料からなる支持基板19上に実装する場合には、第1の電極パッド12と第2の電極パッド13とをそれぞれ支持基板19に形成した貫通配線19aを介して駆動回路に接続するようにしてもよい。この場合、支持基板19はMEMSスイッチ1の電極パッド12,13側の表面に対向するように配置されるが、回転子4の回転を妨げないように少なくとも回転子4と支持基板19との間には隙間が形成される。
なお、本実施形態では、回転子4として3本の支持アーム8を有する構成を例示したが、支持アーム8の本数は3本に限るものではなく、複数本であればよい。ただし、3n本(nは自然数)の支持アーム8を回転支柱3に対して3回対称に形成した場合、2本の支持アーム8を回転支柱に対して2回対称に形成されている場合に比べ、回転子4の回転時に基板2の一表面に対し回転子4が傾きにくくなり、回転子4の回転が安定するという利点があるので、支持アーム8の本数は3の倍数とすることが望ましい。
(実施形態2)
本実施形態のMEMSスイッチ1は、図5に示すように基板2上に形成された支持部20と、支持アーム8との間に架設された復帰ばね21を具備する点が実施形態1のMEMSスイッチ1と相違する。
支持部20は、基板2の一表面上において各支持アーム8の幅方向の他側面(ここでは、回転子4の逆回転時に前面となる側面)と対向する位置にそれぞれ配置され、基板2に対して固定されている。
復帰ばね21は、各支持アーム8の前記他側面と各支持部20との間にそれぞれ架設され、基板2の一表面から離間するように形成される。各復帰ばね21は、それぞれ支持アーム8の幅方向に伸縮可能となるように中央部が略S字状に屈曲した形状に形成されている。
以上説明した構成によれば、第1および第2の両櫛歯電極9,10間に駆動電圧が印加されると、回転子4は復帰ばね21の弾性に抗して両櫛歯電極9,10間に作用する静電引力によって初期位置から正回転する。この状態で第1および第2の両櫛歯電極9,10間への駆動電圧の印加が停止すると、回転子4は復帰ばね21の弾性並びに回転支柱3の弾性によって逆回転し初期位置に復帰する。したがって、回転支柱3の弾性のみで回転子4を初期位置に復帰させる場合に比べて、回転子4を復帰させる力が大きくなり、スティッキング現象がより発生しにくくなる。
なお、図5の例では各支持部20の表面にそれぞれ第1の電極パッド12が形成されている。
その他の構成および機能は実施形態1と同様である。
(実施形態3)
本実施形態のMEMSスイッチ1は、図6に示すように支持アーム8の幅方向の他側面(ここでは、回転子4の逆回転時に前面となる側面)側にもアクチュエータ6’を付加し、アクチュエータ6’によって回転子4の逆回転を可能とした点が実施形態1のMEMSスイッチ1と相違する。
アクチュエータ6’は、各支持アーム8の幅方向の他側面側にそれぞれ形成された第3の櫛歯電極22と、基板2上において各支持アーム8の前記他側面と対向する各位置にそれぞれ形成された第4の櫛歯電極23とを具備する。ここで、第3の櫛歯電極22および第4の櫛歯電極23からなるアクチュエータ6’は、第1の櫛歯電極9および第2の櫛歯電極10からなるアクチュエータ6と、支持アーム8の長手方向に沿った支持アーム8の中心線および基板2の厚み方向に沿った回転支柱3の中心線を含む平面に対して面対称に形成されている。
すなわち、第3の櫛歯電極22は、支持アーム8の前記他側面からそれぞれ突出し、支持アーム8の長手方向に沿って等間隔に並設された複数本の第3櫛歯片22aを有する。一方、第4の櫛歯電極23は、基板2上に形成された基台23bと、基台23bにおける支持アーム8の前記他側面との対向面からそれぞれ突出し、支持アーム8の長手方向に沿って等間隔に並設された複数本の第4櫛歯片23aとを有する。図示例では、基台23bはフレーム5の内側面から突出し先端面を支持アーム8の前記他側面に突き合わせた形に形成されている。ここに、第4櫛歯片23aは、隣接する2本の第3櫛歯片22a間にそれぞれ入り込むように形成されており、支持アーム8の長手方向における第3櫛歯片22aとの間隔は全ての第4櫛歯片23aにおいて略一律となるように設定される。なお、基台23bの表面上には第4の櫛歯電極23への通電用である第4の電極パッド24が形成され、第3の櫛歯電極22への通電用には回転支柱3上に形成された第1の電極パッド12が兼用される。ここで、基台10bおよび基台23bはいずれもフレーム5から離間して設けられる。
