JP4150099B2 - 一方向導電カプラ層を有する静電チャック - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板保持のために用いられる静電チャックに関する。
【0002】
【従来の技術】
静電チャックは、基板の処理中にシリコンウエハ等の基板の保持に用いられる。代表的な静電チャックは、チャンバの中で支持体に固定可能なベースに付けられた静電的な部材を備える。チャックを用いるには、基板を静電部材の上に配置し、この静電部材の電極に電圧を与え、基板に対する電気的バイアスを電極に与える。プロセスガスをプロセスチャンバに導入し、そして一定のプロセスにおいては、プラズマをプロセスガスから形成する。正反対の静電荷が、静電部材と基板に蓄積され、その結果、静電力引力が発生し、基板が静電力によりチャックに保持される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
チャックの静電部材は典型的には、電極を包囲する絶縁体を備え、この絶縁体は、電極をプロセスチャンバの電圧供給ターミナルに接続するコネクタストラップを有している。典型的には、コネクタストラップはチャックのエッジまで延び、チャンバ内の腐食性の環境に曝露される。コネクタストラップを覆っている絶縁体は、ポリイミドのような絶縁ポリマーを備えていることが多く、これは、腐食性の環境(例えば酸素含有プラズマ)では寿命が限られている。そのような腐食性のプロセスでは、電気コネクタストラップ上の絶縁体は曝露に急速に消耗し、この消耗が一点でも絶縁体を貫通すれば、電極とプラズマの間のアーク発生を引き起こすことになり、全体のチャックの交換を必要とすることになる。
【0004】
この問題の解決策の1つに、1994年11月2日出願のYuh-Jia Suによる米国特許出願第08/333,455号、標題「耐腐食性静電チャック」に説明されており、そこでは、保護プラグが、コネクタストラップをカバーするために用いられる。しかし、この保護プラグ被覆も消耗し、汚染物をチャンバの中で形成する。もう一つの解決策は、1995年3月24日出願のShamouilianらによる米国特許出願第08/410,449号に記載されており、そこでは、コネクタストラップがその上にある基板で覆われて腐食性の環境から保護されるよう、コネクタストラップをホールを介しチャックのベースの中で挿入する。しかし、コネクタストラップは折り曲げられた状態でホールを介してベースの中で挿入されており、この折り曲がったストラップによって静電部材上に圧力が作用し、静電部材内に層割れないし剥離を引き起こすことがある。また、コネクタストラップとベースのホールとの間にギャップがあることにより、プロセスガスとプラズマがコネクタストラップに接触してしまう。
【0005】
従来の静電チャックにおいては、チャックのコネクタストラップがチャンバ内の高電圧のターミナルと電気的に接触する点において更なる問題点が生じる。コネクタストラップを電圧ターミナルに接続するための電気コンタクトディスクやこのコンタクトディスクとターミナルとの間のシールを与えるためのワッシャーを始めとする、多数の部品を典型的に備えた高電圧コンタクト組立体を用いて、コンタクト組立体を形成する。高電圧組立体の部品が適正に組み立てられない場合は、電荷がこれらの部品から周囲の導電性のベースまで漏れることがある。そのような電荷のリークによって、基板保持に使われる静電力が変化し、これがチャンバ内で基板の運動やミスアラインメントを生じさせることがある。また、高電圧部品の組立は困難であり、それは、コネクタストラップをチャックのベースの下に配置した後に組立可能となるからである。更に、良好な電気的接触を得るために、電気接触ディスク及びワッシャーの寸法取りは精密に行われるが、このため、これらの製造は高価になる。
【0006】
もう一つの問題は、比較的薄い電極層に対してコネクタ組立体により作用する圧力によって生じる。良好な電気的接触を実現するため、電圧ターミナルはコネクタストラップの露出部分にしっかりと押しつけられるが、この強力な作用圧力により、電圧供給ターミナルとの接触点では、コネクタストラップの薄い露出接触部分が摩耗される。また、コネクタストラップに強い圧力が作用することにより、ストラップがその折り曲げ部分(bent-over portion)で切れることもある。あるいは、圧力が弱い場合は電気的接触が良好でなくなり、コネクタストラップのインピーダンスが変化するようになり、その結果、静電チャック力が変化しまた非均一となってしまう。
【0007】
従って、電極に直接に接続し、そこを流れる電荷の漏洩や変動が少なく、損傷や剥離が制限されるような、電気コンタクト組立体を、静電チャック有していることが望ましい。腐食性のガス環境における実質的な耐腐食性をチャックが有していることが更に望ましい。また、高電圧接触部は、最小限の部品で作られ最小限の組み立てでよいことが望ましい。周囲のチャック構造体へ電荷を大きく損失させずに、良好な電荷コンダクタンスを提供する高電圧接触部を有することが、更に望ましい。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の静電チャックは、電極にチャージするための、静電チャックと電圧供給ターミナル電極との間の信頼性が高く良好な電気的接続を、プロセスチャンバに提供することにより、これらの必要性を満たす。このチャックは静電部材を備え、この静電部材は、(i)電極と、(ii)電気絶縁保持面と、(iii)電極に電気量(チャージ)を導通させるための電気接触面と、を有している。電圧供給ターミナルから接触面へのほぼ一方向にだけ電荷を導通させて電極に電気量を与えるよう、接着剤を備える一方向導通カプラ層を接触面に接着する。このチャックは、安全で高い導通電気接続を与える一方、周囲のチャック構造体への電荷の漏出が低い。
