JP2004114190A

JP2004114190A - 微細加工用工具

Info

Publication number: JP2004114190A
Application number: JP2002278557A
Authority: JP
Inventors: Naoya Omori; 大森　直也
Original assignee: Sumitomo Electric Industries Ltd
Current assignee: Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date: 2002-09-25
Filing date: 2002-09-25
Publication date: 2004-04-15

Abstract

【課題】優れた寿命および高い加工精度を持つ微細加工用工具を提供する。
【解決手段】本発明の微細加工用工具１０は、工具の少なくとも加工に寄与する部分１ａが単一の単結晶ＴｉＣより構成されている。また超硬合金よりなるシャンク部２を有し、超硬合金よりなる部分と単一の単結晶炭化チタンよりなる部分とが接合されている。またサーメットよりなるシャンク部を有し、サーメットよりなる部分と単一の単結晶炭化チタンよりなる部分が接合されている。
【選択図】　　　　図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、微細加工を実現するための微細加工用工具に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、プリント基板穴あけ用の極小径ドリル（以下、マイクロドリルと称する）に代表される電子機器類への微細加工用工具や、マイクロマシン製作時に用いる部品加工用工具などの、微細加工用途の工具の必要性が高まっている。これら超微細加工方法としては、レーザ加工や電解加工といった被削材との非接触加工による加工方法と、切削加工、超音波加工、ワイヤ放電加工といった被削材に対して直接工具を接触させ、塑性変形を起こす加工方法とがある。
【０００３】
後者の方法による超微細加工時に用いる工具の材料としては現在、超硬合金またはサーメットが一般的に用いられている。超硬合金やサーメットは、高硬度の硬質相（ＷＣ（炭化タングステン）やＴｉＣ（炭化チタン））と、これらを結合する結合相（鉄系金属：主としてＣｏ（コバルト）やＮｉ（ニッケル）が用いられている）とから構成されている。
【０００４】
近年、加工サイズが小さくなるにつれて工具の加工に寄与する部分（具体的には刃部：穴あけ加工工具においてはドリル径）の極小化が進んでいる。このため、超硬合金やサーメットでは、硬質相であるＷＣを微細化することにより合金の靭性を高めるための開発がなされている。このような微細加工用工具は、たとえば以下の特許文献１〜特許文献６の各々に記載されている。
【０００５】
また、それと同時に昨今、市場では被削材の難削化が進んだこと、および加工能率を高めるためにより切削条件が過酷なものとなったことにより、工具の耐摩耗性の改善が求められるようになってきた。同時に加工穴精度の改善要求の声も大きい。このために、たとえば以下の特許文献７のように微細加工用工具の表面に被覆層を形成する技術が開発された。
【０００６】
【特許文献１】
特開２００１−１７９５１５号公報
【０００７】
【特許文献２】
特開２００１−１７９５２２号公報
【０００８】
【特許文献３】
特開２００１−２３９４１１号公報
【０００９】
【特許文献４】
特開２００１−２６９８０９号公報
【００１０】
【特許文献５】
特開２００１−２４０９２０号公報
【００１１】
【特許文献６】
特開２００１−２００３２９号公報
【００１２】
【特許文献７】
特開平４−２７５８１２号公報
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記の特開平４−２７５８１２号公報（特許文献７）の技術においては、被覆層の硬度不足により被覆層が初期に大きく摩耗して工具寿命延長ができなかったり、被覆層と基材との密着強度不足により使用初期に被覆層の剥離が生じたことで基材が大きく摩耗して工具寿命延長ができなかったり、被覆層を形成したことにより切屑と工具との切削抵抗が高くなり加工品質が劣化したり、被覆層を形成したことでマイクロドリルの強度が落ちて初期に折損するなどの問題が生じて、未だ市場ニーズを満たしているとはいえない。
