JPH07308875A - 微小ワークの加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 微小ワークに３次元ビーム加工を行うことに
より立体構造をもつ微小物の作製が可能な微小ワークの
ビーム加工装置を提供する。 【構成】 加工室内にエネルギービームソースと、微小
ワークの支持台と、該支持台を移動させる支持台移動機
構とを設け、該支持台移動機構により微小ワークの支持
台を直交２方向に移動するとともに、該エネルギービー
ムソースからのビーム軸もしくはビーム束の中心軸に直
交もしくは斜交する２以上の軸まわりに回転させ、当該
ビームと微小ワークとの相対位置関係を予め変化させも
しくは変化させながら、微小ワークの３次元ビーム加工
をおこなう

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、エネルギービームによ
り微小ワークに３次元加工を施し、立体構造をもつ微小
物の作製を可能とした微小ワークの加工装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、マイクロマシン、医療器具、情報
機器などに用いる微小ワークの製作において、微小ワー
クに切削、研削、配線、接合等の加工を施すには、顕微
鏡下で操作者が手に道具を持って手作業で行うか、また
は、手作業では不可能な微細加工の場合は、マイクロマ
ニュピレータ等を用いて行っていた。また、更に高度な
精度を要する半導体プロセス等の微細加工を行うには、
プラズマ加工やビーム加工等が用いられている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、微小ワ
ークの加工を手作業やマイクロマニュピレータを使って
行ったのでは、微小ワークを紛失したり位置決めするこ
とが面倒であり、操作や加工速度が著しく遅くなり作業
能率が悪い。

【０００４】また、プラズマ加工は、プラズマ中に被加
工物を設置してプラズマ中のイオンや活性粒子によって
エッチング等の加工を行うが、被加工物がウエーハーの
ように大きい加工面を有する場合は有効であるが、被加
工物が立体構造をもつ微小ワーク（例えば正６面体を有
するチップ）である場合は、イオンや活性粒子が設置面
を除く全ての面に入射するために、所定の加工面に所定
の加工を施すことは不可能である。

【０００５】さらに、従来のビーム加工による場合は、
微小ワークを２次元移動させる機構を併用して加工面上
の所定部分に所定の加工を施すことはできるが、加工面
が一面に限られるため、立体構造をもつ微小ワークの多
面に加工を施し、立体構造を持つ微小物を作製すること
はできなかった。

【０００６】また、微小ワークの加工においては、ビー
ム加工に加えて、ビーム加工中もしくはビーム加工の前
後に微小ワークへの機械加工や、表面の組成、状態、構
造の観察や分析、測定、さらにはワイヤ等他部品の接合
等の作業が行われるが、従来はこれらの作業をビーム加
工とは別に、時間と場所を変えて行っていたために、そ
れぞれの作業のために微小ワークを搬送したり位置決め
するなど時間がかかるばかりではなく、ビーム加工と各
作業との間の空間的および時間的ずれによって高精度な
作業を行うことはできなかった。

【０００７】したがって、本発明の第一の目的は、立体
構造をもつ微小ワークの任意の面および任意の位置にビ
ーム加工を施して、３次元構造をもつ微小物の作製が可
能なビーム加工装置を提供することにある。

【０００８】また、本発明の第二の目的は、ビーム加工
に加えて、ビーム加工中またはビーム加工前後に微小ワ
ークへの機械加工や、表面分析、観察、測定、接合等の
作業を迅速かつ精度よく行うことができるビーム加工装
置を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、加工室と、該
加工室内に設けられたエネルギービームソースと、該加
工室内にて前記微小ワークを支持する台と、該支持台を
加工室内で移動させる支持台移動機構とを備えた微小ワ
ークの加工装置において、前記支持台移動機構が該微小
ワークの支持台を直交２方向に移動可能かつ該エネルギ
ービームソースからのビーム軸もしくはビーム束の中心
軸に直交もしくは斜交する２以上の軸まわりに回転可能
であり、当該ビームと微小ワークとの相対位置関係を予
め変化させもしくは変化させながら、微小ワークの３次
元ビーム加工をおこなうことにより、上記第一の目的を
達成する。

