KR100859253B1 - 실시간 대구경 레이저 빔의 근시야상 검출을 위한 리니어ccd 신호처리시스템 및 방법 - Google Patents

실시간 대구경 레이저 빔의 근시야상 검출을 위한 리니어ccd 신호처리시스템 및 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100859253B1
KR100859253B1 KR1020070014026A KR20070014026A KR100859253B1 KR 100859253 B1 KR100859253 B1 KR 100859253B1 KR 1020070014026 A KR1020070014026 A KR 1020070014026A KR 20070014026 A KR20070014026 A KR 20070014026A KR 100859253 B1 KR100859253 B1 KR 100859253B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
laser beam
signal processing
partial
linear ccd
diameter laser
Prior art date
Application number
KR1020070014026A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20080074641A (ko
Inventor
김민석
홍성기
윤동현
장대식
진정태
임창환
차형기
김철중
Original Assignee
한국원자력연구원
한국수력원자력 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한국원자력연구원, 한국수력원자력 주식회사 filed Critical 한국원자력연구원
Priority to KR1020070014026A priority Critical patent/KR100859253B1/ko
Publication of KR20080074641A publication Critical patent/KR20080074641A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100859253B1 publication Critical patent/KR100859253B1/ko

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/39Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using tunable lasers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/07Investigating materials by wave or particle radiation secondary emission
    • G01N2223/073Investigating materials by wave or particle radiation secondary emission use of a laser

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)

Abstract

본 발명은 실시간 대구경 레이저 빔의 근시야상(near field pattern) 검출을 위한 리니어 CCD 신호처리시스템 및 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 리니어 CCD 신호처리시스템은 시스템 타이밍 제너레이터에서 동기화 클럭이 발생되면, 상기 발생하는 동기화 클럭에 연동하여 리니어 CCD를 통해 상기 대구경 레이저 빔의 일부 빔을 수집하고, 상기 수집된 대구경 레이저 빔의 일부 빔을 이용하여, 상기 대구경 레이저 빔의 근시야상(near field pattern)을 검출한다.
대구경 레이저 빔, 리니어 CCD, 근시야상, near field pattern

