JP4203860B2 - マイクロミリングシステムおよびその制御方法 - Google Patents

Description

本発明は、切削対象試料の微小な部分を切削するためのマイクロミリングシステムおよびその制御方法に関する。

一般に、岩石試料または化石試料などについては微小領域毎の分析が必要であり、これを行うために、例えば安定同位体質量分析計または高周波誘導結合プラズマ発光−質量分析計などが用いられているが、これらの分析においては、試料である岩石片または化石片などにおける微小な分析対象領域部分を、いわゆるマイクロミルおよびその制御装置を備えてなるマイクロミリングシステムにより切削して当該分析対象領域部分を構成する物質の粉体を採取し、これを分析用試料として精密分析に供することが行われている。

ここで、分析対象領域部分とは、例えば分析の目的、試料の種類に応じて任意に決定される、試料における組織構造中における微細な一部の組織に係る領域部分であって、通常、ミクロン単位の極めて微小な領域部分毎に試料が切削され、これにより採取された当該各領域部分に係る粉体が独立した分析用試料として分析処理に供される。従って、このように微小な領域部分の切削を行うマイクロミリングシステムは、目的とする切削対象領域部分を高い精度で正確に切削できるものであることが要求される。

従来、マイクロミリングシステムとしては、試料の載置面を水平に保持しながら例えば三次元方向に移動可能に設けられたステージと、ドリルビットの回転軸が試料載置面に垂直となるよう固定的に支持された切削ドリルと、当該ドリルビットの回転軸に平行な軸を視野の光軸とする鏡筒を備えた、下向きに固定的に支持されたＣＣＤカメラとを備えてなるマイクロミルと、このマイクロミルを制御するための制御装置とよりなるものが知られている（例えば、非特許文献１参照）。

このようなマイクロミリングシステムにおいては、ＣＣＤカメラの直下に試料が位置された状態で当該試料の平面映像が取得され、この平面映像について設定された座標系上において切削目標点の位置情報が指定される。その後、試料が載置されたステージが移動されて、切削ドリルの回転軸の位置が目標切削点位置に相当する位置とされ、これにより、ドリルビットの先端位置が実際の試料の目標切削点位置にセット（以下、単に「ステージセッティング処理」ともいう。）され、この状態で前記目標切削点の位置情報に基づいて切削が実行される。以上において、ステージの移動量および移動方向は、ＣＣＤカメラに係る軸と、切削ドリルの回転軸との間の離間距離および離間方向の位置関係情報に基づいて決定される。

しかしながら、切削対象領域部分は既述のようにミクロン単位ときわめて微小なものであるのに対して、ステージセッティング処理におけるステージの移動距離は例えばセンチメーターオーダーと桁違いに大きいためにステージの移動量の制御に誤差が生じる可能性が高く、従って、高い精度でステージの移動量を制御することが困難であり、結局、切削対象領域部分の切削を高い精度で正確に実行することが困難である、という問題がある。

また、上記のようなステージセッティング処理におけるステージの移動制御は、マイクロミルにおいて、切削ドリルの回転軸およびＣＣＤカメラに係る鏡筒軸の間の位置関係が固定されていることが前提とされているため、例えば切削ドリルの回転軸を意図的に傾斜させる場合のように、切削端の位置が変位された場合には、予め規定された位置関係情報に基づいてステージを移動しても、現実の目標切削点位置が厳密にドリルビットの先端位置と一致しないこととなり、結局、試料の切削を高い精度で実行することができない、という問題がある。

ニューウェーブリサーチ（Ｎｅｗ Ｗａｖｅ Ｒｅｓｅａｒｃｈ）、"マイクロミル（ＭｉｃｒｏＭｉｌｌ）"、［ｏｎｌｉｎｅ］、２００４年、［平成１７年３月１８日検索］、インターネット＜ＵＲＬ：ｈｔｔｐ：／／ｗｗｗ．ｎｅｗ−ｗａｖｅ．ｃｏｍ／ＤｏｗｎＬｏａｄ％２０Ｆｉｌｅｓ／ＬＡ−ＭＭＬＬ−ＤＳａ４−０４０２．ｐｄｆ＞

