JP3651597B2 - 半導体パッケージ、半導体装置、電子装置及び半導体パッケージの製造方法 - Google Patents
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Description
【0001】
本発明は、配線基板(インタポーザ)を使用しないウェハレベルCSP(Chip Size/Scale Package)等の半導体パッケ一ジ、半導体装置、電子装置及び半導体パッケージの製造方法に関し、特に、容易に製造することができる半導体パッケージ、半導体装置、電子装置及び半導体パッケージの製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
近時、半導体装置の小型化が促進されており、これに伴ってそのパッケージの小型化が注目されている。例えば、日経マイクロデバイス1998年8月号及び1999年2月号等に種々の半導体パッケージが提案されている。その中でも、特にCSPとよばれる半導体パッケージによるウェハレベルCSPは、パッケージの小型化及びコストの低減に高い効果を示す。このCSPは、ウェハごと樹脂封止されたパッケージである。図9は従来のCSPの構成を示す断面図である。なお、図9はプリント基板へ搭載される状態を示しており、以下の説明では図9とは上下関係が逆になっている。
【0003】
従来のCSPにおいては、ウェハ51上に複数個のAlパッド52が形成されている。また、ウェハ51の全面にAlパッド52を覆うSiN層53及びポリイミド層54が形成されている。SiN層53及びボリイミド層54には、その表面からAlパッド52まで達するビアホールが形成されている。そして、ビアホール内に導体層55が埋め込まれている。更に、ポリイミド層54上には、導体層55に接続された再配線層56が形成されている。再配線層56は、例えばCuからなる。そして、ポリイミド層54の全面に再配線層56を覆う封止樹脂層57が設けられている。封止樹脂層57の内部には、その表面から再配線層56まで達するメタルポストとしてCuポスト68が形成されている。Cuポスト58上には、バリアメタル層59が形成されており、バリアメタル層59上に半田等のソルダボール60が形成されている。
【0004】
次に、上述のような従来のCSPの製造方法について説明する。図10(a)乃至(e)は従来のCSPの製造方法を工程順に示す断面図である。なお、図10(a)乃至(e)においては、再配線層及びポリイミド層等は省略している。
【0005】
先ず、図10(a)に示すように、表面が平坦なウェハ61を準備する。そして、図10(b)に示すように、ウェハ61上に複数個のCuポスト62をメッキにより形成する。次いで、図10(c)に示すように、全てのCuポスト62を覆うように樹脂封止を行い、封止樹脂層63を形成する。その後、図10(d)に示すように、封止樹脂層63の表面を研磨することにより、各Cuポスト62を露出させる。そして、図10(e)に示すように、Cuポスト62上に半田等のソルダボール64を搭載する。
【0006】
このようにして、前述のようなCSPが形成される。このCSPは、その後、所定の大きさにダイシングされる。
【0007】
一般に、半導体パッケージとプリント基板等との熱膨張率は相違しているので、熱膨張率の相違に基づく応力が半導体パッケージの端子に集中する。しかし、前述のようなCSPにおいては、柱状のCuポスト62を高く形成することにより、その応力が分散しやすくなる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0008】
しかしながら、熱膨張率の相違に基づく応力を分散させるためには、Cuポスト等のメタルポストに再配線層から100μm程度の高さが必要となるが、この高さのメタルポストをメッキにより形成すると、極めて長い時間が必要となるという問題点がある。このため、製造コストが高くなる。また、メタルポストの高さの制御が困難であるという問題点もある。
【0009】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、プリント基板等に実装され使用される際に発生する応力を分散することができると共に、短時間で製造することができる半導体パッケージ、半導体装置、電子装置及び半導体パッケージの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0010】