Description

실시간 대구경 레이저 빔의 근시야상 검출을 위한 리니어 CCD 신호처리시스템 및 방법{REAL-TIME LINEAR CCD SIGNAL PROCESSING SYSTEM AND METHOD FOR MEASUREMENT OF NEAR FIELD PATTERN OF LARGE DIAMETER LASER BEAM}
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 리니어 CCD 신호처리시스템의 구성을 설명하기 위한 블록도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 신호처리장치를 구체적으로 설명하기 위한 블록도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 리니어 CCD 신호처리시스템의 동작을 설명하기 위한 타이밍 도면이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 리니어 CCD 신호처리방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
101: 고출력 레이저 발생장치
102: 레이저 빔 집속장치
103: 제1 부분반사미러
104: 제2 부분반사미러
105: 대구경 레이저 빔
106: 일부 빔
107: 리니어 CCD
108: 신호처리 컴퓨터
109: 시스템 타이밍 제너레이터
110: 빔 수집부
본 발명은 1kJ급 고에너지 레이저 시스템에서 발생된 레이저의 출력상태를 모니터링하기 위하여 레이저를 증폭하는 과정에서 생성되는 대구경 레이저 빔의 근시야상(near field pattern)을 실시간으로 검출하는 리니어 CCD 신호처리시스템 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 고에너지 레이저 시스템은 수백 개의 플래쉬 램프를 동시에 방전시킬 때 발생되는 에너지를 이용하여, 고에너지를 발생시킨다. 이러한 고에너지 레이저 시스템의 효율성을 고려하고, 오동작을 예방하기 위해서는, 발생되는 레이저의 출력 상태를 수시로 모니터링할 필요가 있다. 종래에는 고에너지 레이저 시스템에서 발생되는 레이저의 출력 상태를 모니터링하기 위해 대구경 레이저 빔의 근시야상(near field pattern)을 검출하여 검사하는 방법을 주로 사용한다. 이러한 대구경 레이저 빔의 근시야상(near field pattern)을 이용한 검사는 운영 면이나 효율 면에서 상당히 효율적이다. 근래, 1kJ급 고에너지 레이저 시스템에서는 대구경 레이저 빔의 근시야상(near field pattern)을 검사하기 위해서, 인화지를 이용한다. 보다 구체적으로, 근래, 1kJ급 고에너지 레이저 시스템에서는 인화지를 이용하여 burning pattern을 만든 후에 pattern을 스캔하고, 상기 스캔된 pattern으로부터 상기 근시야상(near field pattern)을 생성한다. 이에, 상기 생성된 근시야상(near field pattern)을 이용하면, 상기 고에너지 레이저 시스템에서 발생되는 레이저의 출력 상태를 모니터링할 수 있다. 그러나, 상술한 바와 같이, 인화지를 이용한 근시야상(near field pattern)의 생성은, 실시간 검사가 불가능하고, 대구경 레이저 빔의 선형성이 보장되지 않는 문제가 존재한다. 이밖에도, 1kJ급 고에너지 레이저 시스템에서 대구경 레이저 빔의 근시야상(near field pattern)을 검사하는 방법으로는 area CCD 나 일반 카메라를 사용하여, 근시야상(near field pattern)을 생성할 수 있으나, 이 경우, 상기 대구경 레이저 빔을 촬상하는 센서의 크기가 빔에 비해 작기 때문에 렌즈를 사용하여 빔크기를 조절하며, 이로 인해 결과적으로 근시야상(near field pattern)이 아닌 원시야상(far field pattern)이 측정된다. 결국, 종래 인화지, area CCD, 또는 일반 카메라를 이용하여 고에너지 레이저 시스템에서 발생되는 레이저의 출력 상태를 모니터링하는데, 발생하는 상술한 문제들을 해결하기 위해서 보다 진보한 기술적 사상의 대두가 절실히 요구되고 있는 실정이다.