【００１０】また、本発明は、前記支持台移動機構が微
小ワークの支持台を直交３方向に移動可能である上記微
小ワークの加工装置によって上記第一の目的を達成す
る。

【００１１】さらに、本発明は、前記エネルギービーム
ソースが加工室内にて位置固定されている上記微小ワー
クの加工装置によって上記第一の目的を達成する。

【００１２】また、本発明は、前記エネルギービームソ
ースが加工室内にて直交２方向に移動可能かつ複数の軸
まわりに回転可能に設けられている上記微小ワークの加
工装置によって上記第一の目的を達成する。

【００１３】さらに、本発明は、前記エネルギービーム
ソースが加工室内で支持台上の微小ワークを中心に球面
移動可能に配置されている上記微小ワークの加工装置に
よって上記第一の目的を達成する。

【００１４】また、本発明は、前記ビームによる加工が
エッチング、成膜、表面処理、接合の１つまたは２以上
の組み合わせである上記微小ワークの加工装置によって
上記第一の目的を達成する。

【００１５】さらに、本発明は、前記加工室内に支持台
上の微小ワークを中心に球面移動可能に配置された作業
装置と、前記支持台上の微小ワークおよび作業装置を観
察可能な拡大観察装置と、支持台と作業装置とを遠隔操
作する手段とを設け、微小ワークと作業装置とを拡大観
察装置で観察しながら微小ワークに作業装置にて所要の
作業をおこなう上記微小ワークの加工装置によって上記
第二の目的を達成する。

【００１６】また、本発明は、前記作業装置が微小ワー
クを機械加工する工具、微小ワーク表面を分析する分析
装置、微小ワークを観察する観察装置、微小ワークを検
査する検査装置、微小ワークを測定する測定装置、微小
ワークを接合する装置の一つまたはそれ以上からなる上
記微小ワークの加工装置によって上記第二の目的を達成
する。

【００１７】

【作用】本発明による微小ワークの加工装置において
は、ビームに対し微小ワークを直交２方向に移動できる
ばかりではなく、ビーム軸もしくはビーム束の中心軸に
直交もしくは斜交する２つ以上の軸まわりに微小ワーク
を回転させることができるので、微小ワークの任意の加
工面および任意の加工位置にビームに向けることがで
き、これにより微小ワークに多面加工を施して立体構造
の微小物を作製することができる。

【００１８】また、ビーム加工に加えて、ビーム加工中
もしくはビーム加工の前後において、微小ワークに機械
加工、表面分析、測定、観察、検査、接合等の作業を行
う場合は、微小ワークを中心として、それぞれの作業装
置を球面移動させるとともに微小ワークの選択された加
工面を作業装置に向けることができるようにしたので、
作業ごとに微小ワークを搬送したり位置決めする必要が
なく、立体構造をもつ微小物の多面への作業を迅速かつ
精度よく行うことができる。

【００１９】

【実施例】以下、本発明の好適な実施例を添付図に沿っ
て説明する。

【００２０】図１は本発明の一実施例を示すもので、該
実施例のものは微小ワークＷを支持する支持台Ｔと、エ
ネルギービームソースＢとがともに移動可能である場合
を示す。

【００２１】すなわち、微小ワークＷを支持する支持台
Ｔは微小ワークの中心を通る水平軸１回りに回転可能に
直立部材３に支持されており、該直立部材は支持台Ｔの
基端部を通る垂直軸５回りに回転可能に水平部材７に支
持されており、該水平部材は微小ワークの中心を通る垂
直軸９回りに回転可能かつ垂直方向１１に上下動できる
ようにＸＹステージ１３に取り付けられている。ＸＹス
テージは図示のように直交２方向１５，１７に水平部材
を移動することができ、粗動ステージと微動ステージと
を備えている。なお、微小ワークＷは支持台Ｔ上に静電
吸着、接着剤あるいは平坦度の高い接着テープ等により
固定される。

