JP4080426B2 - 奥行きを強調した画像の収集 - Google Patents
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Description
この発明は、光ファイバ画像収集装置および光ファイバ画像表示装置等の光ファイバ走査装置に関し、より特定的に、直径の極めて小さな可撓性ファイバを用いることによって奥行きの情報を強調して高い画像解像度および広い視野を達成する光ファイバ走査装置に関する。
の欠点の1つは、照明光のほとんどが無駄になるか、または周囲の画素素子に雑音として捕捉されてしまい、非散乱光として戻ってくる僅かな部分しか、所定の画素を規定するために用いられないことである。
この発明に従い、可撓性の光ファイバを有する小型の画像収集システムが実現される。可撓性の光ファイバは、放射された光を所望のパターンに沿って走査するように共振する照明導波路として働く。好ましくは、照明光に対して1つのファイバが用いられる。多色の照明光に関しては、それぞれの色のソースからの光が組み合わされて、1つの照明ファイバの遠位の先端を通り、観察される対象物上に放射されることが好まれる。代替的な実施例では、照明光に対して複数のファイバまたは同軸ファイバが用いられる。
明ファイバの端部に(たとえば遠端部の固定された近端付近に)位置付けられる。集光ファイバが存在してよいが、必ずしも必要ではないことに注目されたい。さらに、検出器は走査パターンをトレースすることができるが、必ずしもトレースする必要はない。
概観
図1を参照すると、小型の画像収集システム10は、照明サブシステム12と、集光器または検出器のサブシステム14と、いくつかの実施例においてホストシステム16とを含む。照明サブシステム12は、対象物上に光を放射する。集光器/検出器のサブシステム14は、対象物から戻ってくる光を収集または検出する。照明サブシステム12および集光器/検出器のサブシステム14は、ホストシステム16に結合される。ホストシステム16は、照明サブシステムの動作と集光器/検出器のサブシステムの動作とを同期させるためのコントローラ18を含む。また、ホストシステム16は、表示装置20と、ユーザインターフェイス21と、画像記憶装置22と、プロセッサ(図示せず)と、メモリ(図示せず)とを含む。実施例の中には、画像収集システム10が、ホストシステム16を備えない独立型装置として構成されるものがある。このような独立型の実施例において、コントローラ18および表示装置20は、独立型システムの一部である。さまざまな適用例において、小型の画像収集システム10は、内視鏡、ボロスコープ、バーコードリーダ、または画像を収集するための別の装置を実現する。ファイバスコープという用語は、この明細書において、走査を行なう光ファイバ導波路を用いる画像収集システムを指すために用いられる。
ントローラ18は光源24に制御信号34を送り、パルス放射のタイミングを同期させて制御する。
。駆動システム48は、コントローラ18から同期信号38を受取る。集光器ファイバ46が動かない実施例では、駆動システム48が必要とされない。
図5A〜図5Cを参照すると、照明ファイバ26が、その長さに沿った地点56で固定された状態で示される。固定地点56から遠位の先端58までのファイバ26の長さは、共振導波路として働く遠端部36と呼ばれる。実施例の中には、実質的にファイバの全体が共振導波路36として働いて、固定地点56から遠端58までの長さに沿って存在する短いファイバ26が用いられるものもある。導波路36は、共振モードにおいて導波路をたわませるファイバたわみ駆動システム28(図2参照)によって駆動される。
る。導波路36は、ニュートラル位置72と、2つの最大たわみ位置74および76とにある状態で示される。固定地点56および遠端58の静止節間に、さらなる静止節は示されていないが、さまざまな実施例では、このような地点56と58との間に、さらなる静止節が実際には生じる。導波路の遠位の先端において本来の振動共振の節を維持するために、遠端58における質量と減衰とが、制御される設計特性である。一般に、均一なトポグラフィおよび材料特性の導波路から、質量と減衰との両方を僅かに増大させると十分である。一実施例では、より屈折率の大きい(または大きな)コリメートレンズ37を導波路36の先端に加える。
