JP2009058877A - フォトマスク及びそれを用いたパターン形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】透明基板11上に形成された半遮光部12に、第1の寸法S1を有する第1の開口部13Aと、第1の寸法S1よりも大きい第2の寸法S2を有する第2の開口部13Bとが形成されている。透明基板11上における第1の開口部13Aの周辺には位相シフト部14が形成されている。透明基板11上における第2の開口部13Bの周辺に遮光部15が設けられている。
【選択図】図1
Description
本発明の各実施形態を説明するに当たっての前提事項について説明する。
以下、本発明の実施形態に係るフォトマスクについて図面を参照しながら説明する。
12 半遮光部
13A 第1の開口部
13B 第2の開口部
14 位相シフト部
15 遮光部
18 レチクル位置計測モニタパターン
19 オーバーレイモニタパターン
50 所望のパターン
100 基板
101 被加工膜
102 レジスト膜
102a レジスト膜の潜像部分
103 トップコート
104 露光光
105 半遮光部の透過光
106 開口部の透過光
107 レジストパターン
108 液浸液
Claims (18)
- 露光光に対して透過性を有する透明基板と、
前記透明基板上に形成された半遮光部と、
前記半遮光部に形成され、第1の寸法を有する第1の開口部と、
前記半遮光部に形成され、前記第1の寸法よりも大きい第2の寸法を有する第2の開口部と、
前記透明基板上における前記第1の開口部の周辺に形成され、前記第1の開口部を基準として前記露光光を反対位相で透過させる位相シフト部と、
前記透明基板上における前記第2の開口部の周辺に形成された遮光部とを備えていることを特徴とするフォトマスク。 - 請求項1に記載のフォトマスクにおいて、
前記半遮光部は、前記第1の開口部及び前記第2の開口部を基準として前記露光光を同位相で透過させることを特徴とするフォトマスク。 - 請求項1に記載のフォトマスクにおいて、
前記遮光部は前記第2の開口部を囲んでいることを特徴とするフォトマスク。 - 請求項1に記載のフォトマスクにおいて、
前記遮光部は前記第2の開口部のコーナーにおいて分断されていることを特徴とするフォトマスク。 - 請求項4に記載のフォトマスクにおいて、
前記遮光部の分断された各部分の長さは、前記第2の開口部における対応する辺の長さよりも短いことを特徴とするフォトマスク。 - 請求項1に記載のフォトマスクにおいて、
前記遮光部の幅は、前記第2の開口部を透過した前記露光光が前記第2の開口部のエッジで回折することにより発生するサイドローブの光強度が露光対象のレジストを感光させない最小幅以上に設定されていることを特徴とするフォトマスク。 - 請求項1に記載のフォトマスクにおいて、
前記遮光部の幅は、前記第2の開口部を透過した前記露光光が前記第2の開口部のエッジで回折して前記遮光部の裏側に回り込むことによって未露光領域を発生させない最大幅以下に設定されていることを特徴とするフォトマスク。 - 請求項1に記載のフォトマスクにおいて、
前記遮光部の幅は(0.12×λ/NA)×M以上であることを特徴とするフォトマスク(但し、λは前記露光光の波長であり、NAは露光機の縮小投影光学系の開口数であり、Mは前記縮小投影光学系の倍率である)。 - 請求項1に記載のフォトマスクにおいて、
前記遮光部の幅は(1.74×λ/NA)×M以下であることを特徴とするフォトマスク(但し、λは前記露光光の波長であり、NAは露光機の縮小投影光学系の開口数であり、Mは前記縮小投影光学系の倍率である)。 - 請求項1に記載のフォトマスクにおいて、
前記遮光部は前記第2の開口部と接していることを特徴とするフォトマスク。 - 請求項1に記載のフォトマスクにおいて、
前記第2の開口部と前記遮光部との間に前記半遮光部の一部分が存在することを特徴とするフォトマスク。 - 請求項11に記載のフォトマスクにおいて、
前記第2の開口部と前記遮光部との間に位置する部分の前記半遮光部の幅は(0.10×λ/NA)×M以下であることを特徴とするフォトマスク(但し、λは前記露光光の波長であり、NAは露光機の縮小投影光学系の開口数であり、Mは前記縮小投影光学系の倍率である)。 - 請求項1〜12に記載のフォトマスクにおいて、
前記第1の寸法は(0.5×λ/NA)×M以下であり、
前記第2の寸法は(0.5×λ/NA)×Mよりも大きいことを特徴とするフォトマスク(但し、λは前記露光光の波長であり、NAは露光機の縮小投影光学系の開口数であり、Mは前記縮小投影光学系の倍率である)。 - 請求項1〜13に記載のフォトマスクにおいて、
前記第2の開口部は、オーバーレイモニタパターン又はレチクル位置計測モニタパターンであることを特徴とするフォトマスク。 - 請求項1〜14のいずれか1項に記載のフォトマスクを用いたパターン形成方法であって、
基板上にレジスト膜を形成する工程(a)と、
前記レジスト膜に前記フォトマスクを介して前記露光光を照射する工程(b)と、
前記露光光を照射された前記レジスト膜を現像して、前記レジスト膜をパターン化する工程(c)とを備えていることを特徴とするパターン形成方法。 - 請求項15に記載のパターン形成方法において、
前記工程(b)で露光光源としてArFエキシマレーザーを用いることを特徴とするパターン形成方法。 - 請求項16に記載のパターン形成方法において、
前記工程(b)で液浸露光プロセスを用いることを特徴とするパターン形成方法。 - 請求項17に記載のパターン形成方法において、
前記工程(a)は前記レジスト膜表面をトップコートによってコーティングする工程を含むことを特徴とするパターン形成方法。
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