JP3578699B2 - 磁気抵抗効果ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ビデオテープレコーダやデジタルオーディオテープレコーダ等の磁気記録再生装置に使用され、テープ状に形成された磁気記録媒体に対して情報の再生を行う磁気抵抗効果ヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】
ビデオテープレコーダやデジタルオーディオテープレコーダ等の磁気テープを記録媒体として用いる磁気記録再生装置には、更なる高密度化・大容量化が求められており、再生用の磁気ヘッドとして信号磁界の検出感度が高く高記録密度でも大きな再生出力が得られる磁気抵抗効果ヘッドが適用され始めている。
【0003】
図10乃至図13は、この種の磁気抵抗効果ヘッドの従来技術を説明するためのものであり、この磁気抵抗効果ヘッド21は、非磁性体からなる接合一体化された一対の基板22の細幅の一端部22aに磁気テープが摺動する円弧状の媒体摺動面23を形成し、この媒体摺動面23に一対の基板22間に配設された磁気抵抗効果素子層24及びマーキング層29,30の各先端部を露出させた構成となっている。
【0004】
この磁気抵抗効果ヘッド21の製造は、図11に示すように、一方の基板22に下部シールド層(不図示)を介して形成した図示せぬ下部ギャップ層上に、磁気抵抗効果素子層24および一対のバイアス層25を形成し、次いで、各バイアス層25上に電極層26を形成しその上から覆うように上部シールド層27を積層して、これらの層からなる積層体を形成したのち、上部シールド層27上に3組のマーキング層28,29,30を磁気抵抗効果素子層24を挟んで左右対称となるように漸次ずらして形成する。
【0005】
次に、上記積層体を覆うように両基板22を接合一体化し、これに一端部22aが細幅となるように切削加工を施す。そして、図12に示すように、磁気抵抗効果素子層24の幅方向(矢印A方向)において、一対の基板22の一端部22の中央部に矢印B方向(紙面に向かう)に延びる帯状の研磨シート31の中央部を位置合わせした状態で、研磨シート31を矢印Bに移動して一対の基板22の一端部22aを上記積層体と共に研磨することにより、図13に示すように、媒体摺動面23を形成し、媒体摺動面23の円弧頂部に磁気抵抗効果素子層24の先端部を露出させる。
【0006】
この際、一対の基板22の一端部22aに露出するマーキング層28,29,30を観察しながら研磨することにより、磁気抵抗効果素子層24の先端部から後端部までの寸法Hを所定の値に合わせ込むことができる。
【0007】
このように構成・製造された従来の磁気抵抗効果ヘッドは図示せぬ磁気記録再生装置に組み込まれて、電極層26から磁気抵抗効果素子層24に検出電流(定常電流)が与えられた状態で使用され、媒体摺動面23上を摺動する磁気テープに既に記録されている情報を磁気抵抗効果素子層24の抵抗変化に基づき再生するようになっている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来の磁気抵抗効果ヘッド21にあっては、一対の基板22の一端部22aの中央部に研磨シート31の中央部を位置合わせすることにより、磁気テープが円滑に摺動できるよう媒体摺動面23を円弧状に形成し、媒体摺動面23の円弧頂部に磁気抵抗効果素子層24の先端部を露出させるようにしているが、加工精度のばらつきによって磁気抵抗効果素子層24の幅方向に(矢印A方向)おける一対の基板22の一端部22aの寸法がばらつくと、図14に示すように、磁気抵抗効果素子層24の先端部が所定の媒体摺動面23の円弧頂部からずれて露出することとなり、その結果、媒体摺動面23上を摺動する磁気テープと磁気抵抗効果素子層24の先端部との間にスペーシングが生じ易くなり磁気テープに記録されている情報を再生できなくなる虞があった。
【0009】
本発明は上述した従来技術の事情に鑑みてなされたもので、その目的は、磁気抵抗効果素子層を媒体摺動面の所定位置に確実に露出させることができ、磁気テープの情報を確実に再生することができる磁気抵抗効果ヘッドおよびその製造方法を提供するとにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の磁気抵抗効果ヘッドは、下部シールド層と、この下部シールド層上に下部ギャップ層を介して形成された磁気抵抗効果素子層と、この磁気抵抗効果素子層上に上部ギャップ層を介して形成された上部シールド層とを備え、この上部シールド層の上方あるいは前記下部シールド層の下方のうちの少なくとも一方にはマーキング層が前記磁気抵抗効果素子層と対向して配設され、記録媒体が摺動する媒体摺動面に前記磁気抵抗効果素子層および前記マーキング層の各先端部が露出されており、前記マーキング層の先端部は、前記記録媒体の摺動方向と交差する幅方向の寸法が、前記磁気抵抗効果層の先端部から後端部までの寸法に等しく形成されているとともに、前記マーキング層の前記幅方向の中央部が、前記磁気抵抗効果素子層の前記幅方向の中央部を通り前記磁気抵抗効果素子層に直交する直線上に位置していることを構成上の第1の特徴としている。
【0011】
また、上記目的を達成するために、本発明の磁気抵抗効果ヘッドは、下部シールド層と、この下部シールド層上に下部ギャップ層を介して形成された磁気抵抗効果素子層と、この磁気抵抗効果素子層上に上部ギャップ層を介して形成された上部シールド層とを備え、この上部シールド層の上方あるいは前記下部シールド層の下方のうちの少なくとも一方にはマーキング層が前記磁気抵抗効果素子層と対向して配設され、記録媒体が摺動する媒体摺動面に前記磁気抵抗効果素子層および前記マーキング層の各先端部が露出されており、前記マーキング層は、その先端部から後端部に向かうに従い前記記録媒体の摺動方向と交差する幅方向の寸法が一定の割合で変化するように形成されているとともに、前記磁気抵抗効果素子層の前記幅方向の中央部を検出するために前記マーキング層に設けられたマーカ部が、前記磁気抵抗効果素子層の前記幅方向の中央部を通り前記磁気抵抗効果素子層に直交する直線上に位置していることを構成上の第2の特徴としている。
【0012】
また、本発明の磁気抵抗効果ヘッドは、上記第1,第2の構成において、前記マーキング層は、前記上部・下部両シールド層と同一材料にて形成され、前記上部・下部両シールド層のうちの少なくとも一方に直接形成されていることを特徴としている。
【0013】
一方、本発明の磁気抵抗効果ヘッドを得るための製造方法は、基板上に、下部シールド層,下部ギャップ層,磁気抵抗効果素子層,上部ギャップ層,上部シールド層を順次積層した構造を有する積層体を形成する工程と、
