JP4619043B2 - 位相シフトマスクの製造方法及びテンプレートの製造方法 - Google Patents
位相シフトマスクの製造方法及びテンプレートの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4619043B2 JP4619043B2 JP2004164956A JP2004164956A JP4619043B2 JP 4619043 B2 JP4619043 B2 JP 4619043B2 JP 2004164956 A JP2004164956 A JP 2004164956A JP 2004164956 A JP2004164956 A JP 2004164956A JP 4619043 B2 JP4619043 B2 JP 4619043B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- film
- mask
- resist
- base layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 title claims description 68
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 37
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 261
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 84
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 54
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 46
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 37
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 claims description 19
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 19
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 10
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 6
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N hafnium atom Chemical compound [Hf] VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 5
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims description 5
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 54
- CXOWYMLTGOFURZ-UHFFFAOYSA-N azanylidynechromium Chemical compound [Cr]#N CXOWYMLTGOFURZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 40
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 27
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 27
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 21
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 14
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 11
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 8
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 4
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 4
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- HSJPMRKMPBAUAU-UHFFFAOYSA-N cerium(3+);trinitrate Chemical compound [Ce+3].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O HSJPMRKMPBAUAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 7553-56-2 Chemical compound [I] ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical compound [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XPDWGBQVDMORPB-UHFFFAOYSA-N Fluoroform Chemical compound FC(F)F XPDWGBQVDMORPB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003902 SiCl 4 Inorganic materials 0.000 description 1
- WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N Trioxochromium Chemical compound O=[Cr](=O)=O WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000010724 Wisteria floribunda Nutrition 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- -1 as well as oxides Chemical class 0.000 description 1
