JP2000508815A - 磁気抵抗要素を備える多重チャネル磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 多重チャネル磁気ヘッドであって、高チャネル密度を有し、該磁気ヘッドに対して記録担体が相対的に移動可能となる第１方向（Ｉ）と、該第１方向に直交する第２方向（II）とに延在するヘッド面（１）を具備した多重チャネル磁気ヘッド。この磁気ヘッドは、第１方向から見た場合に次々に重ねられて配置されていると共に、略第２方向と第１及び第２方向に直交する第３方向（III）とに延在している複数層から成る構造を具備している。第２方向から見た場合に、隣接する磁気抵抗センサ（Ｓ₁，Ｓ₂，Ｓ₃）が構造内において識別可能であり、該磁気抵抗センサの各々が、磁気抵抗測定要素（５）、第１磁性要素（７）及び第２磁性要素（９）を含む。隣接センサのこれら磁性要素が導電性があると共に電気的接続面（７０a，９ａ）を有する一方で、各センサにおけるそうした測定要素は第１及び第２磁性要素間に電気的に直列して配列されて、測定電流（ｉ）を略第３方向にその測定要素を通じて流している。

Description

【発明の詳細な説明】 磁気抵抗要素を備える多重チャネル磁気ヘッド 技術分野 本発明は多重チャネル磁気ヘッドに関し、該磁気ヘッドに対して記録担体が相 対的に移動可能な第１方向と該第１方向に直交する第２方向とに延在するヘッド 面を具備しており、その第１方向から見た場合に次々に重ねられて配置されてい ると共に、略第２方向と、第１及び第２方向に直交する第３方向とに延在してい る複数層の構造を具備しており、該構造内において、第２方向から見た場合、隣 接する磁気抵抗センサが識別可能であり、該磁気抵抗センサの各々が磁気抵抗測 定要素、第１磁性要素及び第２磁性要素を含み、第１方向からみた場合にこれら 磁性要素が相互に対向して配置されていると共に、それら要素の内の少なくとも １つの第１磁性要素がヘッド面まで延在している。 背景技術 このタイプの多重チャネル磁気ヘッドはヨーロッパ特許公報公開第EP-A 0 422 916号で公知である。この公知の磁気ヘッドは幾つかの磁気抵抗要素を備え、そ れら要素の各々が共有磁束ガイド及び磁気基板を具備する磁気ヨークの一部を形 成している。使用中、抵抗変化量を測定する測定電流は磁気抵抗要素を通過させ られる。これを満たすべく、各磁気抵抗要素には電流供給源と、磁気ヨークに沿 って延在する電流リターン導体とが具備されている。これら導体の結果、この公 知の多重チャネルヘッドにおける磁気抵抗要素は相対的に大きく相互に隔てられ て、相対的に小さなチャネル密度だけが実現可能となる。 発明の開示 本発明の目的は、チャネル密度が現行の磁気抵抗測定要素の電流供給導体と、 電流リターン導体とから独立している多重チャネル磁気ヘッドを提供することで ある。 本発明に係る磁気ヘッドは、少なくとも２つの隣接する磁気抵抗センサ各々に おける両磁性要素が導電性であり、測定要素がこれら２つの磁性要素間に電気的 に直列に配列されて、略第３方向へ該測定要素を通じて測定電流を通しており、 それら両磁性要素が電気的接続面を有している。同一要素に磁気的及び電気的機 能の双方を実行させることによって、別個のセンサには小型の形状が付与され得 る。特に、センサの第２方向から見た場合の幅は、所望チャネル幅によって完全 に決定可能である。結果として、磁気抵抗測定要素は非常に密接して一体的に提 供され得て、それで大きなチャネル密度を作り出している。追加的であるが重要 な長所は、静電気放電問題が、測定要素及び磁性要素間と磁性要素自体相互間で の絶縁酸化層が不必要であるために防止可能であり、そうした複数層にわたって の電荷が蓄積されて放電され得ることである。