TW399281B - Electrostatic chuck having a unidirectionally conducting coupler layer - Google Patents

Description

A7 —_____ B7 _____ 五、發明説明（） ' 發明镅嫿： 本發明關於用以夾持基材之靜電吸盤。 發明背景： 在基材的處理期間，靜電吸盤被用夾持，例如矽晶圓 之基材。典型的靜電吸盤包含靜電组件，其被附著至一基 座上’該基座係能被固設至在一室裡支架上。為了要使用 吸盤，基材被放置在靜電组件上，而且靜電組件裡的電極 被電氣偏屋·至基材上一電恩。處理氣嫌被引入處理室之 内，而且在某些處理中，電漿從處理氣體被形成。，相反靜 電電荷累積在靜電組件和基材上，造成相吸靜電力，使得 基材被靜電夹持到吸盤上。 - . 經濟部中先揉隼局β;工消費合作社印裝 吸盤的靜電組件典型地包含絕緣體，其園繞一電極和 具有一連接電極至於處理室裡的電壓供給終端之連接器 帶。典型地，連結器帶延伸過吸盤的邊緣並且被暴露在該 室之腐蝕環境中。該復蓋該連結器帶之絕緣體典型地包含 一絕緣聚合體，例如聚醢亞胺，其對於腐蝕環境具有有限 的壽命，該環境係例如含氧電漿。在如此的腐蝕處理中， 在電連接器帶上之暴露絕緣體係快速地腐蝕，而且在單_ 點上之腐蝕穿過絕緣體可能引起在電極和電漿間夕 . 〜赞· 弧，需要替換整個吸盤。 對於該問題之一解決方法是，描述於美國申請案號第 0 8/3 3 3,455號，由Yuh-Jia Su於1994年1 1月2曰所申請 ' 名稱為“防腐蝕靜電吸盤”，該案於此處被列入參考，4 1 ,其 第頂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局—工消费合作社印聚 五、發明説明（ 中，一保護插塞被用以復蓋該連結器帶。然而，保護插塞 可以由侵蚀’以在室裡形成污染物。在另外解決方法中， 係描述於美國專利申請案第08/410 449號，其係申請於 1995年二月24日，由Shamouilian等人所申請，該連接 器帶被插入穿過吸盤基座中之孔中，以使得連接g帶被覆 蓋並且，藉由覆蓋基材而防止腐蝕環境。然而，連接器帶 被摺疊，以插入穿過基座裡的孔而且被靜電组件上的弯 曲帶壓力所壓力壓迫可能造成在靜電組件裡面的剝離。同 時’在連接器帶和基座裡的孔間之氣隙可以允許處理氣體 和電漿接觸並且腐蝕連接器帶。 ^ 在傳統的择電吸盤中，其他的問題發生在吸盤之連接 器帶與室裡的高壓终端的電氣接觸點上.一高電壓接觸组 件典型地包含多種元件，包括用以電氣連接連接器帶到電 壓终端的電接觸圓盤，和提供與該接觸圓盤及终端間之密 封之整圈’該接觸組件被用以形成接觸組件。當高電壓组 件的元件未被‘適當地裝配的時候，電荷可以從這些元件漏 到該包圍導電.基座上。此電荷洩漏可以造成用以夾持該基 材之靜電力冬變化’導致衿該室裡的基材移動或對不準。 同時’也很難组合高壓元件，該等元件只可以在連接器帶 被定位在吸盤的基材下之後才組合。再者，那些電氣接觸 圓盤和墊圈被精確地作成尺寸，以獲得良好的電氣接觸並 且隨後以昂贵方式製造。 另一問題發生是由由連接器組件所發出之壓力對抗 相當薄的電極層。為了完成良好的電氣接觸，電壓終端被 第3頁 本紙张尺度適用中國國家橾率（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注*.事項再填寫本頁) -絮. 經濟部中央橾率局負工消费合作社印裝 A7 ~ -----j7 __ 五、發明説明（） ----- 堅固地壓向連接器帶的暴靈鼽 —μ ,、 部分’該強烈施加之壓力磨損 在與電壓终端接觸點之連接器帶的接觸部分。同時強壓 力加至連接器帶上可能造成帶在它㈣曲部分故障。另一 方式’-弱墨力提供較差的電氣接觸，而造成連接器帶的 阻抗改變’而且’造成變化和非統一的靜電吸盤丄。 因此’吾人想要有一靜電吸盤，纟有一電氣接點組 件，其能直接連接至電極，展現流動於其間電荷之降低之 洩漏或變化，並且，限制靜電组件之損害或破壞。再者， »人想要吸盤實質對抗於腐蝕氣體環境裡的腐飪。