본 발명은 상기와 같은 종래기술을 개선하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은, 고에너지 레이저 시스템에서 발생되는 레이저의 출력 상태를 실시간으 로 정밀하게 모니터링하는 리니어 CCD 신호처리시스템 및 리니어 CCD 신호처리방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은, 고에너지 레이저 시스템에서 대구경 레이저 빔의 다른 감시지점들 상에서 복수의 근시야상(near field pattern)을 측정함으로써, 고에너지 레이저 시스템에서의 레이저 출력을 실시간으로 조정하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은, 고에너지 레이저 시스템에서 발생되는 대구경 레이저 빔의 크기와 유사한 리니어 CCD를 이용하여, 보다 정확하게 상기 대구경 레이저 빔의 근시야상(near field pattern)을 추출하는 것이다.
상기의 목적을 달성하고, 상술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명에 따른 실시간 대구경 레이저 빔의 근시야상(near field pattern) 검출을 위한 리니어 CCD(ChargeCoupled Device) 신호처리시스템은, 동기화 클럭을 발생하는 시스템 타이밍 제너레이터, 상기 발생하는 동기화 클럭에 연동하여 상기 대구경 레이저 빔의 일부 빔을 수집하는 빔 수집부, 및 상기 수집된 대구경 레이저 빔의 일부 빔을 이용하여, 상기 대구경 레이저 빔의 근시야상(near field pattern)을 검출하는 신호처리 컴퓨터를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일실시예에 따른 실시간 대구경 레이저 빔의 근시야상(near field pattern) 검출을 위한 리니어 CCD 신호처리방법은, 동기화 클럭을 발생하는 단계, 상기 발생하는 동기화 클럭에 연동하여 상기 대구경 레이저 빔의 일부 빔을 수집하는 단계, 및 상기 수집된 대구경 레이저 빔의 일부 빔을 이용하여, 상기 대구경 레 이저 빔의 근시야상(near field pattern)을 검출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하 첨부 도면들 및 첨부 도면들에 기재된 내용들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하지만, 본 발명이 실시예들에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 리니어 CCD 신호처리시스템의 구성을 설명하기 위한 블록도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 리니어 CCD 신호처리시스템은 고에너지 레이저 시스템에 있어서, 고출력 레이저 발생장치(101)에서 레이저 빔 집속장치(102)로 인입하는 대구경 레이저 빔(105)으로부터 근시야상(near field pattern)을 검출한다. 이를 위하여, 본 발명에 따른 리니어 CCD 신호처리시스템은 시스템 타이밍 제너레이터(109), 빔 수집부(미도시), 및 신호처리 컴퓨터(108)를 포함한다.
먼저, 시스템 타이밍 제너레이터(109)는 일정 주기로 동기화 클럭을 발생하고, 빔 수집부(미도시)는 상기 발생하는 동기화 클럭에 연동하여 상기 대구경 레이저 빔(105)의 일부 빔(106)을 수집한다.
이를 위하여, 상기 빔 수집부(미도시)는 상기 대구경 레이저 빔(105)의 일부만을 반사하여 상기 일부 빔(106)을 추출하는 부분반사미러(103), 상기 추출된 일부 빔(106)을 촬상하는 리니어 CCD(107), 및 리니어 CCD(107)에 촬상된 일부 빔(106)을 수집하여, 디지털 변환 후 저장하는 신호처리장치(110)를 포함한다.