【００２２】１９は支持台Ｔを水平軸１回りに回転させ
る手段、２１は直立部材３を垂直軸５回りに回転させる
手段、２３は水平部材７を垂直軸９回りに回転させかつ
垂直方向１１に上下動させる手段である。

【００２３】これにより、微小ワークＷは直交３方向１
１，１５，１７に移動可能てあるとともに、微小ワーク
の中心を通る水平軸１と垂直軸９回り、および偏心垂直
軸５回りに回転可能となっている。

【００２４】また、エネルギービームソースＢは、図示
のように、エネルギービームソースを支持する第一のア
ーム２５と、第一の水平軸２７を介して第一のアームに
連結された第二のアーム２９と、第一の垂直軸３１を介
して第二のアームに連結された第三のアーム３３と、第
二の水平軸３５を介して第三のアームに連結された第四
のアーム３７とを含み、該第四のアームは第三の水平軸
３９を介して直立部材４１に連結され、該直立部材は第
二の垂直軸４３回りに回転される水平部材４５上に設置
され、該水平部材はＸＹステージ４７上に設置されてい
る。ＸＹステージは図示のように直交２方向４９，５１
に水平部材を移動することができ、粗動ステージと微動
ステージとを備えている。

【００２５】５３は第一のアームを第二のアームに対し
て回転させる手段、５５は第二のアームを第三のアーム
に対して回転させる手段、５７は第三のアームを第四の
アームに対して回転させる手段、５８は第四のアームを
直立部材に対して回転させる手段、５９は水平部材４５
を第二の垂直軸４３回りに回転させる手段である。

【００２６】これにより、エネルギービームソースは、
３つの水平軸２７，３５，３９と２つの垂直軸３１，４
３回りに回転できるとともに、直交２方向４９，５１に
移動可能である。

【００２７】なお、上記エネルギービームソースＢとし
ては、高速原子線、イオンビーム、レーザービーム、ラ
ジカルビーム、電子ビーム、ｘ線等の放射光ビーム、紫
外光ビーム、赤外光ビーム、可視光ビームを使用でき
る。

【００２８】また、これら微小ワークの支持および移動
機構と、エネルギービームソースの支持および移動機構
とは真空等特殊雰囲気におかれる加工室Ｒ内におかれ
る。

【００２９】これら微小ワークの支持台の移動とエネル
ギービームソースの移動とを組み合わせることにより、
微小ワークの支持面以外の加工面の選択、加工位置の選
択、ビームの照射方向の選択が可能である。

【００３０】例えば、微小ワークＷの支持面以外の加工
面の選択は、支持台Ｔを微小ワークの中心を通る水平軸
１および垂直軸９回りに回転させればよい。また、加工
位置の選択は、支持台Ｔを上下方向１１および左右方向
１５に移動させればよい。さらに、ビームの照射方向の
選択は、支持台を垂直軸５および水平軸１回りに回転さ
せることにより行うことができる。

【００３１】微小ワークのより複雑な加工あるいは高精
度な加工を行うには、微小ワーク支持台の上記移動とエ
ネルギービームソースの直交２方向４９，５１の移動お
よび垂直軸３１，４３、水平軸２７，３５，３９回りの
回転とを適宜組み合わせて行う。

【００３２】これら微小ワーク支持台Ｔの移動および回
転と、エネルギービームソースＢの移動および回転は、
拡大監視装置Ｍによって監視することができ、操作者は
支持台上の微小ワークＷとビーム先端を監視する画像表
示装置を見ながら遠隔操作によって操作することができ
る。また、これら支持台およびエネルギービームソース
の移動をあらかじめ決められた加工手順にしたがってコ
ンピュータ制御により行うことも可能である。

