JP2003167526A

JP2003167526A - フラットパネルディスプレイ用パネルへの回路体の接合方法及びフラットパネルディスプレイ

Info

Publication number: JP2003167526A
Application number: JP2001365078A
Authority: JP
Inventors: Koji Sawada; 康志澤田; Yoshimi Inoue; 吉民井上
Original assignee: Matsushita Electric Works Ltd
Current assignee: Panasonic Electric Works Co Ltd
Priority date: 2001-11-29
Filing date: 2001-11-29
Publication date: 2003-06-13
Anticipated expiration: 2021-11-29
Also published as: JP3922003B2

Abstract

(57)【要約】【課題】パネルと回路体の接合強度を高くすることが
できると共にパネルと回路体の電気的な接続不良が生じ
ないようにすることができるフラットパネルディスプレ
イ用パネルへの回路体の接合方法を提供する。【解決手段】微小な隙間を介して二枚のシート状物２
０、２１を平行に貼り合わせる。接続端子１を設けた接
合部２を端部に形成したフラットパネルディスプレイ用
のパネル３に、パネル３の表示駆動用の回路体を接合す
る。大気圧あるいはその近傍の圧力下でプラズマ４を接
合部２にジェット状に供給する。異方導電性フィルムを
介してパネル３の接合部２と上記の回路体とを接着する
ことによって接続端子１と回路体とを電気的に接続す
る。次いで、パネル３の接合部２と回路体との接着部分
にインク状モールド剤を塗布する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶ディスプレイ
（ＬＣＤ）、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）、フィー
ルドエミッションディスプレイ（ＦＥＤ）、有機ＥＬデ
ィスプレイ、光電表示ディスプレイ（多数個の発光ダイ
オード等の発光素子を有するディスプレイ）などのフラ
ットパネルディスプレイ用のパネルと、このパネルを表
示駆動させるための回路体とを接合する方法及びこの方
法を用いて形成されるフラットパネルディスプレイに関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、フラットパネルディスプレイ
用のパネルと、このパネルを表示駆動させるための回路
体とを接合するにあたっては、異方導電性フィルム（Ａ
ＣＦ）を介して熱圧着する方法が採用されている。フラ
ットパネルディスプレイ用のパネルには表示駆動用の電
気信号を伝送するための回路が形成されている。また、
パネルの外面には回路体を接合するための接合部が形成
されており、この接合部の表面にはパネルの回路と電気
的に接続される接続端子が露出して設けられている。一
方、回路体にはパネルの表示駆動用の電気信号を生成す
るための回路が形成されている。また、回路体にはパネ
ルの接合部と接合するための連結部が形成されており、
この連結部の表面には回路体の回路電気的に接続される
連結端子が露出して設けられている。異方導電性フィル
ムは、絶縁性及び接着性に優れるエポキシ樹脂やポリイ
ミドなどのバインダー成分中に、導電性のある金属微粒
子（例えば、金、銀、銅、亜鉛、錫、半田、インジウ
ム、パラジウム等）を分散させてフィルム状に形成した
ものである。

【０００３】そして、異方導電性フィルムを介在させた
状態でパネルの接合部と回路体の連結部とを重ね合わせ
た後、この重ね合わせた部分を加熱加圧することによっ
て、異方導電性フィルムのバインダー成分が硬化してパ
ネルの接合部と回路体の連結部とが接着されるものであ
り、また、この熱圧着で異方導電性フィルムの金属粒子
がパネルの接続端子と回路体の連結端子との間に挟まれ
て両端子に接触することになり、これにより、パネルの
回路と回路体の回路とが電気的に接続されるものであ
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、パネルの接合
部は大気中に浮遊する有機物のダストやパネル製造時に
使用する有機化合物（油やレジスト等）などが汚染物質
として付着していることがあり、この汚染物質によりパ
ネルの接合部と異方導電性フィルムとを十分な強度で接
着することができず、パネルと回路体の接合強度が低く
なるという問題があった。また、上記の汚染物質により
パネルの接続端子と異方導電性フィルムの金属粒子とが
接触しにくくなり、パネルと回路体の電気的な接続不良
が生じる恐れがあった。

【０００５】尚、特開平７−２４５１９２号公報には、
偏光板を貼り付けた液晶ディスプレイパネルの全面に大
気圧プラズマにて処理する方法が開示されている。ま
た、特開平７−９９１８２号公報には、アクティブマト
リックスＬＣＤプロセスにおいて大気圧プラズマを用い
る方法が開示されている。これらはいずれもガラス基板
上にパターニング時に飛散したフラックスやスクライブ
残渣などを除去し、偏光板などの貼り合わせを容易にす
ることやレジストの残留物を除去することが目的であ
り、従来では、プラズマ処理により、パネルと回路体の
接合強度を高くしたりパネルと回路体の電気的な接続不
良が生じないようにしたりすることは行われていなかっ
た。

【０００６】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、パネルと回路体の接合強度を高くすることができ
ると共にパネルと回路体の電気的な接続不良が生じない
ようにすることができるフラットパネルディスプレイ用
パネルへの回路体の接合方法及びフラットパネルディス
プレイを提供することを目的とするものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係る
フラットパネルディスプレイ用パネルへの回路体の接合
方法は、微小な隙間を介して二枚のシート状物２０、２
１を平行に貼り合わせ、接続端子１を設けた接合部２を
端部に形成したフラットパネルディスプレイ用のパネル
３に、パネル３の表示駆動用の回路体６を接合するにあ
たって、大気圧あるいはその近傍の圧力下でプラズマ４
を接合部２にジェット状に供給した後、異方導電性フィ
ルム５を介してパネル３の接合部２と上記の回路体６と
を接着することによって接続端子１と回路体６とを電気
的に接続し、次いで、パネル３の接合部２と回路体６と
の接着部分にインク状モールド剤７を塗布することを特
徴とするものである。