- 230000008033 biological extinction Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N bromine Substances BrBr GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- XMPZTFVPEKAKFH-UHFFFAOYSA-P ceric ammonium nitrate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[Ce+4].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O XMPZTFVPEKAKFH-UHFFFAOYSA-P 0.000 description 1
- 229910000423 chromium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000010485 coping Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008034 disappearance Effects 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 229910052740 iodine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011630 iodine Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012788 optical film Substances 0.000 description 1
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 1
- 238000003909 pattern recognition Methods 0.000 description 1
- 230000003863 physical function Effects 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000005546 reactive sputtering Methods 0.000 description 1
- 230000002040 relaxant effect Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 description 1
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005477 sputtering target Methods 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/26—Phase shift masks [PSM]; PSM blanks; Preparation thereof
- G03F1/32—Attenuating PSM [att-PSM], e.g. halftone PSM or PSM having semi-transparent phase shift portion; Preparation thereof
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/26—Phase shift masks [PSM]; PSM blanks; Preparation thereof
- G03F1/34—Phase-edge PSM, e.g. chromeless PSM; Preparation thereof
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/38—Masks having auxiliary features, e.g. special coatings or marks for alignment or testing; Preparation thereof
- G03F1/42—Alignment or registration features, e.g. alignment marks on the mask substrates
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/68—Preparation processes not covered by groups G03F1/20 - G03F1/50
- G03F1/80—Etching
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
Description
(基層のエッチングレート)/(極薄膜のエッチングレート)≧5
なる関係式を満たすことを特徴とする。
第1のマスクブランクの層構造の例としては、図1(b)に示すように、石英等の透光性基板1を基層とし、その上に極薄膜2、レジスト膜3を順に形成したものを挙げることができる。また、第2のマスクブランクの層構造の例としては、透光性基板の上に透光性の膜よりなるシフト層を積層したものを基層とし、その上に極薄膜、レジスト膜を順に形成したものを挙げることができる。また、第3のマスクブランクの層構造の例としては、図4(b)に示すように、透光性基板1の上に半透過性の膜よりなるハーフトーン層(シフト層)11を積層したものを基層とし、その上に極薄膜2、レジスト膜3を順に形成したものを挙げることができる。
(基層のエッチングレート)/(極薄膜のエッチングレート)≧5
なる関係式を満たすように設定してある。
まず、透光性基板(以下、石英基板と言う)1上に、スパッタ法を用いて厚さ5nmに窒化クロム膜(極薄膜)2を成膜し、(a)に示すような加工用極薄窒化クロム膜2付き石英基板1を作製した。窒化クロム膜2は、クロムをスパッタターゲットとし、窒素ガスをスパッタガスに用いた反応性スパッタ成膜において作製した。極薄窒化クロム膜2の膜厚は光学式膜厚計により測定した。また、測定値の正確性については、基板1と窒化クロム膜2を破断して、断面TEM(トンネル電子顕微鏡)像を観察し、確認した。