令人想 要以最少量的元件與最少所需來製造。更想要的是具有_ 高電整接點’其提供良好之電氣充電導電性沒有過量之電 荷消散到週圍吸盤結構。 發明目的及概诚： 本發明之靜電吸盤藉由在靜電吸盤之電極與一用以 充電極用之處理室之電壓供給終端間，提供一可靠和良好 的電氣連接而滿足這些需求《該吸盤包含一靜電組件，該 組件包括⑴一電極，（ii) 一電氣岑緣夾持面，及(iii) 一電氣 接觸面，用以導通電荷至電極。單向導通耦合層被結合至 該接觸面，以只有於單向導通電荷，由電壓供給終端到接 觸面，以充電電極。所得吸盤可提供安全·和高導電連接並 降低經過週圍吸盤結構之洩漏電荷。 在另一方面，本發明提供一用以夾持處理室中基材之 靜電吸盤之製造方法，該室具有一電壓供給终·端’用以充 第4頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4说格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝 ,?τ 經濟部中央揉準局負工消费合作社印製 A7 B7 -------- ----------—__ 五、發明説明（） — 電該吸盤。該方法包含步驟有：形成靜電組件，該組件包 含一電極，具贫一電氣絕緣夾持表面和一暴露的電氣接觸 面》—單向導通耦合層被結合至電極的接觸面上，以只有 於一單方向中導通電荷，以由電壓供給终端接觸表面之方 法，以充電該靜電組件之電極。 ’ 本發明之造些和其他特徵，態樣，和侵點將藉由參考 以下之說明，隨附之申請專利範園，及附瞩而變得更易了 解。 圈式簡單說明

I 第1圈為一處理室之部份剖面圈，其示出依據本發明之靜 電吸盤° 第2圖為一詳細部份剖面圖，示出於電極，單向導通耦合 層，及電壓供給終端間之露出接觸面間之電氣連 接。 第3囷為一處理室之一部份剖面示意囷，示出依據本發明 之雙極性發，電吸盤之一實施例；及 第4圖為一真2笔储存之示意剖·面圖’用以於壓力形成装 置中製造一靜電吸盤》 圖號對照說明： .· 20 靜電吸盤 22 基座 24 孔 25 靜電組件 30 電極 40 ' 絕緣夹持面 第5頁 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先聞讀背面.之注*-事項再填寫本頁) 裝. 訂 • nn A7 A7 B7

五、發明説明（） 45 基材 48 電接觸面 50 電連接器 55 接合面 60 終端表面 65 電恩供給終端 70 耦合層 80 處理室 82 氣II入口 84 節流閥排氣口 85 電壓供給 90 電壓供給 95 接地表面 100 熱傳送氣《源 105 凹槽 170 正圓插銷组件 175 孔 180 導電終端頭 190 密封0型環 192 夹缝定 195 聚合物轴_套 200 基礎膜組件 205 壓力形成裝置 210 真空袋組件 215 不鏽鋼基礎板 220 彈性袋材料 225 釋放膜 230 壓力分配片 235 多孔通氣纖維 240 通氣片 發明詳鈿i» 8H : 第1圈舉例說明依據本發明之一靜電吸盤2〇0靜世 -取¥吸 經濟部中央標隼局員工消費合作社印袋 盤2〇包含具有一孔24穿於其間之基座22，該基座22係 合適作為支撐一靜電組件25»該靜電組件25包含（i)電極 3 0 ’（Π)—電氣絕緣夾持面40,在電極上用來握住基材45, 及（Hi)—電氣接觸面48，用以導通電荷到電極30 »較佳 地’接觸面48包含沒有絕緣體於其上的電極3〇的暴露部 分° —電氣連接器50包含接合面55，其能被結合並雷電 _—第 6頁 本錄尺度適用中ϋ國轉準（CNS )八4驗（210X297公釐) 經濟部中央標準局男工消費合作社印装 A7 B7 五、發明説明（） 氣耦合至該電極的暴露接觸面48，以及，一終端面60, 用以電氣連接並接合該連接至一電壓供給終端65,延伸穿 過於基座22裡的孔24。一單向導通搞合層70電氣耗合並 經由電連接器50而結合電壓供給終端65至靜電組件25 -¾. 的接觸面48，以只以一單一方向由電壓供給終端65至靜 電組件25之電極導通電流，該單向導通耦合層7〇允許電 流直接流到單一方向中之電極，該方向係正交並橫向於導 通層70的平面，藉以減少經由圍繞電氣導通基座24之電 流消散。 