【００１４】
一方、加工穴位置精度を高めるためには工具外周を高硬度とすることが最も効果的な対策である。しかし、この場合、工具が強度不足により初期に折損することが多い。またＷＣ粒の微細化も現状は必ずしも市場のニーズを満たしていない。
【００１５】
それゆえ本発明の目的は、優れた寿命および高い加工精度を持つ微細加工用工具を提供することである。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明の微細加工用工具は、工具の少なくとも加工に寄与する部分が単一の単結晶炭化チタンを備えたことを特徴とするものである。
【００１７】
本発明をするに至った経緯およびその作用効果について以下に説明する。
現在、微細加工用工具材料として工業的に広く用いられているサーメットは、一般的に原料粉末を粉砕混合し、それをプレス成形し、焼結してから砥石などで目的形状・目的寸法精度まで加工される。合金組織は主として硬質相である炭化チタンを主成分とする相と、結合相である鉄系金属とから構成され、この硬質相粒子は微細化するほど合金強度が高まり、工具として使用した際の耐折損強度が高まる。このため硬質相を微細化する試みがなされてきた。
【００１８】
サーメット合金製造過程の重要な工程である焼結工程は液相焼結のため、焼結中に硬質相がオストワルド成長し、硬質相粒子径は焼結前のそれより大きくなってしまう。また工具として使用した場合、結合相の部分は耐摩耗性が低いことが問題となる。また結合相の存在のために合金のヤング率が低下し、工具使用時に合金が弾性変形して加工精度が劣化することも問題である。
【００１９】
これらの問題点を解決するために研究を実施した結果、工具の少なくとも加工に寄与する部分に単結晶炭化チタンを用いることで、これらの問題を一気に解決できることを見出した。つまり、少なくとも加工に寄与する部分が単一の単結晶炭化チタンを備えることにより、結合相が不要となるため、耐摩耗性が向上することにより寿命が改善され、かつヤング率も高くできることにより工具使用時の弾性変形が抑制されて高い加工位置精度が得られる。
【００２０】
上記の微細加工用工具において好ましくは、工具の全体が単一の単結晶炭化チタンよりなっている。
【００２１】
これにより、工具全体として耐摩耗性およびヤング率を向上することができ、寿命および加工位置精度をさらに改善することが可能となる。
【００２２】
上記の微細加工用工具において好ましくは、工具の先端部が単一の単結晶炭化チタンよりなっている。
【００２３】
これにより、先端部で加工を行なう工具においても、寿命が改善され、かつ高い加工位置精度が得られる。
【００２４】
上記の微細加工用工具において好ましくは、超硬合金よりなるシャンク部を有し、その超硬合金よりなる部分と単一の単結晶炭化チタンよりなる部分とが接合されている。
【００２５】
これにより、加工に寄与する部分とシャンク部とのそれぞれに適した材質を別途に選ぶことができる。
【００２６】
上記の微細加工用工具において好ましくは、超硬合金よりなる部分と単一の単結晶炭化チタンよりなる部分との接合部において、超硬合金よりなる部分は傾斜組成を有している。
【００２７】
これにより、超硬合金よりなる部分と単結晶炭化チタンよりなる部分との密着力を高めることができる。
【００２８】
上記の微細加工用工具において好ましくは、サーメットよりなるシャンク部を有し、そのサーメットよりなる部分と単一の単結晶炭化チタンよりなる部分とが接合されている。
【００２９】
これにより、加工に寄与する部分とシャンク部とのそれぞれに適した材質を別途に選ぶことができる。
【００３０】
上記の微細加工用工具において好ましくは、サーメットよりなる部分と単一の単結晶炭化チタンよりなる部分との接合部において、サーメットよりなる部分は傾斜組成を有している。
【００３１】
これにより、サーメットよりなる部分と単一の単結晶炭化チタンよりなる部分との密着力を高めることができる。
【００３２】
上記の微細加工用工具において好ましくは、単一の単結晶炭化チタン表面に非晶質カーボン層が物理的蒸着法により形成されている。
