JP4655532B2 - 露光用マスクの製造方法 - Google Patents
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Description
本手法は、透過領域の所定スペース部分をもう一方の透過領域のスペース部分とは異なる光路長にして、ウエハ上での光の位相を両パターン間で180度シフトさせることによって、ウエハ上での光コントラストを向上させ、従来のホト露光装置を用いたレジスト解像度を大幅に改善する手法である。
図8は、ハーフトーンマスクと透過光強度との関係を示す図である。
図8(b)では、ガラス基板210上に形成していた従来の遮光膜をハーフトーン膜220に置き換えたハーフトーンマスクを示している。図8(a)には、かかるハーフトーンマスクを用いて被露光部材(半導体基板上のレジスト)に露光した場合の透過光強度(露光強度)を示している。ここで、上述したように、ハーフトーン膜の透過率を高くすると図8(a)に示すようにハーフトーン膜を透過する露光光の強度が強くなり結果として、開口部Hによりパターンニングされた露光パターン以外まで露光されてしまうという問題が発生する。
図9(a)において、ガラス基板210上にハーフトーン膜220を形成する。そして、ハーフトーン膜220上に露光光を遮光する遮光膜230を形成する。
図9(b)において、レジスト膜240にハーフトーン膜220用の露光パターンを形成する。
図9(c)において、レジスト膜240をマスクとして、遮光膜230とハーフトーン膜220とをエッチングする。
図9(d)において、レジスト膜242を塗布する。
図9(e)において、レジスト膜242に遮光膜230用の露光パターンを形成する。
図9(f)において、レジスト膜242をマスクとして、遮光膜230をエッチングする。
図11は、遮光膜がハーフトーン膜に対してずれたハーフトーンマスクと透過光強度との関係を示す図である。
図10に示す遮光膜とハーフトーン膜の位置ずれが無い理想的な状態での投影像に対し、図11では遮光膜がハーフトーン膜に対してずれた状態での投影像となる。以上のように、位置ずれが大きくなると実際に露光時に形成される回路パターンの投影像が変動し、結果としてホトレジストに形成される回路パターンの寸法変動を引き起こすなど悪影響を与えていたといった問題があった。
透明基板上にハーフトーン膜を形成し、パターンニングされたレジスト膜を用いて前記ハーフトーン膜をエッチングすることで、透明基板上に露光光の位相をシフトさせる、パターン形成されたハーフトーン膜を形成するハーフトーン膜形成工程と、
前記パターン形成されたハーフトーン膜が形成された透明基板上の一部に保護膜を形成する保護膜形成工程と、
前記透明基板上の前記ハーフトーン膜及び前記保護膜側と、前記透明基板上の前記ハーフトーン膜及び前記保護膜とは反対側と、のいずれか一方側に前記露光光を透過させない感光性材料膜を形成する感光性材料膜形成工程と、
前記ハーフトーン膜上及び前記保護膜上に感光性材料膜が形成された場合には前記ハーフトーン膜及び前記保護膜とは反対側から、前記ハーフトーン膜及び前記保護膜とは反対側の前記透明基板上に感光性材料膜が形成された場合には前記ハーフトーン膜及び前記保護膜側から、感光光を照射することで、前記ハーフトーン膜と前記保護膜をパターン形成用のマスクとして、前記感光性材料膜を感光させる感光工程と、
前記感光性材料膜を現像して前記感光性材料膜のうちの感光された部分で前記透明基板上にハーフトーンマスクの遮光膜となる感光性材料膜のパターンを形成する現像工程と、
前記保護膜を剥離する工程と、
を備えたことを特徴とする。
前記感光工程において、前記透明基板の裏面から前記感光性材料膜を感光させる感光光を照射することを特徴とする。
以下、実施の形態1について図を用いて説明する。ここでは一例として露光光が157.6nmであるF2リソグラフィ用の遮光膜つきハーフトーンマスクの作成方法について説明する。
図1は、実施の形態1におけるハーフトーンマスクの製造方法の要部を表すフローチャートである。
