JP2865472B2 - 静電チャック - Google Patents

静電チャック

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    • Y10T279/00—Chucks or sockets
    • Y10T279/23—Chucks or sockets with magnetic or electrostatic means

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は静電チャック、特には導
電性、半導電性または絶縁性の対象物を静電的に吸着保
持し、容易に脱着することができることから、半導体や
液晶の製造プロセスなどに有用とされる静電チャックに
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体や液晶の製造プロセス、半導体装
置のドライエッチング、イオン注入、蒸着などの工程に
ついては近年その自動化、ドライ化が進んでおり、した
がって真空条件下で用いられる製造も増加してきてい
る。また、基板としてのシリコンウェハーやガラスなど
の大口径化が進み、回路の高集積化、微細化に伴なって
パターニング時の位置精度も益々重要視されてきてい
る。
【０００３】そのため、基板の搬送や吸着固定には真空
チャックが使用されているが、このものは真空条件下で
は圧力差がないために使用できず、これはまた非真空下
で基板を吸着できたとしても吸着部分が局部的に吸引さ
れるために、基板に部分的な歪みが生じ、高精度な位置
合わせができないという不利があり、したがって最近の
半導体、液晶の製造プロセスには不適なものとされてい
る。
【０００４】この欠点を改善したものとして、静電気力
を利用して、基板を搬送したり、これを吸着固定する静
電チャックが注目され、使用され始めているが、最近の
半導体や液晶の製造プロセスでは微細化に伴なって基板
であるウェハーやガラス板の平坦度が重要となってきて
いることから、その矯正に静電チャックの吸着力を利用
することも検討されている。しかし、この矯正には極め
て大きい静電力が必要とされるし、静電力を強くすには
一般的には式 ｆ＝Ａε（Ｅ／ｔ）2 （ここにｆ：静電
力、ε：誘電率、Ｅ：電圧、ｔ：厚さ、Ａ：定数）によ
り高誘電率の絶縁体物質を使えばよいことが判っている
けれども、高誘電体物質は本質的に体積固有抵抗が低
く、この物質を絶縁体層として電極上に用いると、高電
圧を印加して静電力を発生させたときに製造中に吸着さ
れたデバイスや微細回路との間にリーク電流が流れ、し
ばしばデバイスや回路の破壊が生ずるという欠点があ
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】したがって、この静電
チャックについてはその静電力を向上させる目的におい
て、絶縁性誘電体層の材質に 酸化チタン、チタン酸鉛
などの低抵抗な遷移金属を添加するという方法も提案さ
れている（特開昭62-94953号公報参照) が、この場合に
は耐電圧が著しく低下するし、静電力を得るために電圧
を印加すると、絶縁破壊による放電やチャック表面に流
れるリーク電流によってデバイス機能にダメージが与え
られるという不利が生じる。
【０００６】本発明はこのような不利を解決した静電チ
ャックに関するものであり、これは電極の上下に絶縁層
を有する静電チャックにおいて、その吸着面側の絶縁層
が吸着面から順に体積固有抵抗値が20℃で10 12 Ω・cm以
上の高絶縁体層および誘電率が20℃、１MH Z で50 以上
の高誘電体層の少なくとも２層からなるものであること
を特徴とするものである。
【０００７】すなわち、本発明者らは特に高い吸着力を
もつ静電チャックを開発すべく種々検討した結果、電極
の上下を絶縁体層で被覆し、この絶縁体層の一方の基板
吸着側の絶縁体層を高絶縁体とし、これに高誘電体層を
重ねたものとすると、この高絶縁体層によってリーク電
流の流れ出ることが防止されるし、この高誘電体層によ
って高吸着力が発生できるので、高吸着力をもちながら
リーク電流を防止できる静電チャックの得られることを
見出して本発明を完成させた。以下にこれをさらに詳述
する。
【０００８】
【作用】本発明は静電チャックに関するものであり、こ
れは電極の上下に絶縁層を有する静電チャックにおい
て、その吸着面側の絶縁層が吸着面から順に高絶縁体層
および高誘電体層の少なくとも２層からなるものである
ことを要旨とするものであるが、これによれば高吸着力
でリーク電流を防止できる静電チャックを得ることがで
きるという有利性が与えられる。
【０００９】本発明の静電チャックを構成する電極は
銅、アルミニウム、チタン、モリブデン、タングステン
などの導電性金属で作られたものとすればよいが、この
形成はスクリーン印刷法、溶射法、フォトリソグラフィ
ーあるいはメッキなどで行えばよい。また、この電極の
形式は電極の一方を基板とする単極式であってもよい
が、これは内部に二つの電極を対向させる双極式のもの
であってもよい。
【００１０】また、この静電チャック基板を構成する高
絶縁体層はアルミナ、窒化アルミニウム、ジルコニア、
石英、窒化ほう素、サイアロンあるいはこれらの混合物
からなるセラミックスの焼結体あるいはこれらのセラミ
ックスのプラズマによる溶射により作られたもの、さら
にはポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂な
どの高分子物質で作られたものとすればよいが、これら
の中では耐ドライエッチング性や耐熱性の面からはセラ
ミックス製の高絶縁体とすることがよい。
【００１１】なお、この高絶縁体層については、この静
電チャックの静電力が前記したように印加電圧の２乗に