この実施例では、最初に石英基板1上に形成する窒化クロム膜2の厚さを40nmとした。それ以外は実施例1と同様であった。なお、実施例1と窒化クロム膜2の膜厚が異なるが、本実施例では実施例1と同様の窒化クロムドライエッチング条件において、オーバーエッチング時間込み(ジャストエッチング時間:100秒)で120秒のエッチングにて窒化クロム膜2の加工を行った。この場合も、実施例1と同様に、通常のクロムを含む遮光膜のエッチング時間に比べて充分に短い時間での加工が可能であった。
極薄膜には、実施例1と同様に窒化クロム膜2を用いた。窒化クロム膜2の厚さは、実施例1と同様に5nmとした。(a)〜(e)の工程は実施例1と同様とした。(e)の工程において石英基板1のドライエッチング加工が終了した後、レジストパターン3P(一次パターン)のみを除去し、(f)のように極薄窒化クロムパターン2(二次パターン)が残った状態で、これを除去せずに、(g)のように、通常の遮光膜4の成膜を実施した。これにより、極薄窒化クロム膜2の除去工程が省けるため、工程上では、大きなメリットとなる。
本実施例では、(a)に示すように、石英基板1の上にMoSiN(酸化窒化モリブデンシリサイド)からなるArF用ハーフトーン位相シフト膜(半透光性の膜よりなるシフト層)11を形成し、その上に極薄窒化クロム膜2を形成してある。MoSiN膜11は、ArF用ハーフトーン型位相シフト膜としての膜設計が施されており、ArF波長において、露光光の位相が180°反転する膜厚(約69nm)にて透過率6%のものである。
同様にフッ素系ガスに関しても、CF4やCHF3以外にも、SF6、C4F8などプロセスに応じて使うことが可能である。これらエッチングガスとしては、臭素やヨウ素を含む他のハロゲン系ガスも使用可能である。
1P 位相シフトパターン
2 窒化クロム膜(極薄膜)
2P 窒化クロム膜パターン(極薄膜パターン)
3 レジスト膜
3P レジストパターン
4 遮光膜
4A,4B 遮光帯(遮光部)
5 レジスト
10,110 マスクブランク
20,20B,120,120B 位相シフトマスク
Claims (11)
- 基層上に極薄膜およびレジスト膜が積層したマスクブランクを用いる位相シフトマスクの製造方法であって、
前記極薄膜は、タンタル、ジルコニウム、ハフニウムおよびタングステンのうち少なくともいずれかを含む材料からなり、前記基層をエッチングする際にマスクとして機能し、パターンが形成された前記極薄膜をマスクとして前記基層をエッチングし三次元パターンを形成することが可能な最小限の厚さに設定されており、
前記マスクブランクの前記レジスト膜にレジストパターンを形成する工程と、
前記レジストパターンをマスクに前記極薄膜をエッチングして極薄膜パターンを形成する工程と、
前記極薄膜パターンをマスクに前記基層をエッチングして三次元パターンである位相シフトパターンを形成する工程と、
前記位相シフトパターンの形成後、前記レジストパターンを除去し、前記極薄膜パターンを残した状態で遮光膜を形成する工程と、
前記遮光膜に対してレジストを用いて選択エッチングすることにより、必要箇所に遮光部を残しながら前記位相シフトパターンを露出させる工程と
を備えることを特徴とする位相シフトマスクの製造方法。 - 基層上に極薄膜およびレジスト膜が積層したマスクブランクを用いる位相シフトマスクの製造方法であって、
前記極薄膜は、前記基層をエッチングする際にマスクとして機能し、パターンが形成された前記極薄膜をマスクとして前記基層をエッチングし三次元パターンを形成することが可能な最小限の厚さに設定されており、
前記マスクブランクの前記レジスト膜にレジストパターンを形成する工程と、
前記レジストパターンをマスクに前記極薄膜をエッチングして極薄膜パターンを形成する工程と、
前記極薄膜パターンをマスクに前記基層をエッチングして三次元パターンである位相シフトパターンを形成する工程と、
前記位相シフトパターンの形成後、前記レジストパターンを除去し、前記極薄膜パターンを残した状態で遮光膜を形成する工程と、
前記遮光膜及び前記極薄膜パターンに対してレジストを用いて選択エッチングすることにより、必要箇所に遮光部を残しながら前記位相シフトパターンを露出させる工程と
を備えることを特徴とする位相シフトマスクの製造方法。 - 前記極薄膜は、少なくともCrおよび/またはTaを含有する材料からなることを特徴とする請求項2に記載の位相シフトマスクの製造方法。
- 前記極薄膜の膜厚は、5nm〜40nmの範囲に設定されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の位相シフトマスクの製造方法。
- 前記基層は、透光性基板からなることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の位相シフトマスクの製造方法。
- 前記基層は、透光性基板上に透光性あるいは半透光性の膜よりなるシフト層を積層してなることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の位相シフトマスクの製造方法。
- 前記極薄膜を構成する材料と前記基層を構成する材料との間の基層のエッチングにおけるドライエッチング選択比が、
(基層のエッチングレート)/(極薄膜のエッチングレート)≧5
なる関係式を満たすことを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の位相シフトマスクの製造方法。 - 基層上に極薄膜およびレジスト膜が積層したマスクブランクを用いるナノインプリント等のパターン転写法の母型となるテンプレートの製造方法であって、
前記極薄膜は、タンタル、ジルコニウム、ハフニウムおよびタングステンのうち少なくともいずれかを含む材料からなり、前記基層をエッチングする際にマスクとして機能し、パターンが形成された前記極薄膜をマスクとして前記基層をエッチングし三次元パターンを形成することが可能な最小限の厚さに設定されており、
前記マスクブランクの前記レジスト膜にレジストパターンを形成する工程と、
前記レジストパターンをマスクに前記極薄膜をエッチングして極薄膜パターンを形成する工程と、
前記極薄膜パターンをマスクに前記基層をエッチングして三次元パターンを形成する工程と、