本発明は、以上のような事情に基いてなされたものであって、その目的は、実際の切削ドリルの切削端を試料における目標切削点の位置に正確に位置させることができ、試料における所期の微小な領域部分を高い精度で正確に切削することができるマイクロミリングシステムおよびその制御方法を提供することにある。

本発明のマイクロミリングシステムの制御方法は、マイクロミルおよび試料映像撮影表示機構を備えてなるマイクロミリングシステムの制御方法であって、
マイクロミルが、試料載置用のステージと、このステージに固定的に保持された試料を切削する回転切削ドリルと、前記ステージと回転切削ドリルとを相対的に移動させる移動機構とを備えてなり、
試料映像撮影表示機構が、前記ステージ上の試料の拡大された平面映像を撮像する、その視野における光軸がステージに対して傾斜している撮像手段と、映像表示手段とよりなり、
試料の表面において選択された互いに離間する２つの基準点および当該２つの基準点を結ぶ直線から離間した第３の基準点のそれぞれに回転切削ドリルの切削端を位置させたときにおける、ステージについて設定された第１のＸ−Ｙ座標系における切削ドリルの切削端の座標位置による切削ドリル位置情報を得ると共に、
試料映像撮影表示機構による試料の映像の場について設定された第２のＸ−Ｙ座標系における上記３つの基準点にそれぞれ対応する３つの参照点の座標位置を表す参照点位置情報を得、
前記３つの基準点についての切削ドリル位置情報と、前記３つの参照点についての参照点位置情報とより得られる前記第１のＸ−Ｙ座標系と第２のＸ−Ｙ座標系との間における座標変換関数を利用して、第２のＸ−Ｙ座標系において指定される目標切削点に回転切削ドリルの切削端が位置されるよう移動機構が制御されることを特徴とする。

また、マイクロミルは、その回転切削ドリルが水平な回動軸の周りに回動可能な支持機構により支持されることにより、当該回転切削ドリルの回転軸のステージに対する傾斜角度が調整可能とされていてもよい。

本発明のマイクロミリングシステムおよびその制御方法によれば、ステージについて設定された第１のＸ−Ｙ座標系と、撮像手段によって撮像される試料の平面映像について設定された第２のＸ−Ｙ座標系との間の相関関係が、ステージに保持された試料の平面において選択された２つの基準点にドリルビットの先端を直接接触させたときに得られるドリルビットの座標位置による切削ドリル位置情報と、前記平面映像上において特定された前記２つの基準点にそれぞれ対応する参照点の座標位置を表す参照点位置情報とにおける相関関係と等価であるので、第２のＸ−Ｙ座標系において指定された目標切削開始位置に基づいて、当該目標切削開始位置を第１のＸ−Ｙ座標系における切削ドリル位置情報に高い精度で変換することができる。

すなわち、実際のドリルビットの先端位置を試料映像上で座標的に特定する作業が２つの点のそれぞれについて行われることにより得られたドリルビットの座標位置による切削ドリル位置情報を利用して２つの座標系を変換する座標変換関数が規定されるため、実際の切削に際して、ステージにおける試料が固定される位置または方向、ドリルビットの先端位置並びに撮像手段の位置や姿勢の如何に関わらず、平面映像上において指定される第２のＸ−Ｙ座標系において指定された目標切削開始位置に係る座標情報から変換されて得られた切削ドリル位置情報は、高い精度で目標切削点がドリルビットの先端位置に位置されるときのステージの座標位置を示すものとなる。その結果、目標切削点の切削を高い精度で正確に実行することができる。

