JP3614030B2 - マザー基板,子基板およびそれを用いた電子部品ならびにその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本願発明はマザー基板,子基板およびそれを用いた電子部品ならびにその製造方法に関し、特にたとえば、発振子やフィルタなどの電子部品素子が搭載される子基板を量産するための、マザー基板,子基板およびそれを用いた電子部品ならびにその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の技術が、たとえば特開平8−293752号公報、特開昭58−139513号公報、特開平8−97674号公報、特開平7−335995号公報に開示されている。
【0003】
従来、マザー基板1上に電極パターンを形成した後、そのマザー基板を分断して複数個の子基板3を製造する方法が広く実施されている。このような製造方法では、たとえば図20に示すようなマザー基板1が用いられる。図20に示すマザー基板1は、子基板3となるべき部分の4隅および両側面の中央部に対応する位置にそれぞれスルーホール4が形成され、それらのスルーホール4の内側面および子基板3の主面に電極2が形成されたものである。このマザー基板1を分断線Dに沿ってダイサーなどで分断することにより、図21に示すような子基板3を得ることができる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来の技術では、スルーホール4の数に応じた多数のピンの設けられた基板成形用金型が必要なため、金型のコストが高くなり、子基板3の製造コストが上昇するという問題があった。また、隣接するスルーホール4同士が近接しすぎると各電極2間のショートや基板割れが発生しやすくなるため、子基板3の小型化に限度があった。さらに、電子部品素子やパッケージ基板との接合時に封止材や導電材がスルーホールに流れ込まないようにする必要があるので、多数のスルーホール4の設けられた子基板3では封止材や導電材の塗布面積が制限されてしまい、電子部品としての信頼性の低下を招くという問題があった。これを避けるためには、子基板3の面積を大きくする必要があるため、小型化を図ることができない。
【0005】
それゆえに、本願発明の主たる目的は、小型の子基板を安価に得ることができる、マザー基板,子基板およびそれを用いた電子部品ならびにその製造方法を提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本願発明にかかるマザー基板は、格子状に延びる分断線に沿って分断することにより子基板となるべき部分が縦横に配列されてなるマザー基板であって、子基板になるべき部分を間において対向する一方側に沿って延びる第1の分断線上に互いに所定の間隔をおいて形成される複数のスルーホールと、子基板になるべき部分を間において対向する他方側に沿って延びる第2の分断線上に互いに所定の間隔をおいて形成される複数のスルーホールとを有し、第1の分断線に直交しその上のスルーホールを通って延びる直線と、第2の分断線に直交しその上のスルーホールを通って延びる直線とが一致しないように各スルーホールを配置することにより、子基板になるべき部分の両側にスルーホールが互い違いに形成された、マザー基板である。
また、本願発明にかかる子基板は、上述のマザー基板を分断線に沿って分断することにより形成される、子基板である。
さらに、本願発明にかかる子基板の製造方法であって、格子状に延びる分断線に沿って分断することにより子基板となるべき部分を間において対向する一方側に沿って延びる第1の分断線上に互いに所定の間隔をおいて形成される複数のスルーホールと、子基板になるべき部分を間において対向する他方側に沿って延びる第2の分断線上に互いに所定の間隔をおいて形成される複数のスルーホールとを有し、第1の分断線に直交しその上のスルーホールを通って延びる直線と、第2の分断線に直交しその上のスルーホールを通って延びる直線とが一致しないように各スルーホールを配置することにより、子基板になるべき部分の両側にスルーホールが互い違いに形成されたマザー基板を準備する工程と、マザー基板の主面とスルーホール内に電極を形成する工程と、マザー基板を直線に沿って格子状に分断する工程とを含む、子基板の製造方法である。
また、本願発明にかかる電子部品は、上述の子基板上に電子部品素子を搭載してなる、電子部品である。
【0007】