前記基板の一端部側から見て前記磁気抵抗効果素子層の幅方向における中央部の位置を検出するためのマーカ部が設けられ、前記基板の一端部から他端部に向かうに従い前記幅方向の寸法が一定の割合で変化するマーキング層を、前記積層体の上面あるいは下面のうちの少なくとも一方に形成する工程と、
前記マーカ部を用いて前記磁気抵抗効果素子の前記幅方向の中央部に研磨シートの前記幅方向の中央部を位置合わせした状態で、前記基板の一端部を前記積層体と共に研磨して記録媒体が摺動する円弧状の媒体摺動面を形成し、この媒体摺動面に前記マーキング層を前記幅方向の寸法が前記磁気抵抗効果素子層の先端部から後端部までの寸法に対応する所定の値となるように露出させることにより、前記媒体摺動面の円弧頂部に前記磁気抵抗効果素子層の先端部を露出させる工程と、を有することを最も主要な特徴としている。
【0014】
また、上記製造方法において、前記マーキング層に前記一端部から前記基板の他端部に向かって延びる長孔を形成し、この長孔を前記マーカ部としたことを特徴としている。
【0015】
また、上記製造方法において、前記マーキング層を、前記基板の一端部側から他端部側に向かって延び前記幅方向における前記磁気抵抗効果素子層の中央部を通る一辺を有する直角三角形状に形成し、この一辺を前記マーカ部としたことを特徴としている。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の磁気抵抗効果ヘッドの第1の実施形態を図1乃至図5に基づいて説明する。
【0017】
図1に示すように、この磁気抵抗効果ヘッド1は、非磁性体からなる接合一体化された一対の基板2の細幅の一端部2aに磁気テープが摺動する円弧状の媒体摺動面3を形成し、この媒体摺動面3に一対の基板2間に配設された磁気抵抗効果素子層6及びマーキング層11の各先端部を露出させて構成されている。
【0018】
図2はこの磁気抵抗効果ヘッド1を媒体摺動面3側から見た平面図であって、一方の基板2に形成された下部シールド層4上に、下部ギャップ層5を介して磁気抵抗効果素子層6および一対のバイアス層7が形成され、各バイアス層7上に電極層8が設けられており、磁気抵抗効果素子層6上には上部ギャップ層9を介して上部シールド層10が形成されている。そして、上部シールド層10上には磁気抵抗効果素子層6に比して遙かに膜厚の厚いマーキング層11が形成され、このマーキング層11上に絶縁層12が形成されており、マーキング層11の幅方向(矢印A方向)の中央部が、磁気抵抗効果素子層6の幅方向(矢印A方向)の中央部を通り磁気抵抗効果素子層6に直交する直線13上に位置し、磁気抵抗効果素子層6およびマーキング層11の幅方向が媒体摺動面3を摺動する磁気テープの摺動方向(矢印B方向)と交差した状態となっている。
【0019】
次に、この磁気抵抗効果ヘッド1の各層の詳細について順次説明する。
【0020】
上部シールド層10および下部シールド層4は、NiFe合金等の軟磁性材料からなり、磁気抵抗効果素子層6に磁気テープからの漏れ磁界以外の磁界が影響するのを防止するためのものである。
【0021】
上部ギャップ層9および下部ギャップ層5は、アルミナ等の非磁性絶縁材料からなり、磁気抵抗効果素子層6、バイアス層7および電極層8を上部・下部両シールド10,4から絶縁するためのものである。
【0022】
磁気抵抗効果素子層6は、3層構造とされ、下からNiFe合金からなる軟磁性層(SAL層)、タンタルからなる非磁性層(SHUNT層)、NiFeNb合金からなる磁気抵抗効果層(MR層)の順に積層されている。
【0023】
バイアス層7は、コバルト白金合金等の硬磁性導電材料で形成され、磁気抵抗効果素子層6に幅方向(矢印A方向)のバイアス磁界を与えるものである。
【0024】
電極層8は、銅やタングステン等の非磁性導電材料からなり、バイアス層7を介して磁気抵抗効果素子層6に検出電流(定常電流)を付与するためのものである。
【0025】
マーキング層11は、上部・下部両シールド層10,4と同一なNiFe合金等の軟磁性材料からなり、上部シールド層10上に直接形成されて、上部シールド層10の上方に配設されている。
【0026】
次に、このように構成された磁気抵抗効果ヘッド1の製造方法について説明する。
【0027】
先ず、一方の基板2上に、下部シールド層4と、下部ギャップ層5と、磁気抵抗効果素子層6と、バイアス層7と、電極層8と、上部ギャップ層9と、上部シールド層10とを順次積層して、これらの層からなる積層体を形成したのち、図3に示すように、磁気抵抗効果素子層6の幅方向(矢印A方向)における中央部を通り基板2の一端部2aから他端部に向かう方向(矢印C方向)に延びる直線14上に位置する長孔で構成されたマーカ部11aが設けられ、基板2の一端部から他端部に向かうに従い幅方向(矢印A方向)の寸法Tが一定の割合で変化する二等辺三角形状のマーキング層11を、先端部から磁気抵抗効果素子層6の後端部までの寸法Hが寸法Tに常に等しくなるように上部シールド層10上に形成する。
【0028】
次に、上記積層体およびマーキング層11を覆うように両基板2を接合一体化し、これに一端部2aが細幅となるように切削加工を施す。これにより、一対の基板2の一端部2a側から見てマーカ部11aが視認できるようになる。そして、図4に示すように、磁気抵抗効果素子層6の幅方向(矢印A方向)において、矢印B方向(紙面に向かう)に延びる帯状の研磨シート15の中央部をマーキング層11のマーカ部11aに位置合わせした状態で、研磨シート15を矢印B方向に移動して一対の基板2の一端部2aを上記積層体と共に研磨することにより、図5に示すように、媒体摺動面3を形成し、媒体摺動面3の円弧頂部に磁気抵抗効果素子層6の先端部を露出させる。
【0029】
この際、寸法Tと寸法Hとが常に等しくなるように設定されているので、一対の基板2の一端部2aに露出するマーキング層11の幅方向の寸法Tを観察しながら研磨することにより、磁気抵抗効果素子層6の先端部から後端部までの寸法Hを所定の値に合わせ込むことができる。
【0030】
このようにして、磁気抵抗効果ヘッド1の製造は完了するが、製造後においては、媒体摺動面3の円弧頂部に露出したマーキング層11の先端部の幅方向の寸法Tが、磁気抵抗効果素子層6の先端部から後端部までの寸法Hに等しく形成された状態となっている。
【0031】
このように構成・製造された磁気抵抗効果ヘッド1は図示せぬ磁気記録再生装置に組み込まれて、電極層8から磁気抵抗効果素子層6に検出電流(定常電流)が与えられた状態で使用され、媒体摺動面3上を摺動する磁気テープに既に記録されている情報を磁気抵抗効果素子層6の抵抗変化に基づき再生することができる。
【0032】