本発明に係る半導体パッケージは、電極が設けられたウェハ上に形成された絶縁層と、この絶縁層の前記電極に整合する領域に形成された開口部と、この開口部を介して前記電極に接続された再配線層と、前記ウェハ、前記絶縁層及び前記再配線層を封止する封止樹脂層と、この封止樹脂層内に埋設されその少なくとも上面の一部が前記封止樹脂層から露出しその上面上に各1個の半田バンプが形成された複数個のポストと、を有し、前記各ポストは、前記絶縁層上に形成された1個の樹脂製突部と、この樹脂製突部の少なくとも上面を被覆し前記再配線層及び前記半田バンプに接続された導電層と、を有することを特徴とする。
【0011】
本発明においては、少なくとも上面を導電層に被覆された樹脂製突部がポストに設けられているので、このポストに応力が発生した場合、主に樹脂製突部によってその応力が分散される。このため、ポストに厚いメッキ層は必要ではなくなるので、製造工程が短縮される。また、ポストの高さは樹脂製突部の高さによって制御することが可能であるので、その調整は容易である。
【0012】
なお、前記ポストが貫通する前記封止樹脂層に形成された開口部の面積を、前記ポストの上面の面積よりも大きくすることにより、半田バンプと導電層との接触面積を大きくすることが可能となるので、導電性の確保及び接合強度の面における信頼度が向上する。このとき、前記ポストと前記封止樹脂層との境界は平面視で前記ポストの上面の外側にあってもよい。
【0013】
また、前記封止樹脂層に形成された開口部の側面を内側に傾斜させて前記ポストの上面の周囲を取り囲む溝を形成し、この溝により境界を区切ることにより、樹脂をなくすことによる樹脂製突部の変形の自由度が大きくなり、応力がより一層分散されやすくなる。
【0014】
同様に、前記ポストを、その周囲の少なくとも一部が前記封止樹脂層により被覆され、前記封止樹脂層を、前記ポストよりも離れたところの上面が前記ポストの上面よりも低くなるような厚さで形成することによっても、樹脂製突部の変形の自由度が大きくなり、応力がより一層分散されやすくなる。
【0015】
本発明に係る他の半導体パッケージは、電極が設けられたウェハと、このウェハ上に形成された複数個の樹脂製突部と、この樹脂製突部上に形成され前記電極に接続された導電層と、各前記樹脂製突部上であって前記導電層上に1個ずつ形成された複数個の半田バンプと、少なくとも前記半田バンプを露出して前記ウェハを封止する封止樹脂層と、を有することを特徴とする。
【0016】
このとき、平面視で前記半田バンプの中心の位置と前記樹脂製突部の中心の位置とを一致させると、半田バンプから樹脂製突部に作用する応力をより一層均一に分散させることが可能となる。
【0017】
なお、前記樹脂製突部の断面が台形状であってもよい。
【0018】
本発明に係る半導体装置は、上述のいずれかの半導体パッケージを有し、前記ウェハに集積回路が形成されていることを特徴とする。
【0019】
また、本発明に係る電子装置は、この半導体装置と、前記半田バンプに接続された回路基板と、を有することを特徴とする。
【0020】
本発明に係る半導体パッケージの製造方法は、電極が設けられたウェハ上に前記電極に整合する領域に開口部が設けられた絶縁層を形成する工程と、前記絶縁層上に複数個の樹脂製突部を形成する工程と、前記開口部を介して前記電極に接続された再配線層を形成する工程と、前記再配線層に接続され前記樹脂製突部を被覆する導電層を形成する工程と、前記ウェハ、前記絶縁層及び前記再配線層を封止し前記導電層における前記樹脂製突部の直上域上に開口部が形成された封止樹脂層を形成する工程と、前記封止樹脂層の開口部において前記導電層における前記樹脂製突部の直上域上に半田バンプを形成する工程と、を有することを特徴とする。
【0021】
なお、前記封止樹脂層を形成する工程は、全面に感光性樹脂層を形成する工程と、前記感光性樹脂層に前記樹脂製突部上の前記導電層を露出させる開口部をフォトリソグラフィ技術によって形成する工程と、を有してもよい。
【0022】
また、前記封止樹脂層に形成された開口部の最上部の面積は、前記樹脂製突部上の前記導電層の上面の面積よりも大きいものであってもよい。
【発明の効果】
【0023】
本発明によれば、導電層に被覆された樹脂製突部をポストに設けているので、ポストに発生した応力を主に樹脂製突部によって分散することができる。このため、従来ポストに必要とされていた厚いメッキ層を不要とし、製造工程を短縮することができる。また、ポストの高さは樹脂製突部の高さによって制御することができるので、その制御は容易である。