本願発明にかかるマザー基板は、子基板となるべき部分の両側にスルーホールが互い違いになるように形成されるので、全体としてスルーホールの数を減少させることができる。そのため、子基板の製造コストを低減することができ、また、子基板の小型化を図ることができる。しかも、スルーホールの数を減少させることにより、封止材や導電材を塗布することのできる面積が相対的に増えるので、信頼性の高い電子部品を得ることができる。
【0008】
本願発明の上述の目的,その他の目的,特徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明の実施の形態の詳細な説明から一層明らかとなろう。
【0009】
【発明の実施の形態】
図1は本願発明にかかるマザー基板の一実施例を示す平面図であり、図2はそのマザー基板から得られる子基板を示す斜視図である。
この実施例のマザー基板10は、平面矩形状に形成される。マザー基板10は、後述するように複数の分断線Dに沿って切り分けられて複数の子基板14となるべき部分が縦横に配列されてなるものである。この実施例では、図1図示横方向に延びる分断線DH1, DH2と、図1図示縦方向に延びる分断線DV1, DV2とが格子状に配列され、これらの分断線DH1, DH2,DV1, DV2で囲まれた部分が子基板14となるべき部分となる。
マザー基板10の材質は、合成樹脂でもよく、誘電体でもよい。マザー基板10には、図1に示すように、複数のスルーホール12が形成される。各スルーホール12は、マザー基板10を厚み方向に貫通する。
【0010】
ここで、図1に示すように、マザー基板10上に子基板14の幅長分の間隔をおきつつ隣接して平行に延びる直線状の第1の分断線DH1と第2の分断線DH2とを基準として、スルーホール12の形成状況を説明する。第1の分断線DH1と第2の分断線DH2は、それぞれマザー基板10の横方向に延びる分断線であり、マザー基板10の縦方向に所定の間隔をおきつつ繰り返して形成される。
第1の分断線DH1上には、複数のスルーホール12が互いに所定の間隔をおいて形成される。また、第1の分断線DH1と平行に延びる第2の分断線DH2上にも、複数のスルーホール12が互いに所定の間隔をおいて形成される。
ただし、第1の分断線DH1上のスルーホール12と第2の分断線DH2上のスルーホール12とは、子基板14になるべき部分の両側に、互い違いに配置される。すなわち、第1の分断線DH1に直交しその上のスルーホール12を通って延びる第1の直線L1 と、第2の分断線DH2に直交しその上のスルーホール12を通って延びる第2の直線L2 とが一致しないように各スルーホール12が配置され形成される。なお、この実施例では、第1の直線L1 は、縦方向に延びる分断線Dv1と一致するが、第2の直線L2 は分断線と一致しない。第1の直線L1 および第2の直線L2 は、この明細書で説明の便宜上用いる仮想的な補助線であり、図1では破線で示しているが、実際の製品に現れるものではない。各スルーホール12は、複数の突起を有する金型を用いてマザー基板10を成形することにより成形してもよく、矩形のマザー基板10を得た後、機械加工により形成してもよい。
【0011】
さらに、マザー基板10主面上には、複数の帯状の電極パターン16が各スルーホール12上に平行に延びるように形成される。また、電極パターン16は、各スルーホール12の内側全面にも同時に形成される。マザー基板10主面上の電極パターン16と各スルーホール12内側面の電極パターン16とは電気的に導通される。各スルーホール12の内側面の電極パターン16は、子基板14の側面電極となるものである。このような電極パターン16を形成するためには、印刷、焼結、蒸着、メッキなどの方法が、単体で、あるいは組み合わされて、基板の材質や用途に応じて用いられる。
【0012】
ここで電極パターン16の形成方法の一例について説明する。まず、電極パターン形成前のマザー基板10の外表面を溶媒または酸、アルカリなどにより荒らしたり、またはメッキのための触媒をコーティングすることにより、マザー基板10の表面を活性化する。
次に、マザー基板10の表面に銅を無電解メッキして、マザー基板10の全面に金属膜を形成する。金属膜は、各スルーホール12内においても、スルーホール12の内側面を被覆するようにして、マザー基板10の全外表面を被覆する。
なお、上記金属膜を構成する材料については、銅以外に、銀、金、パラジウム、アルミニウムまたはこれらの合金等の適宜の金属材料を用いることができ、さらに、必要に応じて金属膜上にさらに電解メッキによりこれらの金属材料からなる金属膜を積層してもよい。
【0013】
次に、金属膜が形成されたマザー基板10の全面にレジストを塗布する。レジストは上述した金属膜の外表面を全て覆うようにして形成される。