測定要素及び磁性要素間の絶縁酸 化層の欠如によって、好都合な効率をも保証される。更なる長所は、測定要素が 磁性要素と電気的に接続されて、測定要素から磁性要素への可能性あるフラッシ ュオーバー（沿面放電）が防止されることである。 異方性磁気抵抗（ＡＭＲ）要素又は超磁気抵抗（ＧＭＲ）要素は測定要素とし ても使用可能である。ＡＭＲ要素は、例えば、NiFe合金から構成されてバーバー ポールストライプと一般に云われる等電位ストリップを伴うか又は伴うことがな い層であることが可能である。ＡＭＲ要素の好都合な実施例は、米国特許公報第 US-A 4,686,472号（引用することでここに合体させる）に示されるタイプのラミ ネート状磁気抵抗要素である。好都合なＧＭＲ要素は、例えば国際出願番号第WO -A 96/07926号(PHN14.992;引用することでここに合体させる)に記載されたもの である。 ＡＭＲ要素は、好ましくは磁性要素間に配置されたＤＣ電流搬送導体を用いる ことによってバイアスされ得る。例えば、スピンバルブタイプのＧＭＲ要素は、 バイアスが絶対的に要求されないという有益性を有する。 本発明に係る多重チャネル磁気ヘッドは公知の薄膜技法によって製造され得て 、磁性要素は、例えばNiFe、CoNbZr又はFeNbSi-Nから形成される薄膜である。磁 性要素の内の１つは、代替的には、導電性の透磁性基板によって構成され得る。 原則として、本発明に係る多重チャネル磁気ヘッドは、狭小で密接状態で離間 されたトラックが走査され得るような如何なる用途にも適合する。例としては、 テープストリーマ、ディジタルビデオレコーダ、ハードディスク装置及びビデオ ／データ記録用のマルチメディアレコーダである。特に線形レコーダにおいては 、夥しい数のトラックが、ヘッドに対する情報媒体の相対的に低速であるが故に 高データ速度を達成すべく所望される。この速度はヘリカル走査レコーダにおい ては相当に高速である。 本発明に係る多重チャネル磁気ヘッドの実施例は、少なくとも２つの隣接セン サの各々において、ヘッド面まで延びる導電性第３磁性要素が提供されおり、該 第３要素が、前記ヘッド面まで延びていない第２磁性要素と共に、磁気抵抗要素 によってブリッジされている非導電性空間に接しており、該磁気抵抗要素がその 空間の脇でそれら第２及び第３磁性要素と電気的に接触している一方で、前記第 １磁性要素及び前記第３磁性要素を電気的に相互接続している導電性ギャップ層 が前記ヘッド面に近接している。ヨークタイプの実施例において、磁性要素は電 気的に導通する測定電流のために用いられると共に、走査されるべき媒体から出 てくる磁束を供給し戻すために用いられる。それ故に、磁性要素は動作中に電流 搬送磁束ガイドとなる。ギャップ層は、好ましくは、例えばAg又はCu等の金属層 である。 留意されるべきは、導電性ヨークパーツが用いられているヨークタイプの単一 チャネル磁気ヘッドは、米国特許公報第US-A 5,493,467号で公知である。この公 知の磁気ヘッドには、磁気ヨーク内に組み込まれた１つのスピンバルブ磁気抵抗 要素が具備されている。このヨークの２つのヨークパーツは、導電性ギャップ層 によって磁気ヘッドのヘッド面上で電気的に相互接続されている。ヨークパーツ の一方は、磁気抵抗要素によって電気的且つ磁気的にブリッジされている遮断を 有する。ヘッド面から離間されている領域内において、ヨークパーツには該ヨー クパーツに直交して配向されている導電性層が具備されて、該ヨークパーツの脇 に提供されている接続面で終了している。 