しかして、この磁気抵抗効果ヘッド1にあっては、マーキング層11に設けられたマーカ部11aを用いることにより、マーキング層11に比して遙かに膜厚の薄い磁気抵抗効果素子層6の幅方向(矢印A方向)の中央部を検出することができ、磁気抵抗効果素子層6の幅方向において、研磨シート15の中央部をマーキング層11のマーカ部11aに位置合わせすることによって、磁気抵抗効果素子層6の幅方向の中央部に研磨シート15の幅方向の中央部を合わせ込むことができるため、加工精度のばらつきによって磁気抵抗効果素子層6の幅方向における一対の基板2の一端部2aの寸法にばらつきが生じたとしても、磁気抵抗効果素子層6の先端部を媒体摺動面3の所定位置たる円弧頂部に確実に露出させることができ、その結果、磁気テープの情報を確実に再生することができる。
【0033】
尚、この第1の実施形態にあっては、マーキング層11を上部シールド層10の上方に配設するように構成したが、本発明はこれに限定されるものではなく、上記積層体を形成するに先立って、一方の基板2にマーカ部11aを備えたマーキング層11を形成することにより、下部シールド層4にマーキング層11を直接形成して下部シールド層4の下方にマーキング層11を配設されるように構成してもよい。
【0034】
次に、本発明の磁気抵抗効果ヘッドの第2の実施形態を図6乃至図9に基づいて説明する。
【0035】
この第2の実施形態の磁気抵抗効果ヘッド16が第1の実施形態と異なる点は、一方の基板2上に上記積層体を形成したのち、図6に示すように、マーキング層11の代えて上部シールド10上に、基板2の一端部から他端部に向かう方向(矢印C方向)に延び磁気抵抗効果素子層6の幅方向(矢印A方向)の中央部を通る一辺を有する直角二等辺三角形状のマーキング層17を形成し、この一辺を磁気抵抗効果素子層6の幅方向における中央部を検出するためのマーカ部17aとした点が異なるのみで、他は第1の実施形態と同様である。
【0036】
そして、この磁気抵抗効果ヘッド16の製造は、上記積層体およびマーキング層17を覆うように両基板2を接合一体化して、これに一端部2aが細幅となるように切削加工を施すことにより、一対の基板2の一端部2a側から見てマーカ部17aが視認できるようにし、図7に示すように、磁気抵抗効果素子層6の幅方向(矢印A方向)において、矢印B方向(紙面に向かう)に延びる帯状の研磨シート15の中央部をマーキング層17のマーカ部17aに位置合わせした状態で、研磨シート15を矢印Bに移動して一対の基板2の一端部2aを上記積層体と共に研磨することにより、図8に示すように、媒体摺動面3を形成し、媒体摺動面3の円弧頂部に磁気抵抗効果素子層6の先端部を露出させて製造される。
【0037】
この際、マーキング層17はその幅方向(矢印A方向)の寸法Tが基板2の一端部2aから他端部に向かうに従い一定の割合で変化するように設定されているので、一対の基板2の一端部2aに露出するマーキング層17の幅方向の寸法Tを観察しながら研磨することにより、磁気抵抗効果素子層6の先端部から後端部までの寸法Hを所定の値に合わせ込むことができる。
【0038】
図9はこのように製造された磁気抵抗効果ヘッド16を媒体摺動面3側から見た平面図であって、上部シールド層10上に形成されたマーキング層17のマーカ部17aが、磁気抵抗効果素子層6の幅方向(矢印A方向)の中央部を通り磁気抵抗効果素子層6に直交する直線13上に位置し、磁気抵抗効果素子層6およびマーキング層17の幅方向が媒体摺動面3を摺動する磁気テープの摺動方向(矢印B方向)と交差した状態となっている。
【0039】
このように構成・製造された磁気抵抗効果ヘッド16は図示せぬ磁気記録再生装置に組み込まれて、電極層8から磁気抵抗効果素子層6に検出電流(定常電流)が与えられた状態で使用され、媒体摺動面3上を摺動する磁気テープに既に記録されている情報を磁気抵抗効果素子層6の抵抗変化に基づき再生することができる。
【0040】
しかして、この磁気抵抗効果ヘッド16にあっても、マーキング層17に設けられたマーカ部17aを用いることにより、マーキング層17に比して遙かに膜厚の薄い磁気抵抗効果素子層6の幅方向の中央部を検出することができ、磁気抵抗効果素子層6の幅方向(矢印A方向)において、研磨シート15の中央部をマーキング層17のマーカ部17aに位置合わせすることによって、磁気抵抗効果素子層6の幅方向の中央部に研磨シート15の幅方向の中央部を合わせ込むことができるため、加工精度のばらつきによって磁気抵抗効果素子層6の幅方向における一対の基板2の一端部2aの寸法にばらつきが生じたとしても、磁気抵抗効果素子層6の先端部を媒体摺動面3の所定位置たる円弧頂部に確実に露出させることができ、その結果、磁気テープの情報を確実に再生することができる。
【0041】
尚、この第2の実施形態にあっても、第1の実施形態と同様に、マーキング層17を上部シールド層10の上方に配設するように構成したが、本発明はこれに限定されるものではなく、上記積層体を形成するに先立って、一方の基板2にマーキング層17を形成することにより、下部シールド層4にマーキング層17を直接形成して下部シールド層4の下方にマーキング層17を配設させるように構成してもよく、マーキング層17の配設位置には種々変更が可能である。
【0042】
【発明の効果】
本発明は、以上説明したような形態で実施され、以下に記載されるような効果を奏する。
【0043】
下部シールド層と、この下部シールド層上に下部ギャップ層を介して形成された磁気抵抗効果素子層と、この磁気抵抗効果素子層上に上部ギャップ層を介して形成された上部シールド層とを備え、この上部シールド層の上方あるいは前記下部シールド層の下方のうちの少なくとも一方にはマーキング層が前記磁気抵抗効果素子層と対向して配設され、記録媒体が摺動する媒体摺動面に前記磁気抵抗効果素子層および前記マーキング層の各先端部が露出されており、前記マーキング層の先端部は、前記記録媒体の摺動方向と交差する幅方向の寸法が、前記磁気抵抗効果層の先端部から後端部までの寸法に等しく形成されているとともに、前記マーキング層の前記幅方向の中央部が、前記磁気抵抗効果素子層の前記幅方向の中央部を通り前記磁気抵抗効果素子層に直交する直線上に位置しているので、前記媒体摺動面が前記磁気抵抗効果素子層の前記幅方向の中央部に研磨シートの前記幅方向の中央部を合わせ込んだ状態で形成できるため、前記磁気抵抗効果素子層の先端部が前記媒体摺動面の所定位置に確実に露出し、前記記録媒体に記録されている情報を確実に再生することができる。
【0044】