【0009】
もう一つの特徴としては、本発明は、プロセスチャンバ内で基板を保持するための、静電チャックを組み立てる方法を提供し、これは、チャックに電気量を与えるため電圧供給ターミナルを有している。この方法は、電気絶縁保持面及び露出電気接触面を有する電極を備える静電部材を形成するステップを備える。電圧供給ターミナルから電極の接触面への一方向にだけ電荷を導通させて静電部材の電極に電気量を与えるよう、接着剤を備える一方向導通カプラ層を接触面に接着する。
【0010】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明に従った静電チャック20の一態様を例示する。静電チャック20は貫通穴24を有するベース22を備え、このベース22は、静電部材25を支持するに適切である。静電部材25が、(i)電極30と、(ii)基板45を保持するための電気絶縁保持面40と、(iii)電極30に電気量を導通させるための電気接触面(電気コンタクト面)48とを備えている。好ましくは、接触面48は、電極30の絶縁体なしの露出部分を備える。電極の露出接触面48に接着し且つ電気的に結合される接合面55を備える電気コネクタ50と、電圧供給ターミナル65に電気的に接続し且つ接合するターミナル表面60は、ベース22の穴24の中を延びる。一方向導電カプラ層70は、電気のコネクタ50を通して、電圧供給ターミナル65を静電部材25の接触面48に電気的に結合し且つ接着し、電圧供給ターミナル65から静電部材25の電極への単一方向にだけ電流導通させる。一方向導電カプラ層70により、導電層70の面と直交に交差する一方向に、電流が直接電極へ流れるようになり、これを囲む導電ベース24に流れる電流損失を最小限にできる。
【0011】
使用中は、静電チャック20は、プロセスチャンバ80内の支持体75に固定される。支持体75は、支持体75とチャンバの間に配置される絶縁体フランジ77を備え、支持体75を電気的に絶縁する。プロセスチャンバ80は、基板45を処理するために適切なエンクロージャを成しており、プラズマ生成プロセスガスをチャンバに導入するガス流入口82と、ガス副生成物をチャンバ80から排気するための絞り付き排気部84とを典型的に有する。図1の中で示された特定の具体例であるプロセスチャンバ80は、基板45のプラズマ処理プラズマのために適しているが、このプラズマとはチャック20の腐食の主な原因となるものである。しかし、本発明の範囲から外れることなくチャック20を他のプロセスチャンバや非プラズマプロセスに用いてもよい。
【0012】
チャック20が支持体75上に固定されているときは、コネクタ50のターミナル表面60は、支持体75上で電圧供給ターミナル65に電気的に接続する。第1の電圧供給部85は、チャック20の作動のため、電圧供給ターミナル65へ電圧を提供する。この電圧は、静電部材の電極30の動作のため、コネクタ50と一方向導電カプラ層70を流れる。第1の電圧供給部は、10MΩの抵抗器を介して高電圧読み出し器に接続する約1000〜3000ボルトの高電圧DC源を備える回路を典型的に有している。回路中の1MΩの抵抗器は、回路を流れる電流を制限し、また、500pFのキャパシタが、交流フィルタとして具備される。
【0013】
第2の電圧供給部90は、プロセスチャンバ80の中で支持体75の導電性の部分に接続される。支持体75の導電性の部分は、プロセス電極(典型的にプラズマをチャンバ80中で形成するためのカソード)の機能を果たす。第2の電圧供給部90は、チャンバ80内の電気接地面95に対するバイアスを支持体75に与え、チャンバ80に導入されたプロセスガスからプラズマを生成するためのアノードの役目を果たす。第2の電圧供給90は、絶縁キャパシタと直列のライン電圧のインピーダンスにプロセスチャンバ80のインピーダンスを整合するRFインピーダンスを備える。
【0014】
チャック20を動作させるには、プロセスチャンバ80を排気し、所定の準雰囲気圧に維持する。基板45はチャック20の上に置かれ、チャック20の電極30は、コネクタ50及び一方向導電カプラ層70を介して第1の電圧供給部85に電圧又は電流を供給することにより、基板45に対するバイアスが与えられる。その後、プロセスガスがガス流入口82を通してチャンバ80内に導入され、第2の電圧供給部90を作動させてプラズマをプロセスガスから生成する。電極30に印加された電圧によって、静電荷が電極30に蓄積するようになり、チャンバ80の中のプラズマは、反対の極性の電気量を有する種を提供し、これが基板45に蓄積する。この正反対の静電荷が蓄積すれば、基板45とチャック20の電極30との間に静電引力が発生し、基板45がチャック20に静電力により保持されるようになる。基板45を均一な温度に維持するために、熱移動ガスソース100を用いて、絶縁静電部材25の保持面40のグルーブ105に熱移動ガスを供給する。静電力により保持されている基板45がグルーブ105を覆ってこれをシールし、グルーブ105からの熱移動ガスの漏出が減じられる。グルーブ105の中の熱移動ガスは、基板45から熱を取り除き、基板45を基板の処理の間、一定の温度に維持する。典型的に、グルーブ105の中に保持された熱移動ガスが基板45の実質的に全部を冷却することができるよう、グルーブ105の間隔、寸法、及び分布が決められる。より典型的には、グルーブ105は、電極30をカバーしている絶縁体層35の全体に延びるチャンネルと交差するパターンを形成する。
