JP2830711B2 - 磁気ヘッド及び磁気ディスク装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、磁気抵抗効果型磁気ヘ
ッド及びそれを用いた磁気ディスク装置に係り、特に磁
気抵抗効果型磁気ヘッドとインダクティブ型磁気ヘッド
を備えた高い記録密度を有する磁気ディスク装置に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、特開平2−61572号公報には中間層
で分離している少なくとも２枚の強磁性薄膜が外部磁場
の作用の有無で両強磁性薄膜の磁化方向が一方向に反平
行になる材料から構成され、強磁性層と中間層の界面で
スピン方向に依存する電子散乱が生じることが記載され
ている。また、特開平2−23681号公報には磁気抵抗効果
を有する強磁性膜と電気伝導度の高い金属導体薄膜とを
交互に積層した多層膜からなることを特徴とする磁気抵
抗効果素子に関する記載がある。さらにヨーロッパ特許
公開公報0490608A2 では第１の強磁性膜と第２の強磁性
膜の磁化方向がゼロ磁界で互いに直交しており、磁化回
転の違いにより抵抗変化が生じることを示している。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】トラック幅を決める従
来の方法の例がヨーロッパ特許公開公報0490608A2 に記
載されている。ここでは、感磁部である強磁性層表面の
両端に高保磁力のコバルト薄膜を形成し、Ｃｏ薄膜との
界面付近にあるＮｉＦｅ膜の磁化を固定することによっ
て、Ｃｏ膜の間を感磁部とし、トラック幅をきめる。こ
のように強磁性層表面に高保磁力の強磁性膜あるいは反
強磁性膜を形成して強磁性層の磁化を回転しにくくする
方法では、強磁性の磁化回転が困難となる領域は、両端
にある高保磁力強磁性膜や反強磁性膜の間隔と一致しな
い。これは、強磁性の磁化回転が困難となる領域が、界
面からの距離と、強磁性膜や反強磁性膜の磁気特性や界
面状態で異なるためである。従来の方法ではトラック幅
が狭くなるととともに両端にある高保磁力強磁性膜や反
強磁性膜の影響を感磁部が受けやすくなり、磁化が回転
しにくくなるために、再生信号はノイズが多くなる傾向
にあった。

【０００４】本発明の目的は、感磁部の強磁性膜に反強
磁性膜や他の強磁性膜を接触させずに感磁部の強磁性膜
に電流を流せる構造とし、感磁部の幅を強磁性膜の幅で
決まるようにした磁気抵抗効果型ヘッド及びそれを搭載
した高記録密度対応の磁気ディスク装置を提供すること
にある。

【０００５】磁気ディスク装置の高記録密度を達成する
には、情報の読み出し専用の磁気抵抗効果型磁気ヘッド
と書き込み専用のインダクティブ型磁気ヘッドを組み合
わせることが必要である。本発明は、この種の磁気ディ
スク装置及びそれに使用される磁気ヘッドに関するもの
である。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明の目的は、基体
と、その上に形成された反強磁性層，第１の強磁性層，
非磁性導電層及び第２の強磁性層を順次積層して形成さ
れた磁気抵抗効果膜と、該磁気抵抗効果膜の感磁部に電
流を供給する対向電極とを有するものにおいて、該感磁
部の第２の強磁性層の幅は該非磁性導電層，第１の強磁
性層及び該反強磁性層の幅とほぼ等しいか又はそれらの
いずれかより狭く、該対向電極間の距離は該反強磁性層
の幅より狭く、かつ該感磁部の幅と等しいかそれより大
である磁気抵抗効果型磁気ヘッドによって達成される。

【０００７】上記構成において、該対向電極の端部が該
感磁部の側面と接している磁気抵抗効果型磁気ヘッドが
提供される。更に、該感磁部の第１及び第２の強磁性層
が反強磁性膜と非接触である磁気抵抗効果型磁気ヘッド
提供される。また、該感磁部以外の強磁性層に電極膜を
接触させた磁気抵抗効果型磁気ヘッドが提供される。本
発明により、基体と、その上に形成された反強磁性層，
第１の強磁性層，非磁性導電層及び第２の強磁性層を順
次積層して形成された磁気抵抗効果膜と、該磁気抵抗効
果膜の感磁部に電流を供給する対向電極とを有し、該感
磁部の第２の強磁性層と非磁性導及び第１の強磁性層の
幅は該反強磁性層の幅より狭く、該対向電極間の距離は
該反強磁性層の幅より狭く、かつ該感磁部の幅と等しい
かそれより大である磁気抵抗効果型磁気ヘッド，インダ
クティブ型磁気ヘッド及び情報を記録する時期ディスク
を備えた磁気ディスク装置が提供される。