【０００８】本発明の請求項２に係るフラットパネルデ
ィスプレイ用パネルへの回路体の接合方法は、微小な隙
間を介して二枚のシート状物２０、２１を平行に貼り合
わせ、接続端子１を設けた接合部２と樹脂充填凹部８と
を端部に形成したフラットパネルディスプレイ用のパネ
ル３に、パネル３の表示駆動用の回路体６を接合するに
あたって、大気圧あるいはその近傍の圧力下でプラズマ
４を接合部２及び樹脂充填凹部８にジェット状に供給し
た後、異方導電性フィルム５を介してパネル３の接合部
２と上記の回路体６とを接着することによって接続端子
１と回路体６とを電気的に接続し、次いで、パネル３の
接合部２と回路体６との接着部分にインク状モールド剤
７を塗布すると共にインク状モールド剤７を樹脂充填凹
部８に充填することを特徴とするものである。

【０００９】本発明の請求項３に係るフラットパネルデ
ィスプレイ用パネルへの回路体の接合方法は、請求項１
又は２に加えて、シート状物２０、２１がガラスまたは
透明樹脂で形成されていることを特徴とするものであ
る。

【００１０】本発明の請求項４に係るフラットパネルデ
ィスプレイ用パネルへの回路体の接合方法は、請求項１
乃至３のいずれかに加えて、プラズマ４を生成するため
のガスとして希ガスと酸素の混合ガスを用いることを特
徴とするものである。

【００１１】本発明の請求項５に係るフラットパネルデ
ィスプレイ用パネルへの回路体の接合方法は、請求項１
乃至４のいずれかに加えて、吹き出し口１０を有する反
応容器１１の外面に複数のプラズマ生成用電極１２、１
３を設け、反応容器１１にプラズマ４を生成するための
ガスを導入すると共にプラズマ生成用電極１２、１３間
に電圧を印加することにより大気圧あるいはその近傍の
圧力下でプラズマ４を反応容器１１内に生成し、反応容
器１１内で生成されたプラズマ４を吹き出し口１０から
吹き出すことによりプラズマ４をパネル３の接合部２に
供給することを特徴とするものである。

【００１２】本発明の請求項６に係るフラットパネルデ
ィスプレイは、微小な隙間を介して二枚のシート状物２
０、２１を平行に貼り合わせると共に接続端子１を設け
た接合部２を端部に形成し、接合部２を大気圧あるいは
その近傍の圧力下でプラズマ４で処理したフラットパネ
ルディスプレイ用のパネル３と、パネル３の表示駆動用
の回路体６と、パネル３の接合部２と回路体６とを接着
させる異方導電性フィルム５と、パネル３の接合部２と
回路体６との接着部分に塗布されるインク状モールド剤
７とを備えて成ることを特徴とするものである。

【００１３】本発明の請求項７に係るフラットパネルデ
ィスプレイは、微小な隙間を介して二枚のシート状物２
０、２１を平行に貼り合わせると共に接続端子１を設け
た接合部２及び樹脂充填凹部８を端部に形成し、接合部
２及び樹脂充填凹部８を大気圧あるいはその近傍の圧力
下でプラズマ４で処理したフラットパネルディスプレイ
用のパネル３と、パネル３の表示駆動用の回路体６と、
パネル３の接合部２と回路体６とを接着させる異方導電
性フィルム５と、パネル３の接合部２と回路体６との接
着部分に塗布されると共に樹脂充填凹部８に充填される
インク状モールド剤７とを備えて成ることを特徴とする
ものである。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を説明
する。

【００１５】図２（ａ）（ｂ）に、フラットパネルディ
スプレイである液晶ディスプレイ用のパネル３の一例を
示す。このパネル３は、微小な隙間を介して二枚のシー
ト状物２０、２１を平行に対向配置し、シート状物２
０、２１の間に枠状の封止貼合剤２３を介在させると共
に封止貼合剤２３でシート状物２０、２１を接着し、枠
状の封止貼合剤２３の内側においてシート状物２０、２
１の間の微小な隙間に液晶２４を充填して封止（封入）
することにより形成されている。上記のシート状物２
０、２１としてはガラスあるいはアクリル樹脂等の透明
樹脂などで形成したものを用いることができる。また、
二枚のシート状物２０、２１の間の微小な隙間は適宜設
定可能であるが、一般的には５〜１０μｍである。さら
に、封止貼合剤２３の材料としては、具体的にはエポキ
シ、シリコーン樹脂、ポリイミドなどを例示することが
でき、これらの樹脂を例えばメチルエチルケトンなどの
溶媒に溶解させて例えばインクジェットプリンタ等で塗
布することによって、封止貼合剤２３を形成することが
できる。尚、上記のパネル３において、シート状物２
０、２１の間の微小な隙間に液晶の代わりに有機ＥＬ樹
脂を封入すると、有機ＥＬディスプレイ用のパネルを形
成することができる。

【００１６】各シート状物２０、２１の内面（対向する
面）には表示駆動用の電気信号等を伝送するための回路
４０が形成されている（尚、シート状物２１の回路は図
示を省略している）。また、一方のシート状物２０は他
方のシート状物２１よりも大きく形成されており、大き
い方のシート状物２０の端部は小さい方のシート状物２
１の端部よりも外側に突出している。そして、この大き
い方のシート状物２０の端部が接合部２として形成され
ているものであり、この接合部２の表面（シート状物２
１側の面）には上記の回路４０と電気的に接続される接
続端子１が露出して設けられている。

【００１７】また、パネル３の端部には樹脂充填凹部８
が形成されている。樹脂充填凹部８は枠状の封止貼合剤
２３の外側においてシート状物２０、２１で挟まれる空
間により形成されるものである。また、樹脂充填凹部８
は上記の接合部２と隣接して形成され、且つ接合部２の
方に開口する溝状に形成されている。

【００１８】尚、シート状物２０、２１に形成される回
路４０はその表示駆動に必要な電極や半導体素子等を含
むものである。また、パネル３の回路４０の電極や接続
端子１はインジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）等で透明電極
として形成することができる。また、図２（ａ）（ｂ）
のパネル３では一方のシート状物２０のみに接合部２を
形成したが、両方のシート状物２０、２１に接合部２を
形成しても良いし、さらに、接合部２は一つのパネル３
に複数個設けても良い。また、図１に示すように接合部
２の突出寸法Ｐ（小さい方のシート状物２１の端部と大
きい方のシート状物２０の端部との間の寸法Ｐ）はパネ
ル３の種類（使用目的）等によって異なるが、一般的に
は１〜３０ｍｍに形成することができる。また、樹脂充
填凹部８の奥行き寸法Ｑ（小さい方のシート状物２１の
端部と封止貼合剤２３との間の寸法Ｑ）はパネル３の種
類（使用目的）等によって異なるが、一般的には０．１
〜１０ｍｍに形成することができる。