【図面の簡単な説明】
【0024】
【図1】(a)乃至(c)は本発明の第1の実施例に係る半導体パッケージの製造方法を工程順に示す断面図である。
【図2】(a)乃至(c)は、同じく、本発明の第1の実施例に係る半導体パッケージの製造方法を示す図であって、図1に示す工程の次工程を工程順に示す断面図である。
【図3】(a)及び(b)は、同じく、本発明の第1の実施例に係る半導体パッケージの製造方法を示す図をあって、図2に示す工程の次工程を工程順に示す断面図である。
【図4】第1の実施例においてシード層5を除去した後の状態を示す写真をトレースした図である。
【図5】第1の実施例において封止樹脂層8を形成した後の状態を示す写真をトレースした図である。
【図6】本発明の第2の実施例により製造された半導体パッケージを示す断面図である。
【図7】第2の実施例において、封止樹脂層8aを形成した後の状態を示す写真をトレースした図である。
【図8】本発明の第3の実施例により製造された半導体パッケージを示す断面図である。
【図9】従来のCSPの構成を示す断面図である。
【図10】(a)乃至(e)は従来のCSPの製造方法を工程順に示す断面図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【0025】
以下、本発明の実施例に係る半導体パッケージの製造方法について、添付の図面を参照して具体的に説明する。図1(a)乃至(c)、図2(a)乃至(c)並びに図3(a)及び(b)は本発明の第1の実施例に係る半導体パッケージの製造方法を工程順に示す断面図である。
【0026】
本実施例においては、先ず、図1(a)に示すように、集積回路(図示せず)及びその電極、例えばAlパッド2が設けられたSiウェハ1の全面にSiNなどのパッシベーション膜9を直接形成したものを準備する。そして、このパッシベーション膜9のAlパッド2に整合する位置に開口部を形成し、Alパッド2を露出させる。
【0027】
その後、図1(b)に示すように、Alパッド2に整合する位置に開口部3aを有する樹脂の絶縁層3を形成する。絶縁層3は、例えばポリイミド、エポキシ又はシリコーン樹脂等からなり、その厚さは、例えば5乃至50μmである。また、絶縁層3は、例えば回転塗布法、印刷法又はラミネート法等により形成することができる。開□部3aは、例えば樹脂層3を構成するポリイミド等の膜を全面に成膜した後にフォトリソグラフィ技術によりパターニングすることにより形成することができる。
【0028】
次いで、図1(c)に示すように、ウェハ上において電極とは離れた位置に、絶縁層3上に樹脂からなる断面が台形状の突部(円錐の上部分を除いた形状の樹脂製突部)4を形成する。台形状の突部4は、例えばポリイミド、エポキシ又はシリコーン樹脂等からなり、その厚さは、例えば25乃至100μmである。また、突部4は、ポリイミド等を印刷する方法、ラミネートする方法又は回転塗布(スピンコート)する方法等により形成することができる。
【0029】
続いて、図2(a)に示すように、電解メッキ用の薄いシード層5を全面又は必要な領域に形成する。このシード層5は、一例えばスパッタ法により形成されたCu層及びCr層の積層体又はCu層及びTi層の積層体である。また、無電解Cuメッキ層でもよく、蒸着法、塗布法又は化学気相成長(CVD)法等により形成された金属薄膜層であってもよく、これらを組み合わせてもよい。
【0030】
次いで、シード層5上に電解メッキ用のレジスト膜(図示せず)を形成する。このレジスト膜は、開口部3a、突部4及びこれらに挟まれた領域に整合する領域に形成された開口部を有している。また、レジスト膜は、例えばフィルムレジストをラミネートする方法又は液体レジストを回転塗布する方法等を使用して形成することができる。その後、図2(b)に示すように、レジスト膜をマスクとして露出したシード層5上に、導電層であるCuメッキ層6を電解銅メッキにより形成する。以上の工程によりSiウェハ1上にはCuメッキ層6による配線路(回路パターン)が形成される。Cuメッキ層6の厚さは、例えば5乃至50μmである。その後、Cuメッキ層6上に、例えばNiメッキ層及びAuメッキ層(図示せず)を、その後に形成する半田バンプの濡れ性向上のために形成してもよい。
【0031】