前記三次元パターンの形成後、前記レジストパターンを除去し、前記極薄膜パターンを残した状態でアライメントマーク形成用膜を形成する工程と、
前記アライメントマーク形成用膜に対してレジストを用いて選択エッチングすることにより、三次元パターンが形成された部分以外の外周部のいずれかに所望のアライメントマークを残しながら前記三次元パターンを露出させる工程と、
を備えることを特徴とするテンプレートの製造方法。 - 基層上に極薄膜およびレジスト膜が積層したマスクブランクを用いるナノインプリント等のパターン転写法の母型となるテンプレートの製造方法であって、
前記極薄膜は、前記基層をエッチングする際にマスクとして機能し、パターンが形成された前記極薄膜をマスクとして前記基層をエッチングし三次元パターンを形成することが可能な最小限の厚さに設定されており、
前記マスクブランクの前記レジスト膜にレジストパターンを形成する工程と、
前記レジストパターンをマスクに前記極薄膜をエッチングして極薄膜パターンを形成する工程と、
前記極薄膜パターンをマスクに前記基層をエッチングして三次元パターンを形成する工程と、
前記三次元パターンの形成後、前記レジストパターンを除去し、前記極薄膜パターンを残した状態でアライメントマーク形成用膜を形成する工程と、
前記アライメントマーク形成用膜及び前記極薄膜パターンに対してレジストを用いて選択エッチングすることにより、三次元パターンが形成された部分以外の外周部のいずれかに所望のアライメントマークを残しながら前記三次元パターンを露出させる工程と、
を備えることを特徴とするテンプレートの製造方法。 - 前記極薄膜は、少なくともCrおよび/またはTaを含有する材料からなることを特徴とする請求項9に記載のテンプレートの製造方法。
- 前記極薄膜の膜厚は、5nm〜40nmの範囲に設定されていることを特徴とする請求項8から10のいずれかに記載のテンプレートの製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004164956A JP4619043B2 (ja) | 2004-06-02 | 2004-06-02 | 位相シフトマスクの製造方法及びテンプレートの製造方法 |
DE102005025398A DE102005025398A1 (de) | 2004-06-02 | 2005-06-02 | Maskenrohling, Herstellungsverfahren für eine Phasenänderungsmaske und Herstellungsverfahren für eine Form |
US11/142,676 US20050277034A1 (en) | 2004-06-02 | 2005-06-02 | Mask blank, phase shift mask manufacturing method and template manufacturing method |
TW094118145A TWI277826B (en) | 2004-06-02 | 2005-06-02 | Mask blank, phase shift mask manufacturing method and template manufacturing method |
KR1020050047132A KR100775382B1 (ko) | 2004-06-02 | 2005-06-02 | 마스크 블랭크, 위상 쉬프트 마스크의 제조 방법 및 템플레이트의 제조 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004164956A JP4619043B2 (ja) | 2004-06-02 | 2004-06-02 | 位相シフトマスクの製造方法及びテンプレートの製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010224523A Division JP2011002859A (ja) | 2010-10-04 | 2010-10-04 | 位相シフトマスクの製造方法及びテンプレートの製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005345737A JP2005345737A (ja) | 2005-12-15 |
JP2005345737A5 JP2005345737A5 (ja) | 2007-07-05 |
JP4619043B2 true JP4619043B2 (ja) | 2011-01-26 |
Family
ID=35460934
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004164956A Expired - Lifetime JP4619043B2 (ja) | 2004-06-02 | 2004-06-02 | 位相シフトマスクの製造方法及びテンプレートの製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20050277034A1 (ja) |
JP (1) | JP4619043B2 (ja) |
KR (1) | KR100775382B1 (ja) |
DE (1) | DE102005025398A1 (ja) |
TW (1) | TWI277826B (ja) |
Families Citing this family (38)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007171520A (ja) * | 2005-12-21 | 2007-07-05 | Hoya Corp | マスクブランク及びマスク |
JP4883278B2 (ja) * | 2006-03-10 | 2012-02-22 | 信越化学工業株式会社 | フォトマスクブランク及びフォトマスクの製造方法 |
US8142850B2 (en) * | 2006-04-03 | 2012-03-27 | Molecular Imprints, Inc. | Patterning a plurality of fields on a substrate to compensate for differing evaporation times |