상기 부분반사미러(103)는 상기 고출력 레이저 발생장치(101)에서 레이저 빔 집속장치(102)로 인입하는 대구경 레이저 빔(105)의 대부분을 그대로 투과하고, 일부의 빔만을 리니어 CCD(107)로 반사한다. 예를 들어, 부분반사미러(103)는 광신호의 99%를 통과시키고, 1%를 반사시키는 소자가 사용될 수 있다. 이에, 리니어 CCD(107)는 상기 1%의 반사되는 일부 빔(106)만을 촬상한다. 즉, 반사된 일부 빔(106)은 부분반사미러(103)를 통하지 않고 대구경 레이저 빔(105)의 직경(5 내지 10cm)과 길이가 비슷한 리니어 CCD(107)에 직접 입사된다.
일반적으로 리니어 CCD는 상기 대구경 레이저 빔(105)의 직경이 왜곡없이 그대로 반영할 수 있을 정도의 직경으로 구현될 수 있기에, 본 발명에서는 대구경 레이저 빔(105)의 반사를 위해 리니어 CCD를 사용한다. 결국, 리니어 CCD를 사용함으로써, 본 발명에 따른 리니어 CCD 신호처리시스템은 대구경 레이저 빔(105)으로부터 선형성(linearity)가 보장된 보다 정밀한 근시야상(near field pattern)을 실시간으로 추출할 수 있다.
이에, 신호처리장치(110)는 리니어 CCD(107)에 촬상된 일부 빔(106)을 수집하여, 디지털 변환 후 메모리에 저장한다. 신호처리장치(110)는 도 2를 통해 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 신호처리장치(110)를 구체적으로 설명하기 위한 블록도이다.
도 2를 참조하면, 신호처리장치(110)는 시스템 타이밍 제너레이터(109)의 동기화 클럭에 연동하여, 리니어 CCD(107)에 촬상된 일부 빔(106)을 수집하도록 처리하는 마이크로 컨트롤러(111)와, 상기 수집된 일부 빔(106)을 저장하는 메모 리(112)를 포함한다. 즉, 마이크로콘트롤러(111)는 시스템 타이밍 제너레이터(109)의 동기화 클럭에 연동하여 주기적으로 리니어 CCD(107)에 촬상된 일부 빔(106)의 캡쳐와 리딩을 처리하다가 신호처리컴퓨터(108)로부터의 제어신호에 따라서, 상기 캡쳐된 일부 빔(106)을 디지털 변환한다. 이 때, 마이크로콘트롤러(111)는 리니어 CCD(107)에 촬상된 일부 빔(106)을 선정된 외부기준전압을 기준으로 하여 디지털 변환할 수 있다. 또한, 마이크로콘트롤러(111)는 디지털 변환된 상기 일부 빔(106)을 SRAM 등으로 구현이 가능한 메모리(112)에 저장한다.
본 발명의 일실시예에 따른 신호처리장치(110)는 고속 시리얼 통신을 위한 RS422 인터페이스(113)를 더 포함할 수 있다. 즉, 신호처리장치(110)는 메모리(112)에 저장된 일부 빔(106)을 RS422 인터페이스(113)을 이용하여, 신호처리 컴퓨터(108)에 고속으로 제공할 수 있다.
다시, 도 1를 참조하면, 신호처리 컴퓨터(108)는 빔 수집부(미도시)로부터 제공되는 상기 대구경 레이저 빔의 일부 빔(106)을 이용하여, 상기 대구경 레이저 빔의 근시야상(near field pattern)을 검출한다. 즉, 신호처리 컴퓨터(108)는 빔 수집부(미도시)에 저장된 디지털 형태의 일부 빔(106)을 수신하여, 실시간으로 대구경 레이저 빔의 근시야상(near field pattern)을 검출하고, 상기 검출된 근시야상(near field pattern)을 통해서 1kJ급 고에너지 레이저 시스템에서 발생된 레이저의 출력상태를 실시간으로 정밀하게 모니터링할 수 있다.