本発明に係る多重チャネル磁気ヘッドの実施例は、少なくとも２つの隣接セン サ各々における磁気抵抗測定要素がヘッド面と隣接している一方で、該ヘッド面 に近接して配置された該測定要素の一部が前記２つの磁性要素の内の一方、即ち 、前記第１又は前記第２磁性要素に電気的に接続され、前記ヘッド面から遠ざか った前記２つの要素の内の該測定要素の一部が他方の前記磁性要素に電気的に接 続されている。遮蔽タイプの実施例において、磁性要素は電気的に導通している 測定電流のために用いられると共に、前記測定要素を磁気的に遮蔽するために用 いられている。磁性要素は、それ故に、動作中に電流搬送遮蔽物となる。測定要 素及び磁性要素間の電気的接続は相互的な接触面によって又は例えば金または銅 の金属層等として提供された導電性仲介層によって構成され得る。ＡＭＲ要素が 用いられると、バイアスに関しては好都合であり得て、ヘッド面から離間された 導電性仲介層をFeMn等の導電性の反強磁性材から形成できる。 留意されるべきことは、遮蔽された磁気抵抗要素を有する単一チャネル磁気ヘ ッドがヨーロッパ特許公報第EP-A 0457 278号で公知であることである。この磁 気ヘッドは下方及び上方の遮蔽磁性層を有し、そうした層の間に磁気抵抗要素が 延在している。磁気抵抗要素には、磁気ヘッドのヘッド面と該ヘッド面から遠ざ かったエッジとに電極が設けられている一方で、ヘッド面上の電極は導電性層を 介して、電気的ワイヤで接地されている上方遮蔽層に電気的に接続され、且つ、 ヘッド面から遠ざかった電極は電気的ワイヤで増幅器ユニットの入力に電気的に 接続されている。 本発明に従った磁気ヘッドの実施例は、少なくとも２つの隣接センサ各々にお ける第１磁性要素の接続面と第２磁性要素の接続面とが、関連する磁性要素の第 ２方向における広がりで決定される該第２方向に広がりを有する領域内に配置さ れていることを特徴としている。大きなチャネル密度を有する多重チャネルヘッ ドはこの実用的な方策によって技術的に簡単に実現され得る。少なくとも２つの 隣接するセンサ各々における第１磁性要素の接続面と第２磁性要素の接続面とが 関連する磁性要素上に配置されている更なる方策は、技術的段階数（ステップ数 ）の削減にもなる。走査装置における多重チャネルヘッドを接続するために、第 ３方向から見た場合、少なくとも２つの隣接センサ各々における第１磁性要素の 接続面が第２磁性要素の接続面に対してオフセットされていれば好都合である。 本発明に係る磁気ヘッドの実施例は、少なくとも２つの隣接センサが、各セン サにおける第１磁性要素を構成している共通導電性磁性要素を有することを特徴 とする。提供された共通磁性要素は好都合な形状異方性を可能として、Ｓ／Ｎ比 にとって好都合である第１磁性要素における領域壁の創生及び可能性ある変位を 禁止している。もしも第３磁性要素が提供されると、それらは共通要素として、 上述の共通磁性要素の有無に拘わらず形成され得る。 本発明に係る磁性ヘッドの実施例は、少なくとも２つの隣接センサ各々におけ る少なくとも第１磁性要素が第２方向におけるよりも第３方向において大きな相 対的な磁気透過性を有する。提供されている磁気異方性は、正確に確定された走 査幅を保証する。ここで規定された方策は幾らかの距離を隔てられた個々別々の 磁性要素が具備されたセンサを伴う磁気ヘッドや、共通磁性要素が使用されてい る磁気ヘッドに対して好都合な効果を有する。後者の場合、異方性は所望のチャ ネル分離を保証するものである。そうした磁気ヘッドの製造は技術的な有益性を 有し、特にそのために要求される複雑な製造段階がより少なく、原則として、共 通磁性要素は組織化を何等要求しない 判明されていることは、第３方向における透過率又は透磁率は第２方向におけ る透過率又は透磁率よりも大きいことである、チャネル分離の先鋭度は増大して 、より大きなチャネル密度が可能である。