また、前記２つの基準点から離間する第３の基準点が選択されることにより、第１のＸ−Ｙ座標系を基準とした前記２つ座標系における相関関係において、第２のＸ−Ｙ座標系について３つの基準点に対応した３つの参照点によって３つの位置関係規定要素が定まる結果、３つの参照点を含む平面の傾きがＺ軸方向について固定されることとなり、従って、撮像手段が、その視野軸が試料の平面に対して傾斜するよう設けられることにより生ずる平面映像に係る歪みなどに関わらず、これが適切に補正されるよう２つの座標系を変換する座標変換関数が規定される。その結果、実際の切削に際して、平面映像上において指定される第２のＸ−Ｙ座標系において指定された目標切削開始位置に係る座標情報から変換されて得られた切削ドリル位置情報は、高い精度で目標切削点がドリルビットの先端位置に位置されるステージの位置を示すものとなり、結局、目標切削点の切削を更に高い精度で正確に実行することができる。

以下、本発明のマイクロミリングシステムの制御方法に係るマイクロミリングシステムについて詳細に説明する。
図１は、本発明に係るマイクロミリングシステムの一例の構成を示す模式図である。

図１に示す例において、マイクロミリングシステムは、マイクロミル１０と、後述する、撮像手段であるＣＣＤカメラ１６および映像表示手段よりなる試料映像撮影表示機構とを備えた構成とされており、前記映像表示手段として機能するディスプレー装置（図示せず）を備えると共に、座標変換処理機能を有するコンピュータ１０１が接続されていると共に、マイクロミル１０には、後述するステージ移動機構を制御するための移動機構制御手段１０２が備えられている。

マイクロミル１０は、平板状の基台１１１およびこの基台１１１から上方に伸びるスタンド棒１１２を有するスタンド１１を備えてなり、この基台１１１上には、切削対象物である基礎試料１２１を固定的に保持するための保持具が設けられたステージ１２を有すると共に、このステージ１２を移動させるステージ移動機構１３を備えてなるステージ台１４が設けられている。

スタンド棒１１２には、支持用ロッド１７が、水平軸１７１に沿って水平方向に伸びると共に、この水平軸１７１の周りに回動可能に、かつ、その回動状態が選択された角度状態に固定可能に、その基端部においてクロスクランプ１８により装着されており、この支持用ロッド１７の先端に、下端に下方に伸びるドリルビット１５１を有する、本体が円柱状の回転切削ドリル１５が固定されて設けられている。このような構成とされていることにより、回転切削ドリル１５が、ステージ１２の上方位置においてドリルビット１５１がステージ１２の平面に向って伸びるよう位置されている。

また、スタンド棒１１２には、クロスクランプ１８の上方において、クロスクランプ１６２により、撮像手段である、拡大された平面映像を撮像するための鏡筒１６１を備えたＣＣＤカメラ１６が設けられている。このＣＣＤカメラ１６は、その視野領域内にドリルビット１５１の先端が含まれることとなるよう設けられてなるものであり、切削ドリル１５が傾斜状態とされることによりドリルビット１５１の先端位置が移動した場合にも、当該視野領域内にドリルビット１５１の先端が確実に含まれることとなるよう視野角の角度が調整可能とされている。
ここで、撮像手段としては、ドリルビットの先端を視野領域に含む基礎試料１２１の平面映像を拡大して撮像することができるものであることが好ましく、ＣＣＤカメラに限定されず適宜の映像取得手段を利用することができる。

コンピュータ１０１は、撮像手段であるＣＣＤカメラ１６により得られるドリルビット１５１の先端を含む基礎試料１２１の平面映像を表示するための映像表示手段として機能するディスプレー装置を備えてなり、後述する座標変換処理を含む事前同期処理作業を実行する機能するものであり、このようなコンピュータとしては、市販されている汎用のパーソナルコンピュータを利用することができる。