次に、上述のマザー基板10上にマスクを配置する。マスクは複数の開口部を有する。開口部は最終的に形成される子基板14において電極が形成されない部分に対応する形状とされている。
【0014】
次に、マスクの上方から散乱光が照射され、マスクの開口部の下方のレジスト層が露光される。この場合、散乱光により露光が行われるので、スルーホール12の内側面も露光される。散乱光を得るためには、光源とマスクとの間に適宜のデフューザを配置するか、光源をマスクおよびマザー基板10に対して移動させるか、もしくは、光源に対してマスクおよびマザー基板10を移動させる方法などの適宜の方法を用いることができる。このため、たとえば市販のスキャンニング型露光機などが用いられる。
【0015】
次に、レジスト層の露光された部分を現像し、露光された部分のレジスト層を除去する。この後、硝酸などの強酸を用いてレジスト層が除去された部分の下方の金属膜をエッチングにより除去する。そして、エッチングされていない部分に残存している露光されていないレジスト層が、たとえば芳香族炭化水素65重量%、アルキルスルホン酸20重量%、アルキルヒドロキシベンゼン15重量%からなる溶剤などにより除去される。こうして、マザー基板10に電極パターン16が形成される。
【0016】
その後、マザー基板10を分断線Dに沿ってダイサーなどで分断することにより、複数の子基板14を得ることができる。これらの子基板14は、図2に示すように、幅方向に対向する一方側面の中央部を略U字形状に切り欠いたスルーホール12の内面に端子電極16bを有し、幅方向に対向する他方側面に連なる2つの角部をそれぞれ略U字形状に切り欠いたスルーホール12の内面にも端子電極16a、16cを有する。すなわち、端子電極16a,16bおよび16cは、子基板14の幅方向に対向する両側に互い違いに形成される。言い換えれば、従来の子基板では、図21に示すように、幅方向に対向する一対のスルーホールが複数対形成されていたのに対し、この実施例の子基板14の幅方向に対向する位置には、図2に示すように、スルーホール12が一つしか形成されない。そして、それぞれのスルーホール12内に端子電極が形成され、さらにそれぞれの端子電極は子基板14の主面上に引き出される。なお、マザー基板10の切断は、ダイサーによる切断に限らず、その他の公知の分断方法により破断されてもよい。
【0017】
この実施例では、上述のように、従来の製法による子基板に比べてスルーホールの数が半減するので、金型コストや加工コストを安価にすることができ、子基板14の製造コストを低減することができる。また、この実施例により得られた子基板14は、スルーホール12が互い違いに形成されているので、複数のスルーホール12間の電気的短絡や機械的破壊を防止でき、子基板14のより一層の小型化を図ることができる。
【0018】
図3は、図2に示した子基板を用いた電子部品の一例を示す分解斜視図である。この電子部品20は、負荷容量内蔵型の表面実装型発振子である。この電子部品20は、子基板14を含む。子基板14の上には、たとえば3つの導電材22を介してコンデンサ24が固着される。コンデンサ24の下面の図示しない電極は、導電材22および子基板14の表面の電極パタ−ンを介して端子電極16a〜16cに電気的に接続される。コンデンサ24の上には、たとえば2つのチップ型導電材22を介して圧電共振子26が固着される。圧電共振子26の裏面の図示しない2つの電極は、導電材22を介してコンデンサ24の上面の2つの電極に接続される。圧電共振子26は、振動が妨げられないよう、両端部近傍でのみ導電材22によって支持される。さらに、全体がキャップ28で覆われる。こうして得られた電子部品20は、裏面に液状の導電材や封止材が塗布されて、さらに他の電子回路基板に表面実装される。
【0019】
図4は、図2に示した子基板を用いた電子部品の他の例を示す分解斜視図である。この電子部品20は、図2に示した子基板14を含む。ただし、この子基板14は、負荷容量を形成するため高ε材で形成される。したがって、端子電極16a,16bおよび16cの相互の間にそれぞれ負荷容量が形成される。子基板14の上には、たとえばロの字形状の異方性導電材30を介して圧電共振子26が固着される。異方性導電材30は、厚み方向にのみ導電性を有する材料である。したがって、圧電共振子26の図示しない裏面において長手方向に対向する一方の電極は、子基板14の長手方向に対向する一方の端子電極16aに電気的に接続され、圧電共振子26の図示しない裏面において長手方向に対向する他方の電極は、子基板14の長手方向に対向する他方の端子電極16cに電気的に接続される。また、この異方性導電材30は、子基板14のスルーホール12に対応する3つの切り欠きが形成されている。さらに、圧電共振子26の上面にはロの字形状の接着材32を介して上基板34が固着される。この電子部品20では、圧電共振子26の振動が妨げられないよう、異方性導電材30と接着材32とを所定の厚みを有するロの字形状とすることによって、圧電共振子26の周囲に空洞が形成される。こうして得られた電子部品20は、裏面に液状の導電材や封止材が塗布されて、さらに他の電子回路基板に表面実装される。