JP5294227B2 (ja) * | 2006-09-15 | 2013-09-18 | Hoya株式会社 | マスクブランク及び転写マスクの製造方法 |
JP5205769B2 (ja) * | 2007-02-21 | 2013-06-05 | 凸版印刷株式会社 | インプリントモールド、インプリントモールド製造方法及び光インプリント法 |
JP2009053575A (ja) * | 2007-08-29 | 2009-03-12 | Panasonic Corp | フォトマスク及びそれを用いたパターン形成方法 |
JP2009058877A (ja) * | 2007-09-03 | 2009-03-19 | Panasonic Corp | フォトマスク及びそれを用いたパターン形成方法 |
JP5348866B2 (ja) * | 2007-09-14 | 2013-11-20 | Hoya株式会社 | マスクの製造方法 |
JP2009075207A (ja) * | 2007-09-19 | 2009-04-09 | Panasonic Corp | フォトマスク及びそれを用いたパターン形成方法 |
JP5332161B2 (ja) * | 2007-09-19 | 2013-11-06 | 凸版印刷株式会社 | インプリントモールド、インプリントモールド製造方法 |
JP2009080421A (ja) * | 2007-09-27 | 2009-04-16 | Hoya Corp | マスクブランク、及びインプリント用モールドの製造方法 |
CN101809499B (zh) * | 2007-09-27 | 2012-10-10 | Hoya株式会社 | 掩模坯体以及压印用模具的制造方法 |
KR100947442B1 (ko) * | 2007-11-20 | 2010-03-12 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 수직 증착형 마스크 제조장치 및 이를 이용한 수직 증착형마스크의 제조방법 |
JP2009206339A (ja) * | 2008-02-28 | 2009-09-10 | Hoya Corp | インプリントモールド用マスクブランク及びインプリントモールドの製造方法 |
JP5221168B2 (ja) * | 2008-02-28 | 2013-06-26 | Hoya株式会社 | インプリントモールド用マスクブランク及びインプリントモールドの製造方法 |
CN101978468B (zh) * | 2008-03-18 | 2013-03-20 | 旭硝子株式会社 | Euv光刻用反射型掩模基板及其制造方法 |
JP5345333B2 (ja) | 2008-03-31 | 2013-11-20 | Hoya株式会社 | フォトマスクブランク、フォトマスク及びその製造方法 |
JP5530075B2 (ja) | 2008-03-31 | 2014-06-25 | Hoya株式会社 | フォトマスクブランク、フォトマスク及びこれらの製造方法 |
JP5615488B2 (ja) * | 2008-06-30 | 2014-10-29 | Hoya株式会社 | 位相シフトマスクの製造方法 |
KR101095678B1 (ko) | 2008-09-04 | 2011-12-19 | 주식회사 하이닉스반도체 | 크롬리스 위상반전마스크의 제조 방법 |
JP5510947B2 (ja) * | 2008-09-19 | 2014-06-04 | Hoya株式会社 | フォトマスクの製造方法およびフォトマスク |
KR101492071B1 (ko) * | 2008-09-19 | 2015-02-10 | 삼성전자 주식회사 | 나노 임프린트를 이용한 패턴 성형방법과 패턴 성형을 위한몰드 제작방법 |
JP5368392B2 (ja) | 2010-07-23 | 2013-12-18 | 信越化学工業株式会社 | 電子線用レジスト膜及び有機導電性膜が積層された被加工基板、該被加工基板の製造方法、及びレジストパターンの形成方法 |
JP2012078553A (ja) * | 2010-10-01 | 2012-04-19 | Toppan Printing Co Ltd | クロムレス位相シフトマスク及びクロムレス位相シフトマスクの製造方法 |
WO2012137324A1 (ja) * | 2011-04-06 | 2012-10-11 | Hoya株式会社 | モールド製造用マスクブランクスおよびモールドの製造方法 |
JP4930736B2 (ja) * | 2011-09-21 | 2012-05-16 | 信越化学工業株式会社 | フォトマスクの製造方法及びフォトマスク |
JP4930737B2 (ja) * | 2011-09-21 | 2012-05-16 | 信越化学工業株式会社 | フォトマスクブランク及びバイナリーマスクの製造方法 |
JP6084391B2 (ja) * | 2011-09-28 | 2017-02-22 | Hoya株式会社 | マスクブランク、転写用マスク、転写用マスクの製造方法および半導体デバイスの製造方法 |
KR20140072121A (ko) * | 2011-09-30 | 2014-06-12 | 호야 가부시키가이샤 | 몰드 블랭크, 마스터 몰드, 카피 몰드 및 몰드 블랭크의 제조 방법 |
WO2013111631A1 (ja) * | 2012-01-23 | 2013-08-01 | 旭硝子株式会社 | ナノインプリントモールド用ブランク、ナノインプリントモールドおよびそれらの製造方法 |
KR101624435B1 (ko) * | 2012-02-15 | 2016-05-25 | 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤 | 위상 시프트 마스크 및 그 위상 시프트 마스크를 사용한 레지스트 패턴 형성 방법 |
JP5944436B2 (ja) * | 2014-05-29 | 2016-07-05 | 大日本印刷株式会社 | パターンの形成方法およびテンプレートの製造方法 |
JP5853071B2 (ja) * | 2014-08-12 | 2016-02-09 | Hoya株式会社 | モールド製造用マスクブランクスおよびモールド製造用レジスト付きマスクブランクス |