결국, 본 발명은 고에너지 레이저 시스템에서 발생되는 대구경 레이저 빔의 크기와 유사한 리니어 CCD를 이용함으로써, 보다 정확하게 상기 대구경 레이저 빔 의 근시야상(near field pattern)을 추출할 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따른 리니어 CCD 신호처리시스템은 각 감시지점에 대구경 레이저 빔(105)의 직경과 유사한 리니어 CCD를 설치하고, 대구경 레이저 빔(105)의 발생에 연동하여 상기 리니어 CCD을 통해 각 감시지점 별로 일부 빔들을 캡쳐함으로써, 신호처리 컴퓨터(108)에서 각 감시지점 별로 구분되는 근시야상(near field pattern)을 검출할 수 있다. 즉, 본 발명에 따른 빔 수집부는 고출력 레이저 발생장치(101)에서 레이저 빔 집속장치(102)로 인입하는 대구경 레이저 빔(105)으로부터 제1 일부 빔을 추출하고, 제1 레이저 빔 집속장치에서 제2 레이저 빔 집속장치로 인입하는 대구경 레이저 빔(105)으로부터 제2 일부 빔을 추출할 수 있다. 이에, 신호처리 컴퓨터(108)는 상기 제1 일부 빔과 상기 제2 일부 빔을 각각 식별하고, 여러 곳에서 수신된 데이터를 분석 처리하여 각 감시지점에서의 근시야상(near field pattern)을 검출할 수 있다. 이를 위하여, 상기 리니어 CCD 신호처리시스템은 상기 제1 일부 빔과 상기 제2 일부 빔을 식별하는 병렬 신호처리부를 더 포함한다. 보다 구체적으로, 본 발명에 따른 상기 병렬 신호처리부은 병렬로 접속된 다수의 리니어 CCD들을 구분하기 위하여, 각 리니어 CCD들에 서로 다른 채널번호를 지정할 수 있다. 즉, 신호처리 컴퓨터(108)는 상기 각 리니어 CCD들로부터, 상기 각 리니어 CCD들에 할당된 채널번호를 반영하여 디지털 변환된 일부 빔을 수집할 수 있다.
상기 각 리니어 CCD들에 다른 채널번호를 할당하기 위해서 각각의 빔 수집부의 마이크로 컨트롤러와 연동하는 스위치(114)가 사용될 수 있다. 즉, 신호처리 컴퓨터(108)가 새로운 채널번호를 생성하여 네트워크로 연결된 모든 빔 수집부들로 브로드캐스팅하면, 현재 스위치(114)가 'ON' 상태인 빔 수집부만이 상기 브로드캐스팅되는 채널번호를 수신하여 자신의 채널번호로 설정할 수 있다. 이에, 상기 빔 수집부에 채널번호가 설정되면, 신호처리 컴퓨터(108)는 상기 빔 수집부로부터 제공되는 일부 빔에 대해서는 상기 채널번호를 반영하여 고유 식별하게 된다.
결국, 본 발명은 고에너지 레이저 시스템에서 대구경 레이저 빔의 다른 감시지점들 상에서 복수의 근시야상(near field pattern)을 측정함으로써, 고에너지 레이저 시스템에서의 레이저 출력을 실시간으로 조정할 수 있다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 리니어 CCD 신호처리시스템의 동작을 설명하기 위한 타이밍 도면이다.
도 3을 참조하면, 빔 수집부는 평상시에는 시스템 타이밍 제너레이터의 동기화 클럭(301)에 연동하여 리니어 CCD를 측정 가능한 상태로 캡쳐와 리드를 반복하다가 신호처리 컴퓨터로부터 레이저 발생 명령에 대한 클럭(302)에 반응하고, 상기 클럭(302)에 대한 반응으로 클럭(303)에서 상기 대구경 레이저 빔으로부터 반사되는 일부 빔을 캡쳐하며, 내장된 A/D 변환기를 이용하여 상기 캡쳐된 일부 빔을 디지털 신호로 변환한 후 메모리에 저장한다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 리니어 CCD 신호처리방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 4를 참조하면, 단계 401에서, 고에너지 레이저 시스템은 고출력 레이저 발생장치를 이용하여 대구경 레이저 빔을 발생시킨다. 이에, 상기 발생된 대구경 레이저 빔은 레이저 빔 집속장치로 인입된다. 이에, 단계 402에서, 본 발명에 따른 리니어 CCD 신호처리시스템은 상기 대구경 레이저 빔으로부터 부분반사미러를 통해 반사되는 일부의 빔을 리니어 CCD에 촬상한다. 다음으로, 단계 403에서 상기 리니어 CCD 신호처리시스템은 선정된 주기에 따라서 동기화 클럭을 생성하고, 상기 동기화 클럭이 발생함에 따라, 상기 리니어 CCD에 촬상되는 상기 일부 빔을 수집한다. 이 때, 상기 리니어 CCD 신호처리시스템은 상기 수집되는 일부 빔에 대하여, 선정된 외부기준전압을 고려하여 디지털 변환하고, 상기 디지털 변환된 일부 빔을 메모리에 저장한다.