もしも、第３方向における相対的な磁 気透過率（透磁率接）が第２方向IIにおける相対的磁気透過性よりも少なくとも ２５倍大きければ、適切値が付与されるように思える。 本発明は磁気テープ又はディスク等の記録担体を走査するための装置にも関し 、該装置は本発明に係る多重チャネル磁気ヘッドを含む。 本発明のこうした局面及びその他の局面は、以下に説明される実施例を参照し て明らかになると共に説明される。 図面の簡単な説明 図１は、本発明に係る磁気ヘッドの第１実施例の概略断面図であり、 図２は、第２実施例の概略平面図であり、 図３は、第２実施例の概略断面図であり、 図４は、第２実施例の概略平面図であり、 図５は、第３実施例の概略断面図であり、 図６は、第４実施例の概略断面図であり、 図７は、第５実施例の概略断面図であり、 図８は、第６実施例の概略断面図であり、 図９は、本発明に係る装置の実施例を概略的に示し、 図１０は、図示された本発明と協働するに適合する磁気テープカセットの実施 例を概略的に示している。 発明を実施するための最良の形態 図１及び図２に示されている本発明に係る多重チャネル磁気ヘッドは、遮蔽タ イプである。図１は図２におけるＩ−Ｉ線に沿って切り取った場合の断面図を示 す。この磁気ヘッドは、この実施例では磁気テープである磁気記録担体３と協働 するヘッド面１を有し、該記録担体３は磁気ヘッドに対して相対的に第１方向Ｉ へ移動可能である。記録担体３は少なくとも第１方向に実質的に平行して延在す る複数の情報トラックを有する。ヘッド面１は第１方向Ｉ及び該第１方向Ｉと直 交する第２方向IIに延在する。磁気ヘッドは、この実施例の場合に例えばAl₂O₃/ TiC基板等の非磁性基板１９上に、公知のデポジション、構造化及び平坦化技法 によって実現されている薄膜構造を備える。そうした技法は、例えばヨーロッパ 特許公報公開第EP-A 0617 409号及び第EP-A 0 617 410号(それぞれPHN14.428及 び14.429であり、それら双方を引用することでここに合体させる)に記載されて いる。 薄膜構造は、第１方向Ｉから見ると、次々に重ねられて配置されている層状又 は複数層を有して、第２方向IIと該第２方向IIとは直交する第３方向IIIに実質 的に延在している。第２方向から見ると、複数の隣接又は近接する磁気抵抗セン サが形成されるか又は膜構造中に少なくとも識別される。提供される磁気抵抗セ ンサの数は磁気ヘッドの用途に依存するが、原則的には無制限である。実用上、 磁気センサ数は例えば１６個である。図２は磁気ヘッド内に提供されて、それぞ れＳ₁，Ｓ₂，Ｓ₃が付された３つの磁気抵抗センサを示す。各センサは、磁気抵 抗測定要素５、第１磁性要素７及び第２磁性要素９を備える。測定要素５はＧＭ Ｒタイプ又はＡＭＲタイプであることが可能である。磁性要素７及び９は導電性 で磁気透過性の材料、この実施例はNiFeから成る複数層で形成される。各センサ の磁性要素７及び９とそれらの間に配置された測定要素５はヘッド面１まで延び ている。磁区の創生を抑制すべく好都合な形状−異方性を獲得するために、共通 の第１磁性要素７０がこの実施例では用いられ、第１要素７がその内の一部を形 成している。各センサＳ₁，Ｓ₂，Ｓ₃において、測定要素５は磁性要素７及び９ の間に直列して電気的に配列されている。これを満たすべく、例えば金又は銅等 の金属から成る導電性の仲介層１５及び１７がこの薄膜構造内に提供されており 、そうした各センサにおいて、ヘッド面１に隣接する仲介層１５は測定要素を第 １磁性 要素７に接続し、ヘッド面１から遠ざかった仲介層１７は測定要素５を第２磁性 要素９に電気的に接続している。磁性要素７及び９は磁気的な機能ばかりではな く、電気的な機能、特に電流搬送機能を有するので、磁性要素７及び９には電気 的接続面が具備されている。