【００１９】回路体６は、パネル３の表示駆動用の電気
信号等を生成するための回路を有するものであって、プ
リント配線板等で形成することができる。また、ポリイ
ミドフィルム等を用いたフレキシブルプリント配線板等
で回路体６を形成すると、テープキャリアパッケージ(T
ape Carrier Package:TCP)の形態にすることができる。
図３に示すように、この回路体６の端部は連結部２５と
して形成されており、この連結部２５の表面には上記の
電気信号等を生成するための回路と電気的に接続される
連結端子２６が露出して設けられている。

【００２０】異方導電性フィルム５は上記と同様に形成
されるものであって、絶縁性及び接着性に優れるエポキ
シ樹脂やポリイミドなどのバインダー成分中に、導電性
のある金属の微粒子２９を分散させてフィルム状に形成
したものである。

【００２１】本発明では図４に例示するようなプラズマ
処理装置を用いる。このプラズマ処理装置は反応容器１
１と電圧印加手段３０と搬送手段３１を備えて形成され
ている。反応容器１１は真っ直ぐな円筒状で内径を０．
１〜１０ｍｍに形成したものである。また、反応容器１
１の上面はガス導入口３２として全面に亘って開放され
ていると共に反応容器１１の下面は吹き出し口１０とし
て全面に亘って開放されている。このような反応容器１
１は石英、アルミナ、イットリア部分安定化ジルコニウ
ムなどのガラス質材料やセラミック材料などの絶縁材料
で形成することができる。

【００２２】電圧印加手段３０は一対又は複数の対をな
すプラズマ生成用電極１２、１３と電源３３とで構成さ
れている。プラズマ生成用電極１２、１３は円環状（リ
ング状）に形成されており、冷却効率を高くするために
熱伝導性の高い金属材料、例えば、銅、アルミニウム、
真鍮、耐食性の高いステンレス鋼（ＳＵＳ３０４など）
などで形成されている。各プラズマ生成用電極１２、１
３はその内周面を反応容器１１の外周面に全周に亘って
接触させるようにして反応容器１１の外側に配設されて
いる。また、吹き出し口１０の上方においてプラズマ生
成用電極１２、１３は上下に対向させて配置されてお
り、プラズマ生成用電極１２、１３の間に対応する位置
において反応容器１１内には放電空間３４が形成されて
いる。電源３３はプラズマ生成用電極１２、１３に電気
的に接続されており、パルス状の電圧又は交番する電圧
（交流電圧または高周波電圧）を発生するものである。
そして、電源３３によりプラズマ生成用電極１２、１３
の間にはパルス状の電圧又は交番する電圧が印加される
ことになるが、この時に放電空間３４に形成される電気
力線は反応容器１１の内周面に沿って上下方向（プラズ
マ生成用電極１２、１３の並ぶ方向）に形成されること
になる。尚、プラズマ生成用電極１２、１３の間隔Ｌ
（プラズマ生成用電極１２の下端とプラズマ生成用電極
１３の上端の間隔Ｌ）は３〜２０ｍｍに設定するのが好
ましい。また、プラズマ生成用電極１２、１３は冷媒に
より冷却されるのが好ましい。

【００２３】搬送手段３１はパネル３を被処理物として
自動的に搬送するものであって、反応容器１１の吹き出
し口１０の下側において、モータ等の駆動機（図示省
略）によって一定方向に略水平に進行するベルトや搬送
台等で形成されている。

【００２４】本発明ではプラズマ生成用ガスとして希ガ
スまたは反応性ガスを含んだ希ガスを用いる。パネル３
の接合部２に付着した汚染物質が少ない場合は、希ガス
のみを用いてプラズマ４を生成させるだけでよいが、パ
ネル３の接合部２に汚染物質が多く付着している場合に
は、反応性ガスを希ガスと混合して併用するのが好まし
い。希ガスとしては、ヘリウム、アルゴン、ネオン、ク
リプトンなどを単独で用いたりあるいは複数種併用した
りすることができるが、放電の安定性や経済性を考慮す
ると、アルゴンとヘリウムの少なくとも一つを用いるの
が好ましい。また、反応性ガスとしては酸素、窒素、空
気などが挙げられるが、樹脂成分などの有機化合物であ
る汚染物質を効率的に除去するには酸素を用いることが
好ましい。反応性ガス（特に、酸素の場合）は希ガスの
全量に対して０．５〜５ｖｏｌ％添加するのが好まし
い。反応性ガスの添加量が希ガスの全量に対して０．５
ｖｏｌ％未満であれば汚染物質の除去処理の効果が低く
なる恐れがあり、反応性ガスの添加量が５ｖｏｌ％を超
えると放電が不安定になる恐れがある。

【００２５】図５（ａ）（ｂ）に本発明で用いる他のプ
ラズマ処理装置を示す。このプラズマ処理装置は図４に
示すものと比べて反応容器１１の形状及びプラズマ生成
用電極１２、１３の形状が異なるだけであって、その他
の構成は上記と同様である。反応容器１１はその厚み方
向（厚み方向を矢印Ｂで示す）に並んで対向する一対の
側壁５ａと、反応容器１１の幅方向（幅方向を矢印Ａで
示す）に並んで対向する一対の側壁５ｂと、反応容器１
１の下面を構成する矩形状（底面視で長方形）の底部５
ｃとで有底の角形筒状に形成されている。また、反応容
器１１の上面はガス導入口３２として略全面に亘って開
放されていると共に底部５ｃの外面である反応容器１１
の下面はほぼ平坦な面で形成されている。そして、図５
（ｂ）に示すように、反応容器１１の下面の厚み方向の
略中央部には反応容器１１の長手方向（幅方向）と平行
な方向に長くて幅広の吹き出し口１０が形成されてい
る。吹き出し口１０はスリット状であって、反応容器１
１の底部５ｃを貫通して反応容器１１内の放電空間３４
と連通している。