다음으로, 상기 리니어 CCD 신호처리시스템은 신호처리 컴퓨터를 이용하여 단계 405에서, 상기 메모리에 저장된 일부 빔으로부터 근시야상(near field pattern)을 검출한다. 이에, 상기 리니어 CCD 신호처리시스템은 상기 검출된 근시야상(near field pattern)을 이용하여, 1kJ급의 고에너지 레이저 시스템에서의 레이저 출력을 실시간으로 모니터링할 수 있다.
결국, 본 발명은 고에너지 레이저 시스템에서 발생되는 대구경 레이저 빔의 크기와 유사한 리니어 CCD를 이용함으로써, 보다 정확하게 상기 대구경 레이저 빔의 근시야상(near field pattern)을 추출할 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따른 상기 리니어 CCD 신호처리시스템은 각 감시지점에 대구경 레이저 빔의 직경과 유사한 리니어 CCD를 설치하고, 대구경 레이저 빔 발생에 연동하여 상기 리니어 CCD을 통해 각 감시지점 별로 일부 빔들을 캡쳐함으로써, 상기 신호처리 컴퓨터에서 각 감시지점 별로 구분되는 근시야상(near field pattern)을 검출할 수 있다. 이를 위하여, 상기 리니어 CCD 신호처리시스템은 서로 다른 감시지점에서 수집되는 제1 일부 빔과, 상기 제1 일부 빔에 병렬로 수집되는 제2 일부 빔을 식별하고, 상기 수집된 대구경 레이저 빔의 일부 빔들을 이용하여, 서로 다른 구간에서 상기 대구경 레이저 빔의 근시야상(near field pattern)을 검출한다. 이 때, 상기 리니어 CCD 신호처리시스템은 상기 제1 일부 빔과 상기 제2 일부 빔을 식별하기 위해서, 상기 제1 일부 빔을 수집한 감시지점 별로 할당된 채널번호를 이용할 수 있다.
결국, 본 발명은 고에너지 레이저 시스템에서 대구경 레이저 빔의 다른 감시지점들 상에서 복수의 근시야상(near field pattern)을 측정함으로써, 고에너지 레이저 시스템에서의 레이저 출력을 실시간으로 조정할 수 있다.
본 발명의 실시예들은 다양한 컴퓨터로 구현되는 동작을 수행하기 위한 프로그램 명령을 포함하는 컴퓨터 판독 가능 매체를 포함한다. 상기 컴퓨터 판독 가능 매체는 프로그램 명령, 데이터 파일, 데이터 구조 등을 단독으로 또는 조합하여 포함할 수 있다. 상기 매체는 본 발명을 위하여 특별히 설계되고 구성된 것들이거나 컴퓨터 소프트웨어 당업자에게 공지되어 사용 가능한 것일 수도 있다. 컴퓨터 판독 가능 기록 매체의 예에는 하드 디스크, 플로피 디스크 및 자기 테이프와 같은 자기 매체, CD-ROM, DVD와 같은 광기록 매체, 플롭티컬 디스크와 같은 자기-광 매체, 및 롬, 램, 플래시 메모리 등과 같은 프로그램 명령을 저장하고 수행하도록 특별히 구성된 하드웨어 장치가 포함된다. 프로그램 명령의 예에는 컴파일러에 의해 만들어지는 것과 같은 기계어 코드뿐만 아니라 인터프리터 등을 사용해서 컴퓨터에 의해서 실행될 수 있는 고급 언어 코드를 포함한다.
지금까지 본 발명에 따른 구체적인 실시예에 관하여 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서는 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안되며, 후술하는 특허청구의 범위뿐만 아니라 이 특허청구의 범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
본 발명에 따르면, 고에너지 레이저 시스템에서 발생되는 레이저의 출력 상태를 실시간으로 정밀하게 모니터링하는 리니어 CCD 신호처리시스템 및 리니어 CCD 신호처리방법을 제공할 수 있다.
본 발명에 따르면, 고에너지 레이저 시스템에서 대구경 레이저 빔의 다른 감시지점들 상에서 복수의 근시야상(near field pattern)을 측정함으로써, 고에너지 레이저 시스템에서의 레이저 출력을 실시간으로 조정할 수 있다.
본 발명에 따르면, 고에너지 레이저 시스템에서 발생되는 대구경 레이저 빔의 크기와 유사한 리니어 CCD를 이용하여, 보다 정확하게 상기 대구경 레이저 빔의 근시야상(near field pattern)을 추출할 수 있다.