在使用的時候，靜電吸盤20被固設於在處理室80裡 的支持座75上。支持座75包含絕緣體凸緣77,在支持座 75和室8〇之間，以電氣隔離該支持座75。處理室8〇形 成一密室，合適以處理基材45,並典型包含氣體入口 82, 用來引入電漿形成處理氣嫌至室中，以及，一節流閥排氣 孔84，用以由室80排出氣體副產物。示於第I圖中之處 理室80之特定實施例係合適以用以電漿處理一基材45， 該電漿為吸盤20之一主要腐姓源。然而’吸盤2〇可以用 於其他處理室’以及，其他非電漿處理，並沒有離開本發 明凡之範圍。 當吸盤20被固設在支持座75之上時，連接器5〇的 终端表面60電氣耦合在支持座75上的终端65。第一電壓 供給85、提供電壓給電壓供給終端65<電壓流過連接器5〇 和單向導通耦合層70，以操作靜電组件之電極3〇。第一 電壓供給85典型地包括一電路，其包含大約1〇〇〇到3〇〇〇 第7頁 本紙張尺度適用中國國家;^準（CNS )八4規格（210X297公楚)' ---—- (請先閲讀背面_之注項再填寫本頁) 裝 訂 I A7 B7 五、發明説明（） 伏特的高電壓直流’其經由一 10百萬歐姆（ΜΩ)電阻連接 到高壓资料讀值。於電路中之1百萬歐姆（Μ Ω )限制流經 該電路的電流，以及，一 500微微法拉（PF)之電容被提供 作為交流濾波器。 第二電壓供給90被連接到於處理室80中之支持座75 之電氣導通部分。在支持座75之電氣導通部分動作當做 處理電極，典型為陰極，用以形成於室80裡的電漿，該 第二電壓供給90電氣偏壓該支持座75以相對於室80中 之電氣接地表面95’其係為一陽極，以形成來自被引入室 80内的處理氣髏之電漿•該第二電壓供給90通常.包含一 RF阻抗，其匹配室80之阻抗至線電壓之阻抗，該阻抗係 串聯一隔絕電容器。 為了要操作吸盤20，處理室80被抽真空並保持於一 預定次大氣的昼力。基材45被放置在吸盤20上，而且吸 盤20的電極30被相對於基材45作電氣偏壓，一為第一 電壓供給85所經由連接器50及單向導通耦合層70之電 壓或電流》隨後，處理氣體被經由氣體入口 82進入室-80 之内，而且電漿被藉由啟動第二電壓供給90而從處理氣 禮形成。施加至電極30的電壓造成靜電電荷累積在電極 30’以及’室80裡的電漿提供具有相反極性之電氣充電 種類’該電荷係累積在基材45上》所累積相反靜電電荷 造成一在基材45和吸盤20的電極30問之吸引靜電力， 造成予以被靜電夾持之基材45被夾持於吸盤2{)上。為了 保持基材45於均勻溫度，熱轉移氣體源1〇〇被用來供給 第8頁 本紙法尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0 X 297公釐） 背 ιέ 之 注 % 绍 經濟部中央標準局負工消费合作杜印製 A7 B7 經濟部中央梂準局貝工消费合作社印犁 五、發明説明（ 熱傳送氣禮到靜電組件25之絕緣表面40中之凹槽105 中。該靜電夾持基材45蓋著並封閉那些四槽105,降低來 自該凹槽105之熱傳送氣體之洩漏。於槽〗〇5中之熱傳送 氣親除去基材45上之熱並於基材處理時，保持基材45於 定溫。典型地，該凹槽105被分離，大小作成並分配，使 得保持於凹槽105中之熱傳送氣嫌可以實際冷卻整個基材 45。更典型地是該等凹槽！ 05形成延伸於整個覆蓋該電極 30之絕緣層35之交叉之圈案。 參考第2圈’吸盤的電極30被一經由一電壓供給终 端65之電荷所供電，該终端係較佳位於於基座22,及支持 座75交界間之支持座75之上。典型地，每電壓供給终端 65包括被安置於貫穿支持座75之孔175中之正圓形插销 組件170。諸插銷組件17〇终結以導電終端頭ι8〇，其較 佳是鍍金的銅。高電壓接線（未顯示）從第一電壓供給85 延伸至插銷組件170,以提供電壓給導電終端頭18〇。在 基座22和支持座75間的界面被封閉，以避免任何熱轉移 氣體渡過基座22的孔24，漏入處理室80之内。密封〇 型環190被安置在基座22和支持座75間之界面之中，並 被圓周地定位於基座22的連接器50和孔24之中。