【００２６】反応容器１１は厚み寸法よりも幅寸法が非
常に大きく形成された扁平形状であって、反応容器１１
の厚み方向（幅狭方向）における内寸Ｗ、すなわち、反
応容器１１の厚み方向（幅狭方向）に並んで対向する一
対の側壁５ａの内面の対向間隔Ｗは、０．１〜５ｍｍに
形成するのが好ましい。このように反応容器１１の厚み
方向の内寸Ｗを０．１〜５ｍｍにすることによって、放
電空間３４の体積が比較的小さくなって、放電空間３４
における単位空間あたりの電力を高くすることができ、
つまり、放電空間３４における放電空間密度を上げるこ
とができ、低電力化及び小ガス流量化を図ることができ
るものであり、しかも、プラズマの生成効率が高まっ
て、プラズマ処理（汚染物質の除去処理）の能力を向上
させることができるものである。

【００２７】電圧印加手段３０はプラズマ生成用電極１
２、１３が角形環状に形成されていること以外は上記の
実施の形態と同様に構成されており、また、プラズマ生
成用電極１２、１３は上記と同様にして反応容器１１の
外側に配設されている。そして、プラズマ生成用電極１
２、１３の間に対応する位置において反応容器１１内に
は放電空間３４が形成されている。

【００２８】上記のように形成されるプラズマ処理装置
では次のようにしてパネル３等の被処理物にプラズマ４
を供給することができる。まず、搬送手段３１の上に被
処理物を設置する。次に、ガス導入口３２から反応容器
１１内にプラズマ生成用ガスを導入すると共に反応容器
１１内でプラズマ生成用ガスを上から下に流して放電空
間３４に導入し、次に、電源３３によりプラズマ生成用
電極１２、１３の間にパルス状の電圧又は交番する電圧
を印加し、この電圧の印加により大気圧あるいはその近
傍の圧力下（９３．３〜１０６．７ｋＰａ（７００〜８
００Ｔｏｒｒ））で放電空間３４にグロー状の放電を発
生させると共にグロー状の放電でプラズマ生成用ガスを
プラズマ化してプラズマ活性種（イオンやラジカルな
ど）を含むプラズマ４を生成し、この後、プラズマ４を
吹き出し口１０から下方にプラズマジェットとして流出
させ、吹き出し口１０の下側に配置された被処理物の表
面にプラズマ４を吹き付けることによって、被処理物に
プラズマ４を供給することができる。この時、図４に示
すプラズマ処理装置ではプラズマ４が被処理物にスポッ
ト状に供給されるものであり、狭い面積を局所的にプラ
ズマ処理することができるものである。一方、図５
（ａ）（ｂ）に示すプラズマ処理装置ではプラズマ４が
被処理物に帯状に供給されるものであり、広い面積を一
度にプラズマ処理することができるものである。また、
反応容器１１の吹き出し口１０からプラズマ４を吹き出
しながら多数個の被処理物を搬送手段３１で連続的に搬
送することによって多数個の被処理物に連続的にプラズ
マ処理（汚染物質の除去や被処理物の表面改質など）を
施すことができるものである。

【００２９】そして、本発明においてパネル３に回路体
６を接合するにあたっては、次にようにして行う。ま
ず、パネル３を被処理物として上記のプラズマ処理装置
に供し、図１に示すように、反応容器１１から吹き出さ
れるプラズマ４をパネル３の接合部２に上側からジェッ
ト状に吹き付けて供給する。このようにパネル３の接合
部２にプラズマ（プラズマジェット）４を供給すること
によって、接合部２の表面及び接続端子１の表面に付着
した有機化合物の汚染物質がプラズマ４中のプラズマ活
性種で二酸化炭素等に分解（灰化）されて吹き飛ばされ
て除去されることになり、これにより、接合部２の表面
及び接続端子１の表面をクリーニングすることができ
る。また、パネル３の接合部２に供給されたプラズマ４
は接合部２の表面や隙間（樹脂充填凹部８）を拡散及び
流動して樹脂充填凹部８に導入されるものであり、これ
により、樹脂充填凹部８にプラズマ４を供給することが
できる。このようにパネル３の樹脂充填凹部８にプラズ
マ４を供給することによって、樹脂充填凹部８の内面に
付着する有機化合物の汚染物質がプラズマ４中のプラズ
マ活性種で二酸化炭素等に分解（灰化）されて吹き飛ば
されて除去されることになり、これにより、樹脂充填凹
部８の内面をクリーニングすることができる。さらに、
パネル３のシート状物２０、２１が樹脂で形成されてい
る場合、プラズマ４が供給された接合部２の表面及び樹
脂充填凹部８の内面では分子結合が変化し、親水性の高
い分子結合、例えば、カルボキシル基などが形成されて
改質が行われるものであり、これにより、接合部２の表
面及び樹脂充填凹部８の内面に対する樹脂やインクの濡
れ性を向上させることができる。

【００３０】上記のようにしてパネル３の接合部２及び
樹脂充填凹部８にプラスマ４を供給してクリーニング及
び表面改質を行った後、異方導電性フィルム５を介在さ
せた状態でパネル３の接合部２と回路体６の連結部２５
とを重ね合わせ、この重ね合わせた部分を加熱加圧する
ことによって、図６に示すように、異方導電性フィルム
５のバインダー成分を硬化させてパネル３の接合部２と
回路体６の連結部２５及び接続端子１と回路体６とを熱
圧着する。また、図７に示すように、この熱圧着で異方
導電性フィルム５の金属微粒子２９がパネル３の接続端
子１と回路体６の連結端子２６との間に挟まれて両端子
１、２６に接触することになり、これにより、パネル３
の回路と回路体６の回路とが電気的に接続されるもので
ある。尚、異方導電性フィルムの圧着条件は通常、６０
〜８０℃、１〜２秒、０．２〜０．５ＭＰａで仮圧着し
た後、１６０〜１９０℃、５〜２０秒、２〜５ＭＰａで
本圧着するものである。

【００３１】そして、本発明では上記のようにプラズマ
４の供給により接合部２の表面のクリーニング及び表面
改質を行っているので、接合部２と異方導電性フィルム
５の接着性（界面密着性）を高くすることができ、接合
部２と異方導電性フィルム５の接着強度が大きくなって
パネル３と回路体６の接合強度（接着強度）を高くする
ことができるものである。また、本発明ではプラズマ４
の供給により接続端子１の表面のクリーニングを行って
いるので、接続端子１の表面と金属微粒子２９の間に汚
染物質が介在しないようにすることができ、接続端子１
と金属微粒子２９の接触性を向上させてパネル３と回路
体６の電気的な接続不良が生じないようにすることがで
きるものである。