ステージ台１４におけるステージ移動機構１３は、ステージ１２を上下方向（Ｚ軸方向）に推移させるリフト１３１と、このリフト１３１の上に設けられた、ステージ１２を水平面内で横方向（Ｘ軸方向）に推移させる第１の中間ステージ１３２と、この第１の中間ステージ１３２の上に設けられた、ステージ１２を水平面内で縦方向（Ｙ軸方向）に推移させる第２の中間ステージ１３３とよりなり、この第２の中間ステージ１３３の上に平板状のステージ１２が配設された構成とされている。
ここで、ステージ１２の寸法は、切削対象物を安定的に載置し、固定することができる大きさであればよく、例えば縦５ｃｍ横５ｃｍとされる。

ステージ移動機構１３において、ステージ１２の最小移動単位は、例えば０．０２５〜１．０μｍ、好ましくは０．０２５μｍとされ、このようなステージ移動機構１３の駆動源としては例えばステップモータが用いられる。

移動機構制御手段１０２は、コンピュータ１０１から得られる制御信号に基づいてステージ移動機構１３に係るステップモータの回転角度を制御することによりステージ移動機構１３の移動距離を制御するコントローラである。

図１において、１５２は、切削ドリル装着用のアダプターであり、これにより、切削ドリル１５は交換可能とされている。

以上のマイクロミリングシステムにおいては、マイクロミル１０において、ステージ１２に切削対象物である基礎試料１２１が載置されて固定された後、試料映像撮影表示機構とマイクロミル１０とを同期させる、座標変換処理を含む事前同期処理作業が実行される。そして、リフト１３１が駆動されてステージ１２が上昇されることにより、基礎試料１２１がドリルビット１５１に接触されて切削が開始される。更に、この状態でステージ１２が縦方向および横方向に移動されて、基礎試料１２１における切削対象領域部分の切削が達成される。

以上の基礎試料１２１の切削工程においては、下記の態様で事前同期処理作業が実行される。
すなわち、基礎試料１２１がステージ１２に固定されると共に、必要に応じて切削ドリル１５が設定された傾斜角度状態に固定された後であって、実際の切削処理が実行される前に、事前同期処理作業が実行される。

この事前同期処理作業においては、基礎試料１２１の平面に係る拡大された平面映像が、ＣＣＤカメラ１６により撮像されると共にコンピュータ１０１におけるディスプレーに映しだされ、この平面映像を利用しながら、基礎試料１２１の平面上において任意の位置が選択され、その後、オペレーターのマニュアル操作によりドリルビット１５１の先端が、当該選択された位置に対応する基礎試料１２１の平面における位置に接触されてこの位置が第１の基準点として特定され、このときのドリルビット１５１の先端の座標位置が、当該ステージ１２１について設定された第１のＸ−Ｙ座標系（ａ, ｂ系）において定義される第１の切削ドリル位置情報（ａ₁ , ｂ₁ ）として取得される。

一方、モニター装置に映しだされた平面映像について第２のＸ−Ｙ座標系（α, β系）が設定されており、当該平面映像上において前記第１の基準点に対応する位置（前記基礎試料１２１の平面上において選択された位置）が第１の参照点として特定され、この第１の参照点の座標位置を表す第１の参照点位置情報（α₁ , β₁ ）が、当該第２のＸ−Ｙ座標系（α, β系）において取得される。

次に、上記の第１の基準点とは異なる、第１の基準点より離間した任意の位置が基礎試料１２１の平面上において選択され、オペレーターのマニュアル操作によりドリルビット１５１の先端が、当該選択された位置に対応する基礎試料１２１の平面における位置に接触されてこの位置が第２の基準点として特定され、このときのドリルビット１５１の先端の座標位置が、ステージ１２１について設定された第１のＸ−Ｙ座標系において定義される第２の切削ドリル位置情報（ａ₂ , ｂ₂ ）として取得される。
同時に、モニター装置に映しだされた平面映像上において前記第２の基準点に対応する位置（前記基礎試料１２１の平面上において選択された位置）が第２の参照点として特定され、この第２の参照点の座標位置を表す第２の参照点位置情報（α₂ , β₂ ）が、当該第２のＸ−Ｙ座標系において取得される。