【００３３】
このように非晶質カーボン層を被覆することにより、工具のさらなる寿命延長、優れた被削材加工面および高い加工精度を実現することができる。
【００３４】
上記の微細加工用工具において好ましくは、非晶質カーボン層の層厚が０．００５μｍ以上３．０μｍ以下である。
【００３５】
これにより、耐摩耗性向上の効果を得ることができる。非晶質カーボン層の層厚が０．００５μｍ未満の場合には耐摩耗性向上の効果が低く、また３．０μｍを越える場合には大きな耐摩耗性の改善が認められないため、経済的ではない。
【００３６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図に基づいて説明する。
【００３７】
図１は、本発明の一実施の形態における微細加工用工具の一例の構成を概略的に示す図である。図１を参照して、微細加工用工具１０は、たとえばマイクロドリルであり、工具先端に設けられた切刃部１ａと、シャンク部２と、切刃部１ａからシャンク部２まで延びる溝形成部３ａとを主に有している。この微細加工用工具１０の少なくとも加工に寄与する部分（具体的には刃部（切刃部１ａ））が単一の単結晶炭化チタン（ＴｉＣ）を備えている。
【００３８】
なお、切刃部１ａが単一の単結晶ＴｉＣよりなっていれば、切刃部１ａのみが単結晶ＴｉＣよりなっていてもよく、また切刃部１ａと溝形成部３ａとのみが単結晶ＴｉＣよりなっていてもよく、また切刃部１ａと溝形成部３ａとシャンク部２とを含む微細加工用工具１０の全体が単一の単結晶ＴｉＣよりなっていてもよい。この場合、微細加工用工具１０の単一の単結晶ＴｉＣ以外の部分は、たとえば超硬合金またはサーメットよりなっていることが好ましい。
【００３９】
単結晶ＴｉＣの製造方法としては、たとえばメンストラム法、溶融ＴｉＣを用いた引上げ法他、如何なる方法が用いられてもよい。得られた単結晶ＴｉＣはダイヤモンド砥石による加工、放電ワイヤ加工、レーザ加工などの方法を用いて目的形状に加工される。この加工には如何なる方法が用いられてもよい。
【００４０】
また図２に示すように、微細加工用工具１０の加工に寄与する先端部１ｂが単一の単結晶ＴｉＣよりなっていることが好ましい。この場合も、先端部１ｂが単一の単結晶ＴｉＣよりなっていれば、先端部１ｂのみが単一の単結晶ＴｉＣよりなっていてもよく、また先端部１ｂとドリル軸３ｂとのみが単一の単結晶ＴｉＣよりなっていてもよく、また先端部１ｂとドリル軸３ｂとシャンク部２とを含む微細加工用工具１０の全体が単一の単結晶ＴｉＣよりなっていてもよい。この場合、微細加工用工具１０の単一の単結晶ＴｉＣ以外の部分は、たとえば超硬合金またはサーメットよりなっていることが好ましい。
【００４１】
また製造に用いる単結晶ＴｉＣの粒径が如何なるサイズでも本実施の形態の効果が得られる。工具の一部を単結晶ＴｉＣとした場合、その単結晶ＴｉＣよりなる部分と工具のそれ以外の部分とは、接着、ろう付け、圧入、通常焼結、パルス通電焼結、マイクロ波焼結などの方法により接合される。
【００４２】
ここで、図１における切刃部１ａまたは図２における先端部１ｂのみを単一の単結晶ＴｉＣで構成する場合には、切刃部１ａと溝形成部３ａとの接合部または先端部１ｂとドリル軸３ｂとの接合部が上記の方法により接合される。また図１における切刃部１ａおよび溝形成部３ａまたは図２における先端部１ｂおよびドリル軸３ｂのみを単一の単結晶ＴｉＣで構成する場合には、溝形成部３ａとシャンク部２との接合部またはドリル軸３ｂとシャンク部２との接合部が上記の方法により接合される。
【００４３】
また、上記接合が行なわれてから目的形状となるように加工が施されてもよく、各部材が予め目的形状に加工されてから上記接合が行なわれてもよい。
【００４４】
また、微細加工用工具１０の単一の単結晶ＴｉＣ以外の部分に超硬合金を用いた場合には、単一の単結晶ＴｉＣ（つまりＴｉＣが１００質量％）よりなる部分と超硬合金よりなる部分（たとえば組成がＷＣ−５質量％ＴｉＣ−８質量％Ｃｏ）とが組成的に不連続に接合されていてもよく、またその接合部において超硬合金部分が図３に示すように傾斜組成部を有していてもよい。ここで傾斜組成部とは、単結晶ＴｉＣ側へ向かうほど超硬合金内の鉄系金属の含有量が少なくなる部分を意味する。