【0015】
図2に関して、チャックの電極30は、電圧供給ターミナル65を介して供給された電荷によって電力が与えられるが、このターミナルは、ベース22と支持体75の間の界面で支持体75上に配置されることが好ましい。典型的に、各電圧供給ターミナル65は、支持体75を貫通する穴175内に配置された直円のピン部材170を有する。ピン部材170は、伝導性のターミナルチップ180(好ましくは金メッキの銅)で終わっている。高電圧のリード線(図示せず)が第1の電圧供給部85からピン部材170へ伸び、導電ターミナルチップ180に電圧を提供する。ベース22と支持体75の間の界面は、ベース22の穴24を流れるあらゆる熱移動ガスのプロセスチャンバ80への漏出を防ぐためにシールされている。シールOリング190が、ベース22と支持体75の間の界面に配置され、コネクタ50とベース22の穴24の両方に外接するように配置される。ダウエルピン192は、コネクタ50の回転運動を防ぐ。ポリマー又はエラストマーのブッシング195が高電圧コンタクト組立体を囲み、高電圧コンタクト組立体を電気的に絶縁する。
【0016】
少くとも2つの電極30a、30bを有する静電部材25を備えたバイポ―ラチャック20の動作が、図3のに示される例において例示される。電極30a及び30bがそれぞれ、露出接触面48a、48bを備えており、これは電極の絶縁体がない部分を露出する。接合面55a、55bを備えた2つの電気コネクタ50a、50bを用いて、電極の露出接触面48a、48bを接合面55a、55bに結合する。ターミナル面60a、60bを用いて、コネクタを電圧供給ターミナル65aに電気的に接続する。2つの一方向導電カプラ層70a、70bが、電極30の接触面55a、55bに接着されこれと電気的に結合する。チャック20でバイポーラ電極に電力を供給する電圧供給部は、いくつかの代替構成を有することができる。好ましい構成では、電圧供給部は、(i)第1のDC電源87aを典型的に有する第1の電気回路ないし電圧源86aと、(ii)第2のDC電源87bを有する電圧源86bとを備える。第1の電源87a(第2の電源87b)は、第1の電極(第2の電極)に、正(負)の電圧を供給し、電極を正(負)の電位に維持する。電極30a、30bの正反対の電位により、プロセスチャンバ80内でプラズマを用いずとも、正反対の正電荷を電極とチャック20に保持された基板45とに与え、基板45を静電力でチャック20に保持する。バイポーラ電極の構成は、基板45にバイアスを与える荷電キャリアとして作用する荷電プラズマ種が存在しない非プラズマプロセスに対して有利である。
【0017】
図2を参照し、先行技術チャックに対して利点を提供する本発明のチャック20の特徴を説明する。コネクタ50を電極30に電気的に結合するために用いられるチャックの一方向導電カプラ層70は、チャック20の周囲のベース22への高電圧電流の損失なしに、信頼できる高電圧の接触を提供する。一方向導電カプラ層70は、異方的導電材料を備えており、これは、矢印112によって例示されるような主軸又は高コンダクタンス軸を有し、これはターミナル表面60から接合表面55への直線z軸方向に対してコネクタ50の縦軸と実質的に並列であり、また、静電部材の露出接触面48に実質的に直交する。カプラ層70は、矢印114によって例示されるように、コネクタ60のxy断面平面に平行な(あるいは、電極30の露出接触面の平面に平行な)二次的な、低コンダクタンスないし不伝導性の平面を、更に備える。好ましくは、一方向導電カプラ層70は、主の高コンダクタンス方向112に少くとも約0.1ミリオームの高い第1のz軸伝導度と、xy平面に沿って少くとも約1×108ミリオームの低い第2の伝導度とを備える(導電度:コンダクティビティー)。より好ましくは、一方向導電カプラ層70は、約0.1〜約50ミリオームの高い第1の伝導度を主z軸方向に有し、約1x108〜約1x1012ミリオームの低い第2の伝導度をxy低コンダクタンス面に有する。
【0018】
一方向導電カプラ層70は、電圧供給ターミナル65からチャックの電極30へ必要な電流レベルを実施するに十分高い電流搬送能力を有している。好ましくは、一方向性の導電性材料は、約0.1〜約100アンペア、更に好ましくは約1〜約50アンペアの電流搬送能力を備える。約1000〜約5000ボルト/ミル(volts/mil.)の絶縁破壊の強度であれば、高電圧の電流のスパーク又はアーク発生を防ぐために望ましい。好ましくは、導電層の絶縁抵抗は、1010オームを超えるるべきである。また、約1〜約20、より典型的に4〜15の誘電率が望ましい。一般に、一方向導電カプラ層70の誘電率は、その電気的性質によって決定される。電界の存在下では、導電層70の単位体積当たり分極ベクトル又は電気双極子モーメントが、誘導双極子モーメント、永久双極モーメントのアラインメント又はイオン電荷の移動(マイグレーション)から生じることが可能である。異方的導電層70では、電界ベクトルは、電荷のための電気変位ベクトルと平行でない。このように、導電層70は電気的により異方的であり、これは誘電率テンソルとスカラー透磁率によって説明される。