上記において、第１の基準点および第２の基準点の各々に係る切削ドリル位置情報（ａ₁,ｂ₁ ）、（ａ₂,ｂ₂ ）と、参照点位置情報（α₁,β₁ ）、（α₂,β₂ ）は、実際には、接続されたコンピュータ１０１によって取得されるものであり、このコンピュータ１０１において、第１の基準点に係る切削ドリル位置情報（ａ₁ , ｂ₁ ）と参照点位置情報（α₁ , β₁ ）とが相互に関係づけられると共に、第２の基準点に係る切削ドリル位置情報（ａ₂ , ｂ₂ ）と参照点位置情報（α₂ , β₂ ）とが相互に関係づけられることにより、第２のＸ−Ｙ座標系と、第１のＸ−Ｙ座標系と、を相互に変換する座標変換関数が規定される。

すなわち、基礎試料１２１に係る一つの基準点について、ステージ１２１について設定されたステージ１２１の位置を表す第１のＸ−Ｙ座標系と、基礎試料１２１について得られた平面映像について設定された目標切削開始位置を表す第２のＸ−Ｙ座標系という２つの異なる座標系により位置情報が独立に取得されるため、当該２つの異なる座標系の間の相関関係が固定されるので、特定の座標変換関数により、一方の系における位置を他方の系において特定することができる。

従って、基礎試料１２１における平面映像上において、切削対象領域部分に係る目標切削開始位置（α_n , β_m ）を第２のＸ−Ｙ座標系における座標位置として指定することにより、当該目標切削開始位置（α_n , β_m ）が、前記座標変換関数により第１のＸ−Ｙ座標系における切削ドリル位置情報（ａ_n , ｂ_m ）に変換され、この切削ドリル位置情報（ａ_n , ｂ_m ）に基づいて、移動機構制御手段１０２によりステージ移動機構１３が制御される。

その結果、目標切削点がドリルビット１５１の先端に一致するまでステージ１２１の移動状態が制御されることとなり、結局、基礎試料１２１における目標切削点を高い精度で正確に切削することができる。

ここで、必要に応じて、上記の第１の基準点および第２の基準点とは異なる、第３の基準点が選択されてもよい。
この第３の基準点は、第１の基準点より離間した、当該第１の基準点および第２の基準点を通る直線上の位置以外の任意の位置が選択されると共に、オペレーターのマニュアル操作によりドリルビット１５１の先端が、当該選択された位置に対応する基礎試料１２１の平面における位置に接触されてることにより特定されればよく、この場合には、当該第３の基準点にドリルビット１５１の先端が接触しているときのドリルビット１５１の先端の座標位置が、ステージ１２１について設定された第１のＸ−Ｙ座標系において定義される第３の切削ドリル位置情報（ａ₃ , ｂ₃ ）として取得されればよい。
同時に、モニター装置に映しだされた平面映像上において前記第３の基準点に対応する位置が第３の参照点として特定され、この第３の参照点の座標位置を表す第３の参照点位置情報（α₃ , β₃ ）が、当該第２のＸ−Ｙ座標系において取得される。