【０００８】上記構成において、該対向電極の端部が該
感磁部の側面と接している磁気ディスク装置が提供され
る。更に、該第１及び第２の強磁性層が反強磁性膜と非
接触である磁気ディスク装置及び該感磁部以外の強磁性
層に電極膜を接触させた磁気ディスク装置が提供され
る。前記電極膜が第１強磁性層あるいは導電性層と接触
し、この一対の電極膜の間にある第２強磁性層の幅が再
生トラック幅を決定する。

【０００９】さらに本発明の磁気ディスク装置は、磁気
抵抗効果を用いて磁気的信号を電気的信号に変換する磁
気抵抗効果膜と、前記磁気抵抗効果膜に信号検出電流を
流すための一対の電極とを有する磁気抵抗効果型磁気ヘ
ッドを搭載した磁気ディスク装置であって、磁気抵抗効
果膜が媒体対向面から離れた位置にあり、ヨーク型の強
磁性膜の磁路の一部に磁気抵抗効果膜が配置されている
構造の磁気抵抗効果型ヘッドを有するものである。

【００１０】

【作用】本発明で用いる磁気抵抗効果膜は、反強磁性膜
あるいは強磁性膜と磁気的に結合した第１強磁性層と、
前記第１強磁性層と非磁性導電膜を介した第２強磁性層
とを有する。

【００１１】前記磁気抵抗効果膜を用いた磁気ヘッドの
出力は、第１強磁性層と第２強磁性層間の磁化の向きに
依存する。従って前記第１あるいは第２強磁性層のどち
らか一方が無いと出力はほとんど得られない。また、出
力は第２強磁性層の長さに依存する。

【００１２】第２強磁性層の膜厚は１０ｎｍ以下であ
り、非常に薄いために、第２強磁性層が形成する反磁界
の大きさは小さい。磁区構造は主として異方性エネルギ
ーによって決まると考えられる。このような薄い第２強
磁性層に反強磁性膜や高保磁力の強磁性膜を接触させた
場合、界面付近の磁化は回転しにくくなり、トラック幅
精度は低下する。そして再生波形のノイズの発生原因と
なる。

【００１３】そこで、反強磁性膜あるいは強磁性膜と磁
気的に結合した第１強磁性層及び非磁性導電層を介して
第２強磁性層を形成した後、第２強磁性のトラック幅と
なる長さを残して、電極を非磁性導電膜及び第１強磁性
層の上に形成して第２強磁性層の長さでトラック幅を決
定する。これにより第２強磁性層と反強磁性膜や強磁性
膜を接触させずに磁気抵抗効果膜に電流を供給して出力
を得ることができる。第２強磁性層を加工する方法はイ
オンミリング法や選択エッチング法等が考えられる。ま
た電極膜の形成にはリフトオフ法やコリメートスパッタ
リング法を利用することにより形成できる。さらにリフ
トオフ法により、導電性膜上にトラック幅と同一長さの
磁気抵抗効果膜を形成した後、電極を導電性膜上に接触
させることも可能である。

【００１４】

【実施例】実施例として、本発明に係る磁気抵抗効果型
磁気ヘッドを図１を用いて、その磁気ヘッドを適用した
磁気ディスク装置を図４を用いて説明する。なお、実際
の磁気ヘッドの構成は、図６に示すように、磁気抵抗効
果ヘッド(再生専用ヘッド)と誘導型ヘッド（書き込み専
用ヘッド）を組み合わせている。ジルコニアやアルミナ
などの絶縁性基板５１上に形成した軟磁性のシールド膜
上に形成した磁気抵抗効果膜５３（絶縁膜を介した第一
及び第二強磁性層と非磁性導電層及び反強磁性膜からな
る）に０.１ ないし１０μｍの幅で電極膜５５を形成し
た。磁気抵抗効果膜はイオンミリング法により加工し、
電極膜はリフトオフ法により作成した。また第二強磁性
膜上には酸化などの防止のために保護膜５４がある。記
録ヘッドと再生ヘッドの間には磁気シールド膜５６を設
けてある。記録ヘッドは強磁性膜５７と絶縁層を介した
コイルから構成されている。