【００４５】
また、微細加工用工具１０の単一の単結晶ＴｉＣ以外の部分にサーメットを用いた場合には、単一の単結晶ＴｉＣ（つまりＴｉＣが１００質量％）よりなる部分とサーメットよりなる部分（たとえば組成がＴｉＣ−８質量％Ｎｉ）とが組成的に不連続に接合されていてもよく、またその接合部においてサーメット部分が図３に示すように傾斜組成部を有していてもよい。
【００４６】
さらに図４に示すように、単一の単結晶ＴｉＣよりなる部分１１の表面に非晶質カーボン層１２が形成されてもよく、これにより工具のさらなる寿命延長および／または優れた被削材加工面および／または高い加工精度を得ることができる。また非晶質カーボン層１２は、単結晶ＴｉＣよりなる部分１１以外に鉄系金属を結合相とした硬質材料よりなる部分（超硬合金部またはサーメット部）上に被覆される場合にも有効である。また、その使用用途によって、非晶質カーボン層１２のさらに表面に化学的蒸着法や物理的蒸着法で被覆層を形成する場合があるが、この場合でも本実施の形態の効果は失われない。本実施の形態では、その使用用途を微細加工用工具としたが、これ以外の用途にも本発明の適用は十分可能である。
【００４７】
ここで、非晶質カーボン層１２は硬質炭素膜、ダイヤモンドライクカーボン膜、ＤＬＣ膜、ａ−Ｃ：Ｈ、ｉ−カーボン膜などと呼ばれるものであるが、本実施の形態では、優れた耐摩耗性を示すべく、ダイヤモンドに匹敵する高い硬度を得るために、非晶質カーボン層１２はグラファイトを原料とした水素を含まない雰囲気下の物理的蒸着法により形成されるものであることが好ましい。また、この非晶質カーボン層１２は故意に反応ガスを入れずに成膜すれば、成膜中に不可避的に含まれる不純物を除いて炭素原子から構成されることとなり、上述の水素を含む非晶質カーボン層よりダイヤモンド構造に近い構造をとることで硬度を高くできると同時に耐酸化特性もダイヤモンドと同等の約６００℃近くにまで改善することができる。
【００４８】
グラファイトを出発原料とした物理的蒸着法の中でも、一般に工業的に用いられる、たとえば陰極アークイオンプレーティング法、レーザアブレーション法、またはスパッタリング法であれば、成膜速度も高く、ダイヤモンド膜で問題となっていた製造コストにも問題はなくなる。被膜の密着力、膜硬度の点で、陰極アークイオンプレーティング法による成膜が好ましい。この陰極アークイオンプレーティング法は、原料のイオン化率が高いため、主にカーボンイオンが基材に照射されることにより非晶質炭素膜が形成されるため、ｓｐ３結合の比率が高く、緻密な膜が得られ、硬度が高くなるため、工具として使用した場合、その寿命を大きく向上させることができる。
【００４９】
陰極アークイオンプレーティング法により形成した非晶質カーボン層の表面には、マクロパーティクルと呼ばれる硬質粒子が存在する。この表面に存在するマクロパーティクルの密度が小さいほど切削抵抗が小さくなるおよび／または切屑排出性が改善されるため望ましく、０個／ｍｍ^２以上３×１０^５個／ｍｍ^２以下、より好ましくは０個／ｍｍ^２以上１．５×１０^５個／ｍｍ^２以下であることが好ましい。マクロパーティクルの密度が３×１０^５個／ｍｍ^２よりも大きいと、被削材がこのマクロパーティクルに溶着して切削抵抗を上げるため好ましくない。
【００５０】
さらに、非晶質カーボン層の表面粗度をよくするために、グラファイト原料からの粒状飛散物を防止するような、たとえば低エネルギによる成膜や磁場によるフィルタを用いる方法も提案することができる。また、切削抵抗の点から、非晶質カーボン層の表面粗さは、できるだけ平滑であることが望ましく、ＪＩＳ規格Ｒａの表示で０．０５μｍ以下であることが望ましい。また非晶質カーボン層の硬度は、耐摩耗性確保のため、ヌープ硬度で２０ＧＰａ以上、さらに好ましくは２５ＧＰａ以上である。
【００５１】
この非晶質カーボン層の層厚は０．００５μｍ以上３．０μｍ以下であることが好ましい。非晶質カーボン層の層厚が０．００５μｍ未満の場合は耐摩耗性向上の効果が低く、また３．０μｍを超えても大きな耐摩耗性の改善は認められないため経済的ではない。また、非晶質カーボン層の形成後、この非晶質カーボン層の表面を平滑化するなどの被覆後の後処理を実施しても、本実施の形態の効果は失われない。