下部シールド層と、この下部シールド層上に下部ギャップ層を介して形成された磁気抵抗効果素子層と、この磁気抵抗効果素子層上に上部ギャップ層を介して形成された上部シールド層とを備え、この上部シールド層の上方あるいは前記下部シールド層の下方のうちの少なくとも一方にはマーキング層が前記磁気抵抗効果素子層と対向して配設され、記録媒体が摺動する媒体摺動面に前記磁気抵抗効果素子層および前記マーキング層の各先端部が露出されており、前記マーキング層は、その先端部から後端部に向かうに従い前記記録媒体の摺動方向と交差する幅方向の寸法が一定の割合で変化するように形成されているとともに、前記磁気抵抗効果素子層の前記幅方向の中央部を検出するために前記マーキング層に設けられたマーカ部が、前記磁気抵抗効果素子層の前記幅方向の中央部を通り前記磁気抵抗効果素子層に直交する直線上に位置しているので、前記媒体摺動面が前記磁気抵抗効果素子層の前記幅方向の中央部に研磨シートの前記幅方向の中央部を合わせ込んだ状態で形成できるため、前記磁気抵抗効果素子層の先端部が前記媒体摺動面の所定位置に確実に露出し、前記記録媒体に記録されている情報を確実に再生することができる。
【0045】
また、前記マーキング層は、前記上部・下部両シールド層と同一材料にて形成され、前記上部・下部両シールド層のうちの少なくとも一方に直接形成されているので、前記マーキング層を前記上部シールド層に連続して形成したり、前記マーキング層に前記下部シールド層を連続して形成することができるため、磁気抵抗効果ヘッドの製造工程の簡素化を図ることができる。
【0046】
また、基板上に、下部シールド層,下部ギャップ層,磁気抵抗効果素子層,上部ギャップ層,上部シールド層を順次積層した構造を有する積層体を形成する工程と、
前記基板の一端部側から見て前記磁気抵抗効果素子層の幅方向における中央部の位置を検出するためのマーカ部が設けられ、前記基板の一端部から他端部に向かうに従い前記幅方向の寸法が一定の割合で変化するマーキング層を、前記積層体の上面あるいは下面のうちの少なくとも一方に形成する工程と、
前記マーカ部を用いて前記磁気抵抗効果素子の前記幅方向の中央部に研磨シートの前記幅方向の中央部を位置合わせした状態で、前記基板の一端部を前記積層体と共に研磨して記録媒体が摺動する円弧状の媒体摺動面を形成し、この媒体摺動面に前記マーキング層を前記幅方向の寸法が前記磁気抵抗効果素子層の先端部から後端部までの寸法に対応する所定の値となるように露出させることにより、前記媒体摺動面の円弧頂部に前記磁気抵抗効果素子層の先端部を露出させる工程と、を有するので、前記磁気抵抗効果素子層の前記幅方向において、前記磁気抵抗効果素子層の中央部に前記研磨シートの中央部を合わせ込むことができるため、前記磁気抵抗効果素子層の先端部を前記媒体摺動面の所定位置に確実に露出させることができる。
【0047】
また、前記マーキング層に前記一端部から前記基板の他端部に向かって延びる長孔を形成し、この長孔を前記マーカ部としたり、前記マーキング層を、前記基板の一端部側から他端部側に向かって延び前記幅方向における前記磁気抵抗効果素子層の中央部を通る一辺を有する直角三角形状に形成し、この一辺を前記マーカ部としたので、前記マーカ部を簡単に形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態に係る磁気抵抗効果ヘッドの斜視図。
【図2】本発明の第1の実施形態に係る磁気抵抗効果ヘッドの媒体摺動面側から見た平面図。
【図3】本発明の第1の実施形態に係る磁気抵抗効果ヘッドの製造工程を説明するための図であって、積層体およびマーキング層を形成した状態を示す説明図。
【図4】本発明の第1の実施形態に係る磁気抵抗効果ヘッドの製造工程を説明するための図であって、基板の一端部に研磨テープを位置決めした状態を示す説明図。
【図5】本発明の第1の実施形態に係る磁気抵抗効果ヘッドの製造工程を説明するための図であって、基板の一端部に媒体摺動面を形成した状態を示す説明図。
【図6】本発明の第2の実施形態に係る磁気抵抗効果ヘッドの製造工程を説明するための図であって、積層体およびマーキング層を形成した状態を示す説明図。
【図7】本発明の第2の実施形態に係る磁気抵抗効果ヘッドの製造工程を説明するための図であって、基板の一端部に研磨テープを位置決めした状態を示す説明図。
【図8】本発明の第2の実施形態に係る磁気抵抗効果ヘッドの製造工程を説明するための図であって、基板の一端部に媒体摺動面を形成した状態を示す説明図。
【図9】本発明の第2の実施形態に係る磁気抵抗効果ヘッドの媒体摺動面側から見た平面図。
【図10】従来の磁気抵抗効果ヘッドの斜視図。
【図11】従来の磁気抵抗効果ヘッドの製造工程を説明するための図であって、積層体およびマーキング層を形成した状態を示す説明図。
【図12】従来の磁気抵抗効果ヘッドの製造工程を説明するための図であって、基板の一端部に研磨テープを位置決めした状態を示す説明図。
【図13】従来の磁気抵抗効果ヘッドの製造工程を説明するための図であって、基板の一端部に媒体摺動面を形成した状態を示す説明図。
【図14】従来の磁気抵抗効果ヘッドの問題点を説明するための説明図。
【符号の説明】
1 磁気抵抗効果ヘッド
2 基板
2a 一端部
3 媒体摺動面
4 下部シールド層
5 下部ギャップ層
6 磁気抵抗効果素子層
7 バイアス層
8 電極層
9 上部ギャップ層
10 上部シールド層
11 マーキング層
11a マーカ部
12 絶縁層
13 直線
14 直線
15 研磨シート
16 磁気抵抗効果ヘッド
17 マーキング層
17a マーカ部
T 寸法
H 寸法
【発明の属する技術分野】
本発明は、ビデオテープレコーダやデジタルオーディオテープレコーダ等の磁気記録再生装置に使用され、テープ状に形成された磁気記録媒体に対して情報の再生を行う磁気抵抗効果ヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】
ビデオテープレコーダやデジタルオーディオテープレコーダ等の磁気テープを記録媒体として用いる磁気記録再生装置には、更なる高密度化・大容量化が求められており、再生用の磁気ヘッドとして信号磁界の検出感度が高く高記録密度でも大きな再生出力が得られる磁気抵抗効果ヘッドが適用され始めている。
【0003】
図10乃至図13は、この種の磁気抵抗効果ヘッドの従来技術を説明するためのものであり、この磁気抵抗効果ヘッド21は、非磁性体からなる接合一体化された一対の基板22の細幅の一端部22aに磁気テープが摺動する円弧状の媒体摺動面23を形成し、この媒体摺動面23に一対の基板22間に配設された磁気抵抗効果素子層24及びマーキング層29,30の各先端部を露出させた構成となっている。
【0004】
この磁気抵抗効果ヘッド21の製造は、図11に示すように、一方の基板22に下部シールド層(不図示)を介して形成した図示せぬ下部ギャップ層上に、磁気抵抗効果素子層24および一対のバイアス層25を形成し、次いで、各バイアス層25上に電極層26を形成しその上から覆うように上部シールド層27を積層して、これらの層からなる積層体を形成したのち、上部シールド層27上に3組のマーキング層28,29,30を磁気抵抗効果素子層24を挟んで左右対称となるように漸次ずらして形成する。
【0005】