一定 位銷192防止連接器50的迴轉運動。聚合體或彈性體軸 被195包圍高電壓接觸組件，以電氣隔離高電壓接觸組 件， ' 一雙極吸盤20之操作係被例示於第3囷之中，該組 件具有至少兩個電極30a，3〇b於其中。每一電極3〇a 3〇b 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4礼格（210X297公着） (請先Μ讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝. 訂 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 A7 B7 五、發明说明（） 單向導通耦合層70提供安全可靠，和高電導接觸， 以方向地導通高電壓和電流至電極30。因為單向導通耦合 層70包含一各向異性的導通材料，其具有一主或高電導 軸112於Z方向，該方向係與連接器50的縱軸平行，和 於平行於連接器60的剖面之XY方向中之第二低電導面 114，消散經吸盤20之周圍導通部份之電流係減少或實質 上完全地被除去。 單向導通耦合層70同時也能形成連接器50的一部 份，舉例來說’連接器的上層，或整個連接器5〇可以從 單向導通材料被完全地製造<» , 在被較喜歡的版本中，單向導通耦合層70包含一結 合黏劑，其係能夠直接結合連接器50的接合面55至電極 30之曝露接觸面48。這允許連接器50經由單向導通耦合 層70形成一方向電接觸至電極3〇，以允許電流的通道而 不必彈簧載入並直接將連接器50壓向向電極3〇之表面， 而不需交插入層。所得之组件降低了相當薄電極層之磨損 及損害。同時，應用至電極30上之力量降低了減少或消 除了在靜電組件25的破損或磨損，增加了該吸盤之壽命。 合適之單向電氣導通黏劑包含z•連結（TM),其可由美國明 尼蘇達州北田之Sheldhal公司購得。較佳地，該方向導通 黏劑有0.1至50 0之刹離強度，且較典型地從大約i 到1 0碲' 兮。 高壓接觸組件可以藉由黏著結合導通層70而結合連 接器50至電極30上’而可以於單一壓力形成步驟加以製 ____ 第12頁 本紙張尺度刺巾關家榇準（CNS ) ( 21GX2?7公着) ----

^ 1 裝 I 訂«^------ (請先閱讀背面之注^事項再填寫本頁) A7 ______B7 五、發明説明（） 一單一電連接器50係用以電氣連接單極電極3〇至第 —電麼供給85。分開之連接器被用以個別地電氣連接每一 雙極性電極30a’ 30b至第一電壓供給85。對於該等電極， 電氣連接器係實質相同，以避免重覆β連接器5〇,可以由 一導電金屬’例如銅或鋁所作成。該連接器5〇 ^足夠地 長’以電氣連接電極30至電壓供給終端65。典型地，連 接器50之長及寬可以由約1毫米至2〇毫米。連接器5〇 包含一合適以經由單向導通耦合層電氣連接至電極3〇 之曝露接觸面48之接合面55。連接器50同時也包含一终 端面60，用以電氣連接電壓供給終端65。連接器5〇之終 端面60係被成形並作出大小以足夠直接電氣連接在支持 座75上之電壓供給終端65,而沒有高壓發弧於其間。較 佳地，終端面60之區域係至少高壓終端65之面積，較佳 係實質等於高壓終端65之面積》終端面6〇之區域係典型 地由約50至400平方毫米。一碟型或矩型剖面终端面6〇 ' 具有一半徑由5至12毫米者提供了足夠之接觸區域。 經濟部中央搮隼局貝工消费合作社印製 現將說明製造靜電組件25之方法。較佳地，靜電組 件係被作成積層，其包含兩或多數層之絕緣體35a，3讪， 以單極電極30或雙極電極30a，30b於其中。積層可以由 一多層蹲加以製造，該膜包含一絕緣層及一導電層，例如 可1由美國亞力桑那州成得之羅傑公司購得之“ R/FLEX 1100”膜’其包含一導電銅層於25至125微米厚聚醯亞胺 絕緣層。多層膜之銅層被蝕刻，形成路徑，或加以以形成 電極30、一合適以形成電極30或電極3〇a，3〇b之蝕刻處 第Π頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） A7 _____ B7 - 五、發明説明（) 理包含步驟：⑴形成-保護光阻層’其作出相當於電極之 外形’於多層膜之導電層上，及(ii)使用傳統蝕刻處理來 蝕刻光阻保護多#膜。