Claims (11)

  1. 동기화 클럭을 발생하는 시스템 타이밍 제너레이터;
    상기 발생하는 동기화 클럭에 연동하여 대구경 레이저 빔의 일부 빔을 수집하는 빔 수집부; 및
    상기 수집된 대구경 레이저 빔의 일부 빔을 이용하여, 상기 대구경 레이저 빔의 근시야상(near field pattern)을 검출하는 신호처리 컴퓨터
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 리니어 CCD(ChargeCoupled Device) 신호처리시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 빔 수집부는,
    상기 대구경 레이저 빔의 일부만을 반사하여 상기 일부 빔을 추출하는 부분반사미러;
    상기 추출된 일부 빔을 촬상하는 리니어 CCD; 및
    상기 촬상된 일부 빔을 수집하여, 디지털 변환 후 메모리에 저장하도록 처리하는 신호처리장치
    를 포함하고,
    상기 신호처리 컴퓨터는 상기 메모리에 저장된 일부 빔을 이용하여, 상기 대구경 레이저 빔의 근시야상을 검출하는 것을 특징으로 하는 리니어 CCD 신호처리시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 신호처리장치는 상기 리니어 CCD에 촬상된 일부 빔의 출력을 선정된 외부기준전압을 기준으로 하여 디지털 변환하는 것을 특징으로 하는 리니어 CCD 신호처리시스템.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 신호처리장치는,
    상기 시스템 타이밍 제너레이터의 동기화 클럭에 연동하여, 상기 리니어 CCD에 촬상된 일부 빔을 수집하도록 처리하는 마이크로 컨트롤러; 및
    상기 수집된 일부 빔을 저장하는 메모리
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 리니어 CCD 신호처리시스템.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 신호처리장치는,
    RS422 인터페이스
    를 더 포함하고,
    상기 신호처리 컴퓨터는 상기 RS422 인터페이스를 이용하여, 상기 빔 수집부의 일부 빔을 수신하는 것을 특징으로 하는 리니어 CCD 신호처리시스템.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 빔 수집부는,
    각 감시지점에 설치된 리니어 CCD를 통해 상기 각 감시지점 별로 상기 대구경 레이저 빔의 일부 빔을 캡쳐하고,
    상기 신호처리 컴퓨터는,
    상기 감시지점 별로 캡쳐된 상기 일부 빔을 이용하여, 상기 감시지점 각각에서의 상기 근시야상을 검출하는 것을 특징으로 하는 리니어 CCD 신호처리시스템.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 빔 수집부는,
    상기 리니어 CCD에 지정되는 채널번호를 이용하여, 상기 감시지점 각각을 구분하여 상기 일부 빔을 캡쳐하는 것을 특징으로 하는 리니어 CCD 신호처리시스템.
  8. 동기화 클럭을 발생하는 단계;
    상기 발생하는 동기화 클럭에 연동하여 대구경 레이저 빔의 일부 빔을 수집하는 단계; 및
    상기 수집된 대구경 레이저 빔의 일부 빔을 이용하여, 상기 대구경 레이저 빔의 근시야상을 검출하는 단계
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 리니어 CCD 신호처리방법.
  9. 제8항에 있어서,
    대구경 레이저 빔의 일부 빔을 수집하는 상기 단계는,
    부분반사미러에 의해 반사된 상기 대구경 레이저 빔의 일부 빔을 리니어 CCD에 촬상하는 단계; 및
    상기 촬상된 일부 빔을 수집하여, 디지털 변환 후 메모리에 저장하는 단계
    를 포함하고,
    대구경 레이저 빔의 근시야상을 검출하는 상기 단계는,
    상기 메모리에 저장된 일부 빔을 이용하여, 상기 대구경 레이저 빔의 근시야상을 검출하는 단계
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 리니어 CCD 신호처리방법.
  10. 제8항에 있어서,
    대구경 레이저 빔의 일부 빔을 수집하는 상기 단계는,
    각 감시지점에 설치된 리니어 CCD를 통해 상기 각 감시지점 별로 상기 대구경 레이저 빔의 일부 빔을 캡쳐하는 단계
    를 포함하고,
    대구경 레이저 빔의 근시야상을 검출하는 상기 단계는,
    상기 감시지점 별로 캡쳐된 상기 일부 빔을 이용하여, 상기 감시지점 각각에서의 상기 근시야상을 검출하는 단계
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 리니어 CCD 신호처리방법.
  11. 제8항 내지 제10항 중 어느 한 항의 방법을 컴퓨터에서 실행하기 위한 프로그램을 기록하는 컴퓨터 판독 가능한 기록매체.
KR1020070014026A 2007-02-09 2007-02-09 실시간 대구경 레이저 빔의 근시야상 검출을 위한 리니어ccd 신호처리시스템 및 방법 KR100859253B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070014026A KR100859253B1 (ko) 2007-02-09 2007-02-09 실시간 대구경 레이저 빔의 근시야상 검출을 위한 리니어ccd 신호처리시스템 및 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070014026A KR100859253B1 (ko) 2007-02-09 2007-02-09 실시간 대구경 레이저 빔의 근시야상 검출을 위한 리니어ccd 신호처리시스템 및 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20080074641A KR20080074641A (ko) 2008-08-13
KR100859253B1 true KR100859253B1 (ko) 2008-09-18