この実施例において、第１磁性要素７は１つの共通 接続面７０ａを備え、第２磁性要素９はそれぞれ別個の接続面９ａを備えている 。記録担体３が走査されている際、磁性要素７及び９は電流を搬送する一方で、 ヘッド面１に直交する方向、即ち方向IIIに平行する方向の測定電流ｉは測定要 素５を通過させられる。電気的接続面７０ａ及び９ａは公知のデポジション及び 平坦化方向によって形成されて、導電性層１１及び導電性層１３の各一部を形成 し、各センサにおける層IIが磁性要素７と電気的に接触していると共に、層１３ が磁性要素９に電気的に接触している。層１１及び１３は、例えば金又は銅の層 である。 もしも、所望であれば、層１１及び１３は磁気透過性で導電性の材料から形成 され、それ故に、磁性要素７及び１１の一部をそれぞれ形成している。その場合 、接続面は磁性要素上に直に提供される。磁気抵抗測定要素５をバイアスするた めに、ヘッド面１から離間された仲介層１７は、FeMn合金等の導電性で反強磁性 材料の導電性層によって又はCoPt合金等の導電性硬質磁性材料によって構成され 得る。 この実施例での磁性要素７及び９は、第３方向IIIで相対透磁率μ_rIIIを有し 、これは第２方向の相対的透磁率μ_rIIよりも大きい。この比は、好ましくは、 少なくとも２５倍である。 図２から明らかなように、接続面７０ａは共通磁性要素７０の第２方向IIにお ける広がりによって決定される該第２方向IIに広がりを有する領域内に配置され ている。各接続面９ａは関連された磁性要素９の第２方向IIにおける広がりによ って決定される該第２方向IIに広がりを有する領域内に提供される。図２から更 に明らかなことは、第３方向IIIから見た共通接続面７０ａは接続面９ａに対し て オフセットされていることである。 この薄膜構造を参照して留意すべきことは、例えばSiO₂又はAl₂O₃から成る絶 縁層が様々な磁性及び／又は導電性の層の間に提供されていることである。図１ において、これら層は一体的に参照番号２１で示されている。 不必要な繰り返しを回避するために、更なる実施例の以下の説明は、主に、既 に説明された実施例とは異なる特性的な特徴に限定される。この実施例で導入さ れた方向Ｉ，II，IIIは全ての実施例に適用される。 図３及び図４に示される本発明に係る多重チャネル磁気ヘッドは、ヘッド面１ ０１と、種々の磁気抵抗センサを有する膜構造が提供されている非磁気基板１１ ９とを備える。図３に示されている断面図は、図４におけるIII−III線に沿って 切り取られている。図４は、それぞれＳ₁，Ｓ₂，Ｓ₃と付されたこれらセンサの 内の３つが示されている。各センサはヨークタイプであり、磁気ヨークが軟質磁 性で導電性の層で構成され、磁気抵抗測定要素１０５はＡＭＲタイプ又はＧＭＲ タイプである。例えばCoNbZrで構成されたこれら層は、第１磁性要素１０７、第 ２磁性要素１０９及び第３磁性要素１１０を構成している。非磁性で非導電性の 空間１１２が磁性要素１０９及び１１０の間に提供され、この空間は、該空間１ １２の両側で磁性要素１０９及び１１０と直に電気的に接触する測定要素１０５ によってブリッジされている。両方がヘッド面１０１に隣接する磁性要素１０７ 及び１１０は、例えば金から成る導電性層１１６によってヘッド面１０１に近接 して電気的に相互接続されている。導電性層のこの構成によって、各センサＳ₁ ，Ｓ₂，Ｓ₃における磁気抵抗要素１０５は磁性要素１０７，１０９，１１０に電 気的に直列である。この実施例において、第１磁性要素１０７は共通要素１７０ として具現化されている。仲介層１１６は共通仲介層１６０として具現化されて いる。要素１７０は接続面１７０ａによって導電性層１１１に電気的に接続して いる。各要素１０９は電気的接続面１０９ａによって導電性層１１３に電気的に 接続されている。