比例し、基板を吸着する絶縁体層の厚さの２乗に反比例
することから、この厚さは薄ければ薄いほどよいのであ
るが、加工のし易さ、基板と電極との間で放電が生じな
い範囲とするということから、この厚さは好ましくは１
〜 4,000μm の範囲とすればよい。
【００１２】また、この高絶縁体はリーク電流を抑制す
るということから、20℃の体積固有抵抗値が1012Ω・cm
以上のものとすることが必要とされるが、吸着面側でな
いもう一方の絶縁体層もこれと同じものとすることがよ
い。
【００１３】つぎに本発明の静電チャックに使用される
高誘電体層はチタン酸バリウム、チタン酸鉛、チタン酸
ジルコニウム、ＰＬＺＴなどの高誘電体物質で作られた
ものとすればよいが、これは高い吸着力を得るというこ
とからは20℃、１MHz での誘電率が50以上のものとする
ことがよい。
【００１４】本発明の静電チャックは上記したように電
極の上下の絶縁層のうち、吸着面側の絶縁体層を高絶縁
体層と高誘電体を順に重ねたものであるが、この静電チ
ャック基板は通常薄いもので取り扱い時に壊れ易いとい
う不利があるので、この静電チャック基板はアルミナ、
ジルコニア、石英、窒化アルミニウム、窒化ほう素、サ
イアロンなどのセラミックス基板、またはアルミニウ
ム、銅、ステンレス鋼などの金属基板と一体化したもの
とすることがよい。
【００１５】
【実施例】つぎに本発明の実施例をあげる。 実施例、比較例 酸化アルミニウム粉95重量％とシリカ３重量％およびマ
グネシア２重量からなる混合物 100重量部に、ブチラー
ル樹脂８重量部、トリクロロエチレン50重量部、エタノ
ール10重量部およびフタル酸ジオクチル２重量部を添加
したのち、ボールミル中で35時間混合してスラリーを作
成した。
【００１６】ついで、このスラリーを真空脱泡機で処理
してその溶剤の一部を飛散させて粘度が38,000センチポ
イズのものとし、このスラリーからドクターブレードを
用いて厚さ２mmと 0.7mmの２枚のグリーンシートを作
り、このグリーンシートから直径が 180mmφの円盤を各
々１枚づつ切り出し、この厚さ２mmのグリーンシート円
盤にタングステンペーストを用いてスクリーン印刷で双
極型電極を１mmの間隔で同心円状に印刷した。
【００１７】また、上記における酸化アルミニウム、シ
リカ、マグネシアからなる混合物の代わりにチタン酸バ
リウム 100重量部を使用して上記と同じ方法でスラリー
を作ったのち、厚さ１mmで直径が 180mmφの円盤を作
り、これを上記したタングステンで電極が印刷された厚
さ２mmのグリーンシート円盤上に重ね、これにさらに上
記で得た厚さ 0.7mmのグリーンシートを積層した。
【００１８】ついで、この積層体を 100℃でプレスして
これを一体化し、その後、水素20％、窒素80％の雰囲気
ガス中で 1,650℃の温度で焼結したところ、焼結体が得
られた。なお、チタン酸バリウムのみの焼結体の20℃、
１MHz の誘電率は50であり、またアルミナ焼結体のみの
体積固有抵抗は20℃で２×1014Ω・cmであった。つい
で、この焼結体の両面を約 0.1mm研磨し、レーザー加工
機で直径 140mmφの円盤にし、この電極に２本のリード
線を接着して静電チャック基板を作成した。
【００１９】つぎにこのようにして作った静電チャック
のリード線間に 600Ｖの直流を印加して直径６インチの
シリコン基板を吸着させ、静電力テスターでその静電力
を測定したところ、これは室温で28ｇ／cm2 の大きさ
で、ウェハーの平坦度の矯正に充分なものであった。
【００２０】しかし、比較のために、上記の静電チャッ
クにおいて電極の上にチタン酸バリウムをのせ たもの
は、 500Ｖの電圧を印加したときにタングステン電極間
で電流がリークして 600Ｖではアークが飛んで短絡して
しまったし、上記の実施例中のチタン酸バリウム層の代
りにアルミナ層を積層したものは静電力が 1.5ｇ／cm2
であることから、これはウェハーの平坦度の矯正には不
充分なものであった。
【００２１】
【発明の効果】本発明は静電チャックに関するものであ
り、これは前記したように電極の上下に絶縁層を有する
静電チャックにおいて、その吸着面側の絶縁層が吸着面
から順に高絶縁体層および高誘電体層の少なくとも２層
よりなることを特徴とするものであるが、これによれば
高い吸着力をもち、リーク電流を防止できる静電チャッ
クが得られるし、これは導電性、半導電性、絶縁性の対
象物を静電的に吸着、保持し、容易に脱着できるので、
半導体や液晶の製造プロセスなどに有用とされるという
有利性が与えられる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小嶋 伸次 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越 化学工業株式会社 精密機能材料研究所 内 (56)参考文献 特開 昭61−260949（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/68 H02N 13/00

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 電極の上下に絶縁層を有する静電チャッ
    クにおいて、その吸着面側の絶縁層が吸着面から順に体
    積固有抵抗値が20℃で10 12 Ω・cm以上の高絶縁体層およ
    び誘電率が20℃、１MH Z で50 以上の高誘電体層の少な
    くとも２層からなるものであることを特徴とする静電チ
    ャック。
  2. 【請求項２】 高絶縁体層がセラミックスからなるもの
    である請求項１に記載した静電チャック。
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