小型の画像収集システム10が先行技術の装置に優る特徴の1つは、画素の解像度が、サンプリングされたスポットサイズ(たとえばセンサまたは集光器ファイバのサンプリング領域によって)ではなく、照明のスポットサイズによって決まることである。出願人の方法では、サンプリングされた領域のサイズではなく、照明のスポットサイズが画素の解像度を決定する。その結果、検出器のサイズは画像の解像度に影響を及ぼさない。したがって、所望の機能性(色、立体、高コントラスト等)に従って、1つの大きな検出器または複数のより小さな検出器が用いられる。
のラスタパターンに沿って走査する。さらに他の実施例では、駆動システム28によって螺旋の走査パターンが実現され、螺旋の半径が変化して対象物の領域をトレースする。スポットAおよびCによって形成された弧形が視野を決定し、約180°に及ぶことが可能である。スポットA、BおよびCの距離は、レンズ37および39によって決定され、レンズ37と39との間の距離よりも実質的に大きいことが考えられる。
においてフィルタ処理することによって除去することができる。
図12を参照すると、ファイバたわみシステム28のアクチュエータ125および導波路36が保護被覆122内に封入された、画像収集システム10のスコープ部120が示される。走査レンズ39は、スコープの端部を封止する。走査レンズ39の焦点面は、ファイバの先端58および遠位のレンズ37に対する位置とパワーとに依存する。遠位のレンズ37に対してレンズ38を軸方向に移動させることによって、焦点面を調節することができる。
支持物140から片持ち梁の状態にされる。ベンダ142は、ファイバたわみ駆動システム28(図2参照)のアクチュエータとして働く。ベンダ142の遠端にはディスク構造146があり、ディスク構造146は、低速の走査の軸145を生じるために用いられる、片持ち梁にされた光ファイバ走査導波路36を支持する。
立体視および色の観察を可能にするように、さまざまなスコープの実施例を適合させることができる。たとえば立体撮像は、物理的に離して配置されて戻り光を同時にサンプリングする複数の検出器を設けることによって実現される。これは、立体視に別個のスコープが用いられる従来のシステムに優る実質的な利点である。それとは対照的に、立体視を得るために、1つの照明ファイバが用いられる。
1つの検出器を備えたファイバスコープで画像を収集する際に、画像は、照明ファイバの位置に配置されているように見える視点と、戻り光を検知する光検出器の位置に配置されているように見える、1つの見かけの指向的な光源とを有する。画像は、1つの見かけの光源から生じる、強力な奥行き手がかりを有する。奥行き手がかりは、多数のセンサから捕捉された画像を用いることによって改良され得る。これらの画像を組合せて、影の細部または奥行きの知覚が強調された、改良された画像を生じる。
るために、ユーザの援助は減少するが、表面の特性についての仮定が行われる。したがって、正確な奥行きの情報を導出する際のユーザの援助をなくすために、少なくとも3つの検出器が好ましい。奥行きの情報を導出するために複数の画像を用いることにより、表面が凹状であるかまたは凸状であるかといった曖昧性がなくなり、さまざまなアルベド(すなわち、表面の拡散反射特性)を備えた表面の分析が可能になる。
ある3つの検出器から、収集される。以前に、奥行きの情報を生成するために処理されるように、2つ、好ましくは3つの画像が収集されると述べた。これらの画像はカラーである必要はない。3色の撮像システムにおいて収集される1つの画像につき、同じ位置に配置された3つの検出器が用いられ、さらに、奥行きを抽出するための好ましい3つの画像を得るために2つの多波長がさらに用いられるということは、奥行きの情報が強調された3色の出力画像を得るために、好ましくは少なくとも5つの検出器が用いられることを意味する。
等高線が付けられた表面の表面配向を復元するためには、収集された画素の1つの明るさの値に加え、追加の情報が必要とされる。異なる照明によって収集された2つの画像は、2つの自由度を有する配向の値を求める際に用いるための2つのサンプルを提供する。しかしながら、2つの画像を用いても、結果的に得られる2つの等式は非線形であり得、または、配向が狭い範囲(関係が線形である場合)でしか導出され得ない。好ましくは、上で論じたように少なくとも3つの画像が収集されて、方位マップの精度を高め、それに対して解を得ることのできる、考え得る表面配向の範囲を拡大する。
けするパラメータである。