次に、上記積層体を覆うように両基板22を接合一体化し、これに一端部22aが細幅となるように切削加工を施す。そして、図12に示すように、磁気抵抗効果素子層24の幅方向(矢印A方向)において、一対の基板22の一端部22の中央部に矢印B方向(紙面に向かう)に延びる帯状の研磨シート31の中央部を位置合わせした状態で、研磨シート31を矢印Bに移動して一対の基板22の一端部22aを上記積層体と共に研磨することにより、図13に示すように、媒体摺動面23を形成し、媒体摺動面23の円弧頂部に磁気抵抗効果素子層24の先端部を露出させる。
【0006】
この際、一対の基板22の一端部22aに露出するマーキング層28,29,30を観察しながら研磨することにより、磁気抵抗効果素子層24の先端部から後端部までの寸法Hを所定の値に合わせ込むことができる。
【0007】
このように構成・製造された従来の磁気抵抗効果ヘッドは図示せぬ磁気記録再生装置に組み込まれて、電極層26から磁気抵抗効果素子層24に検出電流(定常電流)が与えられた状態で使用され、媒体摺動面23上を摺動する磁気テープに既に記録されている情報を磁気抵抗効果素子層24の抵抗変化に基づき再生するようになっている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来の磁気抵抗効果ヘッド21にあっては、一対の基板22の一端部22aの中央部に研磨シート31の中央部を位置合わせすることにより、磁気テープが円滑に摺動できるよう媒体摺動面23を円弧状に形成し、媒体摺動面23の円弧頂部に磁気抵抗効果素子層24の先端部を露出させるようにしているが、加工精度のばらつきによって磁気抵抗効果素子層24の幅方向に(矢印A方向)おける一対の基板22の一端部22aの寸法がばらつくと、図14に示すように、磁気抵抗効果素子層24の先端部が所定の媒体摺動面23の円弧頂部からずれて露出することとなり、その結果、媒体摺動面23上を摺動する磁気テープと磁気抵抗効果素子層24の先端部との間にスペーシングが生じ易くなり磁気テープに記録されている情報を再生できなくなる虞があった。
【0009】
本発明は上述した従来技術の事情に鑑みてなされたもので、その目的は、磁気抵抗効果素子層を媒体摺動面の所定位置に確実に露出させることができ、磁気テープの情報を確実に再生することができる磁気抵抗効果ヘッドおよびその製造方法を提供するとにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の磁気抵抗効果ヘッドは、下部シールド層と、この下部シールド層上に下部ギャップ層を介して形成された磁気抵抗効果素子層と、この磁気抵抗効果素子層上に上部ギャップ層を介して形成された上部シールド層とを備え、この上部シールド層の上方あるいは前記下部シールド層の下方のうちの少なくとも一方にはマーキング層が前記磁気抵抗効果素子層と対向して配設され、記録媒体が摺動する媒体摺動面に前記磁気抵抗効果素子層および前記マーキング層の各先端部が露出されており、前記マーキング層の先端部は、前記記録媒体の摺動方向と交差する幅方向の寸法が、前記磁気抵抗効果層の先端部から後端部までの寸法に等しく形成されているとともに、前記マーキング層の前記幅方向の中央部が、前記磁気抵抗効果素子層の前記幅方向の中央部を通り前記磁気抵抗効果素子層に直交する直線上に位置していることを構成上の第1の特徴としている。
【0011】
また、上記目的を達成するために、本発明の磁気抵抗効果ヘッドは、下部シールド層と、この下部シールド層上に下部ギャップ層を介して形成された磁気抵抗効果素子層と、この磁気抵抗効果素子層上に上部ギャップ層を介して形成された上部シールド層とを備え、この上部シールド層の上方あるいは前記下部シールド層の下方のうちの少なくとも一方にはマーキング層が前記磁気抵抗効果素子層と対向して配設され、記録媒体が摺動する媒体摺動面に前記磁気抵抗効果素子層および前記マーキング層の各先端部が露出されており、前記マーキング層は、その先端部から後端部に向かうに従い前記記録媒体の摺動方向と交差する幅方向の寸法が一定の割合で変化するように形成されているとともに、前記磁気抵抗効果素子層の前記幅方向の中央部を検出するために前記マーキング層に設けられたマーカ部が、前記磁気抵抗効果素子層の前記幅方向の中央部を通り前記磁気抵抗効果素子層に直交する直線上に位置していることを構成上の第2の特徴としている。
【0012】
また、本発明の磁気抵抗効果ヘッドは、上記第1,第2の構成において、前記マーキング層は、前記上部・下部両シールド層と同一材料にて形成され、前記上部・下部両シールド層のうちの少なくとも一方に直接形成されていることを特徴としている。
【0013】
一方、本発明の磁気抵抗効果ヘッドを得るための製造方法は、基板上に、下部シールド層,下部ギャップ層,磁気抵抗効果素子層,上部ギャップ層,上部シールド層を順次積層した構造を有する積層体を形成する工程と、
前記基板の一端部側から見て前記磁気抵抗効果素子層の幅方向における中央部の位置を検出するためのマーカ部が設けられ、前記基板の一端部から他端部に向かうに従い前記幅方向の寸法が一定の割合で変化するマーキング層を、前記積層体の上面あるいは下面のうちの少なくとも一方に形成する工程と、
前記マーカ部を用いて前記磁気抵抗効果素子の前記幅方向の中央部に研磨シートの前記幅方向の中央部を位置合わせした状態で、前記基板の一端部を前記積層体と共に研磨して記録媒体が摺動する円弧状の媒体摺動面を形成し、この媒体摺動面に前記マーキング層を前記幅方向の寸法が前記磁気抵抗効果素子層の先端部から後端部までの寸法に対応する所定の値となるように露出させることにより、前記媒体摺動面の円弧頂部に前記磁気抵抗効果素子層の先端部を露出させる工程と、を有することを最も主要な特徴としている。
【0014】
また、上記製造方法において、前記マーキング層に前記一端部から前記基板の他端部に向かって延びる長孔を形成し、この長孔を前記マーカ部としたことを特徴としている。
【0015】
また、上記製造方法において、前記マーキング層を、前記基板の一端部側から他端部側に向かって延び前記幅方向における前記磁気抵抗効果素子層の中央部を通る一辺を有する直角三角形状に形成し、この一辺を前記マーカ部としたことを特徴としている。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の磁気抵抗効果ヘッドの第1の実施形態を図1乃至図5に基づいて説明する。
【0017】
図1に示すように、この磁気抵抗効果ヘッド1は、非磁性体からなる接合一体化された一対の基板2の細幅の一端部2aに磁気テープが摺動する円弧状の媒体摺動面3を形成し、この媒体摺動面3に一対の基板2間に配設された磁気抵抗効果素子層6及びマーキング層11の各先端部を露出させて構成されている。
【0018】