【００３３】図２は本発明の他の実施例を示すもので、
該実施例のものはエネルギービームソースＢが加工室Ｒ
内に位置固定されている場合を示す。該実施例では微小
ワークＷの支持台ＴがＸＹステージ６１により水平面内
で直交２方向６３，６５に移動可能であるとともに、直
交および斜交する２軸６７，６９回りに回転されるよう
になっている。

【００３４】該実施例のものでは、微小ワークの支持面
以外の加工面の選択は、支持台Ｔを軸６９回りに回転さ
せることにより可能であり、また加工位置の選択は支持
台を直交２方向に移動させることにより可能である。さ
らに微小ワークへのビーム照射方向の選択は支持台の２
軸６７，６９回りの回転を組み合わせることによつて可
能である。

【００３５】図３は、本発明のさらに他の実施例を示す
もので、該実施例のものは、真空雰囲気に置かれる加工
室Ｒ内で基準位置にある微小ワークＷを中心にエネルギ
ービームソースＢと拡大観察器Ｍとを球面移動可能とな
し、拡大観察器でビーム先端と微小ワークとを観察しな
がらビーム加工できるようにしたものである。

【００３６】このため、加工室内で、微小ワークを支持
する支持台Ｔは第一の水平軸７１回りに回転できるよう
に直立部材７３に支持され、該直立部材は第一の垂直軸
７５回りに回転できるように水平部材７７に支持され、
該水平部材は第二の垂直軸７９回りに回転できるように
支持部材８１によって支持され、該支持部材は第二の水
平軸８３回りに回転できるように直立部材８５によって
支持され、該直立部材は該直立部材を直交３方向８７，
８９，９１に移動する移動ステージ９２上に支持されて
いる。

【００３７】なお、該支持台を第一および第二水平軸７
１および８３まわりに回転させる回転支持機構、および
第一および第二の垂直軸７５および７９回りに回転させ
る回転機構は図示を省略する。

【００３８】微小ワークの支持台を水平軸および垂直軸
まわりに回転可能に支持する回転支持機構は、図示の例
では、基準位置にある支持台上の微小ワークの中心を通
る水平軸７１と垂直軸７９まわりと、該基準位置から偏
心した水平軸８３と垂直軸７５まわりに回転させるよう
になっており、これにより支持台上の微小ワークは４つ
の軸まわりに回転可能となっている。

【００３９】また、エネルギービームソースＢと拡大観
察器Ｍとを球面移動可能に支持する機構は、基準位置に
ある支持台上の微小ワークを中心とする水平の円形ガイ
ド９３と、該円形ガイドに沿って摺動可能に設けられた
２つのスライダ９５，９７と、各スライダに水平軸９９
回りに回転可能に取り付けられた２つの円弧ガイド１０
１，１０３と、一方の円弧ガイドに沿って摺動可能に設
けられたエネルギービームソース支持用のスライダ１０
５と、他方の円弧ガイドに沿って摺動可能に設けられた
拡大観察器支持用のスライダ１０７とを含む。

【００４０】なお、上記エネルギービームソースＢとし
ては、先の実施例と同様に高速原子線、イオンビーム、
レーザービーム、ラジカルビーム、電子ビーム、ｘ線等
の放射光ビーム、紫外光ビーム、赤外光ビーム、可視光
ビームを含む。

【００４１】また、上記拡大観察器Ｍとしては、光学顕
微鏡、レーザー顕微鏡、立体ＳＥＭ（立体走査電子顕微
鏡）、ファイバー利用顕微鏡を含む。

【００４２】動作について説明すると、拡大観察器Ｍに
てエネルギービームソースＢからのビーム先端と微小ワ
ークＷとを観察しながら微小ワークの加工を行う。

【００４３】この際、支持台上の微小ワークの加工面の
加工位置および加工深さを選択するには、それぞれ移動
ステージ９２のＸＹ移動８７，８９および上下移動９１
によって行う。

【００４４】また、エネルギービームソースを移動する
ことなく支持面以外の面を加工するには、基準位置にあ
る支持台上の微小ワークの中心回りに該支持台Ｔを水平
軸７１および垂直軸７９回りに回転させる。