拡大されたガウス画像の別の例である配向のヒストグラムは、対象物の認識に用いられる。既知の形状の、原形となる配向のヒストグラムが得られる。一般に、さまざまな対象物の、原形となる配向のヒストグラムは、著しく異なる。次に、記憶された原形と、試験的に得られた配向のヒストグラムとを比較して、未知の対象物を既知の対象物の種類の1つに割当てることができる。
別の実施例において、真の立体視は、各画素の位置において距離を測定することによってスコープから標的までの軸方向の測定を行なうことによって得られる。このような軸方向の測定は、立体画像を生成するために処理される第3の画像の次元である。たとえば、組み合わせられた対の検出器50からの信号は、コントローラによって処理されて、戻り光の位相差を検出する。このような位相差は、スキャナから標的対象物の距離に対応する。
されている対象物を撮像するための光のビームを含む。このような出力ビームは、可視光の単色ビームまたはカラービームのいずれかである。加えて、出力ビームは、距離測定のための一致ビーム(coincident beam)も含む。一致ビームは、可視光または非可視光のいずれかである。
A.内視鏡/ボロスコープ/カテーテル
・全径が小さく、最良の態様は≦3mm、
・1つの光ファイバを含む、極めて可撓性の高いシャフト、
・理論上の限界が5μmであると概算される高解像度、
・極めて広い視野(FOV)が得られる(標準の45°を超えて、最大180度まで)、
・赤(R)、緑(G)、および青(B)のフルカラー検出、
・以下の2つの方法、すなわち、
−組み合わされた対の立体R、G、B光検出器が、走査される照明系に固有の形状上のコントラスト特性を強調することを助ける、擬似立体、
−真の立体を可能にする、最良の態様において直径が≦6mmの2つの画像生成器、のいずれかで達成される立体画像の検出、
・画像表示のビデオ速度(30〜60Hzのリフレッシュ速度が標準である)、
・低コストで、可能性として廃棄可能であり、安全保持性を有する、
・低電力の共振スキャナ動作、
・可動部の少ない単純設計、
・光力学的な治療、レーザ誘起蛍光、レーザ手術、血液のIR撮像等のような医療的処置のために、高パワーのレーザ、可視光、UV、またはIRの照明に適用可能、
・スコープと組織との間の距離の測定(距離の測定および真の3D撮像)、マルチフォトン蛍光撮像、および蛍光寿命撮像のような医療上の適用例のために、高パワーで短パルス化されたUV、可視光、またはIRの照明に適用可能、
・小型および可撓性により、画像生成器を、既存の内視鏡(カニューレ)および可撓性の被覆に後付けするか、または手術用もしくは診断用の器具に取付けることができる、
・光結合器と軸対称の1つのファイバを備え、曲げに加え回転に対する可撓性、
・収集された光電気信号は、特にマルチシンク能力を有するRGBビデオモニタの映像信号の入力と直接互換可能である、
・後方散乱した光が、遠端から近端の観察者の目に光ファイバによって直接誘導されて、遠端における光検出器の必要性をなくす。標準的なビデオ表示モニタに加え、画像は、一実施例において、電気信号の変換を必要としない網膜走査装置によって表示される。
この発明の利点は、画素が得られる方法と、レンズが存在することと、ファイバを駆動する態様とによって、小さな細いスコープであってもファイバの可撓性、広い視野、および高い解像度が得られることである。画素が2−Dの画素アレイではなく、時系列で測定されるため、小さなフォトン検出器を有する必要がない。検出器のサイズは、多くの小さな検出器が広い領域にわたって配置された先行技術のスコープにおけるように重要ではない。したがって、この発明のスコープは、標準的なスコープの画素検出器よりも大きなフォトン検出器を数少なく用いながら、既存のスコープよりも小さく作製することができる。
Claims (38)
- 標的の表面の画像を生成するための方法であって、
光源から光を生成するステップと、
可撓性の光ファイバ導波路において生成された光を受け取るステップと、
共振した片持ち梁導波路の動作を実現するために片持ち梁の方法でアクチュエータを用いて導波路をたわませるステップと、
光のビームとしてファイバ導波路からの生成された光を出力するステップとを含み、共振している導波路は、標的の表面に沿った出力光ビームの走査経路をトレースし、前記方法はさらに、
走査されている前記標的の表面上にレンズで前記ビームを集束させるステップとを含み、前記ビームは、所定の時間に、前記標的のスポットに当るように集束され、前記スポットは、照明されたスポットであり、前記照明されたスポットは、前記ビームが前記標的の表面上で走査されるにつれて時間とともに変化し、前記方法はさらに、