【0019】
一方向導電カプラ層70は、高い電圧と電流を電極30へと方向性をもって導くため、確実で、信頼性が高く、コンダクタンスの高い接触を提供する。一方向導電カプラ層70は、コネクタ50の縦軸にほぼ平行なz方向に対して主又は高コンダクタンス軸112と、コネクタ60の断面に平行な二次的な低コンダクタンス面114とを有する異方的導電材料を備えているため、チャック20の周囲の導電性の部分への電流の損失は最小あるいは実質的に完全に除去される。また、一方向導電カプラ層70はコネクタ50(例えばコネクタの頂層)の部品を形成することができ、あるいは、コネクタ50全体は、一方向性の導電材料で作製することができる。
【0020】
好ましい態様では、コネクタ50の接合面55を電極30の露出接触面48に直接に接着できる接着剤を一方向導電カプラ層70が備えている。これにより、コネクタ50が一方向性の導電カプラを介して電極30に直接電気的に接触できるようになり、コネクタ50を電極30の表面に直接的にばね負荷又は押圧する必要を排して、介在層なしに電流の経路が形成される。この組立体により、比較的薄い電極層の摩耗及び損傷が低減される。また、電極30に与えられる力を低減することにより、静電部材25の剥離や破壊が排除され、チャックの有用寿命を高める。適切な一方向導電性の接着剤としては、市販のZ‐LINK(Sheldhal社、米国ミネソタ州ノースフィールド)が挙げられる。一方向性導電性接着剤は、0.1〜50ポンド、より典型的に約1〜10ポンドからの剥離強度を有していることが好ましい。
【0021】
高電圧コンタクト組立体は、接着導電層70を介してコネクタ50を電極30に接着することにより、加圧成形ステップ1つで作製することができる。静電部材25は、圧力形成プロセスを用いてポリマー絶縁体層内で、メタル電極層を加圧ラミネーションして、作製される。圧力形成プロセスでは、接着剤ベースの一方向導電カプラ層70もコネクタ50の接合面55に接触し、これに接着される。これにより、コンタクト組立体と静電部材の全体を、一つの圧力‐ラミネーションプロセスステップにおいて組み立てられることが可能となり、製造費用を最小になり、信頼性の高められた電気接続を静電チャックシステムに形成することができるようになる。
【0022】
ここで、チャック20の特別な要素及び特徴の説明をする。チャック20のベース22(一般にペデスタルとして知られている)は、静電部材25を支えるために具備され、その形状とサイズは典型的には、熱移動を最大にし広い保持面を提供するよう、基板45の形とサイズに対応するように決められる。例えば、基板45がディスク状の場合は、ベース22は直円柱状に形成されることが好ましい。典型的に、ベース22はアルミニウム製であり、直径約100mm〜325mm、厚さ約1.5cm〜2cmの円筒状である。ベース22が支持体75と基板45を均等に接触することができ、基板45と支持体75の間の有効な熱の移送を可能にするよう、プレートの上面と底面は、プレートの表面粗さが1ミクロン未満となるまで、従来の研磨技術を用いて研磨される。研磨後、プレートをよく洗浄し、研磨くずを取り除く。ベース22は、貫通して形成される一つ以上の穴24を有し、この穴の数は静電部材25の電極への所望の接触の数に対応する。穴24は、クリアランスが最小又は実質的にゼロとなるよう、コネクタ50を挿入するに十分大きいサイズが与えられる。好ましくは、穴24のサイズについて、コネクタ50が穴24の中にあるとき、熱移動ガスが穴から実質的に漏れない程度に小さく与えられ、適切なクリアランスは約125ミクロン(5ミル)未満、より好ましくは約5000ミクロン(20ミル)未満である。
【0023】
静電部材25は、一つ以上の電極30を有する絶縁体35を備える。絶縁体35は典型的には、電気絶縁ポリマー材料を備え、これは例えば、ポリイミド、ポリケトン、ポリエーテルケトン、ポリスルホン、ポリカーボネート、ポリスチレン、ナイロン、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン、ポリエーテルケトン、ポリエーテルスルホン、ポリエチレンテレフタレート、フルオロエチレンプロピレンコポリマー、セルロース、トリアセテート類、シリコーン及びラバー(polyimide, polyketone, polyetherketone, polysulfone, polycarbonate, polystyrene, nylon, polyvinylchloride, polypropylene, polyetherketones, polyethersulfone, polyethylene terephthalate, fluoroethylene propylene copolymers, cellulose, tri-acetates, silicone, and rubber)等のポリマー材料が挙げられる。絶縁体は35また、セラミック材料で形成されてもよく、例えば、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、炭化硼素、窒素硼素、ダイヤモンド、酸化珪素、炭化珪素、窒化珪素、酸化チタン、炭化チタン、ジルコニウム硼化物、ジルコニウム炭化物(aluminum oxide, aluminum nitride, boron carbide, boron nitride, diamond, silicon oxide, silicon carbide, silicon nitride, titanium oxide, titanium carbide, zirconium boride, zirconium carbide)又はこれらと同等の物及びこれらの混合物が挙げられる。ポリマーコーティング及びセラミックコーティングは、従来の製造方法を使って形成されることができる。