光阻層可以使用光阻材料，例如由· 杜邦化學公司所製造之”RIST0N”者施加至電極層上加以. 形成。傳統微影方&，例如，描述於加州萊提斯^刷公司 發行由史丹利及理查所著之yLsi世紀乏功虚理：_挪/ 1第12’ 13’ 14章所述，該資料於此作為參考以在導 電層上作出光阻圖案》如钇直珲第16章所描述之傳統濕（ 或乾化學蝕刻方法可以用以蝕刻多層膜，該資料於此作為 參考。一合適濕蚀刻化學蝕刻方法包含將多層膜浸·入一例 如氣化鐵，過硫酸鈉或一酸基之蝕刻液中，直到電極層之· 未被保護部份被蝕刻掉。 經濟部中央標丰局貝工消費合作社印製 在蝕刻導電層以形成電極30之後，一第二絕緣膜係 黏著於導電層之上，使得導電層被包含於上絕緣膜之内， 以形成積層電極组件25。一開口係形成第二絕緣膜中，以 曝露導電層之一部份，以形成曝露接觸面48。合適絕緣膜 包含例如“ KAPTON”，其係由杜邦所製.造之聚醢亞胺 膜；” APIQUEO”由日本鐘淵化學工業，“ UPILEX”由曰 本宇部工業公司製造；” NITOMID”由曰本日東電氣工業 公司所製造，及由日本三菱塑膠工業所製造 “ SUPERIOR FILM”。製造絕緣積層結構之方法通•常描述/ 於前述之美國專利申請案第08/1 99,91 6號。 ' 參考第4圖，一壓力形成處理係用以黏著並結合 組件25之彼此各層，並同時結合連接器50至單向莘適廣 第18頁 本紙張尺度適用中國园家標準（CNS ) Λ4現格（210X 297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印聚 A7 B7 五、發明説明（） 30。於結合前’電極之外露接觸面48及連接器之接合面 55均被結合至單向導通耦合層7〇，並被使用過硫酸鈉加 以蚀刻清洗於9 5 °F約3 0至4 5秒，並隨後於水中清洗。各 種絕緣體及電極層係放置於基座80上。一單向導通材料 聲 之碟形墊’其係例如前述之Z-LINK結合材料係被切割並 由基座80之背部定位至電極3〇之曝露接觸面48。一預製 連接器係然後被插入於基座22中之孔24中。連接器50 之接合面55放在單向導通層7〇上，連接器5〇之終端面 60係經由基座22曝露，以形成如第4圈所示之基座膜组 件 200。

I 該基座膜組件200被預烤至一约250T之溫度约2小 時’於一氮氣氛中，以除去殘餘濕氣。基座膜組件200然 後被放置在壓力形成裝置2 05中，其被保持於足夠以使絕 緣層35a，35b彼此結合並結合單向導通層至連接器5〇之 壓力。典型地，壓力形成裝置205被保持於約500至3000 托耳（10至500pSi)之壓力，典型係約10,00q至3〇 〇〇〇托 耳（200至500psi)。當絕緣層35a，35b使用.一壓力感應黏 劑黏著至基座22上時，低壓係較佳地，以避免過量擦壓 黏劑流出，壓力典型由約500至13,000托耳（10至25卩3丨）。 較佳地’一具有粗糙度少於〇.2至〇.3微米RMS之不翁鋼 板被定位在絕緣層35a，35b之上，以施加一均勻定壓力 至積廣上，以提供一平夾持面40。傳統整力形成處理係大 致描述於Allen J. Kling之先進化合物之合成物間此姑 逛_，於此係作為參考。 、 第19頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210X297公釐） ----：---Γ---裝-- •: .( (靖先閲讀背*-之注東事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央搮隼局真工消費合作社印装 A7 B7 五、發明説明（） 較佳地，同時平坦化，基膜组件200係被加熱至一足 夠高之溫度’使得絕緣膜層35a，35b變成可延展並黏著 至電極30,並黏著至單向導通耦合層7〇至連接器5〇之接 合面55。