【００４５】また、エネルギービームソースＢを移動す
ることなく微小ワークの加工面に対するビームの入射角
を変えるには、微小ワークの支持台Ｔを偏心水平軸８３
および偏心垂直軸７５回りに回転させればよい。

【００４６】また、エネルギービームソースＢを移動し
て微小ワークの支持面以外の加工面を選択するには、円
形ガイド９３回りのスライダ９５の回転１０９、水平軸
９９回りの円弧ガイド１０１，１０３の回転、円弧ガイ
ド１０１，１０３上のスライダ１０５，１０７の滑りを
組合わせて行う。

【００４７】また、エネルギービームソースＢを移動し
て微小ワークの加工面に対しビーム照射方向を変えるに
は、水平軸９９回りの円弧ガイド１０１，１０３の回転
と該円弧ガイド１０１，１０３上のスライダ１０５，１
０７の滑りを組み合わせればよい。

【００４８】しかし、実際には支持台上の微小ワークＷ
の直交移動および回転と、エネルギービームソースＢお
よび拡大観察器Ｍの移動を同時に行って、微小ワークの
支持面以外の加工面の選択、加工位置の選択、加工面に
対するビームの入射角の選択を行うことにより、微小ワ
ークに対するより複雑で高精度な立体加工を行うことが
できる。

【００４９】図４は本発明のさらに他の実施例を示す。

【００５０】該実施例のものは、ビーム加工と同時にあ
るいはビーム加工の前後にビーム加工以外の他の作業を
行うことができる装置である。

【００５１】該装置は、バッファー室ＢＲと、加工室Ｒ
とを含み、これらの室の間には、ゲートバルブＶが設け
られ、該ゲートバルブを開閉することによって微小ワー
クを作業台ごと直線ガイドＧに沿って室間を移動できる
ようになっている。

【００５２】バッファー室ＢＲは、加工室Ｒの雰囲気を
損なわずに該加工室への微小ワークの搬入、搬出を可能
とする。

【００５３】加工室には、ビーム加工の他にさらに微小
ワークに機械加工、表面分析、測定、観察、組み立て、
接合などの作業をおこなうための装置が設けられてい
る。

【００５４】すなわち、加工室内には、図３の微小ワー
ク支持台の移動機構と同様に、微小ワーク支持台を直交
３方向に移動できる移動ステージ９２と、微小ワーク支
持台Ｔを微小ワークＷの中心を通る水平軸７１および垂
直軸７９回りと偏心水平軸８３および偏心垂直軸７５回
りに回転させる回転機構とが直線スライダＳ上に設けら
れ、該直線スライダは直線ガイドＧに沿って移動可能で
ある。

【００５５】また、加工室内には、直線スライダＳと微
小ワークの支持台Ｔが基準位置にあるとき微小ワークの
ほぼ真上に位置決めされたビームガンＢが設けられ、支
持台上の微小ワークへ真上からビームを照射できるよう
になっている。

【００５６】また、直線スライダと支持台が基準位置に
あるとき支持台上の微小ワークとほぼ同心に水平の円形
ガイド９３が設けられ、該円形ガイドに沿って複数のス
ライダ９５，９７（図では２つ）が摺動可能に設けら
れ、各スライダに円弧形のガイド１０１，１０３が取り
付けられ、該円弧ガイドに沿って摺動可能なスライダ１
０５，１０７には種々の作業装置１１１，１１３が固定
されている。これにより、各作業装置１１１，１１３は
支持台上の微小ワークを中心として球面移動できるよう
になっている。

【００５７】また、上記円弧ガイド１０１，１０３の上
方にはこれらの円弧ガイドと同心に複数の円弧ガイド１
１５，１１７が設けられ、各円弧ガイド上にスライダ１
１９，１２１が摺動可能に取り付けられ、該スライダに
他の作業装置１２３，１２５が固定してある。該上方の
円弧ガイドは、図示の例では垂直平面内に固定配置され
ているが、必要ならば下方の円弧ガイドと同様に水平な
円形ガイドに沿って摺動させ、これによって作業装置を
微小ワークを中心として球面移動させることができる。
あるいは、作業装置が微小ワークを中心として球面移動
できるように直接作業室の壁面にマニュピレータを介し
て取り付けてもよい。