続いて、図2(c)に示すように、レジスト膜を剥離し、ウェハの面上に露出している不要なシード層5をエッチングにより除去して導電層6以外の部分に絶縁層3を露出させる。このようにして、導電層により被膜されたポスト7をSiウェハ1上に形成する。図4は第1の実施例においてシード層5を除去した後の、Siウェハ1の表面状態を示す斜め横方向から見た写真をトレースした図である。図4において、ウェハ上には複数の台形状の突部4と、複数の電極2と、これらを接続する導電層6が図示されている。電極2と突部4との間の導電層6はSiウェハ1上にて配線路を形成する。図示されているように、これら配線路は、電極2と樹脂製突部4との間の真っ直ぐな最短路とならずに屈曲する場合もある。
【0032】
その後、図3(a)に示すように、全面に表面保護用の厚さが10乃至150μm程度の封止樹脂層8を、ポスト7の表面の周縁部分に盛り上がるようにして被覆し、中央部のみを露出させるようにして形成する。つまり、封止樹脂層8の開口部10の面積がポスト7の上面の面積よりも小さいものとする。この封止樹脂層にはポリイミド樹脂、エポキシ樹脂又はシリコーン樹脂が好適に用いられる。図5は第1の実施例において封止樹脂層8を形成した後の表面状態を示し、斜め横方向から見た写真をトレースした図である。封止樹脂層8を形成する工程は、例えば封止樹脂層8を感光性ポリイミド樹脂等の感光性樹脂から構成し、これをフォトリソグラフィ技術によりパターニングすることにより行うことができるが、この方法に限定されるものではない。
【0033】
次いで、ポスト7の表面上に、例えば半田バンプ11を形成する。この半田バンプ11の形成方法としては、メッキ法、印刷法、メタルジェット法、及び半田ボ一ルを載置する方法等が挙げられる。ここで、半田バンプ11と樹脂製突部4の中心が、平面視(ウェハの上から見た方向)で一致していることが応力の均一分散という点で重要である。つまり、平面視で円形なる半田バンプ11の中心位置と、円形なる樹脂製突部4の中心位置とが一致するということが重要である。
【0034】
このようにして製造された半導体パッケージのポスト7は、図2(c)及び図4に示すような形状を有している。即ち、高さが例えば30μmであり、横断面が台形状をなす樹脂製の突部4を覆うように、その表面上及び側面上にシード層5及び20μmのCuメッキ層6が形成されている。そして、全体としては高さ50μmのポストが形成されている。従って、プリント基板に実装され応力が発生した場合には、フレキシブルな樹脂製の突部4により、その応力が均等に分散され、ウェハに与える歪みを緩和する。また、シード層5及びCuメッキ層6は、半田バンプとAlパッド2との間の再配線層としても機能する。この再配線層は前述の配線路に相当するものである。
【0035】
このように、本実施例によれば、100μmもの厚いメッキ層がなくても導通の確保及び応力の均一分散が可能であるので、メッキ工程の簡略化により短時間で製造することができ、製造コストを低減することが可能である。また、ポスト7の高さは、突部4の高さにより制御することが可能であるので、その調整は樹脂の盛り上げ量調整だけであり、容易である。
【0036】
次に、第2の実施例について説明する。図6は本発明の第2の実施例により製造された半導体パッケージを示す断面図である。なお、図6に示す第2の実施例において、図3(b)に示す第1の実施例と同一の構成要素には、同一の符号を付してその詳細な説明は省略する。第2の実施例は、封止樹脂層がポストの上面を全て覆っていないことが第1の実施例と異なっている。
【0037】
第2の実施例においては、第1の実施例と同様の工程によりCuメッキ層6を形成し、不要なシード層5を除去した後、図6に示すように、全面に表面保護用の封止樹脂層8aをポスト7の表面が露出し、且つ封止樹脂層8aとポスト7との間に溝が形成されるようにして形成する。つまり、封止樹脂層8aの円形なる開口部10aの面積が、ポスト7の円形なる上面の面積よりも大きいものとする。封止樹脂層8aの開口部は、その内側面10dが内側すなわちウェハ側に傾斜している。つまり、内側面10dは落ち込んでいる。そして、ポスト7の周囲には、ポスト7を取り囲むような円形の溝が形成され、この溝によりポスト7と封止樹脂層8aとが区切られている。図7は第2の実施例において封止樹脂層8aを形成した後の状態を示す写真をトレ一スした図であり、ポスト7上に露出する導電層6を取り囲むように、リング状の溝が形成されているのが分かるであろう。その後、第1の実施例と同様にして、ポスト7の表面上に半田バンプ11を形成する。なお、上記溝の深さには種々の実施例があり、図示の如く、ポスト7の上部までの浅いものから下部に至るまで切り込んだ様々な変形例が存在する。