【００３２】上記のようにしてパネル３と回路体６とを
接着した後、図８に示すように、パネル３と回路体６の
接着部分、すなわちパネル３の接合部２と回路体６の連
結部２５とを覆うようにインク状モールド剤７でモール
ド（封止）成形することによって、本発明のフラットパ
ネルディスプレイを形成することができる。インク状モ
ールド剤７としてはエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂を用
いることができる。また、このインク状モールド剤７は
パネル３の小さい方のシート状物２１の端部と回路体６
の端部の間から樹脂充填凹部８内に流入して充填される
ことになる。このようにしてフラットパネルディスプレ
イ用のパネル３に回路体６を接合することができる。

【００３３】そして、このようにパネル３と回路体６の
接合部分をインク状モールド剤７で封止することによっ
て、パネル３と回路体６をインク状モールド剤７の硬化
物で接着することができ、封止しない場合に比べて、パ
ネル３と回路体６の接合強度を高くすることができるも
のである。また、インク状モールド剤７をパネル３に設
けた樹脂充填凹部８に充填することによって、インク状
モールド剤７とパネル３の接着面積を大きくすることが
でき、樹脂充填凹部８が無い場合に比べて、パネル３と
回路体６の接合強度を高くすることができるものであ
る。さらに、本発明ではプラズマ４の供給により樹脂充
填凹部８の内面のクリーニング及び表面改質を行ってい
るので、樹脂充填凹部８の内面とインク状モールド剤７
の接着性（界面密着性）を高くすることができ、樹脂充
填凹部８の内面とインク状モールド剤７の接着強度が大
きくなってパネル３と回路体６の接合強度をさらに高く
することができるものである。

【００３４】尚、パネル３の搬送速度は、パネル３の種
類やプラズマの生成条件等によって異なるが、０．１ｍ
ｍ／秒〜２００ｍｍ／秒に設定するのが好ましい。ま
た、パネル３の接合部２と吹き出し口１０の間隔Ｈは、
パネル３の種類やプラズマの生成条件等によって異なる
が、１〜２０ｍｍに設定するのが好ましい。また、プラ
ズマ生成用電極１２、１３間に印加される電圧が交番す
る電圧（交流電圧）の場合、その周波数は１ｋＨｚ〜２
００ＭＨｚに設定するのが好ましい。さらに、放電空間
３４に印加される印加電力の密度は２０〜３５００Ｗ／
ｃｍ³に設定するのが好ましい。印加電力の密度（Ｗ／
ｃｍ³）は（放電空間３４に印加される印加電力／放電
空間３４の体積）で定義される。また、反応容器１１の
吹き出し口１０でのガス流速（プラズマ４の吹き出し速
度）は２ｍ／秒以上にすることが好ましく、これによ
り、汚染物質の除去処理を効率良く行うことができる。
このガス流速は、例えば、反応容器１１へのプラズマ生
成用ガスの導入する際の流量（０．１〜１０Ｌ／分）を
変えたり吹き出し口１０の開口面積を変えたりしてする
ことにより、所定の速度に調整することができるもので
ある。また、ガス流速は大きいほどクリーニング性能が
向上して好ましいので、上限は特に設定されない。ま
た、搬送手段３１の流路６１に水等の冷媒を流通させる
ことによって、パネル３を冷却することができ、プラズ
マ４によるパネル３の熱的損傷を少なくすることができ
る。

【００３５】また、本発明ではプラズマ４をプラズマジ
ェットとしてパネル３に吹き付けるので、真空中でのプ
ラズマ処理に比べて、パネル３に高い圧力（流速）でプ
ラズマ４を供給することができ、奥行き寸法Ｑの大きい
樹脂充填凹部８であってもその奥深くまでプラズマ４が
導入されやすくなって樹脂充填凹部８の開口よりも遠い
部分にも確実にプラスマ４を到達させることができ、樹
脂充填凹部８内の汚染物質のクリーニング性能を高くす
ることができるものである。しかも、大気圧近傍の圧力
下でプラズマ処理を行うので、真空容器や真空容器内を
真空にするための真空ポンプなどの手段が必要でなく、
プラズマ処理装置が大掛かりにならないようにすること
ができるものであり、また、パネル３を一つずつ真空容
器内に入れて処理する必要が無く、搬送手段３１により
多数個のパネル３を連続的に搬送しながら汚染物質の除
去を行うことができ、パネル３のクリーニングを効率よ
く行うことができるものである。

【００３６】また、この実施の形態では反応容器１１の
内面に沿った電気力線が形成されるように、反応容器１
１を挟んで対向しないようにプラズマ生成用電極１２、
１３を配置するので、反応容器１１の内面に対して垂直
方向に電気力線が生じにくくなって電気力線による反応
容器１１の劣化を少なくすることができ、反応容器１１
の内面からその構成物質が飛び出しにくくなってパネル
３が不純物により汚染されるのを少なくすることができ
るものである。すなわち、反応容器１１を挟んで対向す
るようにプラズマ生成用電極１２、１３を対向させて配
置すると、反応容器１１の内面に対して直交方向に電気
力線が形成されることになって、電気力線による反応容
器１１の劣化が大きくなるが、本発明では反応容器１１
の内面に沿った電気力線が形成されるように、プラズマ
生成用電極１２、１３を互いに上下に対向するように配
置するので、放電空間３４内においてプラズマ生成用電
極１２、１３の間に反応容器１１の内面に沿った上下方
向の電気力線が形成されることになって、電気力線によ
る反応容器１１の劣化を少なくすることができるもので
ある。

【００３７】上記の実施の形態ではフラットパネルディ
スプレイ用のパネルとして液晶ディスプレイ用のパネル
３を用いた場合を説明したが、これに限定されず、ＰＤ
Ｐ用のパネル、ＦＥＤ用のパネル、有機ＥＬディスプレ
イのパネル、光電表示ディスプレイ用のパネル等にも本
発明を適用することができる。すなわち、本発明は回路
体６と接合される接合部２を有するパネル３であれば何
でも適用することができる。また、上記の実施の形態で
は回路体６としてプリント配線板等の回路板を用いた場
合を説明したが、これに限定されず、例えば、図９に示
すように、回路体６がＩＣチップ等の半導体チップ（半
導体装置）であっても良い。