この実施例において、共通磁性要素１７０の一部を形成する少 なくと も磁性要素１０７は、第２方向IIにおける相対的透磁率よりも大きな、好ましく は２５倍大きな第３方向IIIにおける相対的透磁率を有する。 図５乃至図８に示される実施例は、図３及び図４に示されている実施例の変形 例である。最後に述べた実施例との密接した関係から、それら変形例の平面図は 示されていない。それら変形例に用いられている磁性要素は、以上に説明される 実施例に対応する特性を有する。 図５乃至図８に示される本発明に係る各多重チャネル磁気ヘッドは、第２方向 IIから見た場合、隣接した磁気抵抗センサを具備する構造を有する。 図５に示されている本発明に係る多重チャネル磁気ヘッドは、ヘッド面３０１ と、様々な磁気抵抗センサを含む層構造が具備されている非磁性基板３１９とを 有する。各センサは、第１磁性要素３０７、第２磁性要素３０９、第３磁性要素 ３１０及び磁気抵抗測定要素３０５を有する磁気ヨークを備える。磁性要素３０ ７，３０９，３１０は、FeNbSi-N等の導電性の材料から成る軟質磁性層によって 構成されている。この実施例において、測定要素３０５はＡＭＲ要素である。電 気的接点を形成する一方で、測定要素３０５は磁性要素３０９及び３１０と係合 し、２つの要素３０９及び３１０間の非磁性で非導電性空間３１２をブリッジし ている。磁気要素３０７及び３１０を相互接続している非磁性な導電性ギャップ 層３１６は、ヘッド面３０１に提供されている。磁性要素３０７及び３０９は、 それぞれ、接続面３０７ａ及び３０９ａを有し、これらが当該磁性要素３０７及 び３０９に電気的に接続されている導電性の非磁性層３１１及び３１３上に提供 されて、測定要素３０５及び磁性要素３０７，３０９，３１０を含む電気回路が 接続面３０７ａおよび３０９ａ間の各センサ内に形成され、該回路内において測 定要素３０５が要素３０７及び３０９と直列に配列されている。測定要素３０５ をバイアスするためには、NiO_x等の反強磁性材料から成る層３１２が各測定要素 ３０５上に設けられる。 図６に示される本発明に係る多重チャネル磁気ヘッドはヨークタイプであり、 その中の各磁気抵抗センサは、図５を参照して説明されたものと同様に、且つ、 第１磁性要素４０７及び第２磁性要素４０９と直列に電気的に配列されている磁 気抵抗測定要素４０５を備える。各センサにおいて、ヘッド面４０１まで延びて いる磁性要素４０７及び第３磁性要素４１０を電気的に相互接続している導電性 ギャップ層４１６がヘッド面４０１に提供されている。磁性要素４０７及び４０ ９は電気的接続面４０７ａ及び４０９ａを有する。測定要素４０５をバイアスす るためには、導電性バイアス巻き線４１４が各センサ内に提供される。 図７に示される本発明に係る多重チャネル磁気ヘッドは、ヘッド面５０１と、 種々の磁気抵抗センサが具備されている薄膜構造が設けられている非磁性基板５ １９とを備える。各センサは、例えばNiFe,CoNbZr又はFeTa-N等から成る磁気透 過性層５１４、磁気測定要素５０５、第１磁性要素５０７及び２つの磁性要素、 即ちこの説明での用語においては第２磁性要素５０９及び第３磁性要素５１０を 備える。磁性要素５０７及び５０９は、導電性層５１１，５１３にそれぞれ提供 された接続面５０７ａ及び５０９ａを有する。各センサ内の導電性ギャップ層５ １６は磁性要素５０７及び５１０を電気的に相互接続する一方で、測定要素５０ ５は磁性要素５１０を磁性要素５０９に電気的に接続して、動作中、電流は測定 要素５０５中をヘッド面５０１に直交する方向ｉに流れる。この実施例において 、磁性要素５０７，５０９，５１０は電流搬送磁束ガイドである一方で、磁性層 ５１４は長い磁波に対する遮蔽層を構成する。 