【0020】
図3および図4に示す電子部品20では、上述したように従来の子基板に比べてスルーホール12の数を半減させた子基板14を用いるので、小型であるにもかかわらず、導電材や絶縁材の塗布面積を広くとることができる。そのため、電子部品としての信頼性が向上する。
【0021】
図5は、本願発明にかかるマザー基板の他の実施例を示す平面図であり、図6はそのマザー基板から得られる子基板を示す斜視図である。
図5に示すマザー基板10は、図1に示したマザー基板と比べて、各子基板4となるべき部分の主面に平面矩形の凹部36が形成された点で異なる。この凹部36は、圧電共振子26などの電子部品素子を収納するためのものである。このマザー基板10からは、図6に示す子基板14を得ることができる。この子基板14は、電子部品素子を収納するための凹部36を有するので、様々な用途に対応可能である。
【0022】
図7は、図6に示した子基板を用いた電子部品の一例を示す分解斜視図である。この電子部品20の子基板14は、負荷容量を形成するため高ε材で形成される。子基板14は、主面に凹部36を有し、凹部36内には、端子電極16a,16bおよび16cがそれぞれ引き出される。子基板14の凹部36には、圧電共振子26が収納される。圧電共振子26の図示しない裏面において長手方向に対向する両端の電極は、導電材22を介してそれぞれ子基板14の長手方向に対向する端子電極16aまたは16cに接続される。さらに、圧電共振子26および凹部36は、キャップ28で覆われる。この電子部品20は、子基板14の主面に凹部36を有するので、電子部品20の厚みを薄くすることができ、他の回路基板に取り付けた際に、回路基板からの高さを低くすることができる。
【0023】
図8は本願発明にかかる子基板の別の実施例を示す斜視図であり、図9はその線A−Aにおける断面図である。図8および図9に示す子基板14は、多層基板として形成されている。
この子基板14は、図8および図9に示すように、低ε材でなる第1の基板15aを含む。第1の基板15aの長手方向の両端における幅方向一方の角部には、略U字状に切り欠かれたスルーホール12がそれぞれ設けられ、それらの内面に端子電極16aおよび16cが形成される。また、第1の基板15aの幅方向の他方の側面の中央部には、略U字形状に切り欠かれたスルーホール12が設けられ端子電極16bが形成される。端子電極16bは、第1の基板15aの表面に帯状に引き出される。そして、第1の基板15aの表面上には、電極16bを介在させながら高ε材でなる平面矩形状の第2の基板15bが積層される。第2の基板15b上には、第1の基板15aの両端から端子電極16aおよび16cが引き出される。さらに、第2の基板15bの上には端子電極16a,16cを介在させながら低ε材でなる平面ロの字状の第3の基板15cが積層される。この子基板14は、マザー基板の状態で各子基板14に対応する位置に第1から第3の基板15a〜15cが一体に積層され、その後、分断線に沿って分断することにより製造される。
【0024】
図8および図9に示す子基板14では、第1の基板15aおよび第3の基板15cが低ε材で形成され、第2の基板15bが高ε材で形成されて、それらが一体に積層されているので、子基板14内に負荷容量が形成される。また、この子基板14では第3の基板15cが平面ロ字形状に形成されているので、その内側が圧電共振子などの電子部品素子を収納するための凹部としても作用する。
【0025】
図10は、図1に示したマザー基板10の電極パターン16の変形例を示す平面図であり、図11はそのマザー基板10から得られる子基板14を示す斜視図である。図10に示すマザー基板10は、分断線DH1,DH2を跨いで電極パターン16が断続的に形成されている点で図1に示したマザー基板と異なるものである。これに限らず、電極パターン16は、子基板14の用途に応じて様々なパターンとすることができる。また、電極パターン16は、子基板14の表裏で同一パターンとしてもよく、異なるパターンとしてもよい。