【００１５】図５は、磁気ディスク装置２００の概略構
造を示す斜視図である。この磁気ディスク装置２００
は、等間隔で一軸（スピンドル２０２）上に取付けられ
た複数の磁気ディスク２０４ａ，２０４ｂ，２０４ｃ，
２０４ｄ，２０４ｅと、スピンドル２０２を駆動するモ
ータ２０３と、リニアアクチュエータを構成する移動可
能なキャリッジ２０６を駆動するボイスコイルモータ２
１３を構成するマグネット２０８およびボイスコイル２
０７と、これらを支持するベース２０１とを備えて構成
される。

【００１６】また、磁気ディスク制御装置等の上位装置
２１２から送出される信号に従ってボイスコイルモータ
２１３を制御するボイスコイルモータ制御回路２０９を
備えている。また、上位装置２１２から送られてきたデ
ータを書き込み方式に対応し、磁気ヘッドに流すべき電
流に変換する機能と、磁気ディスク２０４ａ等から送ら
れてきたデータを増幅し、ディジタル信号に変換する機
能とを持つライト／リード回路２１０を備え、さらに、
このライト／リード回路２１０は、インターフェイス２
１１を介して、上位装置２１２と接続されている。

【００１７】次にこの磁気ディスク装置２００の動作
を、読みだしの場合を例として説明する。上位装置２１
２から、インターフェイス２１１を介して、ボイスコイ
ルモータ制御回路２０９から、インターフェイス２１１
を介して、ボイスコイルモータ制御回路２０９からの制
御電流によって、ボイスコイルモータ２１３がキャリッ
ジ２０６を動作させ、指示されたデータが記憶されてい
るトラックの位置に、磁気ヘッド群２０５ａ，２０５ｂ
等を高速で移動させ、正確に位置付けする。この位置付
けはボイスコイルモータ制御回路２０９と接続されてい
る位置決め用磁気ヘッド２０５ｂが、磁気ディスク２０
４ｃ上の位置を検出して提供し、データ用磁気ヘッド２
０５ａの位置制御を行うことによって行われる。また、
ベース201に指示されたモータ２０３は、スピンドル２
０２に取り付けた直径３.５ インチの複数の磁気ディス
ク２０４ａ，２０４ｂ，２０４ｃ，２０４ｄ，２０４ｅ
を回転させる。次にライト／リード回路２１０からの信
号に従って、指示された所定の磁気ヘッドを選択し、指
示された領域の先頭位置を検出後、磁気ディスク上のデ
ータ信号を読みだす。この読みだしは、ライト／リード
回路２１０に接続されている位置決め用磁気ヘッド２０
５ａが、磁気ディスク２０４ｄとの間で信号の授受を行
うことにより行われる。

【００１８】なお、記録媒体に対する情報の記録は公知
のインダクティブ型薄膜磁気ヘッドを用いるが、本発明
の特徴はインダクティブ型薄膜磁気ヘッドにはないので
それについての詳細な説明を省略する。

【００１９】高性能磁気ディスク装置としては、磁気デ
ィスク上の面記録密度は１平方インチ当たり５０メガビ
ット以上，線記録密度は１インチ当たり２５キロビット
以上，トラック密度は１インチ当たり２０００トラック
以上であることが望ましい。本発明に係る磁気抵抗効果
型磁気ヘッドは、磁壁を生じないため、バルクハウゼン
ノイズが無い。また、磁気抵抗効果型磁気ヘッドの積層
膜は、強磁性単層の磁気抵抗効果膜に比べ高感度であ
る。このヘッドを使用して磁気ディスク装置を作製する
ことによって、記録密度が１平方インチ当たり６００メ
ガビット以上である磁気ディスク装置を作製することが
できる。

【００２０】本発明の磁気抵抗効果型磁気ヘッドでは、
感磁部の強磁性膜が高保磁力強磁性膜あるいは反強磁性
膜と接触していないので、ノイズ発生の原因がなくな
り、かつトラック幅精度が高くなる。