【0024】
好ましくは、チャック20が高温プロセスのために用いることができるよう、絶縁体35は50℃以上の温度(好ましくは100℃以上)に耐性を有している。処理中に基板45に発生した熱がチャック20を通して消えることができるために、絶縁体35は高い熱伝導率を有することが好ましく、適切な熱伝導率は少なくとも約0.10(Watts/m/゜K)である。熱伝導率の高い粒子フィラー被覆を絶縁体に加えてもよく、フィラーの平均粒径は、熱伝導率と腐食抵抗を増大するため、約10μm未満である。好ましくは、フィラー対絶縁体の体積比が、約10%〜80%、より典型的に20%〜50%である。加えて、保護コーティング(図示せず)を絶縁体35の保持面40に形成し、腐食性のプロセス環境内でチャック20の化学的な劣化を減らすことができる。
【0025】
絶縁体35のサイズは、電極30を囲むに十分に大きく、電極30を絶縁するために十分に厚く与えられる。典型的に、絶縁体35の抵抗率は、1011Ωcm〜約1020Ωcm、誘電率は少なくとも約2(更に好ましくは少くとも約3)である。絶縁体35の全面厚さは、絶縁体35を形成するために用いられる絶縁材料の抵抗率と誘電率に依存する。例えば、絶縁体35が約3.5の誘電率を持つとき、絶縁体35の厚さは典型的には約10μm〜約500μm、より好ましくは約100μm〜約300μmである。ポリイミド絶縁性の材料は、典型的に少くとも約3.9ボルト/ミル(100ボルト/ミクロン)、より典型的に少くとも約39ボルト/ミル(1000ボルト/ミクロン)の絶縁破壊強度を有する。
【0026】
静電部材25の絶縁体35は絶縁保持面40を電極の上に形成し、そして、絶縁体35の電極の下にある部分が剥がされ、静電部材の露出接触面48を形成する。典型的には、絶縁体35は、図2に例示されるように2つの層ラミネート構造体を備え、これは下側絶縁体層35aと上側絶縁体層35bを備え、その間に電極がはめ込まれる。好ましくは、絶縁層35a、35bは、約50μm〜約100μmの実質的に等価な厚さを有する。下側の絶縁体層35aは開口を備え、これにより電極50の一部が露出され、接触面48が形成される。下側の絶縁体層35aの開口のサイズは、クリアランスを最小にするよう、コネクタ50の接合面55を挿入するために十分に大きく与えられる。電極30の露出接触面48は、約50〜約400平方mm、より好ましくは約75〜約150平方mmの面積を持つ。上側の絶縁体層35bは、基板45をその上に受容するために、電極30をカバーして囲み、絶縁保持面40を形成する。
【0027】
ラミネート絶縁体35は、一つ以上の電極30をそこに備える。モノポーラ電極30、そして、バイポーラ電極30a、30bは、例えば、銅、ニッケル、クロム、アルミニウム、鉄やこれらの合金等メタル等の導電材料から作られる。電極30の形とサイズは、基板45のサイズと形に従って変化する。例えば、基板45がディスク状の場合は、図中で示されるように、電極も、基板45と接触して電極の領域を最大にするよう、ディスク状である。電極30が絶縁体30の実質的に全体の領域をおおうことが好ましく、電極の全面積は典型的には約50〜約500平方cm、更に典型的には80〜380平方cm。バイポーラ電極の構成に対し、電極30a、30bの各々の面積は実質的に等しく、チャック20の上面の全領域の約半分を典型的に備える。従って、各電極の面積は、約50〜約250平方cm、更に好ましくは100〜200平方cmである。典型的には、電極30の厚さが、約1μm〜100μm、より典型的に約1μm〜50μmである。しかし、特定の電極の構成では、絶縁体35の周辺端110まで延びる熱移動ガスグルーブ105のチップを効果的に密封するために更に薄い電極を利用することは有利であり、これはCameronらによる1995年1月6日出願の米国特許出願08/369,237号、標題"EROSION RESISTANT ELECTROSTATIC CHUCK WITH IMPROVED COOLING SYSTEM,"に開示される如きである。
【0028】
モノポーラ電極30、及びバイポーラ電極130、135は、インターコネクト立体形状を有する連続状又はパターン状であってよく、この間に形成された熱移動ガスグルーブ105が、基板45の加熱又は冷却のために熱移動ガスを保持するために用いられるようにしている。バイポーラ電極30aと30bは、電気絶縁ボイドを有する外電極円環により囲まれる内側電極リングを有しているリング電極形状(図示せず)を備えてもよい。典型的には、電極が等静電的なクランプ力を基板45の上で発生するために、バイポーラ電極30aと30bは共面上にあり実質的に等しい面積を有している。別の構成では、バイポーラ電極は、放射方向に延びている電気絶縁ボイドによって切り離された2つの半円の電極(図示せず)を備える。適切なバイポーラ電極の構成は、前述の米国特許出願第08/410,449号の中で説明される。