上記において、第１の基準点, 第２の基準点、および第３の基準点の各々に係る切削ドリル位置情報（ａ₁ , ｂ₁ ）、（ａ₂ , ｂ₂ ）、（ａ₃ , ｂ₃ ）と、参照点位置情報（α₁ , β₁ ）、（α₂ , β₂ ）、（α₃ , β₃ ）は、実際には、接続されたコンピュータ１０１によって取得されるものであり、このコンピュータ１０１において、第１の基準点に係る切削ドリル位置情報（ａ₁ , ｂ₁ ）と参照点位置情報（α₁ , β₁ ）とが相互に関係づけられると共に、第２の基準点に係る切削ドリル位置情報（ａ₂ , ｂ₂ ）と参照点位置情報（α₂ , β₂ ）とが相互に関係づけられ、更に、第３の基準点に係る切削ドリル位置情報（ａ₃ , ｂ₃ ）と参照点位置情報（α₃ , β₃ ）とが相互に関係づけられることにより、第２のＸ−Ｙ座標系と第１のＸ−Ｙ座標系とを相互に変換する座標変換関数が規定される。

第１のＸ−Ｙ座標系において前記２つの基準点に追加して第３の基準点を特定することにより、当該第１のＸ−Ｙ座標系について、第１の基準点と第２の基準点との間にしか存在し得なかった、その２点間距離を含む１つの位置関係規定要素に加えて、第１の基準点と第３の基準点との間における位置関係規定要素および第２の基準点と第３の基準点との間における位置関係規定要素という２つの位置関係規定要素が、３つの基準点を含む基準面上において異なる方向軸上に設定されることとなる。

その結果、第１のＸ−Ｙ座標系を基準として第２のＸ−Ｙ座標系との間に固定される相関関係においては、当該第２のＸ−Ｙ座標系についても第１のＸ−Ｙ座標系に係る３つの基準点のそれぞれに関連づけられた３つの参照点の間に、２点間距離を含む位置関係規定要素が３つ設定されるため、この第２のＸ−Ｙ座標系について設定された、３つの参照点を含む参照面は、その３つの位置関係規定要素が、前記第１のＸ−Ｙ座標系について設定された基準面上における２点間距離を含む位置関係規定要素が確実に反映されたものとなる。

従って、相関関係が固定された当該２つの異なる座標系の間において、例えば撮像手段の視野における光軸が試料の平面に対して傾斜されている場合などに干渉する撮像工程における誤差に関わらず、特定の座標変換関数により、一方の系における位置を他方の系において特定することができ、すなわち、試料の平面上における２点間距離を含む位置関係規定要素が、ディスプレーに表示される平面映像上に確実に反映されることとなるため、平面映像上において指定される第２のＸ−Ｙ座標系における位置をステージ座標位置として第１のＸ−Ｙ座標系において高い精度で特定することができる。

以上において、選択される基準点としては、特に制限されるものではないが、例えば組織端部など、視覚的に捉えやすい特徴を有する部分であることが好ましい。また複数の基準点の各々の間の離間距離は、大きいことが好ましい。

また、基礎試料１２１平面の平面映像を、例えば０．６〜１５倍の適宜の拡大倍率で撮像することにより、実際の作業において基準点に対応する参照点の特定および目標切削開始位置の指定が容易となる。
また、第１および第２の基準点並びに必要に応じて選択される第３の基準点は、ＣＣＤカメラ１６によって得られる、目標切削点を含む一の視野領域内において指定されることが好ましい。

以上、本発明のマイクロミリングシステムの制御方法について具体的に説明したが、本発明においては種々の変更を加えることが可能である。
例えば、マイクロミルにおけるステージ移動機構は、ステージを水平面上で回転させる回転テーブルを備えてなる構成とされていてもよい。このような構成によれば、切削対象物の切削工程において高い自由度が得られる。
また、複数の点を目標切削開始位置として指定することにより、当該複数の点を結ぶ線に沿って基礎試料１２１の切削が行われるようステージ移動機構１３が制御されてもよく、このような制御によって、切削を効率的に実行することができる。