【００２１】あらかじめ第１の強磁性膜を残したまま磁
気抵抗効果膜を所定の寸法にパターニングした後に、上
記第１の強磁性膜の上に高保磁力の磁性膜や反強磁性膜
を形成しないと、磁気抵抗効果膜中の第１の強磁性膜の
表面や金属層及び第２の強磁性膜酸化物が汚染されるこ
とがない。そのため薄膜の端部をクリーニングする必要
がない。従って、トラック幅精度を悪くしたり、かつ工
程を複雑にすることがない。さらに、クリーニングなど
の処理がないので第２の強磁性膜，金属膜及び反強磁性
膜が損傷される恐れがない。また、磁気抵抗効果膜の磁
気特性も損なわれない。トラック幅の精度が高くなるた
め出力特性にばらつきがない。従って本発明の磁気ヘッ
ドは、高密度磁気記録用の磁気ヘッドに適する。

【００２２】図２に本発明による磁気抵抗効果型磁気ヘ
ッド５０で用いたものと同様な磁気抵抗効果膜を一様な
交流磁界中での出力を測定した結果を示す。これと併せ
て第２強磁性層（ＮｉＦｅ合金）に反強磁性膜（ＦｅＭ
ｎ合金）を介して接触させた場合の出力−磁界曲線を図
３に示す。図２と図３を比較するとわかるように、図３
の場合において低磁界においてノイズが見られる。この
ノイズは、第２強磁性層の上に形成した反強磁性膜の影
響と考えられる。即ち反強磁性膜によって感磁部である
第２強磁性層界面付近の磁化回転が不連続になるためと
予想される。

【００２３】図１は、本発明に係る代表的な磁気抵抗効
果型磁気ヘッドを示す。図１は磁気記録媒体に対向する
面から見た拡大断面図を示している。

【００２４】図１の磁気抵抗効果型磁気ヘッド５０はジ
ルコニアなどのセラミクス基板１上に下部磁気シールド
膜２と、この下部磁気シールド膜２の上に形成される下
部ギャップ膜３と、この下部ギャップ膜３の上側に形成
される反強磁性膜４と、この反強磁性膜４上に形成した
第１強磁性層５と、第１強磁性層５と導電性層６を介し
て形成した第２強磁性層７と、導電性層６の上に形成し
た電極膜８と、上記各膜を覆うように形成される上部ギ
ャップ膜９と、この上部ギャップ膜９の上側に形成され
る上部シールド膜１０を備えて形成される。これらの構
成要素のうち、本発明は、第２強磁性層７の幅によりト
ラック幅を決定し、バルクハウゼンノイズを防止する。

【００２５】次に、各膜，各層の作用，材料などを説明
する。

【００２６】上部シールド膜１０，下部磁気シールド膜
２は、第２強磁性層７に対して信号以外の磁界が影響す
るのを防止し、磁気抵抗効果型磁気ヘッド５０の信号分
解能を高める作用をする。その材料は、ＮｉＦｅ合金，
ＮｉＣｏ合金，Ｃｏ系の非晶質合金等の軟磁性材料であ
り、その膜厚は約０.５〜３μｍである。

【００２７】上記磁気シールド膜１０，２に隣接して配
置される上部ギャップ膜９、および下部ギャップ膜３
は、磁気抵抗効果素子と、上部及び下部磁気シールド膜
１０，２を電気的，磁気的に隔離する作用をする。その
材料はガラス，アルミナなどの非磁性絶縁物である。

【００２８】上部，下部ギャップ膜９，３の膜厚は、磁
気抵抗効果型磁気ヘッド５０の再生分解能に影響するた
め、磁気ディスク装置に望まれる記録密度に依存し、通
常０.４〜０.１μｍの範囲にある。上記一対の信号検出
電極膜８は第２強磁性層をイオンミリング法等で加工し
た後に形成される。また第２強磁性層７の中で絶縁膜９
の真下の部分は感磁部と称し、この部分で磁気ディスク
からの磁気的信号の読み取りを行う。第２強磁性層７の
容易磁化方向と反強磁性膜と結合した第１強磁性層５の
磁化方向の間の角度はほぼ直角であり、感磁部における
第２強磁性層の磁化が磁気ディスクからの磁界によって
回転し、第１磁性層５との磁化方向とのなす角度を変え
ることで電気抵抗が変化する。第１及び第２強磁性層
５，７はＮｉＦｅ合金，ＮｉＣｏ合金，ＮｉＦｅＣｏ合
金のような軟磁性膜で形成される。その膜厚は１〜１０
ｎｍである。第１及び第２強磁性層５，７で挾まれた導
電性層６は膜厚１〜５ｎｍであり、Ｃｕ，Ａｕ，Ａｇな
どが用いられる。電極膜８によって、第１及び第２強磁
性層５，７に十分な電流、たとえば１×１０⁶〜１×１
０⁸Ａ／cm²を流すために、電極膜８の材料は通常電気抵
抗が小さいＣｕ，Ａｕ，Ｎｂ，Ｃｒ，Ｔａなどの薄膜が
用いられる。