【0038】
このようにして第2の実施例により製造された半導体パッケージのポスト7においても、プリント基板に実装され応力が発生した場合には、突部4により、その応力が分散される。特に、第2の実施例においては、ポスト7の側面が封止樹脂層8aに完全には被覆されておらず、また、ポスト7の上部に封止樹脂層8aが存在しないので、ポスト7のすべての周囲が封止樹脂層8aにて固定されておらず、第1の実施例と比して、ポスト7が変形し易くなっている。つまり、ポスト7を構成する樹脂製の突部が変形し易くなっている。このため、応力分散の効果がより一層高いものとなっている。また、シード層5及びCuメッキ層6は、半田バンプとAlパッド2との間の再配線層としても機能する。
【0039】
なお、封止樹脂層8aを形成する工程は、Cuメッキ層6を覆う樹脂層を形成した後にCuメッキ層6が露出するまで表面ポリッシングする工程としてもよい。
【0040】
次に、第3の実施例について説明する。図8は本発明の第3の実施例により製造された半導体パッケージを示す断面図である。なお、図8に示す第3の実施例において、図3(b)に示す第1の実施例と同一の構成要素には、同一の符号を付してその詳細な説明は省略する。
【0041】
第3の実施例においては、第1の実施例と同様の工程によりCuメッキ層6を形成し、不要なシード層5を除去した後、図8に示すように、表面保護用の封止樹脂層8bを、ポスト7の上面及び側面の上部を除く領域に形成する。従って、この場合にも、封止樹脂層8bの開口部10bはポスト7の上面の面積よりも大きいものとなる。その後、第1の実施例と同様にして、ポスト7の表面上に半田バンプ11を形成する。ここで、封止樹脂層8bのポスト7よりも離れた場所の上面8dはポスト7の上面よりも低い高さにあり封止樹脂層8bの開口部10bの内縁7aはポスト7の周囲を取り囲むようにして、その内縁7aがポスト7の側面を這いあがり、ポスト周囲に薄い層を形成している。
【0042】
また、この内縁7aの先端10cはポスト7の上面よりも幾分か下方に位置して、即ち、ポスト7は、その周囲又は一部が封止樹脂層8bにより被覆されている。封止樹脂層8bは、ポスト7よりも離れたところの表面8dがポスト7の上面よりも低くなるような厚さで形成されている。なお、内縁7aの先端10cがポスト7の上面と一致していてもよい。
【0043】
このようにして第3の実施例により製造された半導体パッケージのポスト7においても、ポスト7の側面が封止樹脂層8bに完全には被覆されておらず、また、ポスト7の、特に上部の周囲には封止樹脂層8bが存在しないので、第2の実施例と同様にポスト7が変形し易く、従って、第1の実施例と比して、応力分散の効果がより一層高いものとなっている。なお、特に図示していないが、ポスト7周囲の封止樹脂層8b(即ち、開口部l0bの内縁7a)の厚さは、上側に行くに従って次第に薄くなるものとしてもよい。また、Cuメッキ層6の上面が封止樹脂層8bから完全に露出しているので、導通の確保及び機械的接続の信頼性がより一層高い。
【0044】
なお、ポスト内部に設けられる樹脂製突部の材料は、ポリイミド、エポキシ又はシリコーン樹脂等に限定されるものではなく、応力を分散することが可能なものであれば使用可能である。また、ポスト7における導電層は、必ずしも内部の樹脂製突部全体を被覆していなくてもよく、少なくとも半田バンプが形成される上面で樹脂製突部を被覆していればよい。以上の実施例は、ポスト7と電極2は導電層6により、接続されている。しかしながら、回路基板に接続されるウェハ全体の応力分布を面上にて均等とするため、電極2と接続されていないポスト7をウェハ上に分散配置する場合もある。
【0045】
また、これらの実施例により製造された半導体パッケージは、その後、半田バンプを回路基板に接続して、例えば電子装置に組み込まれる。
【0046】
電子装置とは、これら回路基板と周辺機器等を組み合わせたものであり、例えばモービルホン又はパーソナルコンピュータである。
【0047】
なお、絶縁層3には、前記各実施例以外の樹脂又は樹脂以外の絶縁材を用いることもできる。
【0048】
また、電極と樹脂製突部との位置関係はこれらの実施例におけるものに限定されるものではない。