JP6479058B2 (ja) * | 2015-02-10 | 2019-03-06 | 富士フイルム株式会社 | パターン形成マスク用薄膜層付基体およびパターン化基体の製造方法 |
KR102624985B1 (ko) * | 2016-07-26 | 2024-01-16 | 삼성전자주식회사 | 마스크 블랭크, 위상 시프트 마스크 및 그 제조방법 |
JP7057248B2 (ja) * | 2018-08-03 | 2022-04-19 | Hoya株式会社 | マスクブランク、およびインプリントモールドの製造方法 |
CN109270696B (zh) * | 2018-11-08 | 2021-02-09 | 宁波维真显示科技股份有限公司 | 3d膜的制备方法 |
KR20210156461A (ko) | 2020-06-18 | 2021-12-27 | 삼성전자주식회사 | 극자외선 노광 장치의 노광 마스크 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05241320A (ja) * | 1992-02-28 | 1993-09-21 | Fujitsu Ltd | 位相シフトマスクの製造方法 |
JPH06236021A (ja) * | 1992-12-18 | 1994-08-23 | Hitachi Ltd | 露光方法、それに用いる位相シフトマスクおよびそれを用いた半導体集積回路装置の製造方法 |
JPH0743885A (ja) * | 1993-07-28 | 1995-02-14 | Dainippon Printing Co Ltd | 位相シフトフォトマスクの製造方法 |
JPH0950116A (ja) * | 1995-05-31 | 1997-02-18 | Sharp Corp | フォトマスク及びその製造方法並びにそのフォトマスクを用いた露光方法 |
JPH0980738A (ja) * | 1995-09-07 | 1997-03-28 | Dainippon Printing Co Ltd | 光ファイバー加工用位相シフトフォトマスクの製造方法 |
JP2000181048A (ja) * | 1998-12-16 | 2000-06-30 | Sharp Corp | フォトマスクおよびその製造方法、並びにそれを用いた露光方法 |
WO2002065211A1 (fr) * | 2001-02-15 | 2002-08-22 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Masque a dephasage et son procede de fabrication |
JP2002244270A (ja) * | 2001-02-15 | 2002-08-30 | Dainippon Printing Co Ltd | 位相シフトマスクの製造方法および位相シフトマスク |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5380608A (en) * | 1991-11-12 | 1995-01-10 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Phase shift photomask comprising a layer of aluminum oxide with magnesium oxide |
US6037083A (en) * | 1998-12-22 | 2000-03-14 | Hoya Corporation | Halftone phase shift mask blanks, halftone phase shift masks, and fine pattern forming method |
AU2002236520A1 (en) * | 2000-12-01 | 2002-06-11 | Unaxis Usa Inc. | Embedded attenuated phase shift mask and method of making embedded attenuated phase shift mask |
US7011910B2 (en) * | 2002-04-26 | 2006-03-14 | Hoya Corporation | Halftone-type phase-shift mask blank, and halftone-type phase-shift mask |
-
2004
- 2004-06-02 JP JP2004164956A patent/JP4619043B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2005
- 2005-06-02 TW TW094118145A patent/TWI277826B/zh active
- 2005-06-02 KR KR1020050047132A patent/KR100775382B1/ko active IP Right Grant
- 2005-06-02 DE DE102005025398A patent/DE102005025398A1/de not_active Withdrawn
- 2005-06-02 US US11/142,676 patent/US20050277034A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05241320A (ja) * | 1992-02-28 | 1993-09-21 | Fujitsu Ltd | 位相シフトマスクの製造方法 |
JPH06236021A (ja) * | 1992-12-18 | 1994-08-23 | Hitachi Ltd | 露光方法、それに用いる位相シフトマスクおよびそれを用いた半導体集積回路装置の製造方法 |
JPH0743885A (ja) * | 1993-07-28 | 1995-02-14 | Dainippon Printing Co Ltd | 位相シフトフォトマスクの製造方法 |
JPH0950116A (ja) * | 1995-05-31 | 1997-02-18 | Sharp Corp | フォトマスク及びその製造方法並びにそのフォトマスクを用いた露光方法 |