図８に示される変形例は、ヘッド６０１と、多重層構造及び複数の磁気抵抗セ ンサを具備する非磁性基板とを有する。各センサにおける磁気抵抗測定要素６０ ５は、２つの導電性で磁気透過性の層６０７Ａ及び６０７Ｂで構成された第１磁 性要素と、導電性で磁気透過性の層６０９で構成された第２磁性要素と、導電性 で磁気透過性の層６１０で構成された第３磁性要素と、第２磁性要素６０９及び 第３磁性要素６１０間の非電気的且つ非磁気的空間６１２を電気的且つ機械的に ブリッジしている測定要素６０５とを備える。ヘッド面６０１に近接して、第３ 磁性要素６１０は２つの導電性層６１６Ａ及び６１６Ｂによって層６０７Ａ及び ６０７Ｂに電気的に接続されている。第２磁性要素６０９と、層６０７Ａ及び６ ０７Ｂとは、それぞれ、電気的接続面６０９ａ、６０７Ａａ及び６０７Ｂｂを有 する。図８に示される磁気ヘッドに使用されている電気回路において、電流は、 走査中、各測定要素６０５中を流れ、該電流は第１磁性要素の層６０７Ａ及び６ ０７Ｂ中の電流合計と同等である値を有し、測定要素６０５における電流方向は ヘッド面６０１と直交している。層６０７Ａ及び６０７Ｂは長い磁波に対して遮 蔽効果を有し、それに関連されて、この磁気ヘッドは図１及び図７に示される磁 気ヘッドと共に、図３、図５及び図６に示される実施例と比べて、実質的な空間 的差別化効果を有する。 留意されるべきことは、図示されたものとは異なる実施例が本発明の範囲内に おいて可能であることである。例えば、本発明に係る磁気ヘッドは、例えば組合 せ型の書込み／読取り磁気ヘッドユニットの一部を形成し得る。更には、多重層 構造の保護のために、実用例における磁気ヘッドはカウンタブロックが一般的に 具備されている。 図９に示される本発明に係る装置は、この実施例では図１０に示されるカセッ ト８０１内に設けられている磁気テープ８０３の書込み及び／又は読取りに適合 している。本装置はフレーム７０３を伴うハウジング７０１を有する。このハウ ジング７０１は、中でも、駆動ロール７０７を駆動する駆動モータ７０５と本発 明に係る多重チャネル磁気ヘッド７１１とを収容しており、該ヘッドはこの実施 例において駆動モータ７１３によってガイドシャフト７１５に沿って移動可能な サブフレーム７０９に連結されている。また本装置は、カセット８０１をハウジ ング７０１から出し入れすべく該カセットを摺動する直線状ガイド部材７１７を も有する。カセット８０１は、例えば、ディジタル形式の情報を記録するために 使用可能である。カセットは２つのリール８０５及び８０７を有し、それらには 磁気テープ８０３の一部が設けられている。これら２つのリール間に設けられて いる磁気テープ８０３の一部は、この実施例では静止状態である２つのテープガ イド部材８０９及び８１１に沿ってガイドされて、キャプスタン８１３に沿って 走行する。カセット８０１は、キャプスタン８１３、リール８０５及び８０７及 び２つのベルトガイド部材８１７及び８１９に沿って走行するエンドレス駆動ベ ルト８１５を含む。カセット８０１が本発明に係る装置７０１と協働している動 作状態において、磁気ヘッド７１１はカセットの凹部８２１内へ突出してから、 磁気テープ８０３と接触する。同時に、駆動ロール７０７はキャプスタン８１３ と接触して、それにより、磁気テープ８０３は一方のリールから他方リールへ長 手軸方向へ移動可能となる。 図示の装置はデータ記録装置であり、例えば、オーディオ及び／又はビデオ装 置である。本装置は、記録担体が磁気テープの代わりに磁気ディスク又は磁気カ ードである場合にも適用され得る。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．