【００５２】
本発明の微細加工用工具はその耐摩耗性、剛性および耐溶着性に優れることから、特にプリント基板加工用マイクロドリル、マイクロエンドミルまたはルータとして用いられることが望ましい。また、本発明の微細加工用工具は、アルミニウムチタン、マグネシウム、銅およびそれらの合金などの非鉄材の加工に使用することも可能である。また本発明の微細加工用工具は非常に高硬度であることから、非鉄材だけでなく、ステンレス鋼などの鋼や鋳物などの加工にも用いることができる。
【００５３】
また、本発明の微細加工用工具はドリル、エンドミル、エンドミル加工用刃先交換型チップ、フライス加工用刃先交換型チップ、切削用刃先交換型チップ、メタルソー、歯きり工具、リーマおよびタップからなる群より選ばれた１種を含む用途に使用されることが好ましい。
【００５４】
次に、本実施の形態の微細加工用工具の効果について、実施例により具体的に説明する。但し、非晶質カーボン層の成膜方法は、ここで用いた製法に限られるものではなく、グラファイトを用いたＰＶＤ（Ｐｈｙｓｉｃａｌ　Ｖａｐｏｒ　Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法で成膜されたものであれば、いずれの方法であってもよい。以下に実施例を示す。
【００５５】
【実施例】
以下、本発明の実施例について説明する。
【００５６】
公知のメンストラム法を用いて粒径２７００μｍのＴｉＣ単結晶を製造した。このＴｉＣ単結晶を用いて以下の本発明例のマイクロドリル１〜９を作製した。
【００５７】
本発明例マイクロドリル１：上記ＴｉＣ単結晶をφ１００μｍのマイクロドリルに加工した。
【００５８】
本発明例マイクロドリル２：上記ＴｉＣ単結晶をφ２００μｍ、Ｌ２０００μｍの丸棒に加工した後、ＷＣ−６質量％の超硬合金に圧入した後、φ１００のマイクロドリルに加工した。刃部はすべて単結晶ＴｉＣとした。
【００５９】
本発明例マイクロドリル３：上記ＴｉＣ単結晶をφ２００μｍ、Ｌ２０００μｍの丸棒に加工した後、ＴｉＣ−１０質量％Ｎｉのサーメット合金に圧入した後、φ１００のマイクロドリルに加工した。刃部はすべて単結晶ＴｉＣとした。
【００６０】
本発明例マイクロドリル４：上記ＴｉＣ単結晶の上に、ＴｉＣ−１０質量％Ｎｉの混合粉末を１０００μｍの厚みで配置し、パルス通電焼結で焼結した後、この合金をφ１００μｍのマイクロドリルに加工した。
【００６１】
本発明例マイクロドリル５：上記ＴｉＣ単結晶の上に、ＷＣ−５質量％ＴｉＣ−１０質量％Ｎｉの混合粉末を１０００μｍの厚みで配置し、パルス通電焼結で焼結した後、この合金をφ１００μｍのマイクロドリルに加工した。
【００６２】
本発明例マイクロドリル６：上記ＴｉＣ単結晶の上に、ＴｉＣ−０．５質量％Ｎｉの混合粉末を２００μｍの厚みで配置し、さらにその上にＴｉＣ−１．０質量％Ｎｉの混合粉末を２００μｍの厚みで配置し、さらにその上にＴｉＣ−２．０質量％Ｎｉの混合粉末を２００μｍの厚みで配置し、さらにその上にＴｉＣ−５質量％Ｎｉの混合粉末を２００μｍの厚みで配置し、さらにその上にＴｉＣ−１０質量％Ｎｉの混合粉末を５０００μｍの厚みで配置し、パルス通電焼結した後、φ１００μｍのマイクロドリルに加工した。
【００６３】
本発明例マイクロドリル７：上記ＴｉＣ単結晶の上に、ＴｉＣ−０．５質量％Ｎｉの混合粉末を２００μｍの厚みで配置し、さらにその上にＷＣ−０．２質量％ＴｉＣ−１．０質量％Ｃｏの混合粉末を２００μｍの厚みで配置し、さらにその上にＷＣ−０．５質量％ＴｉＣ−２．０質量％Ｃｏの混合粉末を２００μｍの厚みで配置し、さらにその上にＷＣ−１．０質量％ＴｉＣ−５質量％Ｃｏの混合粉末を２００μｍの厚みで配置し、さらにその上にＷＣ−５質量％ＴｉＣ−１０質量％Ｃｏの混合粉末を５０００μｍの厚みで配置し、パルス通電焼結した後、φ１００μｍのマイクロドリルに加工した。
【００６４】
本発明例マイクロドリル８：本発明例マイクロドリル１の表面に公知の真空アーク放電によるイオンプレーティング法を用いて、その表面に０．２μｍの非晶質カーボン層を形成した。
【００６５】
本発明例マイクロドリル９：本発明例マイクロドリル１の表面に公知の真空アーク放電によるイオンプレーティング法を用いて、その表面に０．００４μｍの非晶質カーボン層を形成した。