JPH0980738A (ja) * | 1995-09-07 | 1997-03-28 | Dainippon Printing Co Ltd | 光ファイバー加工用位相シフトフォトマスクの製造方法 |
JP2000181048A (ja) * | 1998-12-16 | 2000-06-30 | Sharp Corp | フォトマスクおよびその製造方法、並びにそれを用いた露光方法 |
WO2002065211A1 (fr) * | 2001-02-15 | 2002-08-22 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Masque a dephasage et son procede de fabrication |
JP2002244270A (ja) * | 2001-02-15 | 2002-08-30 | Dainippon Printing Co Ltd | 位相シフトマスクの製造方法および位相シフトマスク |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102005025398A1 (de) | 2006-04-20 |
TW200604728A (en) | 2006-02-01 |
KR100775382B1 (ko) | 2007-11-12 |
KR20060049495A (ko) | 2006-05-19 |
JP2005345737A (ja) | 2005-12-15 |
TWI277826B (en) | 2007-04-01 |
US20050277034A1 (en) | 2005-12-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4619043B2 (ja) | 位相シフトマスクの製造方法及びテンプレートの製造方法 | |
KR101586344B1 (ko) | 포토마스크 블랭크, 포토마스크 및 그 제조 방법 | |
KR101511926B1 (ko) | 포토 마스크의 제조방법 및 포토 마스크 블랭크 | |
JP5704754B2 (ja) | マスクブランク及び転写用マスクの製造方法 | |
US8043771B2 (en) | Phase shift mask blank and method of manufacturing phase shift mask | |
US8048594B2 (en) | Photomask blank, photomask, and methods of manufacturing the same | |
JP2002258458A (ja) | ハーフトーン型位相シフトマスク及びマスクブランク | |
JP4387390B2 (ja) | ハーフトーン型位相シフトマスクおよびマスクブランク、これらの製造方法、並びにパターン転写方法 | |
KR20180103718A (ko) | 포토마스크 블랭크 | |
JP2009206339A (ja) | インプリントモールド用マスクブランク及びインプリントモールドの製造方法 | |
JP3993005B2 (ja) | ハーフトーン型位相シフトマスクブランク、ハーフトーン型位相シフトマスク及びその製造方法、並びにパターン転写方法 | |
JPH0876353A (ja) | 位相シフトマスクの製造方法 | |
KR102168151B1 (ko) | 위상 시프트 마스크 및 그의 제조방법 | |
JP4826843B2 (ja) | ドライエッチング方法 | |
JP4027660B2 (ja) | ハーフトーン型位相シフトマスクブランク及びマスク | |
US9057961B2 (en) | Systems and methods for lithography masks | |
KR101430763B1 (ko) | 마스크 블랭크 및 포토마스크 | |
JPH1069064A (ja) | ハーフトーン位相シフトマスクの製造方法 | |
JP4826842B2 (ja) | フォトマスクの製造方法及びフォトマスクブランク | |
JP7184558B2 (ja) | 位相シフトマスクブランク、位相シフトマスク及び位相シフトマスクの製造方法 | |
JP2011002859A (ja) | 位相シフトマスクの製造方法及びテンプレートの製造方法 | |
JP2009229893A (ja) | 多階調フォトマスクの製造方法及びパターン転写方法 | |
JP7409830B2 (ja) | 位相シフトマスクブランク、位相シフトマスク及び位相シフトマスクの製造方法 | |
JP4300622B2 (ja) | ハーフトーン型位相シフトマスク用ブランクス及びハーフトーン型位相シフトマスク | |
JP4872737B2 (ja) | 位相シフトマスクの製造方法および位相シフトマスク |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070522 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070522 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100408 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100602 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100803 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101004 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101026 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101026 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131105 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4619043 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |