JP4608370B2 - 試料採取用マイクロミル - Google Patents
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Description
回転切削ドリルは、そのドリルビットの切刃部分が回転することにより描かれる軌跡によって形成される切刃回転形状が円錐形状であり、水平な回動軸の周りに回動可能な支持機構により支持され、その回転切削ドリルの回転軸の試料載置面に対する傾斜角度が調整可能であって切刃回転形状のテーパー面の角度が調整可能とされており、
前記移動機構は、ステージを水平面内で横方向および縦方向に推移させる構成を有し、当該ステージの最小移動単位が0.025〜1.0μmであり、
回転切削ドリルの先端を含む領域を視野として有し、切刃部分によって切削される部位を拡大して観察するための観察手段が配設されており、
前記切刃回転形状のテーパー角度と試料における切削対象領域部分に係る境界面の前記試料載置面に対する角度とに基づいて、前記回転切削ドリルの回転軸の試料載置面に対する傾斜角度が設定されることにより当該回転切削ドリルに係る切刃回転形状のテーパー面が試料の境界面に適合する状態とされ、前記移動機構によって当該切刃回転形状のテーパー面が試料の境界面に沿って相対的に移動されることにより試料が切削されることを特徴とする。
図1は、本発明のマイクロミルの一例の構成を示す斜視図、図2は、切削ドリルが傾斜した状態で、切削対象物の切削が行われる状態を示す模式図である。
スタンド棒112には、支持機構によって、その一端にドリルビット151を有する、本体が円筒状の回転切削ドリル15が、ステージ12の上方位置においてドリルビット151が試料載置面に向って伸びるよう配設されていると共に、ドリルビットの先端を含む領域を視野として有し、ドリルビット151によって切削される部位を拡大して観察するための、鏡筒161を有する観察手段16がクロスクランプ162により配設されている。
ここで、ステージ12の寸法は、切削対象物を安定的に載置、固定することができる大きさであればよく、例えば縦5cm横5cmとされる。
ここで、支持用ロッドに角度設定目盛が設けられていることにより、ドリルビットに係る切刃回転形状のテーパー角度γに合わせてドリルビットの回転軸角度を容易に、しかも確実に設定することが可能である。
また、ステージ移動機構における最小移動単位が小さく、しかも、切削部位を視覚的に確認する拡大鏡を備えた構成とされていることにより、微小な領域部分を切削する場合であっても、オペレーターは、切削操作を高い精度で、しかも容易に実行することができる。
更に、切削ドリルが、支持機構に設けられた適宜のアダプターにより交換可能に装着されているため、切削に供される切削ドリルの種類を、市販の製品から高い自由度をもって、選択することが可能である。
例えば、ステージ移動機構は、ステージを水平面上で回転させる回転テーブルを備えてなる構成とされていてもよい。このような構成によれば、切削対象物の切削工程において高い自由度が得られる。
また、切削対象領域部分に係る境界面の延伸方向などに応じて、切削ドリルの傾斜状態は、途中で、支持用ロッドが回動されてその角度が変更されてもよい。
11 スタンド
111 基台
112 スタンド棒
12 ステージ
121 試料載置面
122 基礎試料
13 ステージ移動機構
131 リフト
132 中間ステージ
133 中間ステージ
14 ステージ台
15 切削ドリル
151 ドリルビット
152 ビット回転軸
153 ドリル装着用アダプター
16 観察手段
161 鏡筒
162 クロスクランプ
17 支持用ロッド
171 水平軸
172 角度設定目盛
18 クロスクランプ
181 基準線
20 基礎試料
21 切削対象領域部分
22 境界面
50 ドリルビット
501 テーパー面
51 切削対象領域部分
52 ステージ
521 試料載置面
53 境界面
54 隣接領域部分
55 領域部分
Claims (1)
- 試料載置面を有するステージと、このステージの上方に位置するよう設けられた、ステージの試料載置面に保持された試料を切削するための回転切削ドリルと、ステージおよび回転切削ドリルの両者を離接方向に相対的に移動させる移動機構とを備えてなる試料採取用マイクロミルであって、
回転切削ドリルは、そのドリルビットの切刃部分が回転することにより描かれる軌跡によって形成される切刃回転形状が円錐形状であり、水平な回動軸の周りに回動可能な支持機構により支持され、その回転切削ドリルの回転軸の試料載置面に対する傾斜角度が調整可能であって切刃回転形状のテーパー面の角度が調整可能とされており、
前記移動機構は、ステージを水平面内で横方向および縦方向に推移させる構成を有し、当該ステージの最小移動単位が0.025〜1.0μmであり、
回転切削ドリルの先端を含む領域を視野として有し、切刃部分によって切削される部位を拡大して観察するための観察手段が配設されており、
前記切刃回転形状のテーパー角度と試料における切削対象領域部分に係る境界面の前記試料載置面に対する角度とに基づいて、前記回転切削ドリルの回転軸の試料載置面に対する傾斜角度が設定されることにより当該回転切削ドリルに係る切刃回転形状のテーパー面が試料の境界面に適合する状態とされ、前記移動機構によって当該切刃回転形状のテーパー面が試料の境界面に沿って相対的に移動されることにより試料が切削されることを特徴とする試料採取用マイクロミル。
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