【0029】
1つの電気のコネクタ50が、モノポーラ電極30を第1の電圧供給部85に電気的に接続するために用いられる。別個のコネクタが、バイポーラ電極30a、30bを第1の電圧源85にそれぞれ接続するために用いられる。電極のこれら両方のタイプについては、電気コネクタは実質的に同一であり、繰返しを避けるため一方について説明されるだけである。コネクタ50は、銅又はアルミニウムのような導電性のメタルから組み立てられることができる。コネクタ50は、電気的に電極30を電圧供給ターミナル65に接続するに十分に長い。典型的に、コネクタ50の長さと幅はそれぞれ、約1mm〜約20mmである。コネクタ50は、一方向導電カプラ層70を通して電極30の露出接触面48へ電気接続させるための、適切な接合面55を有する。コネクタ50はまた、電気的に電圧供給ターミナル65に接続するためターミナル面60を有する。コネクタ50のターミナル面60は、高い電圧のアーク発生を引き起こすことなく電圧供給ターミナル65を支持体75に電気的に直接接続するために十分に大きな形状及びサイズが与えられる。好ましくは、ターミナル面60の面積は、少くともおよそ高電圧ターミナル65の面積と同じであり、より好ましくは高電圧ターミナル65と実質的に等しい面積である。端面60の面積は、典型的には約50〜約400平方mmある。ディスク状か方形状の断面を有するターミナル表面60(半径が5〜12mmで変動するようにする)であれば、十分な接触面積を提供する。
【0030】
静電部材25を製造する方法を説明する。好ましくは、静電部材は、モノポーラ電極30か30aバイポーラ電極30a、30bを有する絶縁体35a、35bの少なくとも2つの層を備えているラミネートとして組み立てられる。このラミネートは、導電層と絶縁体層を備えている多層膜、例えば米国アリゾナ州チャンドラーのRogers Corporationから入手可能な「R/FLEX 1100」等で作製可能であり、これは、電気伝導性の銅層を厚さ25〜125μmのポリイミド絶縁体層の上で備える。多層膜の銅層は、エッチング、切削又は穴開けが施され、電極30が形成される。電極30又は電極30a、30bを形成するために適切なエッチングプロセスは、(i)多層膜の導電層の上に、電極30の形状に応じたパターンの保護レジスト層を形成するステップと、(ii)従来のエッチングプロセスを用い、レジストで保護されている多層膜をエッチングするステップとを備える。レジスト層は、デュポン社の「RISTON」の等のフォトレジスト材料を使って形成されることができる。Silicon Processing for the VLSI Era, Volume 1, Process Technology Chapters 12, 13, and 14, by Stanley Wolf and Richard N Tauber Lattice Press, 1986 の中で説明されたような従来のフォトリソグラフの方法を用いて、レジスト層や導電層パターニングができる。従来のウェット又はドライのケミカルエッチング方法を用いて多層膜をエッチングすることができ、そのことは、Silicon Processing Chapter 16に記載されている。適切なウェットケミカルエッチング方法は、電極層の保護のない部分がエッチングされるまで、塩化第二鉄、過硫酸ナトリウムや酸又は塩基等のエッチャントに多層膜を浸す工程を備える。
【0031】
導電性の層をエッチングして電極30を形成した後、第2の絶縁フィルムを導電層に接着し、導電層が上部の絶縁フィルム内に埋め込まれてラミネート静電部材25が形成される。開口が第2の絶縁フィルムに形成され、導電層の一部を露出して、露出接触面48を形成する。適切な絶縁フィルムとしては、例えば、デュポン社の「KAPTON」ポリアミド膜、鐘淵化学の「APIQUEO」、宇部興産の「UPILEX」、日東電工の「NITOMID、三菱樹脂の「SUPERIOR FILM」等を挙げることができる。絶縁体ラミネート構造体を組み立てる方法は、前記の米国特許出願第08/199,916号でおよそ説明される。
【0032】
図4を参照し、圧力形成プロセスを用いて、静電部材25の様々な層相互に接着し、同時にコネクタ50を一方向性導電性の層30に接着する。接着に先立ち、電極の露出接触面48とコネクタの接合面55(これらは共に一方向性導電カプラ層70に接着されている)を、約30〜45秒間95°Fの温度で過硫酸ナトリウムエッチングを施し洗浄し、水でリンスする。様々な絶縁体と電極層がベース80の上に配置される。前述のZ‐LINK結合材のような、一方向の導電性の材料のディスク状パッドは、切断され、ベース80の裏から電極30の露出接触面48の上へ配置される。それから、予め作製されているコネクタ50は、穴24を介してベース22の中に挿入される。コネクタ50の接合面55は一方向導電層70に接するように置かれ、図4の中で示されるように、コネクタ50のターミナル面60はベース22を介して露出され、ベース‐フィルム組立体200が形成される。
【0033】