一典型加熱程序包含⑴溫度上升為約12卞/分， 1 5分以允許氣體反應副產品由絕緣膜排出’（Η)垒度被保 持在絕緣體及單向導通材料之固化溫度，典型係由約375 至380F，約50至60分，及（⑴）一溫度下降以12下/分下 降。 合適壓力形成裝置205包含熱壓，印壓或均衡壓型。 熱壓係較佳的，因為其施加一更均勻壓力在基座,膜组件 200上》典型熱壓包含壓力阻力鋼室具有範圍由約1至1〇 吸之直徑。一壓力非反應氣體例如二氧化碳，或氮被用以 壓力化該熱壓。合適熱壓包含由加州Santa Fe Springs之 “波隆熱壓（BARON AUTOCLAVES)” ；於加州 Anaheim 之“ AOV工業”，及加州Azusa之“ MELCO鋼業”所製 造者。除了使用熱壓之外’一印壓或均壓也可以使用以配 合絕緣層3 5a，3 5b至基座22上。當一印壓被使用時，一 例如碎酮或不鏽鋼板之壓力分配片係被放置在絕緣層 3 5a，3 5b上，以均勻地分配壓力至基座膜組件2〇〇上。均 勻壓型藉由放置基座膜組件200於一合適之均勻模袋中， 並使用均勻壓力施加一足夠壓力於袋上加以使用。 同時施加一壓力於基座膜組件200之上，較佳地係使 用如第4圖所示之真空袋組件210，來柚真空並除去於絕 緣層35a’ 35b及基座80間之空氣。吾人想要除去空氣以 第20頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2丨0X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝.

*1T 經濟部中央橾準局負工消費合作社印装 A7 B7 五、發明説明（） 防止金屬電極30氧化。真空袋组件210典型包含一不嫌 鋼基座板215’其可以使用彈性袋材料22〇加以密封。該 袋材料220典型係由尼龍或矽酮所作成，並由約25至1〇〇 微米厚。由加州卡森之空技國際公司，加州諾瓦克結合線 產品公司及華盛頓州歐柏之Zip-Vac等公司所製^之真空 袋均可適用。為使用真空袋220,基座膜組件2〇5被放置 於袋内’纖維及釋放膜之層係堆疊在基座膜組件上，以形 成真空袋组件’其允許氣碰反應副產品排出並允許基座膜 组件容易地由真空袋中分離•一合適系列之纖維及釋放膜 225a ’ 225b係示於第4圖中’並包含⑴例如由杜邦公司所 製造之“鐵弗龍”之釋放膜及由加州卡森之空技所製造 之‘‘ A4000P”釋放膜，被放置在基座膜组件2〇〇之兩側； (ii) 一恩力分配配合片230，其係例如一壓熱塑妙酮片被放 置在上釋放膜225b之上’（iii)由加州卡森之空技公司所製 造之“ AIRWEAVE FR EDGE BLEED”之多孔通氣纖維235 *係放置在配合片230上，以提昇真空袋21〇之真空度並 除去形成於處理中之凝結物；及（iv)通氣片24〇,例如由 加州卡森之空技所製造之” AIRWEAVE §S RESIN ABSORBER”或“A22C”者是被放置於多孔通氣纖維235 上’以提供均勻之真空壓力於袋周圍。密封真空袋21〇經 由一連接至真空系統之真空連接器線並流經該袋及於搂 近通氣片240终止之真空線而抽真空至一低於約25对水 銀之恩力。 具有本發明特性之靜電吸盤20具有幾項優點。電氣 第21頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公嫠） • W —^1 —1 · n I— -I- - . - ^ J1· mu In mi —I*— - 1 i--SJ- - - - HI 1^1 - -二* . /1 (請先M讀背νέ之注*事項再填寫本頁) A7 B7 五、發明説明（ 連接連接器50至電極3〇之單向導 乎通耦合層70提供了 一 各向均異導通材料，其具有高電導 守十彳丁於連接器50之縱 軸及一低電導於平行於連接器6〇 心到面。這提供了一可 靠及高方向性電壓接觸，其展現降低之高電壓電流消散至 吸盤20之周圍基座22。單向導通耦合層7〇更提士 —高電 流承載能力’其由電壓供給終端導通所需電流至吸盤之電 極30。再者，連接器50之結合至電極3〇提供了可靠及直 接高壓接觸，而不需要彈簧加載或將連接器5〇壓向電極 30。因此，該連接器50並不損壞電極或降低靜電組件25 之結構整醴性。