【００５８】上記下方のスライダ１０５，１０７に取り
付けられる作業装置１１１，１１３としては、例えば表
面分析プローブやマイクロ切削工具、あるいはマイクロ
ピンセット、静電脱着工具、マイクロ吸引・脱離工具、
マイクロ接合用加熱器などである。また上方のスライダ
１１５，１１７に取り付けられる作業装置１２３，１２
５としては光学顕微鏡、ＡＦＭ（原子間力顕微鏡）また
はＳＴＭ（走査型トンネル顕微鏡）などである。

【００５９】表面分析プローブは、例えばレーザ光を微
小ワーク表面に当て、その反射光を該プローブと反対側
にある円弧ガイド上の取り込みプローブより試料分析器
に取り込んで微小ワーク表面の試料分析をおこなうもの
であるが、微小ワークの表面電位を測定する必要がある
場合は、プローブを電位測定可能なものとして直接微小
ワークの表面に接触させて電位を測定することもでき
る。

【００６０】マイクロピンセットは対抗先端部の開閉で
微小ワークを把持、解放するもの、マイクロ静電脱着工
具は先端に静電界を与え、与える電圧の変化（プラス、
マイナス）や振動を利用して微小ワークの吸着、離脱を
おこなうもの、マイクロ吸引・脱離工具は先端穴より空
気をポンプで吸入し、微小ワークにかかる圧力差や動圧
によって微小ワークを先端穴に吸着、解放するもの、マ
イクロ接合用加熱器は先端が加熱され微小ワークを局所
的に加熱して接着剤等を均等に塗布するものである。

【００６１】また、上記光学顕微鏡は、支持台上の微小
ワークの加工状態や作業装置の作業先端を高倍率で観察
できるものであり、またＡＦＭ（原子間力顕微鏡）は導
電性、非導電性の微小ワーク表面の原子配列状態を原子
レベルで観察できるものであり、さらにＳＴＭ（走査型
トンネル顕微鏡）は導電性の微小ワーク表面の原子配列
状態を観察できるものである。これらの観察装置からの
入力情報は操作者にリアルタイムで画像情報として伝達
されるようになっている。

【００６２】これらの作業装置は予め円弧ガイド上のス
ライダに取り付けておき、必要に応じて選択して使用す
るか、あるいは必要に応じて他の作業装置と交換して使
用することができる。

【００６３】このように、微小ワークを直交３軸方向お
よび水平および垂直軸回りに回転できる微小ワークの移
動機構と、該微小ワークを中心として球面移動できるよ
うに配置された各種の作業装置とをビーム加工装置と組
み合わせることにより、微小ワークの３次元ビーム加工
とともに、該ビーム加工に付随する各種の作業を迅速か
つ精度よく行うことができる。この際、微小ワークの任
意の加工面と加工位置に作業を行うことができる。

【００６４】なお、微小ワークの移動機構は、図３のも
のに限られず、図１または図３のものであってもよい。

【００６５】また、上記ゲートバルブの開閉、直線ガイ
ドに沿ってのスライダの移動および停止、微小ワーク支
持台の直線移動および回転は、操作者によりこれらの状
態を監視する画像表示装置を見ながら遠隔操作によって
行うことがができる。

【００６６】また、各スライダの動きと作業装置の操作
も同様に、それぞれの動きを画像表示装置や音響表示装
置などで監視しながら遠隔操作することができる。

【００６７】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明によれ
ば、ビームに対し微小ワークを直交２方向に移動させる
ばかりではなく、ビーム軸もしくはビーム束の中心軸に
直交もしくは斜交する２つ以上の軸まわりに微小ワーク
を回転させるようにしたので、微小ワークの加工面の選
択、加工位置の選択、ビームの照射方向の選択が可能と
なり、これにより多面加工を要する３次元構造体の微小
物を作製することができる。