本発明に係るマイクロミリングシステムの一例の構成を示す斜視図である。

符号の説明

１０ マイクロミル
１０１ コンピュータ
１０２ 移動機構制御手段
１１ スタンド
１１１ 基台
１１２ スタンド棒
１２ ステージ
１２１ 基礎試料
１３ ステージ移動機構
１３１ リフト
１３２ 中間ステージ
１３３ 中間ステージ
１４ ステージ台
１５ 切削ドリル
１５１ ドリルビット
１５２ アダプター
１６ ＣＣＤカメラ
１６１ 鏡筒
１６２ クロスクランプ
１７ 支持用ロッド
１７１ 水平軸
１８ クロスクランプ

Claims (4)

1. マイクロミルおよび試料映像撮影表示機構を備えてなるマイクロミリングシステムの制御方法であって、
   マイクロミルが、試料載置用のステージと、このステージに固定的に保持された試料を切削する回転切削ドリルと、前記ステージと回転切削ドリルとを相対的に移動させる移動機構とを備えてなり、
   試料映像撮影表示機構が、前記ステージ上の試料の拡大された平面映像を撮像する、その視野における光軸がステージに対して傾斜している撮像手段と、映像表示手段とよりなり、
   試料の表面において選択された互いに離間する２つの基準点および当該２つの基準点を結ぶ直線から離間した第３の基準点のそれぞれに回転切削ドリルの切削端を位置させたときにおける、ステージについて設定された第１のＸ−Ｙ座標系における切削ドリルの切削端の座標位置による切削ドリル位置情報を得ると共に、
   試料映像撮影表示機構による試料の映像の場について設定された第２のＸ−Ｙ座標系における上記３つの基準点にそれぞれ対応する３つの参照点の座標位置を表す参照点位置情報を得、
   前記３つの基準点についての切削ドリル位置情報と、前記３つの参照点についての参照点位置情報とより得られる前記第１のＸ−Ｙ座標系と第２のＸ−Ｙ座標系との間における座標変換関数を利用して、第２のＸ−Ｙ座標系において指定される目標切削点に回転切削ドリルの切削端が位置されるよう移動機構が制御されることを特徴とするマイクロミリングシステムの制御方法。
2. マイクロミルは、その回転切削ドリルが水平な回動軸の周りに回動可能な支持機構により支持されることにより、当該回転切削ドリルの回転軸のステージに対する傾斜角度が調整可能とされていることを特徴とする請求項１に記載のマイクロミリングシステムの制御方法。
3. マイクロミルおよび試料映像撮影表示機構を備えてなるマイクロミリングシステムであって、
   マイクロミルが、試料載置用のステージと、このステージに固定的に保持された試料を切削する回転切削ドリルと、前記ステージと回転切削ドリルとを相対的に移動させる移動機構とを備えてなり、
   試料映像撮影表示機構が、前記ステージ上の試料の拡大された平面映像を撮像する、その視野における光軸がステージに対して傾斜している撮像手段と、映像表示手段とよりなり、
   試料の表面において選択された互いに離間する２つの基準点および当該２つの基準点を結ぶ直線から離間した第３の基準点のそれぞれに回転切削ドリルの切削端を位置させたときにおける、ステージについて設定された第１のＸ−Ｙ座標系における切削ドリルの切削端の座標位置による３つの基準点についての切削ドリル位置情報と、試料映像撮影表示機構による試料の映像の場について設定された第２のＸ−Ｙ座標系における上記３つの基準点にそれぞれ対応する３つの参照点の座標位置を表す３つの参照点についての参照点位置情報とより得られる、前記第１のＸ−Ｙ座標系と第２のＸ−Ｙ座標系との間における座標変換関数を利用して、第２のＸ−Ｙ座標系において指定される目標切削点に回転切削ドリルの切削端が位置されるよう移動機構を制御する移動機構制御手段を有することを特徴とするマイクロミリングシステム。
4. マイクロミルは、その回転切削ドリルが水平な回動軸の周りに回動可能な支持機構により支持されることにより、当該回転切削ドリルの回転軸のステージに対する傾斜角度が調整可能とされていることを特徴とする請求項３に記載のマイクロミリングシステム。

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