しかして、第3の櫛歯電極22と第4の櫛歯電極23との間に駆動電圧を印加することによって、第3の櫛歯電極22と第4の櫛歯電極23との間に静電引力が作用する。ここで作用する静電引力は、第3櫛歯片22aと第4櫛歯片23aとの対向面積を増加させる向きに作用するから、第3の櫛歯電極22が第4の櫛歯電極23に引き寄せられることとなる。すなわち、第3の櫛歯電極22を設けた支持アーム8が第4の櫛歯電極23に引き寄せられることとなるので、回転子4は回転支柱3をねじり変形させながら回転支柱3を中心として逆回転する。その後、両櫛歯電極22,23間への駆動電圧の印加を停止し、両櫛歯電極22,23間の静電引力を消滅させれば、回転支柱3の弾性によって回転子4は回転支柱3を中心として正回転し、初期位置に復帰する。
以上説明した構成のMEMSスイッチ1によれば、第1および第2の両櫛歯電極9,10間に駆動電圧が印加されると、回転子4は両櫛歯電極9,10間に作用する静電引力によって初期位置から正回転し、可動接点16が固定接点15に当接する。この状態で第3および第4の両櫛歯電極22,23間に駆動電圧が印加されると、回転子4は両櫛歯電極22,23間に作用する静電引力によって逆回転し、可動接点16が固定接点15から強制的に引き離される。それから両櫛歯電極22,23間への駆動電圧の印加を停止すると、回転子4は回転支柱3の弾性によって正回転し初期位置に復帰する。したがって、回転支柱3の弾性のみで固定接点15から可動接点16を引き離す場合に比べて、可動接点16を引き離す力が大きくなり、スティッキング現象がより発生しにくくなる。
また、支持アーム8の一側面側に設けたアクチュエータ6と他側面側に設けたアクチュエータ6’とが面対称に形成されているから、各アクチュエータ6,7’により回転子4を駆動する際に、支持アーム8および回転支柱3に作用するモーメントの大きさを揃えることができ、支持アーム8および回転支柱3の強度等の設計が簡単になる。
その他の構成および機能は実施形態1と同様である。
(実施形態4)
本実施形態のMEMSスイッチ1は、図7に示すように支持アーム8の幅方向の他側面(ここでは、回転子4の逆回転時に前面となる側面)側にも接点装置7’を付加した点が実施形態3のMEMSスイッチ1と相違する。
接点装置7’は、基板2上であって支持アーム8の前記他側面と対向する位置に形成された接点台25を具備し、さらに、接点台25における支持アーム8との対向面に配設された第2の固定接点26と、支持アーム8の前記他側面において固定接点26と対向する位置に配設された第2の可動接点27とを有する。ここで、第2の固定接点26および第2の可動接点27からなる接点装置7’は、第1の固定接点15および第1の可動接点16からなる接点装置7と、支持アーム8の長手方向に沿った支持アーム8の中心線および基板2の厚み方向に沿った回転支柱3の中心線を含む平面に対して面対称に形成されている。
すなわち、可動接点27は、回転子4の回転に伴って移動し、回転子4を初期位置から逆回転させた際に固定接点26に当接するものであって、本実施形態では、支持アーム8の先端部に可動接点27を設けることで、回転子4の回転に伴う可動接点27の移動距離を比較的大きくとるようにしてある。これにより、回転子4が初期位置にあるときの固定接点26と可動接点27との間の絶縁距離を長く確保でき、接点装置7’のオフ時のアイソレーションの向上を図ることができる。なお、図示例では第1の可動接点16と第2の可動接点27とを一体に形成してあるが、両可動接点16,27は別体であってもよい。