【００６８】また、ビーム加工に加えて、ビーム加工中
もしくはビーム加工の前後において、微小ワークに機械
加工、表面分析、測定、観察、検査、接合等の作業を行
う場合は、上記微小ワークの移動機構に加えて、微小ワ
ークを中心として、それぞれの作業装置を球面移動でき
るように配置したので、作業ごとにいちいち微小ワーク
を搬送および位置決めする必要はなく立体構造をもつ微
小物の多面への作業を迅速かつ精度よく行うことができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例よる微小ワークの加工装置を
示す斜視図である。

【図２】本発明の他の実施例示をす部分概略図である。

【図３】本発明のさらに他の実施例を示す概略側面図で
ある。

【図４】本発明のまた別の実施例を示す概略側面図であ
る。

【符号の説明】

Ｂ：エネルギービームソース Ｒ：加工室 Ｔ：支持台 Ｗ：微小ワーク Ｍ：拡大観察装置 １３，４７，６１，９２：移動ステージ １９，２１，２３：支持台回転手段 ２７，５５，５７，５９：エネルギービームソース回転
手段 ９３：円形ガイド １０１，１０３，１１５，１１７：円弧ガイド ９５，９７，１０５，１０７１１９，１２１：スライダ １１１，１１３，１２３，１２５：作業装置

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 加工室と、該加工室内に設けられたエネ
   ルギービームソースと、該加工室内にて前記微小ワーク
   を支持する台と、該支持台を加工室内で移動させる支持
   台移動機構とを備えた微小ワークの加工装置において、
   前記支持台移動機構が該微小ワークの支持台を直交２方
   向に移動可能かつ該エネルギービームソースからのビー
   ム軸もしくはビーム束の中心軸に直交もしくは斜交する
   ２以上の軸まわりに回転可能であり、当該ビームと微小
   ワークとの相対位置関係を予め変化させもしくは変化さ
   せながら、微小ワークの３次元ビーム加工をおこなうこ
   とを特徴とする微小ワークの加工装置。
2. 【請求項２】 前記支持台移動機構が微小ワークの支持
   台を直交３方向に移動可能である請求項１の微小ワーク
   の加工装置。
3. 【請求項３】 前記エネルギービームソースが加工室内
   にて位置固定されている請求項１の微小ワークの加工装
   置。
4. 【請求項４】 前記エネルギービームソースが加工室内
   にて直交２方向に移動可能かつ複数の軸まわりに回転可
   能に設けられている請求項１の微小ワークの加工装置。
5. 【請求項５】 前記エネルギービームソースが加工室内
   で支持台上の微小ワークを中心に球面移動可能に配置さ
   れている請求項１の微小ワークの加工装置。
6. 【請求項６】 前記ビームによる加工がエッチング、成
   膜、表面処理、接合の１つまたは２以上の組み合わせで
   ある請求項１ないし５のいずれかによる微小ワークの加
   工装置。
7. 【請求項７】 前記加工室内に支持台上の微小ワークを
   中心に球面移動可能に配置された作業装置と、前記支持
   台上の微小ワークおよび作業装置を観察可能な拡大観察
   装置と、支持台と作業装置とを遠隔操作する手段とを設
   け、微小ワークと作業装置とを拡大観察装置で観察しな
   がら微小ワークに作業装置にて所要の作業をおこなうこ
   とを特徴とする請求項１ないし６のいずれかによる微小
   ワークの加工装置。
8. 【請求項８】 前記作業装置は微小ワークを機械加工す
   る工具、微小ワーク表面を分析する分析装置、微小ワー
   クを観察する観察装置、微小ワークを検査する検査装
   置、微小ワークを測定する測定装置、微小ワークを接合
   する装置の一つまたはそれ以上からなる請求項７の微小
   ワークの加工装置。