図2はこの磁気抵抗効果ヘッド1を媒体摺動面3側から見た平面図であって、一方の基板2に形成された下部シールド層4上に、下部ギャップ層5を介して磁気抵抗効果素子層6および一対のバイアス層7が形成され、各バイアス層7上に電極層8が設けられており、磁気抵抗効果素子層6上には上部ギャップ層9を介して上部シールド層10が形成されている。そして、上部シールド層10上には磁気抵抗効果素子層6に比して遙かに膜厚の厚いマーキング層11が形成され、このマーキング層11上に絶縁層12が形成されており、マーキング層11の幅方向(矢印A方向)の中央部が、磁気抵抗効果素子層6の幅方向(矢印A方向)の中央部を通り磁気抵抗効果素子層6に直交する直線13上に位置し、磁気抵抗効果素子層6およびマーキング層11の幅方向が媒体摺動面3を摺動する磁気テープの摺動方向(矢印B方向)と交差した状態となっている。
【0019】
次に、この磁気抵抗効果ヘッド1の各層の詳細について順次説明する。
【0020】
上部シールド層10および下部シールド層4は、NiFe合金等の軟磁性材料からなり、磁気抵抗効果素子層6に磁気テープからの漏れ磁界以外の磁界が影響するのを防止するためのものである。
【0021】
上部ギャップ層9および下部ギャップ層5は、アルミナ等の非磁性絶縁材料からなり、磁気抵抗効果素子層6、バイアス層7および電極層8を上部・下部両シールド10,4から絶縁するためのものである。
【0022】
磁気抵抗効果素子層6は、3層構造とされ、下からNiFe合金からなる軟磁性層(SAL層)、タンタルからなる非磁性層(SHUNT層)、NiFeNb合金からなる磁気抵抗効果層(MR層)の順に積層されている。
【0023】
バイアス層7は、コバルト白金合金等の硬磁性導電材料で形成され、磁気抵抗効果素子層6に幅方向(矢印A方向)のバイアス磁界を与えるものである。
【0024】
電極層8は、銅やタングステン等の非磁性導電材料からなり、バイアス層7を介して磁気抵抗効果素子層6に検出電流(定常電流)を付与するためのものである。
【0025】
マーキング層11は、上部・下部両シールド層10,4と同一なNiFe合金等の軟磁性材料からなり、上部シールド層10上に直接形成されて、上部シールド層10の上方に配設されている。
【0026】
次に、このように構成された磁気抵抗効果ヘッド1の製造方法について説明する。
【0027】
先ず、一方の基板2上に、下部シールド層4と、下部ギャップ層5と、磁気抵抗効果素子層6と、バイアス層7と、電極層8と、上部ギャップ層9と、上部シールド層10とを順次積層して、これらの層からなる積層体を形成したのち、図3に示すように、磁気抵抗効果素子層6の幅方向(矢印A方向)における中央部を通り基板2の一端部2aから他端部に向かう方向(矢印C方向)に延びる直線14上に位置する長孔で構成されたマーカ部11aが設けられ、基板2の一端部から他端部に向かうに従い幅方向(矢印A方向)の寸法Tが一定の割合で変化する二等辺三角形状のマーキング層11を、先端部から磁気抵抗効果素子層6の後端部までの寸法Hが寸法Tに常に等しくなるように上部シールド層10上に形成する。
【0028】
次に、上記積層体およびマーキング層11を覆うように両基板2を接合一体化し、これに一端部2aが細幅となるように切削加工を施す。これにより、一対の基板2の一端部2a側から見てマーカ部11aが視認できるようになる。そして、図4に示すように、磁気抵抗効果素子層6の幅方向(矢印A方向)において、矢印B方向(紙面に向かう)に延びる帯状の研磨シート15の中央部をマーキング層11のマーカ部11aに位置合わせした状態で、研磨シート15を矢印B方向に移動して一対の基板2の一端部2aを上記積層体と共に研磨することにより、図5に示すように、媒体摺動面3を形成し、媒体摺動面3の円弧頂部に磁気抵抗効果素子層6の先端部を露出させる。
【0029】
この際、寸法Tと寸法Hとが常に等しくなるように設定されているので、一対の基板2の一端部2aに露出するマーキング層11の幅方向の寸法Tを観察しながら研磨することにより、磁気抵抗効果素子層6の先端部から後端部までの寸法Hを所定の値に合わせ込むことができる。
【0030】
このようにして、磁気抵抗効果ヘッド1の製造は完了するが、製造後においては、媒体摺動面3の円弧頂部に露出したマーキング層11の先端部の幅方向の寸法Tが、磁気抵抗効果素子層6の先端部から後端部までの寸法Hに等しく形成された状態となっている。
【0031】
このように構成・製造された磁気抵抗効果ヘッド1は図示せぬ磁気記録再生装置に組み込まれて、電極層8から磁気抵抗効果素子層6に検出電流(定常電流)が与えられた状態で使用され、媒体摺動面3上を摺動する磁気テープに既に記録されている情報を磁気抵抗効果素子層6の抵抗変化に基づき再生することができる。
【0032】
しかして、この磁気抵抗効果ヘッド1にあっては、マーキング層11に設けられたマーカ部11aを用いることにより、マーキング層11に比して遙かに膜厚の薄い磁気抵抗効果素子層6の幅方向(矢印A方向)の中央部を検出することができ、磁気抵抗効果素子層6の幅方向において、研磨シート15の中央部をマーキング層11のマーカ部11aに位置合わせすることによって、磁気抵抗効果素子層6の幅方向の中央部に研磨シート15の幅方向の中央部を合わせ込むことができるため、加工精度のばらつきによって磁気抵抗効果素子層6の幅方向における一対の基板2の一端部2aの寸法にばらつきが生じたとしても、磁気抵抗効果素子層6の先端部を媒体摺動面3の所定位置たる円弧頂部に確実に露出させることができ、その結果、磁気テープの情報を確実に再生することができる。
【0033】
尚、この第1の実施形態にあっては、マーキング層11を上部シールド層10の上方に配設するように構成したが、本発明はこれに限定されるものではなく、上記積層体を形成するに先立って、一方の基板2にマーカ部11aを備えたマーキング層11を形成することにより、下部シールド層4にマーキング層11を直接形成して下部シールド層4の下方にマーキング層11を配設されるように構成してもよい。
【0034】
次に、本発明の磁気抵抗効果ヘッドの第2の実施形態を図6乃至図9に基づいて説明する。
【0035】
この第2の実施形態の磁気抵抗効果ヘッド16が第1の実施形態と異なる点は、一方の基板2上に上記積層体を形成したのち、図6に示すように、マーキング層11の代えて上部シールド10上に、基板2の一端部から他端部に向かう方向(矢印C方向)に延び磁気抵抗効果素子層6の幅方向(矢印A方向)の中央部を通る一辺を有する直角二等辺三角形状のマーキング層17を形成し、この一辺を磁気抵抗効果素子層6の幅方向における中央部を検出するためのマーカ部17aとした点が異なるのみで、他は第1の実施形態と同様である。
【0036】