光の前記出力ビームに応答する、前記標的の表面からの戻り光を、複数の単一要素のフォトン検出器によって並行して検出するステップを含み、前記光学軸に対してそれぞれの位置を有する第1の検出器および第2の検出器を備え、照明されたスポットからの前記戻り光は、各検出器において一度に1画素、時系列に並行して検出され、前記方法はさらに、
それぞれの画像を、前記複数の検出器の各々から並行して収集するステップを含み、第1の画像は画素の時系列から第1の検出器で収集され、第2の画像は画素の時系列から第2の検出器で並行して収集され、前記第1の画像および第2の画像は、前記戻り光を生成するために用いられる共通の光のビームに基づいて共通の見かけの視点を有し、前記共通の光のビームは、光の前記出力ビームであり、
前記複数の並行した画像の各画像は、異なる見かけの照明方向を有し、前記第1の画像に対する前記見かけの照明方向は、導波路に関する第1の検出器の位置に基づき、前記第2の画像に対する前記見かけの照明方向は、導波路に関する第2の検出器の位置に基づき、前記方法はさらに、
前記並行して収集された画像からの前記異なる見かけの照明方向に基づいた相対的な奥行きの情報を含む、前記標的の表面の出力画像を導出するために、前記複数の並行した画像を処理するステップを含む、方法。 - 前記検出するステップは、前記照明されたスポットに規定された領域よりも大きな前記標的の表面の領域からの戻り光を検出するステップを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記処理するステップは、第1の画像および第2の画像に基づいて標的の表面の法線の方位マップを生成するステップを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記処理するステップは、前記方位マップから配向のヒストグラムを生成するステップと、前記配向のヒストグラムを1つ以上の原型の配向のヒストグラムと比較して前記標的の表面を分類するステップとをさらに含む、請求項3に記載の方法。
- 前記処理するステップは、前記方位マップから奥行きマップを生成するステップをさらに含む、請求項3に記載の方法。
- 前記処理するステップは、前記奥行きマップから3次元メッシュを生成するステップをさらに含む、請求項3に記載の方法。
- 前記処理するステップは、奥行きの知覚および表面のトポグラフィの一方または両方を強調するために、仮想の照明および視点によって前記3次元メッシュをレンダリングするステップを含む、請求項6に記載の方法。
- 前記処理するステップは、前記3次元メッシュから、観察者の両眼視差が計算された2つの立体画像を計算するステップを含む、請求項6に記載の方法。
- 前記処理するステップは、前記複数の並行した画像の各々に関して、強調された表面のトポグラフィを呈示するために、前記出力画像をレンダリングするステップを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記処理するステップは、前記複数の並行した画像の各々に関して、強調された照明の遠近感を呈示するために、前記出力画像をレンダリングするステップを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記処理するステップは、観察者の両眼視差が計算された2つの立体画像をレンダリングするステップを含み、前記2つの立体画像は、観察者の目への出力画像である、請求項1に記載の方法。
- 光の前記出力ビームは、可視光および紫外線光を含み、第1の検出器は、戻ってくる可視光を検出し、第2の検出器は、戻ってくる紫外線光を検出する、請求項1に記載の方法。
- 光の前記出力ビームは、可視光および赤外線光を含み、前記複数の検出器の第1の検出器は、戻ってくる可視光を検出し、前記複数の検出器の第2の検出器は、戻ってくる赤外線光を検出する、請求項1に記載の方法。
- 前記光を生成するステップは、第1の色の光の第1のビーム、第2の色の光の第2のビーム、および第3の色の光の第3のビームを生成するステップを含み、前記方法はさらに、
前記共振導波路に入る前の、前記第1のビーム、前記第2のビーム、および前記第3のビームを組合せるステップを含み、組合された第1のビーム、第2のビーム、および第3