ベースフィルム組立体200は、約250゜Fの温度の窒素雰囲気下に約2時間プレベークされ、残留の湿気が取り除かれる。それから、ベース‐フィルム組立体200が、圧力形成装置205に置かれ、この装置は、絶縁体層35a、35bを強制して相互に接着させる程度に、また、一方向導電層70をコネクタ50に接着する程度に十分高い圧力に維持されている。典型的に、圧力形成装置205は、約500〜30,000トール(約10〜500psi)、より典型的に約10,000〜30,000トール(200〜500psi)の圧力に維持される。圧力感知接着剤を用いて絶縁層(35a、35b)をベース22に接着した場合、接着剤が過剰に絞られるのを防止するため、低圧であることが好ましく、この低圧とは典型的に、約500〜13,000トール(10〜25psi)である。好ましくは、粗さ約0.2〜0.3ミクロンRMS未満であるステンレス鋼プレートを、絶縁体層35a、35bの上に配置し、均一で一定の圧力をラミネートの上で印加する平らな保持面40を提供する。従来の圧力成形プロセスは、Allen J. Kling, Curing Techniques for Composites, Advanced Composites, April, 1985の中でおよそ説明される。
【0034】
好ましくは、加圧と同時に、ベース‐フィルム組立体200を加熱し、絶縁フィルム層35a、30bの可とう性が高くなり電極30に接着するようになる程度に十分高い温度に、また、一方向の導電性の結合層70がコネクタ50の接合面55に接着する程度に高い温度にする。代表的な加熱サイクルとしては、(i)約15分間、約12゜F/分で温度を上昇させ、絶縁フィルムからガスの反応副生成物をデガスし、(ii)絶縁体と一方向導電材料の硬化温度、典型的に約375〜380゜Fの温度に、約50〜60分間保持し、そして、(iii)約12゜F/分で温度を下げる。
【0035】
適切な圧力成形装置205は、オートクレーブ、プラテンプレス、又は静水圧プレスを有しているる。より均一な圧力をベース‐フィルム組立体200の上で印加する点から、オートクレーブが好ましい。代表的なオートクレーブは、約1〜10フィートの範囲の直径を有する耐圧スチールチャンバを備える。二酸化炭素や窒素等の加圧非反応性ガスは、オートクレーブを加圧するために用いられる。適切なオートクレーブは、「BARON AUTOCLAVES」社(カリフォルニア州サンタフェスプリングス)、「AOV INDUSTRIES」社(カリフォルニア州アナハイム)、そして、「MELCO STEEL」社(カリフォルニア州アツサ)の製品を例示することができる。オートクレーブを使う代わりに、プラテンプレスや静水圧プレスを用いて、絶縁体35a、35bをベース22に適用してもよい。プラテンプレスが使われる場合は、シリコーン等の圧力分散シートやステンレス鋼プレートが絶縁体35a、35bの上に置かれ、ベース‐フィルム組立体200へのプラテン圧力が均等に分散される。静水圧プレスを用いる場合は、適切な静水圧成形バッグ内にベース‐フィルム組立体200を置いて、静水圧プレスを用いてバッグに十分な圧力を与える。
【0036】
圧力をベース‐フィルム組立体200に作用させると同時に、図4の中で示されるような真空バッグ組立体210を用いて、絶縁層35a、35bとベース80との間にトラップされたエアを脱気し取り除くことが好ましい。また、トラップされたエアを取り除いてメタル電極30の酸化を防止することは、望ましいことである。真空バッグ組立体210は典型的にはステンレス鋼ベースプレート215を備え、これは、フレキシブルなバッグ材料220を用いてシールを与えることが可能である。このバッグ材料220は典型的には、ナイロン製又はシリコーン製であり、厚さ約25〜100μmである。真空バッグは、米国カリフォルニア州カーソンのAIRTECH International Inc.社、米国カリフォルニア州ノーウォークのBond Line Products社、米国ワシントン州オーバーンのZip-Vac社で製造されているものが適している。真空バッグ220を用いるには、ベース‐フィルム組立体205をバッグ内に配置し、ファブリックとリリースフィルムの層をベース‐フィルム組立体の上に重ねて、真空バッグ組立体を形成し、反応物副生成ガスの通気を可能にし、また、ベース‐フィルム組立体が容易に真空バッグから分離できるようにする。図4に示されるような一連の適切なファブリック及びリリースフィルム225a、225bは:(i)米国デラウエア州ウィルミントンのデュポン社のTEFLONや、米国カリフォルニア州カーソンのAIRTECH社のA4000Pリリースフィルム等のリリースフィルムをベース−フィルム組立体の何れかの側に配置し、(ii)熱可塑性シリコーンシート等の圧力分布適合シート230を、上側のリリースフィルム225bの上に配置し、(iii) AIRWEAVE FR EDGE BLEED(米国カリフォルニア州カーソンのAIRTECH社製)等の多孔通気性ファブリック(ポーラスブリーダーファブリック)235を適合シート(コンフォーマーシート)230の上に配置し、真空バッグ210の脱気を容易にし、また、プロセスで生じた凝縮物を取り除き、そして、(iv)AIRWEAVE SS RESIN ABSORBERやA22C等(米国カリフォルニア州カーソンのAIRTECH社製)の通気シート(ブレサーシート)240をブリーダーファブリック235の上に配置し、バッグ210のまわりに均一な真空圧力を与える。粘着性のシーラントテープ250を用いて、真空バッグ210をシールする。シールされた真空バッグ210は、真空システムに接続された真空コネクタラインを介して、約25水銀柱インチ未満の圧力になるまで脱気されるが、この真空ラインは、バッグの中を通過し、ブレサーシート240の近くまで伸びている。