【００３８】また、上記の実施の形態において、回路体
６の連結部２５や連結端子２６にもプラズマ６を供給し
てクリーニングすることができる。この場合、上記のプ
ラズマ処理装置を用いたパネル３のプラズマ処理におい
て、パネル３の代わりに回路体６をプラズマ処理に供す
ればよい。そして、回路体６の連結部２５や連結端子２
６にプラズマ６を供給してクリーニングすることによっ
て、連結部２５の表面及び連結端子２６の表面に付着し
た汚染物質がプラズマ４中のプラズマ活性種で分解（灰
化）して吹き飛ばされて除去されることになり、これに
より、連結部２５と異方導電性フィルム５の接着性（界
面密着性）を高くすることができ、連結部２５と異方導
電性フィルム５の接着強度が大きくなってパネル３と回
路体６の接合強度をさらに高くすることができるもので
あり、また、連結端子２６の表面と異方導電性フィルム
５中の金属微粒子２９との間に汚染物質が介在しないよ
うにすることができ、連結端子２６と金属微粒子２９の
接触性を向上させてパネル３と回路体６の電気的な接続
不良が生じないようにすることができるものである。

【００３９】また、上記の実施の形態において、図６に
示すようにパネル３と回路体６とを異方導電性フィルム
５で接着した後で、且つインク状モールド剤７によるモ
ールドを行う前に、パネル３と回路体６の接着部分にプ
ラズマ４を供給してクリーニングすることができる。こ
の場合、上記のプラズマ処理装置を用いたパネル３のプ
ラズマ処理において、パネル３の代わりにパネル３と回
路体６の接着したものをプラズマ処理に供すればよい。
そして、パネル３と回路体６の接着部分にプラズマ４を
供給してクリーニングすることによって、パネル３と回
路体６の接着部分の表面に付着した汚染物質がプラズマ
４中のプラズマ活性種で分解（灰化）して吹き飛ばされ
て除去されることになり、パネル３と回路体６の接着部
分の表面とインク状モールド剤７との接着性（界面密着
性）を高くすることができ、パネル３と回路体６の接着
部分の表面とインク状モールド剤７との接着強度が大き
くなってパネル３と回路体６の接合強度をさらに高くす
ることができるものである。

【００４０】次に、本発明を具体的に説明する。

【００４１】パネル３としては図２に示すような液晶デ
ィスプレイ用のものを用いた。このパネル３はシート状
物２０、２１をガラスで形成し、大きさを３０×２０×
２ｍｍ、シート状物２０、２１の間の隙間を５μｍ、接
合部２の突出寸法Ｐを３ｍｍ、樹脂充填凹部８の奥行き
寸法Ｑを１．５ｍｍに形成し、また、接続端子１として
幅寸法が０．２ｍｍのＩＴＯ電極を接合部２の表面に間
隔０．１ｍｍで多数個形成した。また、回路体６として
はポリイミドフィルムを用いて形成されるフレキシブル
プリント配線板を用いた。また、異方導電性フィルム５
としてはバインダー成分としてエポキシ樹脂を用い、金
属微粒子としてＮｉ／Ａｕメッキ樹脂粒子を含有したソ
ニーケミカル製の「ＣＰ９６３１ＳＢ」を用いた。イン
ク状モールド剤７としてはエポキシを主成分とするイン
ク状樹脂を用いた。尚、インク状モールド剤７の粘度等
はインクジェットプリンタ用インクと同等であり、ま
た、インク状モールド剤７の塗布方法はインクジェット
プリンタと同等の方法に依った。

【００４２】また、プラズマ処理装置としては図４に示
すものを用いた。この反応容器１１は石英製で外径が５
ｍｍ、内径（吹き出し口１０の開口径）が３ｍｍの円筒
管で形成した。また、プラズマ生成用ガスとしてはアル
ゴンと酸素の混合ガスを用い、アルゴンを１．７５Ｌ／
分、酸素を０．０３Ｌ／分の流量で反応容器１１に導入
した。

【００４３】そして、搬送手段３１によりパネル３を搬
送しながら反応容器１１の吹き出し口１０から吹き出さ
れるプラズマ４をパネル３の接続部２に供給した。この
時、パネルの搬送速度は５０ｍｍ／秒とし、また、プラ
ズマ生成用電極１２、１３の間に周波数１３．５６ＭＨ
ｚの高周波電圧を印加すると共に放電空間３４に印加電
力１００Ｗを投入してプラズマ４を生成し、また、吹き
出し口１０から吹き出されるプラズマ（酸素プラズマ）
４の速度（ピトー管にて計測したガス速度）は１７．４
ｍ／ｓｅｃとし、さらに、パネル３の接合部２と吹き出
し口１０の間隔Ｈは５ｍｍとした。

【００４４】この後、パネル３の接合部２と回路体６の
連結部２５とを異方導電性フィルム５で熱圧着した。こ
の熱圧着の本圧着の条件は温度１７０℃、圧力３ＭＰ
ａ、時間１５秒とした。この後、パネル３の接合部２と
回路体６の連結部２５の接着部分にインクジェットプリ
ンタにてインク状モールド剤７を塗工した後硬化させる
ことによりモールド成形し、インク状モールド剤７の硬
化物でパネル３と回路体６とを接着した。

【００４５】そして、上記のようにして接合されたパネ
ル３と回路体６とを互いに逆方向に引張って剥離強度を
測定した結果、１６ＭＰａであった。比較のために、上
記工程のうち、プラズマ処理を行わなかったものについ
て剥離強度を測定した結果、１０ＭＰａであった。

