JP2009075207A - フォトマスク及びそれを用いたパターン形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】透明基板1上に、第1の寸法S1を有する第1の遮光パターン6と、第1の寸法S1よりも大きい第2の寸法S2を有する第2の遮光パターン7とが形成されている。第1の遮光パターン6は、第1の半遮光部2Aと、第1の半遮光部2A内に配置され且つ露光光を反対位相で透過させる補助パターン3とを有する。第2の遮光パターン7は、第2の半遮光部2Bと遮光部5とを有する。
【選択図】図1
Description
本発明の各実施形態を説明するに当たっての前提事項について説明する。
以下、本発明の実施形態に係るフォトマスクについて図面を参照しながら説明する。
2A 第1の半遮光部
2B 第2の半遮光部
3 補助パターン
4 開口部
5 遮光部
6 第1の遮光パターン
7 第2の遮光パターン
100 基板
101 被加工膜
102 レジスト膜
102a 潜像部分
103 トップコート
104 露光光
105 半遮光部の透過光
106 開口部の透過光
107 補助パターンの透過光
108 レジストパターン
109 液浸液
Claims (17)
- 露光光に対して透過性を有する透明基板と、
前記透明基板上に形成され且つ第1の寸法を有する第1の遮光パターンと、
前記透明基板上に形成され且つ前記第1の寸法よりも大きい第2の寸法を有する第2の遮光パターンと、
前記透明基板における前記第1の遮光パターン及び前記第2の遮光パターンが形成されていない開口部とを備え、
前記第1の遮光パターンは、前記露光光を部分的に透過させる第1の半遮光部と、前記第1の半遮光部内に配置され且つ前記第1の半遮光部を基準として前記露光光を反対位相で透過させる補助パターンとを有し、
前記第2の遮光パターンは、前記露光光を部分的に透過させる第2の半遮光部と、前記露光光を実質的に透過させない遮光部とを有することを特徴とするフォトマスク。 - 請求項1に記載のフォトマスクにおいて、
前記第1の半遮光部及び前記第2の半遮光部は、前記開口部を基準として前記露光光を同位相で透過させることを特徴とするフォトマスク。 - 請求項1に記載のフォトマスクにおいて、
前記遮光部は、前記第2の遮光パターンの周縁部に配置されていることを特徴とするフォトマスク。 - 請求項1に記載のフォトマスクにおいて、
前記遮光部は、前記第2の遮光パターンのコーナーにおいて分断されていることを特徴とするフォトマスク。 - 請求項4に記載のフォトマスクにおいて、
前記遮光部の分断された各部分の長さは、前記第2の遮光パターンにおける対応する辺の長さよりも短いことを特徴とするフォトマスク。 - 請求項1に記載のフォトマスクにおいて、
前記遮光部の幅は、前記第2の遮光パターンが転写されるために必要な解像度が生じる最小寸法以上に設定されていることを特徴とするフォトマスク。 - 請求項1に記載のフォトマスクにおいて、
前記遮光部の幅は、未露光領域を発生させない最大寸法以下に設定されていることを特徴とするフォトマスク。 - 請求項1に記載のフォトマスクにおいて、
前記遮光部の幅は、(0.17×λ/NA)×M以上であることを特徴とするフォトマスク(但し、λは露光光の波長であり、NAは露光機の縮小投影光学系の開口数であり、Mは該縮小投影光学系の縮小倍率である)。 - 請求項1に記載のフォトマスクにおいて、
前記遮光部の幅は、(1.72×λ/NA)×M以下であることを特徴とするフォトマスク(但し、λは露光光の波長であり、NAは露光機の縮小投影光学系の開口数であり、Mは該縮小投影光学系の縮小倍率である)。 - 請求項1に記載のフォトマスクにおいて、
前記第2の遮光性パターンにおいて、前記半遮光部となる半遮光膜の側端面と前記遮光部となる遮光膜の側端面とが面一であることを特徴とするフォトマスク。 - 請求項1に記載のフォトマスクにおいて、
前記開口部と前記遮光部との間に前記第2の半遮光部の一部分が介在することを特徴とするフォトマスク。 - 請求項11に記載のフォトマスクにおいて、
前記開口部と前記遮光部との間に位置する部分の前記第2の半遮光部の寸法は(0.39×λ/NA)×M以下であることを特徴とするフォトマスク(但し、λは露光光の波長であり、NAは露光機の縮小投影光学系の開口数であり、Mは該縮小投影光学系の縮小倍率である)。 - 請求項1〜12に記載のフォトマスクにおいて、
前記第1の寸法は(0.5×λ/NA)×M以下であり、
前記第2の寸法は(0.5×λ/NA)×Mよりも大きいことを特徴とするフォトマスク(但し、λは前記露光光の波長であり、NAは露光機の縮小投影光学系の開口数であり、Mは前記縮小投影光学系の倍率である)。 - 請求項1〜13のいずれか1項に記載のフォトマスクを用いたパターン形成方法であって、
基板上にレジスト膜を形成する工程(a)と、
前記レジスト膜に前記フォトマスクを介して前記露光光を照射する工程(b)と、
前記露光光を照射された前記レジスト膜を現像して、前記レジスト膜をパターン化する工程(c)とを備えていることを特徴とするパターン形成方法。 - 請求項14に記載のパターン形成方法において、
前記工程(b)で露光光源としてArFエキシマレーザーを用いることを特徴とするパターン形成方法。 - 請求項15に記載のパターン形成方法において、
前記工程(b)で液浸露光プロセスを用いることを特徴とするパターン形成方法。 - 請求項16に記載のパターン形成方法において、
前記工程(a)は前記レジスト膜表面をトップコートによってコーティングする工程を含むことを特徴とするパターン形成方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007242195A JP2009075207A (ja) | 2007-09-19 | 2007-09-19 | フォトマスク及びそれを用いたパターン形成方法 |
US12/204,252 US7914953B2 (en) | 2007-09-19 | 2008-09-04 | Photomask and pattern formation method using the same |
US13/028,611 US20110136048A1 (en) | 2007-09-19 | 2011-02-16 | Photomask and pattern formation method using the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007242195A JP2009075207A (ja) | 2007-09-19 | 2007-09-19 | フォトマスク及びそれを用いたパターン形成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009075207A true JP2009075207A (ja) | 2009-04-09 |
JP2009075207A5 JP2009075207A5 (ja) | 2011-12-15 |
Family
ID=40454857
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007242195A Pending JP2009075207A (ja) | 2007-09-19 | 2007-09-19 | フォトマスク及びそれを用いたパターン形成方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7914953B2 (ja) |
JP (1) | JP2009075207A (ja) |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
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