【0037】
本発明の特徴を有する静電チャック20は、いくつかの利点を有している。コネクタ50を電極30に電気的に結合する一方向導電カプラ層70は、コネクタ50の縦軸に平行な方向ではコンダクタンスが高く、コネクタ60の横断面に平行な方向にはコンダクタンスが低い、異方的導電性の材料を提供する。これは、チャック20の包囲ベース22へ高圧電流が損失することを低減する、信頼性の高く方向性の高い高電圧接触を提供する。一方向導電カプラ層70は更に、電圧供給ターミナル65からチャックの電極30へ必要な電流を伝達する高電流伝達能力を与える。更に、コネクタ50が直接に電極30に接着していることにより、コネクタ50に電極30に対するばね負荷や押圧を与える必要性なしに、信頼性高く直接的な高電圧の接触を提供する。このように、コネクタ50は、電極に害を与えず静電部材25の構造的整合性を減じない点で有利である。更に、コネクタがベース22の中を通過し、またチャック20上に保持された基板45で覆われ保護されているため、コネクタ組立体はプロセスチャンバ80内の腐食性の環境に対して実質的に抵抗性を有している。
【0038】
ここまで特定の好ましい態様に関して本発明を詳細に説明してきたが、他の態様も当業者には明らかである。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、本発明に従った静電チャックを有するプロセスチャンバの部分的な断面図である。
【図2】図2は、電極の露出接触面と、一方向導電カプラ層と、電圧供給ターミナルの間の電気的接続を示す詳細な部分的断面図である。
【図3】図3は、本発明に従ったバイポーラ静電チャックの具体例を有するプロセスチャンバの部分的な断面図である。
【図4】図4は、圧力形成装置において静電チャックを組み立てるために用いられる真空バッグ成層の概要の側面断面図である。
【符号の説明】
20…静電チャック、22…ベース、24…穴、25…静電部材、30…電極、50…コネクタ、70…一方向導電カプラ。
Claims (9)
- プロセスチャンバ内で基板を保持するための静電チャックであって、コネクタと、前記コネクタを通して前記静電チャックに電荷を与えるための電圧供給ターミナルを有し、
前記静電チャックは、絶縁保持面に覆われた電極と、前記電極への電気量を導通させるための電気接触面とを具備する静電部材を有し、
前記電気接触面に一方向導電カプラが電気的に結合し、前記電圧供給ターミナルから前記電気接触面へのほぼ一方向にだけ電荷を導通させて、前記電極へ電気量を導通させ、
前記一方向導電カプラは接着剤を備え、前記コネクタを前記電気接触面に接着させる
静電チャック。 - 前記一方向導電カプラが、前記電気接触面と実質的に直交する主導電軸を有する異方導電層を備える請求項1に記載の静電チャック。
- 前記一方向導電カプラが、前記電気接触面に実質的に垂直な方向に少なくとも0.1ミリオームの第1の導電度と、前記電気接触面に平行な面に少なくとも1x108ミリオームの第2の導電度とを有する請求項2に記載の静電チャック。
- 前記一方向導電カプラが、0.1〜100アンペアの電流を導通させる能力を有する請求項3に記載の静電チャック。
- ばねによる負荷又は押圧を前記コネクタに対して付与することなく、前記コネクタが前記一方向導電カプラを介して前記電極に電気的に接触する請求項1から4のいずれかに記載の静電チャック。
- プロセスチャンバ内で基板を保持するための静電チャックを作製する方法であって、コネクタと、前記コネクタを通して前記静電チャックに電荷を与えるための電圧供給ターミナルを有し、
(a)絶縁保持面に覆われると共に、電気接触面を有する電極を備える静電部材を形成するステップと、
(b)接着剤を備える一方向導電カプラを介して、前記コネクタを前記電気接触面に接着させ、前記電圧供給ターミナルから前記コネクタを介して前記電気接触面へのほぼ一方向にだけ電荷を導通させて前記電極へ電気量を導通させる前記一方向導電カプラを、前記電気接触面に電気的に結合するステップとを有する方法。 - 前記ステップ(b)が、異方導電材料を前記電気接触面上に形成し、前記電気接触面と実質的に直交する主導電軸を有する一方向導電カプラを形成する工程を有する請求項6に記載の方法。
- 前記ステップ(b)において、前記一方向導電カプラが、前記電気接触面に実質的に垂直な方向に少なくとも0.1ミリオームの第1の導電度と、前記電気接触面に平行な面に少なくとも1x108ミリオームの第2の導電度とを有する請求項7に記載の方法。
- 前記ステップ(b)において、
(i)前記電気接触面の上に一方向導通材料の層を形成する工程と、
(ii)前記一方向導通材料層の上に、コネクタのジャンクション面を配置する工程と、
(iii)前記一方向導通材料層に圧力を与えながら、前記電気接触面と前記ジャンクション面との両方に接着される一方向導電カプラを形成するに十分高い温度に前記一方向導通材料層を加熱する工程と
を有する請求項6に記載の方法。
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