【0049】
更に、ウェハとしては、Siウェハ以外に、例えばGaAs系又はGaP系等の化合物半導体ウェハを使用することもできる。
Claims (13)
- 電極(2)が設けられたウェハ(1)上に形成された絶縁層(3)と、この絶縁層(3)の前記電極(2)に整合する領域に形成された開口部(3a)と、この開口部(3a)を介して前記電極(2)に接続された再配線層(5,6)と、前記ウェハ(1)、前記絶縁層(3)及び前記再配線層(5,6)を封止する封止樹脂層(8)と、この封止樹脂層(8)内に埋設されその少なくとも上面の一部が前記封止樹脂層から露出しその上面上に各1個の半田バンプ(11)が形成された複数個のポスト(7)と、を有し、前記各ポスト(7)は、前記絶縁層(3)上に形成された1個の樹脂製突部(4)と、この樹脂製突部(4)の少なくとも上面を被覆し前記再配線層(5,6)及び前記半田バンプ(11)に接続された導電層(5,6)と、を有することを特徴とする半導体パッケージ。
- 前記ポストと前記封止樹脂層との境界は平面視で前記ポストの上面の外側にあることを特徴とする請求項1に記載の半導体パッケージ。
- 前記封止樹脂層に形成された開口部の内側面は内側に傾斜して前記ポストの上面の周囲を取り囲む溝が形成され、この溝により境界が区切られていることを特徴とする請求項2に記載の半導体パッケージ。
- 前記ポストは、その周囲の少なくとも一部は前記封止樹脂層により被覆され、前記封止樹脂層は、前記ポストよりも離れたところの上面が前記ポストの上面よりも低くなるような厚さで形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体パッケージ。
- 電極(2)が設けられたウェハ(1)と、このウェハ(1)上に形成された複数個の樹脂製突部(4)と、この樹脂製突部(4)上に形成され前記電極(2)に接続された導電層(5,6)と、各前記樹脂製突部(4)上であって前記導電層(5,6)上に1個ずつ形成された複数個の半田バンプ(11)と、少なくとも前記半田バンプ(11)を露出して前記ウェハ(1)を封止する封止樹脂層(8)と、を有することを特徴とする半導体パッケージ。
- 平面視で前記半田バンプの中心の位置と前記樹脂製突部の中心の位置とが一致していることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の半導体パッケージ。
- 前記樹脂製突部の断面が台形状であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の半導体パッケージ。
- 前記封止樹脂層に形成され前記半田バンプを露出させる開口部の最上部の面積が、前記樹脂製突部上の前記導電層の上面の面積よりも大きいことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の半導体パッケージ。
- 請求項1乃至8のいずれか1項に記載の半導体パッケージを有し、前記ウェハに集積回路が形成されていることを特徴とする半導体装置。
- 請求項9に記載の半導体装置と、前記半田バンプに接続された回路基板と、を有することを特徴とする電子装置。
- 電極が設けられたウェハ上に前記電極に整合する領域に開口部が設けられた絶縁層を形成する工程と、前記絶縁層上に複数個の樹脂製突部を形成する工程と、前記開口部を介して前記電極に接続された再配線層を形成する工程と、前記再配線層に接続され前記樹脂製突部を被覆する導電層を形成する工程と、前記ウェハ、前記絶縁層及び前記再配線層を封止し前記導電層における前記樹脂製突部の直上域上に開口部が形成された封止樹脂層を形成する工程と、前記封止樹脂層の開口部において前記導電層における前記樹脂製突部の直上域上に半田バンプを形成する工程と、を有することを特徴とする半導体パッケージの製造方法。
- 前記封止樹脂層を形成する工程は、全面に感光性樹脂層を形成する工程と、前記感光性樹脂層に前記樹脂製突部上の前記導電層を露出させる開口部をフォトリソグラフィ技術によって形成する工程と、を有することを特徴とする請求項11に記載の半導体パッケージの製造方法。
- 前記封止樹脂層に形成された開口部の最上部の面積は、前記樹脂製突部上の前記導電層の上面の面積よりも大きいことを特徴とする請求項11又は12に記載の半導体パッケージの製造方法。
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