JP2012155870A - 試料ホルダー及び試料ホルダー駆動装置 - Google Patents
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Abstract
ホルダー本体の略長手方向の軸周りに回転可能な機構を有する試料ホルダー及び試料ホルダー駆動装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明の試料ホルダーは、試料ホルダー本体と、試料を保持するための試料固定台とからなる試料ホルダーであって、前記試料ホルダーの内部において、顕微鏡の試料駆動装置とは無関係に、前記試料固定台を前記試料ホルダー本体の略長手方向の軸周りに360度回転可能とする回転機構を有することを特徴とする。また、本発明の試料ホルダーの好ましい実施態様において、さらに、前記ホルダー本体の略長手方向に直交する軸周りに回転可能な軸傾斜機構を有することを特徴とする。
【選択図】 図5
Description
11 焦点面、および ホルダー挿入軸面
12 一般的なX線検出器の取り付け角軸
13 対物用の電子線レンズのポールピース(P−P)上極
14 対物用の電子線レンズのポールピース(P−P)下極
15 β傾斜軸の支点保持部材(背景の技術)
16 β傾斜が可能な試料台(背景の技術)
17 試料
18 試料の固定用部材(背景の技術)
19 β傾斜軸が可能な試料台
20 試料の固定用部材
21 フレーム部材(試料ホルダー主軸21aの先端に設けた一体の部材)
21a 試料ホルダー主軸
22 リンク部材1
23 リンク部材2
24 リンク部材3
25 リンク部材4 (β傾斜試料台フレームアーム)
26 固定ピン1
27 固定ピン2
28 移動ピン1
29 移動ピン2
30 組み付けピン1
31 移動ピン3
32 駆動力点
33 β回転軸位置
34 駆動力点の動き
35 β傾斜駆動フレームアーム
36 試料台
37 試料台とβ傾斜駆動フレームアームを連結固定するネジ
38 ホルダー挿入軸及びα傾斜軸
39 駆動力の入力用棒部材 (駆動力点を押し上げるため部材)
40 スプリング (駆動力点を押し下げるため部材)
50 試料台(β傾斜台)
51 試料
52 β駆動連結ピン
53 β駆動力伝達軸
54 ホルダー主軸
55 ベアリング
56 α回転駆動用360度ラックギア
57 ホルダーハンドル
58 モータ―部フレーム
59 β駆動用モーター(角度計測エンコーダーを含む)
60、68 カバー
61 駆動軸連結部材
62 α回転駆動用ウォームギア
63 α回転用モーター(角度計測エンコーダーを含む)
64 α回転軸用真空シール(Oリング)
65 Gonio保持筒用真空シール(Oリング)
66 β駆動力伝達軸用真空シール(Oリング)
67 ホルダーハンドル分
81 試料(試料取り付け位置)
82 試料ホルダー軸のX軸駆動遠隔距離間の部分を示す。
83 ゴニオステージが、試料ホルダー軸に与えるX軸駆動の伝達面。
84 試料ホルダーの軸
85 試料ホルダーのハンドル(取手)
86 試料ホルダー保持筒
87 主フレーム部材(Y、Z各軸の駆動機構が組みこまれる。)
88 X軸駆動機構アクチュエーター本体
89 X軸駆動機構アクチュエーター本体の駆動ピン
90 試料ホルダーの軸へ、X軸駆動を伝達するリンク部材。
91 Y軸駆動機構で押された保持筒を押し返す部材。
92 Y軸駆動機構用アクチュエーター本体
93 保持筒押し返し部材11用のスプリング
94 試料ホルダー保持筒のピボット駆動部材
95 ピボット駆動部材の真空シール部材(Oリング)
96 試料ホルダーの真空シール部材(Oリング)
97 電子顕微鏡筐体を示す。
98 電子顕微鏡内部の真空領域を示す。
99 X軸(試料ホルダーの長手方向の駆動軸。)
100 Y軸
101 ラックギア
102 ウォームギア
103 ウォームギア軸
104 α駆動モーター
105 α機構フレーム
Claims (15)
- 試料ホルダー本体と、試料を保持するための試料固定台とからなる試料ホルダーであって、前記試料ホルダーの内部において、顕微鏡の試料駆動装置とは無関係に、前記試料固定台を前記試料ホルダー本体の略長手方向の軸周りに360度回転可能とする回転機構を有することを特徴とする試料ホルダー。
- さらに、前記ホルダー本体の略長手方向に直交する軸周りに回転可能な軸傾斜機構を有することを特徴とする請求項1記載の試料ホルダー。
- 前記軸傾斜機構は、前記長手方向に直交する所望の軸位置を焦点面で保ちながら傾斜可能である請求項1又は2項に記載の試料ホルダー。
- 前記試料固定台は、ホルダー本体と脱着可能である請求項1〜3項のいずれか1項に記載の試料ホルダー。
- 前記軸傾斜機構は、前記長手方向に直交する所望の軸周りに回転させるための駆動フレームを有することを特徴とする請求項2〜4項のいずれか1項に記載の試料ホルダー。
- 前記駆動フレームが前記試料固定台と接続されていることを特徴とする請求項5項に記載の試料ホルダー。
- 前記駆動フレームは、軸として回転可能な少なくとも1つの支点と、前記駆動フレーム内で位置移動可能な支点とを有することを特徴とする請求項5又は6項に記載の試料ホルダー。
- 前記軸傾斜機構は、前記駆動フレームに接続されるリンク部材を有することを特徴とする請求項2〜7項のいずれか1項に記載の試料ホルダー。
- 前記リンク部材が、前記ホルダー本体に固定された支点を有し、前記駆動フレームの支点を介して接続されていることを特徴とする請求項8項記載の試料ホルダー。
- 前記リンク部材が、1つ又は複数からなる請求項8又は9項に記載の試料ホルダー。
- 前記リンク部材は、ホルダー軸上に支点を有する請求項8〜10項のいずれか1項に記載の試料ホルダー。
- 前記試料固定台は、前記ホルダー軸上に存在する仮想の支点を中心として、前記長手方向に直交する所望の軸回りに傾斜する請求項1〜11項のいずれか1項に記載の試料ホルダー。
- 試料固定台を前記試料ホルダー本体の略長手方向の軸周りに360度回転可能とする回転機構を有することを特徴とする試料ホルダー駆動装置。
- 前記回転機構が、回転伝達部材を用いて回転可能である請求項13記載の駆動装置。
- 回転伝達部材が、ギア、ベルト、又はプーリーであることを特徴とする請求項14記載の駆動装置。
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