再者，連接器組件係實質反抗於處理室8〇 中之腐蝕環境之腐蝕，因為連接器通過基座22並被夹持 在吸盤上之基材45所復蓋及保護。 雖然’本發明已經參考某些較佳實施例加以細述，但 可以了解各種其他實施例對於熟習於本技藝者係明顯 的。因此’隨附之申請專利範圍之精神及範圍不應被限制 於較佳實施例所示之說明中。 (請先閲讀背面之注*-事項再填寫本頁) -裝· -訂 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 第22頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210x297公釐）

Claims (1)

1. 六 經濟部中央橾準局男工消費合作社印製 申請專利範圍 1. 一種靜電吸盤，用以夾持於一處理室中之基材，該處该 室具有一電壓偏給終端用以充電該靜電吸盤，該靜電吸 盤包含一靜電組件具有一為電氣絕緣夾持面所覆蓋之 電極及一電氣接觸面，用以導通電荷至該電極，其特歡 V 在於： 一單向導通棋合廣係電氣連接至該電氣接觸面 實質只有單向由電壓供給終端至電氣接觸面來導通電 荷，以充電該電極。 2. 如申請專利範圍$ i項所述之靜電吸盤’其中上‘述之單 向導通核合層包含各相均異導通廣’具有—王導通柏實 質正交於電氣接觸面。 · 3. 如申請專利範圍第2項所述之靜電吸盤，其中上述之單 向導通耦合層包含至少〇·1毫歐姆於實質垂直該電氣接 觸面之第一導電率，及一至少ιχ1〇8毫歐姆於平行電氣 接觸面之平面之第二導電率。 4. 如申請專利範圍第3項所述之靜電吸盤，其中上述之單 向導通耦合層包含一至少25安培之電流承載能力* 5. 如申請專利範圍第丨項所述之靜電吸盤，其中上述之單 向導通耦合層係結合至電氣接觸面° 第23頁 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS ) A4規格（210X297公釐） --Η---7---餐---^1· ,:. /V (请先閲讀背政之注-^項存填寫本貧) if-- JIMmw tm·' ♦-J. « m T— n I— I «1^— ^^1 A8 B8 C8 ----- D8 '申請專利範圍 (請先拥讀背面，之注意事項j寫本X ) 種用以製造靜電吸盤之方法，該吸盤係用以夾持於處 理室中之基材，該處理室具有一電壓供給終端，用以充 電靜電吸盤’該方法包含步騾： U)形成一靜電組件，該组件包含一電極，其係被一 電氣絕緣夹持面所覆蓋並具有—電氣接觸面；^ (b)電氣耦合一單向導通耦合層至電氣接觸面，以於 由電壓供给終端至電氣接觸面之實質單一方向中導通 電荷，以充電電極。 7. 如申請專利範圍第6項所述之方法，其中上述之步驟（b) 包含施加一層各相均異導通材料至電氣接觸面，以形成 一單向導通耦合層，其具有一實質正交於該電氣接觸面 之主導通軸。 8. 如申請專利範圍第7項所述之方法，其中上述之步驟（b) 中’該單向導通耦合層包含至少0.1毫歐姆於實質正交 於電氣接觸面之方向之第一導電率，及一少1χ1〇8毫歐 姆平行於電氣接觸面之第二導電率。 趣濟部中夬棣率局員工消费合作社印裝 9. 如申請專利範圍第6項所述之方法’其中上述之步驟（b) 包含結合該單向導通耦合層至電氣接觸面之步驟a 10. 如申請專利範困第6項所述之方法，其中上述之步驟（b) 包含步驟： 第24頁 本紙張尺度適用中围國家梯準（CNS ) A4規格（210 X 297公廣） ABCD 399281 六、申請專利範圍 (i) 施加一層單向導通材料於電氣接觸面上； (ii) 定位一連接器之接面於該單向導通層；及 (iii) 施加一歷·力於該單向導通層上，同時，施加該層 至足夠高之溫度，以形成結合至電氣接觸面及接合面之 單向導通耦合層。 ' I I — — — — — — 裝—_ I I I 訂— — I —_ I 線 *- (請先閲讀背^0注意事項V%寫本頁) 經濟部中央標準局貞工消費合作社印装 第25頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）