そして、この磁気抵抗効果ヘッド16の製造は、上記積層体およびマーキング層17を覆うように両基板2を接合一体化して、これに一端部2aが細幅となるように切削加工を施すことにより、一対の基板2の一端部2a側から見てマーカ部17aが視認できるようにし、図7に示すように、磁気抵抗効果素子層6の幅方向(矢印A方向)において、矢印B方向(紙面に向かう)に延びる帯状の研磨シート15の中央部をマーキング層17のマーカ部17aに位置合わせした状態で、研磨シート15を矢印Bに移動して一対の基板2の一端部2aを上記積層体と共に研磨することにより、図8に示すように、媒体摺動面3を形成し、媒体摺動面3の円弧頂部に磁気抵抗効果素子層6の先端部を露出させて製造される。
【0037】
この際、マーキング層17はその幅方向(矢印A方向)の寸法Tが基板2の一端部2aから他端部に向かうに従い一定の割合で変化するように設定されているので、一対の基板2の一端部2aに露出するマーキング層17の幅方向の寸法Tを観察しながら研磨することにより、磁気抵抗効果素子層6の先端部から後端部までの寸法Hを所定の値に合わせ込むことができる。
【0038】
図9はこのように製造された磁気抵抗効果ヘッド16を媒体摺動面3側から見た平面図であって、上部シールド層10上に形成されたマーキング層17のマーカ部17aが、磁気抵抗効果素子層6の幅方向(矢印A方向)の中央部を通り磁気抵抗効果素子層6に直交する直線13上に位置し、磁気抵抗効果素子層6およびマーキング層17の幅方向が媒体摺動面3を摺動する磁気テープの摺動方向(矢印B方向)と交差した状態となっている。
【0039】
このように構成・製造された磁気抵抗効果ヘッド16は図示せぬ磁気記録再生装置に組み込まれて、電極層8から磁気抵抗効果素子層6に検出電流(定常電流)が与えられた状態で使用され、媒体摺動面3上を摺動する磁気テープに既に記録されている情報を磁気抵抗効果素子層6の抵抗変化に基づき再生することができる。
【0040】
しかして、この磁気抵抗効果ヘッド16にあっても、マーキング層17に設けられたマーカ部17aを用いることにより、マーキング層17に比して遙かに膜厚の薄い磁気抵抗効果素子層6の幅方向の中央部を検出することができ、磁気抵抗効果素子層6の幅方向(矢印A方向)において、研磨シート15の中央部をマーキング層17のマーカ部17aに位置合わせすることによって、磁気抵抗効果素子層6の幅方向の中央部に研磨シート15の幅方向の中央部を合わせ込むことができるため、加工精度のばらつきによって磁気抵抗効果素子層6の幅方向における一対の基板2の一端部2aの寸法にばらつきが生じたとしても、磁気抵抗効果素子層6の先端部を媒体摺動面3の所定位置たる円弧頂部に確実に露出させることができ、その結果、磁気テープの情報を確実に再生することができる。
【0041】
尚、この第2の実施形態にあっても、第1の実施形態と同様に、マーキング層17を上部シールド層10の上方に配設するように構成したが、本発明はこれに限定されるものではなく、上記積層体を形成するに先立って、一方の基板2にマーキング層17を形成することにより、下部シールド層4にマーキング層17を直接形成して下部シールド層4の下方にマーキング層17を配設させるように構成してもよく、マーキング層17の配設位置には種々変更が可能である。
【0042】
【発明の効果】
本発明は、以上説明したような形態で実施され、以下に記載されるような効果を奏する。
【0043】
下部シールド層と、この下部シールド層上に下部ギャップ層を介して形成された磁気抵抗効果素子層と、この磁気抵抗効果素子層上に上部ギャップ層を介して形成された上部シールド層とを備え、この上部シールド層の上方あるいは前記下部シールド層の下方のうちの少なくとも一方にはマーキング層が前記磁気抵抗効果素子層と対向して配設され、記録媒体が摺動する媒体摺動面に前記磁気抵抗効果素子層および前記マーキング層の各先端部が露出されており、前記マーキング層の先端部は、前記記録媒体の摺動方向と交差する幅方向の寸法が、前記磁気抵抗効果層の先端部から後端部までの寸法に等しく形成されているとともに、前記マーキング層の前記幅方向の中央部が、前記磁気抵抗効果素子層の前記幅方向の中央部を通り前記磁気抵抗効果素子層に直交する直線上に位置しているので、前記媒体摺動面が前記磁気抵抗効果素子層の前記幅方向の中央部に研磨シートの前記幅方向の中央部を合わせ込んだ状態で形成できるため、前記磁気抵抗効果素子層の先端部が前記媒体摺動面の所定位置に確実に露出し、前記記録媒体に記録されている情報を確実に再生することができる。
【0044】
下部シールド層と、この下部シールド層上に下部ギャップ層を介して形成された磁気抵抗効果素子層と、この磁気抵抗効果素子層上に上部ギャップ層を介して形成された上部シールド層とを備え、この上部シールド層の上方あるいは前記下部シールド層の下方のうちの少なくとも一方にはマーキング層が前記磁気抵抗効果素子層と対向して配設され、記録媒体が摺動する媒体摺動面に前記磁気抵抗効果素子層および前記マーキング層の各先端部が露出されており、前記マーキング層は、その先端部から後端部に向かうに従い前記記録媒体の摺動方向と交差する幅方向の寸法が一定の割合で変化するように形成されているとともに、前記磁気抵抗効果素子層の前記幅方向の中央部を検出するために前記マーキング層に設けられたマーカ部が、前記磁気抵抗効果素子層の前記幅方向の中央部を通り前記磁気抵抗効果素子層に直交する直線上に位置しているので、前記媒体摺動面が前記磁気抵抗効果素子層の前記幅方向の中央部に研磨シートの前記幅方向の中央部を合わせ込んだ状態で形成できるため、前記磁気抵抗効果素子層の先端部が前記媒体摺動面の所定位置に確実に露出し、前記記録媒体に記録されている情報を確実に再生することができる。
【0045】
また、前記マーキング層は、前記上部・下部両シールド層と同一材料にて形成され、前記上部・下部両シールド層のうちの少なくとも一方に直接形成されているので、前記マーキング層を前記上部シールド層に連続して形成したり、前記マーキング層に前記下部シールド層を連続して形成することができるため、磁気抵抗効果ヘッドの製造工程の簡素化を図ることができる。
【0046】
また、基板上に、下部シールド層,下部ギャップ層,磁気抵抗効果素子層,上部ギャップ層,上部シールド層を順次積層した構造を有する積層体を形成する工程と、
前記基板の一端部側から見て前記磁気抵抗効果素子層の幅方向における中央部の位置を検出するためのマーカ部が設けられ、前記基板の一端部から他端部に向かうに従い前記幅方向の寸法が一定の割合で変化するマーキング層を、前記積層体の上面あるいは下面のうちの少なくとも一方に形成する工程と、
前記マーカ部を用いて前記磁気抵抗効果素子の前記幅方向の中央部に研磨シートの前記幅方向の中央部を位置合わせした状態で、前記基板の一端部を前記積層体と共に研磨して記録媒体が摺動する円弧状の媒体摺動面を形成し、この媒体摺動面に前記マーキング層を前記幅方向の寸法が前記磁気抵抗効果素子層の先端部から後端部までの寸法に対応する所定の値となるように露出させることにより、前記媒体摺動面の円弧頂部に前記磁気抵抗効果素子層の先端部を露出させる工程と、を有するので、前記磁気抵抗効果素子層の前記幅方向において、前記磁気抵抗効果素子層の中央部に前記研磨シートの中央部を合わせ込むことができるため、前記磁気抵抗効果素子層の先端部を前記媒体摺動面の所定位置に確実に露出させることができる。