【0026】
図12は、図11に示したマザー基板10の変形例であり、図13はそのマザー基板10から得られる子基板14を示す斜視図である。図12に示すマザー基板10は、子基板14となるべき部分の面積を小さくしてスルーホール12の密度を上げ、各スルーホール12の周囲とその内面に電極を形成したものである。すなわち、子基板14の幅方向に対向する一対のスルーホール12が複数対形成されている従来の子基板14では、スルーホール12間の基板割れやショートを防止するため、W>3a+αの大きさが必要であった。ここでWは子基板の全長であり、aはスルーホール上に形成された電極パターンの幅長であり、αは子基板の割れや端子電極間の短絡が生じないようにするためのギャップ値である。それに対して、本願発明にかかる子基板14は、スルーホール12が互い違いに形成されており、子基板14の幅方向に対向する位置にスルーホール12が一つしか形成されないので、この子基板14は、図13に示すように、W<3aとすることも可能である。したがって、この変形例によればより一層小型の子基板14を得ることが可能になる。
【0027】
図14は、図1に示したマザー基板10のスルーホール12の変形例を示す平面図であり、図15はそのマザー基板10から得られる子基板14を示す斜視図である。図14に示すマザー基板10は、図示縦方向に延びる第1および第2の分断線DV1,DV2にそれぞれ一致する第1の直線L1 上に+形状のスルーホール12aが形成され、第1および第2の分断線DV1,DV2に一致しない第2の直線L2 上に矩形状のスルーホール12bが形成されている点で図1に示すマザー基板10と異なる。この変形例によれば、図15に示すように、幅方向に対向する一方側面の中央部を略コの字形状に切り欠いたスルーホール12の内面に端子電極16bを有し、幅方向に対向する他方側面に連なる2つの角部をそれぞれ略W字形状に切り欠いたスルーホール12の内面に端子電極16a、16cを有する子基板14を得ることができる。これに限らず、スルーホール12の形状は、子基板14の用途に応じて様々な形状にすることができる。
【0028】
図16は、図1に示したマザー基板10のスルーホール12の変形例を示す平面図であり、図17はそのマザー基板10から得られる子基板14を示す斜視図である。図16に示すマザー基板10は、図1に示したマザー基板10と比べて、スルーホール12の形状を矩形とし、さらにそのスルーホール12内に電極パターン16と同じ導電材16を充填している点で異なる。この変形例によれば、図17に示すように、スルーホール12内に導電材が充填された電極16a,16bおよび16cを有する子基板14を得ることができる。この場合には、スルーホール12が予め導電材で充填されているので、この子基板14を用いた電子部品20の表面実装時に導電材や封止材がスルーホールに流入することを気にする必要がなくなる。そのため、導電材や絶縁材の塗布面積をより広くとることができ、電子部品としての信頼性が向上する。
【0029】
図18は、本願発明にかかる子基板の製造方法の別の実施例を示す平面図であり、図19はこの製造方法により得られる子基板14を示す斜視図である。図18に示すマザー基板10は、図1に示したマザー基板10と同様のものであるが、図示縦方向に延びる分断線DV1, DV2の設けられ方が異なる。すなわち、図1に示したものでは、縦方向に延びる第1および第2の分断線DV1, DV2は、横方向に延びる第1の分断線DH1上のスルーホール12のみを通過しており、横方向に延びる第2の分断線DH2上のスルーホール12は縦方向に延びる分断線で分断されていなかった。その結果、図1に示す実施例では、三端子型の子基板14が得られていた。しかし、図18に示す実施例では、縦方向に延びる第1の分断線DV1は、横方向に延びる第2の分断線DH2上のスルーホール12を通過し、縦方向に延びる第2の分断線DV2は、横方向に延びる第1の分断線DH1上のスルーホール12を通過するようにしている。すなわち、この実施例では、第1の直線L1 が縦方向に延びる第1の分断線DV1に一致し、第2の直線L2 が縦方向に延びる第2の分断線DV2に一致する。そして、これらの分断線DV1, DV2, DH1, DH2に沿ってマザー基板10をダイサーなどの公知の手段で分断することにより、図19に示すように、二端子型の子基板14を得ることができる。
【0030】
【発明の効果】