のビームは、前記出力ビームを形成し、前記複数の検出器は、3つの対の検出器を含み、第1の対の検出器は、第1の色の光を検出するために第1の検出器および第2の検出器を有し、第2の対の検出器は、第2の色の光を検出するためのものであり、第3の対の検出器は、第3の色の光を検出するためのものであり、
前記収集するステップは、前記3つの対の検出器の各検出器から並行して画像を収集するステップを含み、前記処理するステップは、当該3つの対の画像を処理して立体のカラー出力画像を導出するステップを含む、請求項1に記載の方法。 - 光の前記出力ビームは、一連の光パルスであり、前記検出するステップは、前記一連の光パルスに同期され、前記所定の時間に検出された戻り光は、所定の光パルスおよび前記収集された画素に対応する、請求項1に記載の方法。
- 戻り光を前記検出するステップは、反射光を検出するステップを含む、請求項1に記載の方法。
- 戻り光を前記検出するステップは、前記出力ビームに応答して前記標的の表面から放射された蛍光を検出するステップを含む、請求項1に記載の方法。
- 戻り光を前記検出するステップは、前記出力ビームに応答して前記標的の表面から放射された燐光を検出するステップを含む、請求項1に記載の方法。
- 標的の表面の画像を生成するためのシステムであって、
光を放射する光源と、
前記放射された光を受ける可撓性の光導波路と、
共振した片持ち梁導波路の動作を実現するために片持ち梁の方法で導波路をたわませるアクチュエータとを含み、
前記共振した導波路は、標的の表面に沿った出力光ビームの走査経路をトレースするビームとして光を出力し、前記システムはさらに、
走査されている前記標的の表面上に前記ビームを集束するレンズを含み、前記ビームは、所定の時間に、前記標的のスポットに当るように集束され、前記スポットは、照明されたスポットであり、前記照明されたスポットは、前記ビームが前記標的の表面上で走査されるにつれて時間とともに変化し、前記システムはさらに、
前記出力ビームに応答して前記標的の表面からの戻り光を並行に検出するための第1の検出器および第2の検出器を有する複数の単一要素のフォトン検出器とを含み、前記第1の検出器および第2の検出器は、前記光学軸に関してそれぞれの位置を有し、照明されたスポットからの前記戻り光は、各検出器において一度に1画素、時系列に並行して検出され、
それぞれの画像は、前記複数の検出器の各々から並行して収集され、第1の画像は画素 の時系列から第1の検出器で収集され、第2の画像は画素の時系列から第2の検出器で並行して収集され、前記第1の画像および第2の画像は、前記戻り光を生成するために用いられる共通の光のビームに基づいて共通の見かけの視点を有し、前記共通の光のビームは、光の前記出力ビームであり、
前記複数の並行した画像の各画像は、異なる見かけの照明方向を有し、前記第1の画像に対する前記見かけの照明方向は、導波路に関する第1の検出器の位置に基づき、前記第2の画像に対する前記見かけの照明方向は、導波路に関する第2の検出器の位置に基づき、前記システムはさらに、
並行して収集された画像からの前記異なる見かけの照明方向に基づいた相対的な奥行きの情報を含む、前記標的の表面の出力画像を導出するために、前記複数の並行した画像を処理するプロセッサを含む、システム。 - 標的の表面に向けて、片持ち梁の軸に沿って光を放射する光源を前記片持ち梁の先端に有する片持ち梁のアセンブリをさらに含み、前記光は、所定の時間に前記標的の表面のスポットに当り、前記スポットは照明されたスポットであり、
前記アクチュエータは、前記片持ち梁のアセンブリをたわませ、方向付けられた光は、前記標的の表面に沿って走査経路をトレースする、請求項19に記載のシステム。 - 前記複数の検出器の各々は、照明されたスポットのサイズを超える、前記標的の表面の活性化した観察領域を有し、前記光が走査経路をトレースするにつれて、前記検出器のサンプリング時間を前記光に相関させる相関器をさらに含み、画素は、前記標的の表面の一部の画像から収集され、収集された画素の各画素の解像度は、前記照明されたスポットのサイズに対応し、前記並行した画像の第1の画像は、第1の検出器から収集される、請求項19に記載のシステム。
- 光の前記出力ビームは、第1の色の光のビームと、第2の色の光のビームと、第3の色の光のビームとの組合せであり、前記出力画像は、カラー画像であり、