【0047】
また、前記マーキング層に前記一端部から前記基板の他端部に向かって延びる長孔を形成し、この長孔を前記マーカ部としたり、前記マーキング層を、前記基板の一端部側から他端部側に向かって延び前記幅方向における前記磁気抵抗効果素子層の中央部を通る一辺を有する直角三角形状に形成し、この一辺を前記マーカ部としたので、前記マーカ部を簡単に形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態に係る磁気抵抗効果ヘッドの斜視図。
【図2】本発明の第1の実施形態に係る磁気抵抗効果ヘッドの媒体摺動面側から見た平面図。
【図3】本発明の第1の実施形態に係る磁気抵抗効果ヘッドの製造工程を説明するための図であって、積層体およびマーキング層を形成した状態を示す説明図。
【図4】本発明の第1の実施形態に係る磁気抵抗効果ヘッドの製造工程を説明するための図であって、基板の一端部に研磨テープを位置決めした状態を示す説明図。
【図5】本発明の第1の実施形態に係る磁気抵抗効果ヘッドの製造工程を説明するための図であって、基板の一端部に媒体摺動面を形成した状態を示す説明図。
【図6】本発明の第2の実施形態に係る磁気抵抗効果ヘッドの製造工程を説明するための図であって、積層体およびマーキング層を形成した状態を示す説明図。
【図7】本発明の第2の実施形態に係る磁気抵抗効果ヘッドの製造工程を説明するための図であって、基板の一端部に研磨テープを位置決めした状態を示す説明図。
【図8】本発明の第2の実施形態に係る磁気抵抗効果ヘッドの製造工程を説明するための図であって、基板の一端部に媒体摺動面を形成した状態を示す説明図。
【図9】本発明の第2の実施形態に係る磁気抵抗効果ヘッドの媒体摺動面側から見た平面図。
【図10】従来の磁気抵抗効果ヘッドの斜視図。
【図11】従来の磁気抵抗効果ヘッドの製造工程を説明するための図であって、積層体およびマーキング層を形成した状態を示す説明図。
【図12】従来の磁気抵抗効果ヘッドの製造工程を説明するための図であって、基板の一端部に研磨テープを位置決めした状態を示す説明図。
【図13】従来の磁気抵抗効果ヘッドの製造工程を説明するための図であって、基板の一端部に媒体摺動面を形成した状態を示す説明図。
【図14】従来の磁気抵抗効果ヘッドの問題点を説明するための説明図。
【符号の説明】
1 磁気抵抗効果ヘッド
2 基板
2a 一端部
3 媒体摺動面
4 下部シールド層
5 下部ギャップ層
6 磁気抵抗効果素子層
7 バイアス層
8 電極層
9 上部ギャップ層
10 上部シールド層
11 マーキング層
11a マーカ部
12 絶縁層
13 直線
14 直線
15 研磨シート
16 磁気抵抗効果ヘッド
17 マーキング層
17a マーカ部
T 寸法
H 寸法
Claims (6)
- 下部シールド層と、この下部シールド層上に下部ギャップ層を介して形成された磁気抵抗効果素子層と、この磁気抵抗効果素子層上に上部ギャップ層を介して形成された上部シールド層とを備え、この上部シールド層の上方あるいは前記下部シールド層の下方のうちの少なくとも一方にはマーキング層が前記磁気抵抗効果素子層と対向して配設され、記録媒体が摺動する媒体摺動面に前記磁気抵抗効果素子層および前記マーキング層の各先端部が露出されており、前記マーキング層の先端部は、前記記録媒体の摺動方向と交差する幅方向の寸法が、前記磁気抵抗効果層の先端部から後端部までの寸法に等しく形成されているとともに、前記マーキング層の前記幅方向の中央部が、前記磁気抵抗効果素子層の前記幅方向の中央部を通り前記磁気抵抗効果素子層に直交する直線上に位置していることを特徴とする磁気抵抗効果ヘッド。
- 下部シールド層と、この下部シールド層上に下部ギャップ層を介して形成された磁気抵抗効果素子層と、この磁気抵抗効果素子層上に上部ギャップ層を介して形成された上部シールド層とを備え、この上部シールド層の上方あるいは前記下部シールド層の下方のうちの少なくとも一方にはマーキング層が前記磁気抵抗効果素子層と対向して配設され、記録媒体が摺動する媒体摺動面に前記磁気抵抗効果素子層および前記マーキング層の各先端部が露出されており、前記マーキング層は、その先端部から後端部に向かうに従い前記記録媒体の摺動方向と交差する幅方向の寸法が一定の割合で変化するように形成されているとともに、前記磁気抵抗効果素子層の前記幅方向の中央部を検出するために前記マーキング層に設けられたマーカ部が、前記磁気抵抗効果素子層の前記幅方向の中央部を通り前記磁気抵抗効果素子層に直交する直線上に位置していることを特徴とする磁気抵抗効果ヘッド。
- 前記マーキング層は、前記上部・下部両シールド層と同一材料にて形成され、前記上部・下部両シールド層のうちの少なくとも一方に直接形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の磁気抵抗効果ヘッド。
- 基板上に、下部シールド層,下部ギャップ層,磁気抵抗効果素子層,上部ギャップ層,上部シールド層を順次積層した構造を有する積層体を形成する工程と、
前記基板の一端部側から見て前記磁気抵抗効果素子層の幅方向における中央部の位置を検出するためのマーカ部が設けられ、前記基板の一端部から他端部に向かうに従い前記幅方向の寸法が一定の割合で変化するマーキング層を、前記積層体の上面あるいは下面のうちの少なくとも一方に形成する工程と、
前記マーカ部を用いて前記磁気抵抗効果素子の前記幅方向の中央部に研磨シートの前記幅方向の中央部を位置合わせした状態で、前記基板の一端部を前記積層体と共に研磨して記録媒体が摺動する円弧状の媒体摺動面を形成し、この媒体摺動面に前記マーキング層を前記幅方向の寸法が前記磁気抵抗効果素子層の先端部から後端部までの寸法に対応する所定の値となるように露出させることにより、前記媒体摺動面の円弧頂部に前記磁気抵抗効果素子層の先端部を露出させる工程と、を有することを特徴とする磁気抵抗効果ヘッドの製造方法。 - 前記マーキング層に前記一端部から前記基板の他端部に向かって延びる長孔を形成し、この長孔を前記マーカ部としたことを特徴とする請求項4に記載の磁気抵抗効果ヘッドの製造方法。
- 前記マーキング層を、前記基板の一端部側から他端部側に向かって延び前記幅方向における前記磁気抵抗効果素子層の中央部を通る一辺を有する直角三角形状に形成し、この一辺を前記マーカ部としたことを特徴とする請求項4に記載の磁気抵抗効果ヘッドの製造方法。
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