ここで、可動接点27は、3本の支持アーム8にそれぞれ設けられており、接点台25は、フレーム5の内側面から突出する形で各可動接点27に対向する各位置にそれぞれ形成されている。固定接点26は各接点台25に対して一対ずつ配設されており、可動接点27がこれら一対の固定接点26に接触することにより、可動接点27を介して一対の固定接点26間が導通するようにしてある。各固定接点26からはそれぞれリードパターン28が延出されており、これらのリードパターン28は、接点台25の表面およびフレーム5の表面を通してフレーム5の外周面にまで引き出される。なお、固定接点26およびリードパターン28と接点台25およびフレーム5との間は絶縁され、可動接点27と支持アーム8との間も絶縁されるものとする。
以上説明した構成によれば、第1および第2の両櫛歯電極9,10間に駆動電圧が印加されると、回転子4は両櫛歯電極9,10間に作用する静電引力によって初期位置から正回転し、第1の固定接点15および第1の可動接点16からなる接点装置7がオンする。この状態で第1および第2の両櫛歯電極9,10間への駆動電圧の印加が停止すると、回転子4は回転支柱3の弾性によって逆回転し初期位置に復帰する。一方、第3および第4の両櫛歯電極22,23間に駆動電圧が印加されると、回転子4は両櫛歯電極22,23間に作用する静電引力によって初期位置から逆回転し、第2の固定接点26および第2の可動接点27からなる接点装置7’がオンする。この状態で第3および第4の両櫛歯電極22,23間への駆動電圧の印加が停止すると、回転子4は回転支柱3の弾性によって正回転し初期位置に復帰する。
すなわち、第1および第2の櫛歯電極9,10からなるアクチュエータ6と、第3および第4の櫛歯電極22,23からなるアクチュエータ6’とのいずれを作動させるかによって、接点装置7がオンする状態と接点装置7’がオンする状態とを切り替えることができる。
その他の構成および機能は実施形態3と同様である。
ところで、上述した各実施形態において、第1櫛歯片9aおよび第2櫛歯片10aは、図8に示すようにそれぞれ回転支柱3の中心軸を中心とする円弧の一部を形成する形状に湾曲していることが望ましい。すなわち、回転支柱3を中心とする同心円上に第1櫛歯片9aおよび第2櫛歯片10aを形成すれば、回転支柱3を中心に回転子4を回転させたときに、第1櫛歯片9a−第2櫛歯片10aの間隔をそれぞれ略一定に保つことができ、第1櫛歯片9aと第2櫛歯片10aとが接触することを回避できる。第3櫛歯片22aおよび第4櫛歯片23aについても同様である。
なお、上記各実施形態では、平面視円形状の基板2を採用しフレーム5も円環状とする例を示したが、この例に限るものではなく、フレーム5の内側が回転子4の回転を妨げない形状に形成されていればよいので、たとえば平面視矩形状の基板2を採用してもよい。
本発明の実施形態1の構成を示す概略平面図である。 同上の構成を示す図1のX−X’断面の概略図である。 同上のMEMSスイッチの使用例を示す図1のX−X’断面の概略図である。 同上のMEMSスイッチの他の使用例を示す図1のX−X’断面の概略図である。 本発明の実施形態2の構成を示す概略平面図である。 本発明の実施形態3の構成を示す概略平面図である。 本発明の実施形態4の構成を示す概略平面図である。 同上の要部を示す概略平面図である。 従来例を示す平面図である。
符号の説明
1 MEMSスイッチ
2 基板
3 回転支柱
4 回転子
8 支持アーム
9 第1の櫛歯電極
9a 第1櫛歯片
10 第2の櫛歯電極
10a 第2櫛歯片
15 第1の固定接点
16 第1の可動接点
21 復帰ばね
22 第3の櫛歯電極
22a 第3櫛歯片
23 第4の櫛歯電極
23a 第4櫛歯片
26 第2の固定接点
27 第2の可動接点

Claims (13)

  1. 基板上に立設された回転支柱と、基板の厚み方向において基板から離間して設けられ、基板の一表面に沿う面内において回転支柱の周方向に等間隔となるように回転支柱から放射状に延長された複数本の支持アームと、支持アームにおける前記周方向の一側面側に形成され、当該一側面から突出した複数本の第1櫛歯片を有する第1の櫛歯電極と、基板上において支持アームの前記一側面と対向する位置に形成され、支持アームとの対向面から突出し隣接する2本の第1櫛歯片間にそれぞれ入り込む複数本の第2櫛歯片を有する第2の櫛歯電極と、基板上に形成された第1の固定接点と、支持アームのうち第1の固定接点と前記周方向に対向する位置に設けられ、第1および第2の両櫛歯電極間に駆動電圧を印加したときに生じる静電引力により回転支柱を中心に回転する支持アームの回転に伴って、第1の固定接点に接触する位置と第1の固定接点から離間する位置との間で移動する第1の可動接点とを備えることを特徴とするMEMSスイッチ。