前記複数の検出器は、第1の組の検出器を含み、前記第1の組の検出器は、前記第1の色の光のビームの戻り光を検出するための第1の色の第1の検出器と、前記第2の色の光のビームの戻り光を検出するための第2の色の第1の検出器と、前記第3の色の光のビームの戻り光を検出するための第3の色の第1の検出器とを含み、前記複数の並行した画像の第1の画像は、前記第1の組の検出器から収集される、請求項19に記載のシステム。 - 前記複数の検出器は、第2の組の検出器を含み、前記第2の組の検出器は、第1、第2および第3の色の光ビームをそれぞれ検出するための第1、第2および第3の検出器を含み、前記複数の並行した画像の第2の画像は、前記第2の組の検出器から収集される、請求項22に記載のシステム。
- 前記複数の検出器は、前記第1の色の光のビーム、第2の色の光のビーム、および第3の色の光のビームからの戻り光の明るさを検出するための多波長検出器をさらに含み、前記複数の並行した画像の1つは、前記多波長検出器から収集される、請求項22に記載のシステム。
- 前記プロセッサは、前記複数の並行した画像に基づいて、標的の表面の法線の方位マップを生成する、請求項19に記載のシステム。
- 前記プロセッサは、前記方位マップから配向のヒストグラムを生成し、前記配向のヒストグラムを1つ以上の原型の配向のヒストグラムと比較して、前記標的の表面を分類する、請求項25に記載のシステム。
- 前記プロセッサは、前記方位マップから奥行きマップを生成する、請求項25に記載のシステム。
- 前記プロセッサは、前記奥行きマップから3次元メッシュを生成する、請求項27に記載のシステム。
- 前記プロセッサは、奥行きの知覚および表面のトポグラフィの一方または両方を強調するために、仮想の照明および視点によって3次元メッシュをレンダリングする、請求項28に記載のシステム。
- 前記プロセッサは、前記3次元メッシュから、観察者の両眼視差が計算された2つの立体画像を計算する、請求項29に記載のシステム。
- 複数の検出器は、前記光学軸に関してほぼ共焦点の構成を有し、前記複数の検出器の各々は、多重散乱および色のずれを受けた後方散乱光を除去するために、偏光フィルタを含む、請求項1に記載の方法。
- 光の前記ビームは、高変調帯域幅レーザダイオードから放射された光を含み、レーザパルスは、所定の周波数で放射され、前記方法はさらに、各パルスに対し、前記パルスの放射と対応する戻りパルスの受信との間に経過した時間を求めるステップを含み、前記経過した時間は、前記標的の表面上の最も近接した地点までの距離に比例する、請求項1に記載の方法。
- 光の前記ビームは、光強度の高変調帯域幅を用いる直接変調レーザダイオードから放射された光を含み、前記方法はさらに、放射と、対応する戻り光の受信との間に経過した時間を求めるために、変調に対応する期間にサンプリングを行なうステップを含み、前記経過した時間は、前記標的の表面上の最も近接した地点までの距離に比例する、請求項1に記載の方法。
- 光の前記ビームは、電気的に調整可能なレーザダイオードから放射された光を含み、前記出力するステップは、
前記レーザダイオードから放射された光を連続して周波数変調するステップを含み、前記方法はさらに、前記戻り光と、前記標的の表面までの距離に比例するビート周波数を生成する基準信号とを混合するステップを含む、請求項1に記載の方法。 - 前記検出するステップは、光の前記出力ビームの経路に沿って後方反射する光を検出するステップを含み、前記後方反射する光は、光の前記出力ビームによって干渉パターンを呈示し、前記方法はさらに、光パワーの波形の導関数を生じるために、パルス化方式の相関性を用いて前記後方散乱する光を混合するステップを含み、前記導関数は、前記標的の表面までの距離を示す、請求項1に記載の方法。
- 前記検出するステップは、光の前記出力ビームの経路に沿って後方反射する光を検出するステップを含み、前記後方反射する光は、光の前記出力ビームによって干渉パターンを呈示し、前記方法はさらに、光パワーの波形の導関数を生じるために、連続レーザ放射方式の相関性を用いて前記後方散乱する光を混合するステップを含み、前記導関数は、前記標的の表面までの距離を示す、請求項1に記載の方法。
- 前記たわませるステップは、導波路の末端における静止節で共振動作を実現するために片持ち梁の方法で導波路をたわませるステップを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記アクチュエータは、導波路の末端における静止節で共振動作を実現するために片持ち梁の方法で導波路をたわませる、請求項19に記載のシステム。
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