【００４６】

【発明の効果】上記のように本発明の請求項１の発明
は、微小な隙間を介して二枚のシート状物を平行に貼り
合わせ、接続端子を設けた接合部を端部に形成したフラ
ットパネルディスプレイ用のパネルに、パネルの表示駆
動用の回路体を接合するにあたって、大気圧あるいはそ
の近傍の圧力下でプラズマを接合部にジェット状に供給
した後、異方導電性フィルムを介してパネルの接合部と
上記の回路体とを接着することによって接続端子と回路
体とを電気的に接続し、次いで、パネルの接合部と回路
体との接着部分にインク状モールド剤を塗布するので、
接合部にプラズマを供給することによって、接合部の表
面に付着した有機化合物の汚染物質をプラズマで除去し
てクリーニングすることができ、また、プラズマが供給
された接合部の表面に親水性の高い分子結合を生成して
濡れ性を向上させることができ、接合部の表面の浄化と
濡れ性の向上により接合部の表面と異方導電性フィルム
との接着強度を高めることができてパネルと回路体の接
合強度を高くすることができるものである。しかも、パ
ネルの接合部と回路体との接着部分をインク状モールド
剤でモールドすることによって、インク状モールド剤で
パネルの接合部と回路体とを接着することができ、パネ
ルと回路体の接合強度をさらに高くすることができるも
のである。また、接合部にプラズマを供給することによ
って、接合部の表面に設けた接続端子の表面に付着した
有機化合物の汚染物質をプラズマで除去してクリーニン
グすることができ、接続端子と異方導電性フィルム中の
金属微粒子の接触が汚染物質により損なわれないように
してパネルと回路体の電気的な接続不良が生じないよう
にすることができるものである。

【００４７】本発明の請求項２の発明は、微小な隙間を
介して二枚のシート状物を平行に貼り合わせ、接続端子
を設けた接合部と樹脂充填凹部とを端部に形成したフラ
ットパネルディスプレイ用のパネルに、パネルの表示駆
動用の回路体を接合するにあたって、大気圧あるいはそ
の近傍の圧力下でプラズマを接合部及び樹脂充填凹部に
ジェット状に供給した後、異方導電性フィルムを介して
パネルの接合部と上記の回路体とを接着することによっ
て接続端子と回路体とを電気的に接続し、次いで、パネ
ルの接合部と回路体との接着部分にインク状モールド剤
を塗布すると共にインク状モールド剤を樹脂充填凹部に
充填するので、請求項１の発明の効果に加えて、パネル
の接合部と回路体との接着部分をモールドするインク状
モールド剤を樹脂充填凹部に充填することによって、請
求項１の発明よりもパネルとインク状モールド剤との接
着面積を大きくすることができ、パネルとインク状モー
ルド剤との接着強度を高くすることができてパネルと回
路体の接合強度をさらに高くすることができるものであ
る。また、樹脂充填凹部内にプラズマを供給することに
よって、樹脂充填凹部の内面に付着した有機化合物の汚
染物質をプラズマで除去してクリーニングすることがで
き、また、プラズマが供給された樹脂充填凹部の内面に
親水性の高い分子結合を生成して濡れ性を向上させるこ
とができ、樹脂充填凹部の内面の浄化と濡れ性の向上に
より樹脂充填凹部の内面とインク状モールド剤との接着
強度を高めることができてパネルと回路体の接合強度を
さらに高くすることができるものである。

【００４８】本発明の請求項４の発明は、プラズマを生
成するためのガスとして希ガスと酸素の混合ガスを用い
るので、酸素により活性の高い酸素ラジカルをプラズマ
中に生成することができ、酸素を用いない場合に比べ
て、パネルの接合部のクリーニングを効率よく行うこと
ができるものである。

【００４９】本発明の請求項５の発明は、吹き出し口を
有する反応容器の外面に複数のプラズマ生成用電極を設
け、反応容器にプラズマを生成するためのガスを導入す
ると共にプラズマ生成用電極間に電圧を印加することに
より大気圧あるいはその近傍の圧力下でプラズマを反応
容器内に生成し、反応容器内で生成されたプラズマを吹
き出し口から吹き出すことによりプラズマをパネルの接
合部に供給するので、反応容器によりプラスマ生成用電
極がプラズマと直接接触することがなくなって、プラズ
マ生成用電極がプラズマでスパッタリング作用を受けな
いようにすることができ、プラズマ生成用電極からの不
純物の発生を防止してパネルが汚染されないようにする
ことができるものであり、また、プラズマ生成用電極の
劣化を防止することができるものである。

【００５０】本発明の請求項６の発明は、微小な隙間を
介して二枚のシート状物を平行に貼り合わせると共に接
続端子を設けた接合部を端部に形成し、接合部を大気圧
あるいはその近傍の圧力下でプラズマで処理したフラッ
トパネルディスプレイ用のパネルと、パネルの表示駆動
用の回路体と、パネルの接合部と回路体とを接着させる
異方導電性フィルムと、パネルの接合部と回路体との接
着部分に塗布されるインク状モールド剤とを備えるの
で、接合部にプラズマを供給することによって、接合部
の表面に付着した有機化合物の汚染物質をプラズマで除
去してクリーニングすることができ、また、プラズマが
供給された接合部の表面に親水性の高い分子結合を生成
して濡れ性を向上させることができ、接合部の表面の浄
化と濡れ性の向上により接合部の表面と異方導電性フィ
ルムとの接着強度を高めることができてパネルと回路体
の接合強度を高くすることができるものである。しか
も、パネルの接合部と回路体との接着部分をインク状モ
ールド剤でモールドすることによって、インク状モール
ド剤でパネルの接合部と回路体とを接着することがで
き、パネルと回路体の接合強度をさらに高くすることが
できるものである。また、接合部にプラズマを供給する
ことによって、接合部の表面に設けた接続端子の表面に
付着した有機化合物の汚染物質をプラズマで除去してク
リーニングすることができ、接続端子と異方導電性フィ
ルム中の金属微粒子の接触が汚染物質により損なわれな
いようにしてパネルと回路体の電気的な接続不良が生じ
ないようにすることができるものである。さらに、外部
からの湿気や水分・塩分などが接合部の表面や二枚のシ
ート状物の隙間に侵入することを防ぐことができ、フラ
ットパネルディスプレイの信頼性を高度に高めることが
できるものである。