  2. 前記支持アームは3の倍数となる本数設けられ、前記回転支柱に対して3回対称に形成されていることを特徴とする請求項1記載のMEMSスイッチ。
  3. 前記第1の可動接点は複数本の前記支持アームにそれぞれ設けられ、前記第1の固定接点は各第1の可動接点と対向する位置にそれぞれ形成されることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のMEMSスイッチ。
  4. 前記第1の可動接点は、前記支持アームの長手方向における先端寄りの位置に設けられていることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載のMEMSスイッチ。
  5. 前記第1櫛歯片および前記第2櫛歯片は、それぞれ前記回転支柱を中心とする円弧の一部を形成する形状に湾曲していることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載のMEMSスイッチ。
  6. 前記第1の櫛歯電極が前記第2の櫛歯電極から離れる向きに前記支持アームを付勢する復帰ばねを備えることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載のMEMSスイッチ。
  7. 前記支持アームにおける前記周方向の他側面側に形成され、当該他側面から突出した複数本の第3櫛歯片を有する第3の櫛歯電極と、基板上において支持アームの前記他側面と対向する位置に形成され、支持アームとの対向面から突出し隣接する2本の第3櫛歯片間にそれぞれ入り込む複数本の第4櫛歯片を有し、第3の櫛歯電極との間に駆動電圧が印加されたときに生じる静電引力により支持アームを回転させる第4の櫛歯電極とを備えることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載のMEMSスイッチ。
  8. 前記第3櫛歯片および前記第4櫛歯片は、それぞれ前記回転支柱を中心とする円弧の一部を形成する形状に湾曲していることを特徴とする請求項7記載のMEMSスイッチ。
  9. 前記第1の櫛歯電極および前記第2の櫛歯電極からなる電極対と、前記第3の櫛歯電極および前記第4の櫛歯電極からなる電極対とは、前記支持アームの長手方向に沿った支持アームの中心線および前記基板の厚み方向に沿った前記回転支柱の中心線を含む平面に対して面対称に形成されていることを特徴とする請求項7または請求項8に記載のMEMSスイッチ。
  10. 前記第1の可動接点は、前記支持アームにおける前記周方向の前記一側面に設けられており、前記第1および第2の両櫛歯電極間に静電引力が作用して支持アームが回転したときに前記第1の固定接点に接触することを特徴とする請求項7ないし請求項9のいずれか1項に記載のMEMSスイッチ。
  11. 前記基板上において前記支持アームの他側面と対向する位置には第2の固定電極が形成されており、支持アームの前記他側面には、前記第3および第4の両櫛歯電極間に静電引力が作用して支持アームが回転したときに第2の固定接点に接触する第2の可動接点が設けられていることを特徴とする請求項10記載のMEMSスイッチ。
  12. 前記第2の可動接点は複数本の前記支持アームにそれぞれ設けられ、前記第2の固定接点は各第2の可動接点と対向する位置にそれぞれ形成されることを特徴とする請求項11記載のMEMSスイッチ。
  13. 前記第2の可動接点は、前記支持アームの長手方向における先端寄りの位置に設けられていることを特徴とする請求項11または請求項12に記載のMEMSスイッチ。
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