図1において、露光用マスクの一例であるハーフトーンマスクの製造方法では、ハーフトーン膜形成工程として、ハーフトーン膜を成膜するハーフトーン膜成膜工程(S102)、レジスト塗布工程(S104)、露光工程(S106)、現像工程(S108)、エッチング工程(S110)と、感光光遮光膜形成工程として、保護膜を形成する保護膜形成工程(S112)、レジスト塗布工程(S114)、露光工程(S116)、現像工程(S118)、エッチング工程(S120)と、感光性材料膜形成工程の一例としてのポリイミド膜形成工程(S122)と、感光工程としての露光工程(S124)と、現像工程(S126)と、保護膜剥離工程(S128)と、エッチバック工程(S130)という一連の工程を実施する。
図2では、図1のハーフトーン膜成膜工程(S102)から保護膜のエッチング工程(S120)までを示している。それ以降の工程は後述する。
図3では、図1のポリイミド膜形成工程(S122)からエッチバック工程(S130)までを示している。
実施の形態1では、ガラス基板210の裏面から露光光270を照射してポリイミド膜260を感光させていたが、実施の形態2では、ガラス基板210の表面から露光光270を照射する形態について図を用いて説明する。
保護膜250の形成までの工程(図2(a)〜図2(f))は、実施の形態1と同様であるので説明を省略する。
図4では、図1のポリイミド膜形成工程(S122)から保護膜剥離工程(S128)までを示している。
実施の形態1では、ガラス基板210の裏面から露光光270を照射してポリイミド膜260を感光させていたが、実施の形態3では、同様にガラス基板210の裏面から露光光270を照射する別の形態について図を用いて説明する。
図5では、図1のハーフトーン膜成膜工程(S102)から保護膜のエッチング工程(S120)までを示している。それ以降の工程は後述する。
図5(d)において、保護膜形成工程として、ガラス基板210裏面、言い換えるとハーフトーン膜220が形成されたガラス基板210の面とは反対の面上に、保護膜250を成膜する。その他は、図2(d)において説明した内容と同様で構わないので、説明を省略する。
図6では、図1のポリイミド膜形成工程(S122)からエッチバック工程(S130)までを示している。
実施の形態2では、ガラス基板210の表面から露光光270を照射してポリイミド膜260を感光させていたが、実施の形態4では、同様に、ガラス基板210の表面から露光光270を照射する別の形態について図を用いて説明する。
保護膜250の形成までの工程(図5(a)〜図5(f))は、実施の形態3と同様であるので説明を省略する。
図7では、図1のポリイミド膜形成工程(S122)から保護膜剥離工程(S128)までを示している。
220 ハーフトーン膜
230 遮光膜
240,242,246,248 レジスト膜
250 保護膜
260 ポリイミド膜
270 露光光
Claims (3)
- 透明基板上にハーフトーン膜を形成し、パターンニングされたレジスト膜を用いて前記ハーフトーン膜をエッチングすることで、透明基板上に露光光の位相をシフトさせる、パターン形成されたハーフトーン膜を形成するハーフトーン膜形成工程と、
前記パターン形成されたハーフトーン膜が形成された透明基板上の一部に保護膜を形成する保護膜形成工程と、
前記透明基板上の前記ハーフトーン膜及び前記保護膜側と、前記透明基板上の前記ハーフトーン膜及び前記保護膜とは反対側と、のいずれか一方側に前記露光光を透過させない感光性材料膜を形成する感光性材料膜形成工程と、
前記ハーフトーン膜上及び前記保護膜上に感光性材料膜が形成された場合には前記ハーフトーン膜及び前記保護膜とは反対側から、前記ハーフトーン膜及び前記保護膜とは反対側の前記透明基板上に感光性材料膜が形成された場合には前記ハーフトーン膜及び前記保護膜側から、感光光を照射することで、前記ハーフトーン膜と前記保護膜をパターン形成用のマスクとして、前記感光性材料膜を感光させる感光工程と、
前記感光性材料膜を現像して前記感光性材料膜のうちの感光された部分で前記透明基板上にハーフトーンマスクの遮光膜となる感光性材料膜のパターンを形成する現像工程と、
前記保護膜を剥離する工程と、
を備えたことを特徴とする露光用マスクの製造方法。 - 前記感光性材料膜形成工程において、前記ハーフトーン膜が形成された透明基板面と同じ面に前記感光性材料膜を形成し、
前記感光工程において、前記透明基板の裏面から前記感光性材料膜を感光させる感光光を照射することを特徴とする請求項1記載の露光用マスクの製造方法。 - 前記感光性材料膜の材料として、紫外線感光樹脂を用いたことを特徴とする請求項1記載の露光用マスクの製造方法。
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