JP5530624B2 - デュアルアクチュエータと共用ゲートとを有するmemsマイクロスイッチ - Google Patents
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Description
10 MEMSスイッチ
12 基板
14 基準スイッチ
15 接点
16 ゲート
17 接点
18 アンカ
21 第1のアクチュエータ部材
22 第2のアクチュエータ部材
23 可動アクチュエータ
25 キャップ
30 MEMSスイッチ
36 絶縁領域
37 導通経路
39 電気バイアス部品
40 MEMSスイッチ
41 第1のアクチュエータ部材
42 第2のアクチュエータ部材
45 電気接続
46 絶縁領域
47 導通経路
48a 第1のアクチュエータ部材
48b 第2のアクチュエータ部材
49 電気バイアス部品
50 MEMSスイッチ
51 第1のアクチュエータ部材
52 第2のアクチュエータ部材
55 接点
56 ゲート
57 接点
58 アンカ
60 MEMSスイッチアレイ
61 電流源
66 ゲートドライバ
Claims (8)
- MEMSスイッチ(10、30、40)であって、
基板(12)と、
互いに電気的に結合された第1のアクチュエータ部材(21、41)及び第2のアクチュエータ部材(22、42)と、
前記基板(12)に機械的に結合され、前記第1のアクチュエータ部材(21、41)と第2のアクチュエータ部材(22、42)を支持するアンカ(18)と、
前記第1のアクチュエータ部材(21、41)及び第2のアクチュエータ部材(22、42)を作動するよう構成されるゲートドライバ(6)と、
電源に接続する第1の接点(15)と、
前記電源から電力を受ける負荷と接続する第2の接点(17)と、
単一の前記ゲートドライバ(6)によって制御されるとともに、前記第1のアクチュエータ部材(21、41)及び前記第2のアクチュエータ部材(22、42)の双方に吸引力を同時に加えるように構成された共通のゲート(16)と、
を備え、
前記ゲートドライバ(6)によって作動されると、前記第1のアクチュエータ部材(21、41)が前記第1の接点(15)に電気的に結合され、前記第2のアクチュエータ部材(22、42)が前記第2の接点(17)に電気的に結合され、前記第1及び第2の接点(15、17)と前記第1及び第2のアクチュエータ部材(21、22、41、42)が前記電源の電力を前記負荷に供給するよう構成され、
前記共通のゲート(16)の第1の端が、前記第1の接点(15)と前記アンカ(18)の間で前記第1のアクチュエータ部材(21、41)の下に配置され、
前記共通のゲート(16)の第2の端が、前記第2の接点(17)と前記アンカ(18)の間で前記第2のアクチュエータ部材(22、42)の下に配置される、
MEMSスイッチ(10、30、40)。 - 前記第2のアクチュエータ部材(22、42)と前記第2の接点(17)との差動電圧が前記第1のアクチュエータ部材(21、41)と前記第1の接点(15)との間の差動電圧とほぼ等しくなるよう構成される、請求項1記載のMEMSスイッチ(10、30、40)。
- 前記第1のアクチュエータ部材(21、41)及び前記第2のアクチュエータ部材(22、42)の上方に配置されたスイッチキャップ(25)をさらに備える、
請求項1または2に記載のMEMSスイッチ(10)。 - 前記第1のアクチュエータ部材(21、41)及び前記第2のアクチュエータ部材(22、42)が導電性アクチュエータ部材(37、47)を備える、請求項1乃至3のいずれかに記載のMEMSスイッチ(30、40)。
- 前記アンカ(18)が、
前記第1のアクチュエータ部材(21、41)を支持する第1のアンカ(48a)と、
前記第2のアクチュエータ部材(22、42)を支持する第2のアンカ(48b)と、
前記第1のアクチュエータ部材(21、41)と前記第2のアクチュエータ部材(22、42)とを電気的に結合する電気接続(45)とを備える、
請求項1乃至4のいずれかに記載のMEMSスイッチ(30、40)。 - 前記第1のアクチュエータ部材(21、41)及び前記第2のアクチュエータ部材(22、42)が静電的に作動可能である、請求項1乃至5のいずれかに記載のMEMSスイッチ(10、30、40)。
- 請求項1乃至6のいずれかに記載の第1のMEMSスイッチ(10、30、40)と、
前記第1のMEMSスイッチ(10、30、40)と直列に接続された請求項1乃至6のいずれかに記載の第2のMEMSスイッチ(10、30、40)と、
を備え、
前記第1のMEMSスイッチ(10、30、40)の前記第2の接点(17)が、前記第2のMEMSスイッチ(10、30、40)を介して前記負荷と接続し、
前記第2のMEMSスイッチ(10、30、40)の前記第1の接点(15)が、前記第1のMEMSスイッチ(10、30、40)を介して前記電源に接続する、
MEMSスイッチアレイ(60)。 - 請求項1乃至6のいずれかに記載の第1のMEMSスイッチ(10、30、40)と、
前記第1のMEMSスイッチ(10、30、40)と並列に接続された請求項1乃至6のいずれかに記載の第2のMEMSスイッチ(10、30、40)と、
を備える、MEMSスイッチアレイ(60)。
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