【００６６】
また、比較のために、以下の比較例のマイクロドリルも作製した。
比較例マイクロドリル：ＴｉＣＮ−５質量％Ｍｏ_２Ｃ−５質量％ＷＣ−４質量％ＴｉＣ−２質量％ＮｂＣ−５質量％Ｃｏ−５質量％Ｎｉの原料粉末について湿式混合を１３時間行なった後、１ｔｏｎ／ｃｍ^２の圧力にてプレス成形し、真空中で４．０℃／ｍｉｎの昇温速度で１４００℃まで昇温し、真空中で６０分間保持してから同じく真空中で冷却を行なった。この合金をダイヤモンド砥石を用いてφ１００μｍのマイクロドリルに加工した。
【００６７】
これらのマイクロドリルを用いて、以下の条件で穴あけ加工を行なった。
被削材：リジット基板（厚み０．４ｍｍ）
回転速度：１８０，０００ｒ．ｐ．ｍ．
送り：１３μｍ／ｒｅｖ．
上記の穴あけ加工を行なったところ、本発明例のマイクロドリル１〜９では、８０００穴目加工を行なっても刃先摩耗量は極めて小さく、加工穴品質も優れており、穴あけ位置精度も平均で６μｍ以下であった。特に本発明例のマイクロドリル８はすべての点で最も優れていた。これに対し、比較例のマイクロドリルは１５００穴目加工の終了時点で刃先の摩耗が大きく寿命となっていた。加えて穴あけ位置精度は加工初期から１０μｍ以上であった。
【００６８】
また本発明のマイクロドリル８以外の本発明のマイクロドリル１〜７および９の先摩耗量はほぼ同じ摩耗量であった。つまり本発明のマイクロドリル９は非晶質カーボン層をコーティングしているが、その層厚が０．００５μｍ未満であったため、非晶質カーボン層のコーティングによる耐摩耗性向上の効果が認められなかった。
【００６９】
今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【００７０】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の微細加工用工具は、従来の工具と比較して優れた性能を示すことが明らかである。また本発明の微細加工用工具は従来ではなし得なかった微小な加工、たとえば穴あけ加工においても長期に亘り、良好な寸法精度の穴あけ加工を行なうことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態における微細加工用工具の一例の構成を示す図である。
【図２】本発明の一実施の形態における微細加工用工具の他の例の構成を示す図である。
【図３】傾斜組成を説明するための図である。
【図４】非晶質カーボン層が形成された様子を示す断面図である。
【符号の説明】
１ａ　切刃部、１ｂ　先端部、２　シャンク部、３ａ　溝形成部、３ｂ　ドリル軸、１０　微細加工用工具、１１　単結晶ＴｉＣよりなる部分、１２　非晶質カーボン層。

Claims

工具の少なくとも加工に寄与する部分が単一の単結晶炭化チタンを備えたことを特徴とする、微細加工用工具。
工具の全体が単一の単結晶炭化チタンよりなっていることを特徴とする、請求項１に記載の微細加工用工具。
工具の先端部が単一の単結晶炭化チタンよりなっていることを特徴とする、請求項１に記載の微細加工用工具。
超硬合金よりなるシャンク部を有し、前記超硬合金よりなる部分と前記単一の単結晶炭化チタンよりなる部分とが接合されていることを特徴とする、請求項１または３に記載の微細加工用工具。
前記超硬合金よりなる部分と前記単一の単結晶炭化チタンよりなる部分との接合部において、前記超硬合金よりなる部分は傾斜組成を有していることを特徴とする、請求項４に記載の微細加工用工具。
サーメットよりなるシャンク部を有し、前記サーメットよりなる部分と前記単一の単結晶炭化チタンよりなる部分とが接合されていることを特徴とする、請求項１または３に記載の微細加工用工具。
前記サーメットよりなる部分と前記単一の単結晶炭化チタンよりなる部分との接合部において、前記サーメットよりなる部分は傾斜組成を有していることを特徴とする、請求項６に記載の微細加工用工具。
前記単一の単結晶炭化チタンの表面に非晶質カーボン層が物理的蒸着法により形成されていることを特徴とする、請求項１に記載の微細加工用工具。
前記非晶質カーボン層の層厚が０．００５μｍ以上３．０μｍ以下であることを特徴とする、請求項８に記載の微細加工用工具。