多重チャネル磁気ヘッドであり、該磁気ヘッドに対して記録担体が相対的に 移動可能となる第１方向に延在すると共に該第１方向と直交する第２方向に延 在するヘッド面を有する多重チャネル磁気ヘッドであり、第１方向から見た場 合、次々に重ねられて配置され且つ実質的に前記第２方向に延在すると共に前 記第１及び第２方向と直交する第３方向に延在する複数層から成る構造を有し 、該構造において、前記第２方向から見た場合、隣接する磁気抵抗センサが識 別可能であり、それら各磁気抵抗センサが磁気抵抗測定要素、第１磁性要素及 び第２磁性要素を含み、前記第１方向から見た場合、それら磁性要素が相互に 対向して配置されており、前記磁性要素の内の少なくとも前記第１磁性要素が 前記ヘッド面まで延在していることから成る多重チャネル磁気ヘッドにおいて 、少なくとも２つの前記隣接する磁気抵抗センサの各々における両磁性要素が 導電性であり、前記測定要素が前記２つの磁性要素間に電気的に直列して配列 されて、測定電流をその測定要素を介して実質的に前記第３方向へ通過させ、 前記磁性要素の双方が電気的接続面を有することを特徴とする多重チャネル磁 気ヘッド。 ２．少なくとも２つの前記隣接するセンサの各々において、前記ヘッド面まで延 在する導電性の第３磁性要素が提供されており、該第３磁性要素が前記ヘッド 面まで延在しない前記第２磁性要素と共に、前記磁気抵抗要素によってブリッ ジされている非導電性空間の境界付けを行い、該磁気抵抗要素が前記空間の脇 でこれら第２磁性要素及び第３磁性要素に電気的に接触している一方で、前記 第１磁性要素及び前記第３磁性要素を電気的に相互接続している導電性ギャッ プ層が前記ヘッド面に隣接して延在していることを特徴とする請求項１に記載 の磁気ヘッド。 ３．少なくとも２つの前記隣接センサの各々における磁気抵抗測定要素が前記ヘ ッド面に隣接している一方で、前記ヘッド面に隣接して配置された該測定要素 の一部が前記２つの磁性要素の一方に電気的に接続されており、前記ヘッド面 から遠ざかった該測定要素の一部が他方の前記磁性要素に電気的に接続されて いることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッド。 ４．少なくとも２つの隣接センサの各々における前記第１磁性要素の接続面と前 記第２磁性要素の接続面とが、関連する磁性要素の前記第２方向における広が りによって決定される前記第２方向における広がりを有する領域内に配置され ていることを特徴とする請求項１、２及び３の何れか一項に記載の磁気ヘッド 。 ５．少なくとも２つの前記隣接センサの各々における前記第１磁性要素の接続面 と前記第２磁性要素の接続面とが、関連する磁性要素上に配置されていること を特徴とする請求項１、２、３及び４の何れか一項に記載の磁気ヘッド。 ６．前記第３方向から見た場合、少なくとも２つの前記隣接センサの各々におけ る前記第１磁性要素の接続面が、前記第２磁性要素の接続面に対してオフセッ トされていることを特徴とする請求項４又は５に記載の磁気ヘッド。 ７．少なくとも２つの前記隣接センサが、各センサにおける前記第１磁性要素を 構成するる共通導電性磁性要素を有することを特徴とする請求項１、２、３、 ４、５及び６の何れか一項に記載の磁気ヘッド。 ８．少なくとも２つの前記隣接センサの各々における少なくとも第１磁性要素が 、前記第２方向よりも前記第３方向に大きな相対的透磁率を有することを特徴 とする先行する請求項の何れか一項に記載の磁気ヘッド。 ９．前記第３方向における前記相対的透磁率が、前記第２方向における相対的透 磁率よりも少なくとも２５倍大きいことを特徴とする請求項８に記載の磁気ヘ ッド。 １０．記録担体を走査する装置であって、先行する請求項の何れか一項に記載の 前記多重チャネル磁気ヘッドを備える装置。