本願発明によれば、小型の子基板を安価に得ることができる。すなわち、本願発明にかかるマザー基板は、隣接する分断線上のスルーホールが互い違いになるように形成されるので、全体としてスルーホールの数を減少させることができる。そのため、子基板の製造コストを低減することができる。また、この子基板の構造では、子基板と小型化した際のスルーホール間の基板割れやショートが発生しにくいので、子基板の一層の小型化を図ることができる。しかも、スルーホールの数を減少させることにより、相対的に封止材や導電材を塗布することのできる面積が相対的に増えるので、信頼性の高い電子部品を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本願発明にかかるマザー基板の一実施例を示す平面図である。
【図2】図1に示すマザー基板から得られる子基板を示す斜視図である。
【図3】図2に示した子基板を用いた電子部品の一例を示す分解斜視図である。
【図4】図2に示した子基板を用いた電子部品の他の例を示す分解斜視図である。
【図5】本願発明にかかるマザー基板の他の実施例を示す平面図である。
【図6】図5に示すマザー基板から得られる子基板を示す斜視図である。
【図7】図6に示した子基板を用いた電子部品の一例を示す分解斜視図である。
【図8】本願発明にかかる子基板の別の実施例を示す斜視図である。
【図9】図8に示す線A−Aにおける断面図である。
【図10】図1に示したマザー基板の電極パターンの変形例を示す平面図である。
【図11】図10に示すマザー基板から得られる子基板を示す斜視図である。
【図12】図11に示したマザー基板の変形例を示す平面図である。
【図13】図12に示すマザー基板から得られる子基板を示す斜視図である。
【図14】図1に示すマザー基板のスルーホールの変形例を示す平面図である。
【図15】図14に示すマザー基板から得られる子基板を示す斜視図である。
【図16】図1に示したマザー基板のスルーホールの変形例を示す平面図である。
【図17】図16に示すマザー基板から得られる子基板を示す斜視図である。
【図18】本願発明にかかる子基板の製造方法の別の実施例を示す平面図である。
【図19】図18に示す製造方法により得られる子基板を示す斜視図である。
【図20】従来のマザー基板の一例を示す平面図である。
【図21】図20に示すマザー基板より得られる従来の子基板を示す斜視図である。
【符号の説明】
10 マザー基板
12 スルーホール
14 子基板
16 電極パターン
16a,16b,16c 端子電極
20 電子部品
22 導電材
24 コンデンサ
26 圧電共振子
28 キャップ
30 異方性導電材
32 接着材
34 上基板
36 凹部
Claims (4)
- 格子状に延びる分断線に沿って分断することにより子基板となるべき部分が縦横に配列されてなるマザー基板であって、
前記子基板になるべき部分を間において対向する一方側に沿って延びる第1の分断線上に互いに所定の間隔をおいて形成される複数のスルーホールと、
前記子基板になるべき部分を間において対向する他方側に沿って延びる第2の分断線上に互いに所定の間隔をおいて形成される複数のスルーホールとを有し、
前記第1の分断線に直交しその上のスルーホールを通って延びる直線と、前記第2の分断線に直交しその上のスルーホールを通って延びる直線とが一致しないように各スルーホールを配置することにより、前記子基板になるべき部分の両側にスルーホールが互い違いに形成された、マザー基板。 - 請求項1に記載のマザー基板を前記分断線に沿って分断することにより形成される、子基板。
- 格子状に延びる分断線に沿って分断することにより子基板となるべき部分を間において対向する一方側に沿って延びる第1の分断線上に互いに所定の間隔をおいて形成される複数のスルーホールと、前記子基板になるべき部分を間において対向する他方側に沿って延びる第2の分断線上に互いに所定の間隔をおいて形成される複数のスルーホールとを有し、前記第1の分断線に直交しその上のスルーホールを通って延びる直線と、前記第2の分断線に直交しその上のスルーホールを通って延びる直線とが一致しないように各スルーホールを配置することにより、前記子基板になるべき部分の両側にスルーホールが互い違いに形成されたマザー基板を準備する工程、
前記マザー基板の主面と前記スルーホール内に電極を形成する工程、および
前記マザー基板を前記直線に沿って格子状に分断する工程を含む、子基板の製造方法。 - 請求項2に記載の子基板上に電子部品素子を搭載してなる、電子部品。
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