【００５１】本発明の請求項７の発明は、微小な隙間を
介して二枚のシート状物を平行に貼り合わせると共に接
続端子を設けた接合部及び樹脂充填凹部を端部に形成
し、接合部及び樹脂充填凹部を大気圧あるいはその近傍
の圧力下でプラズマで処理したフラットパネルディスプ
レイ用のパネルと、パネルの表示駆動用の回路体と、パ
ネルの接合部と回路体とを接着させる異方導電性フィル
ムと、パネルの接合部と回路体との接着部分に塗布され
ると共に樹脂充填凹部に充填されるインク状モールド剤
とを備えるので、請求項６の発明の効果に加えて、パネ
ルの接合部と回路体との接着部分をモールドするインク
状モールド剤を樹脂充填凹部に充填することによって、
請求項６の発明よりもパネルとインク状モールド剤との
接着面積を大きくすることができ、パネルとインク状モ
ールド剤との接着強度を高くすることができてパネルと
回路体の接合強度をさらに高くすることができるもので
ある。また、樹脂充填凹部内にプラズマを供給すること
によって、樹脂充填凹部の内面に付着した有機化合物の
汚染物質をプラズマで除去してクリーニングすることが
でき、また、プラズマが供給された樹脂充填凹部の内面
に親水性の高い分子結合を生成して濡れ性を向上させる
ことができ、樹脂充填凹部の内面の浄化と濡れ性の向上
により樹脂充填凹部の内面とインク状モールド剤との接
着強度を高めることができてパネルと回路体の接合強度
をさらに高くすることができるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態の一例を示す断面図であ
る。

【図２】同上のパネルの一例を示し、（ａ）は斜視図、
（ｂ）は断面図である。

【図３】同上の回路体の一例を示す斜視図である。

【図４】同上のプラズマ処理装置の一例を示す断面図で
ある。

【図５】同上のプラズマ処理装置の他の一例を示し、
（ａ）は斜視図、（ｂ）は底面図である。

【図６】同上のパネルと回路体を接着した状態を示す斜
視図である。

【図７】同上のパネルと回路体を接着した状態を示す一
部の断面図である。

【図８】同上のパネルと回路体の接合状態を示す一部の
断面図である。

【図９】同上のパネルと回路体を接着した状態の他例を
示す斜視図である。

【符号の説明】

１接続端子２接合部３パネル４プラズマ５異方導電性フィルム６回路体７インク状モールド剤８樹脂充填凹部１０吹き出し口１１反応容器１２プラズマ生成用電極１３プラズマ生成用電極２０シート状物２１シート状物

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｈ０１Ｒ 43/02 Ｈ０１Ｒ 43/02 ＢＨ０５Ｋ 3/36 Ｈ０５Ｋ 3/36 ＡＦターム(参考） 2H092 GA40 GA48 GA50 GA51 HA25 HA28 MA32 NA15 PA01 PA06 5C040 GK14 JA23 JA28 MA23 5E051 LA06 LB05 5E344 AA01 AA22 AA26 BB02 BB04 CC13 CD04 DD06 EE16 EE21 EE23 5G435 AA06 AA16 AA17 BB04 BB05 BB06 BB12 EE32 EE42 HH12 HH20 KK05

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】微小な隙間を介して二枚のシート状物を
平行に貼り合わせ、接続端子を設けた接合部を端部に形
成したフラットパネルディスプレイ用のパネルに、パネ
ルの表示駆動用の回路体を接合するにあたって、大気圧
あるいはその近傍の圧力下でプラズマを接合部にジェッ
ト状に供給した後、異方導電性フィルムを介してパネル
の接合部と上記の回路体とを接着することによって接続
端子と回路体とを電気的に接続し、次いで、パネルの接
合部と回路体との接着部分にインク状モールド剤を塗布
することを特徴とするフラットパネルディスプレイ用パ
ネルへの回路体の接合方法。
【請求項２】微小な隙間を介して二枚のシート状物を
平行に貼り合わせ、接続端子を設けた接合部と樹脂充填
凹部とを端部に形成したフラットパネルディスプレイ用
のパネルに、パネルの表示駆動用の回路体を接合するに
あたって、大気圧あるいはその近傍の圧力下でプラズマ
を接合部及び樹脂充填凹部にジェット状に供給した後、
異方導電性フィルムを介してパネルの接合部と上記の回
路体とを接着することによって接続端子と回路体とを電
気的に接続し、次いで、パネルの接合部と回路体との接
着部分にインク状モールド剤を塗布すると共にインク状
モールド剤を樹脂充填凹部に充填することを特徴とする
フラットパネルディスプレイ用パネルへの回路体の接合
方法。
【請求項３】シート状物がガラスまたは透明樹脂で形
成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の
フラットパネルディスプレイ用パネルへの回路体の接合
方法。
【請求項４】プラズマを生成するためのガスとして希
ガスと酸素の混合ガスを用いることを特徴とする請求項
１乃至３のいずれかに記載のフラットパネルディスプレ
イ用パネルへの回路体の接合方法。
【請求項５】吹き出し口を有する反応容器の外面に複
数のプラズマ生成用電極を設け、反応容器にプラズマを
生成するためのガスを導入すると共にプラズマ生成用電
極間に電圧を印加することにより大気圧あるいはその近
傍の圧力下でプラズマを反応容器内に生成し、反応容器
内で生成されたプラズマを吹き出し口から吹き出すこと
によりプラズマをパネルの接合部に供給することを特徴
とする請求項１乃至４のいずれかに記載のフラットパネ
ルディスプレイ用パネルへの回路体の接合方法。
【請求項６】微小な隙間を介して二枚のシート状物を
平行に貼り合わせると共に接続端子を設けた接合部を端
部に形成し、接合部を大気圧あるいはその近傍の圧力下
でプラズマで処理したフラットパネルディスプレイ用の
パネルと、パネルの表示駆動用の回路体と、パネルの接
合部と回路体とを接着させる異方導電性フィルムと、パ
ネルの接合部と回路体との接着部分に塗布されるインク
状モールド剤とを備えて成ることを特徴とするフラット
パネルディスプレイ。
【請求項７】微小な隙間を介して二枚のシート状物を
平行に貼り合わせると共に接続端子を設けた接合部及び
樹脂充填凹部を端部に形成し、接合部及び樹脂充填凹部
を大気圧あるいはその近傍の圧力下でプラズマで処理し
たフラットパネルディスプレイ用のパネルと、パネルの
表示駆動用の回路体と、パネルの接合部と回路体とを接
着させる異方導電性フィルムと、パネルの接合部と回路
体との接着部分に塗布されると共に樹脂充填凹部に充填
されるインク状モールド剤とを備えて成ることを特徴と
するフラットパネルディスプレイ。