Family

ID=39883938

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020070014026A KR100859253B1 (ko) 2007-02-09 2007-02-09 실시간 대구경 레이저 빔의 근시야상 검출을 위한 리니어ccd 신호처리시스템 및 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100859253B1 (ko)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5910660A (en) * 1995-03-17 1999-06-08 Heinz Paul Weber Process and device for determining three-dimensional structure in the submicron range
KR20030020376A (ko) * 2001-05-28 2003-03-08 소니 가부시끼 가이샤 광 기록 장치, 레이저 파워 제어 방법
KR20030020932A (ko) * 2001-05-28 2003-03-10 소니 가부시끼 가이샤 광기록 장치, 레이저 파워 제어 방법
KR20040047791A (ko) * 2001-08-23 2004-06-05 유니버시티 오브 워싱톤 타겟 표면 이미지의 발생 방법 및 포착 시스템
US6868053B2 (en) 2000-04-12 2005-03-15 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical information recording apparatus for stable recording

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5910660A (en) * 1995-03-17 1999-06-08 Heinz Paul Weber Process and device for determining three-dimensional structure in the submicron range
US6868053B2 (en) 2000-04-12 2005-03-15 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical information recording apparatus for stable recording
US7113473B2 (en) 2000-04-12 2006-09-26 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical information recording apparatus for stable recording
KR20030020376A (ko) * 2001-05-28 2003-03-08 소니 가부시끼 가이샤 광 기록 장치, 레이저 파워 제어 방법
KR20030020932A (ko) * 2001-05-28 2003-03-10 소니 가부시끼 가이샤 광기록 장치, 레이저 파워 제어 방법
KR20040047791A (ko) * 2001-08-23 2004-06-05 유니버시티 오브 워싱톤 타겟 표면 이미지의 발생 방법 및 포착 시스템

Also Published As

Publication number Publication date
KR20080074641A (ko) 2008-08-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH10227609A (ja) 屋外用距離計測装置
EP1998559A1 (en) Image photographing apparatus and method
JPS5451556A (en) Distance measuring apparatus
CN205619953U (zh) 用于高压断路器动作特性测试的多种信号同步采集装置
JP2002039716A (ja) 距離画像入力装置
JPWO2009102001A1 (ja) 鳥類探査システム、鳥類探査方法およびコンピュータプログラム
KR20220105170A (ko) 카메라 다중 라인 시분할 노광 처리 방법 및 시스템
CN113412413A (zh) 用于对振动进行成像和感测的系统和方法
CN102929123B (zh) 高速光、电信号采集设备之间启动时差的测量系统
JPS593682B2 (ja) 印刷余白の幅および平行度を検査する方法ならびに装置
KR100859253B1 (ko) 실시간 대구경 레이저 빔의 근시야상 검출을 위한 리니어ccd 신호처리시스템 및 방법
WO2006006250A1 (ja) 流体流動計測システム、流体流動計測方法およびコンピュータプログラム
JP3774225B2 (ja) 三次元計測センサ
JP5520562B2 (ja) 立体形状測定システム及び立体形状測定方法
WO2003077724A3 (en) Method for improving the accuracy of data obtained in a laser imaging apparatus
KR101507950B1 (ko) 웨이퍼 영상 검사 장치
EP0939294B1 (en) Determining topographical values
KR100931859B1 (ko) 웨이퍼 검사용 카메라
CN212963220U (zh) 一种垫片安装检测装置
JP2010243815A (ja) 焦点検出機構及び焦点検出方法
JP5028077B2 (ja) 撮像装置、及びその欠陥画素の判別方法、並びにプログラム
JP5046004B2 (ja) 非接触振動計測システム、非接触振動計測方法及びコンピュータプログラム
JP2006039397A (ja) 光電変換装置、焦点検出装置、焦点検出方法、および撮像装置
JPH0887101A (ja) マスク検査装置
CN115469115B (zh) 一种荧光探测方法及装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120711

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130607

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141007

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150914

Year of fee payment: 8

LAPS Lapse due to unpaid annual fee