【００２９】次に磁気抵抗効果型磁気ヘッド５０の製造
方法について説明する。尚、下記の薄膜形成方法及びパ
ターニング方法として、スパッタリング法やエッチン
グ，フォトリソグラフィ法を用いた。

【００３０】最初に、下部磁気シールド膜２とするＮｉ
Ｆｅ合金を基板１の表面に２μｍの厚さに形成し、その
後、その上部に下部ギャップ膜３とするアルミナを０.
３μmの厚さに形成する。そしてこの下部シールド膜２
の端部は基板面に対して傾斜するように加工する。これ
は下部磁気シールド膜２を覆う形に形成される電極膜８
が、下部磁気シールド膜２の端部で断線するのを防止す
るためである。次に、下部ギャップ膜３の上側に５〜１
００ｎｍの反強磁性膜あるいは高保磁力の強磁性膜４を
形成する。この上に磁気的に結合した第１強磁性層５
と、導電性膜６を介して作成した第２強磁性層７があ
り、第１及び第２強磁性膜５，７の磁化は強磁性あるい
は反強磁性結合している。第２強磁性層７を形成後、ト
ラック幅を残してイオンミリング法等で加工し、電極膜
８を第１強磁性層や導電性層６の上に形成する。第１強
磁性層５，導電性層６は図１のように一括加工する。そ
の後電極膜８を金とチタンの２層膜で形成した後、加工
し、さらにその上部に上部ギャップ膜９とするアルミナ
を０.３μｍ の厚さに形成し、保護膜としてアルミナを
形成し、磁気抵抗効果型磁気ヘッド５０の作製を完了す
る。

【００３１】本発明の構造のヘッドを用いれば、トラッ
ク幅の精度を低下させずに高感度とすることができ、磁
気抵抗効果膜の感磁部に接触する反強磁性膜や強磁性膜
を用いない、第２強磁性層の幅をトラック幅とした磁気
抵抗効果型磁気ヘッドの製造方法を提供できる。

【００３２】反強磁性膜４は外部磁界に対する安定度，
ブロッキング温度，作成の容易さから、反強磁性酸化ニ
ッケル（ＮｉＯ）か保磁力が２０Ｏｅ以上のＣｏＰｔ強
磁性膜が望ましい。

【００３３】図４の磁気抵抗効果型磁気ヘッド５０はジ
ルコニアなどのセラミックス基板１上に下部磁気シール
ド膜２と、この下部磁気シールド膜２の上に形成される
下部ギャップ膜３と、この下部ギャップ膜３の上側に形
成される反強磁性膜４と、この反強磁性膜４上に形成し
た第１強磁性層５と、第１強磁性層５と導電性層６を介
して形成した第２強磁性層７と、導電性層６の上に形成
した電極膜８と、第１強磁性膜５や第２強磁性膜７の両
脇に配置された下部強磁性膜１１ａと電極上部の上部ギ
ャップ膜９と、この上部ギャップ膜９の上側に形成され
る上部強磁性膜１１ｂと、保護膜１２を備えている。図
４では、下部強磁性膜１１ａと上部強磁性膜１１ｂによ
って磁路が形成され、この磁路に沿って磁気抵抗効果膜
が配置されており、磁気抵抗効果型ヘッドの媒体対向面
が摩耗した場合でも、磁気抵抗効果膜へのダメージはな
い構造となっている。

【００３４】本発明の他の実施例による磁気抵抗効果型
磁気ヘッドの概略断面図を図６に示す。図において、電
極膜８は感磁部の端面に接するが、感磁部の上には乗り
上げない。

【００３５】

【発明の効果】本発明によると磁気抵抗効果膜の感磁部
となる強磁性膜と接触した反強磁性膜や高保磁力強磁性
膜を用いずに磁気抵抗効果型ヘッドを作製でき、トラッ
ク幅精度が第２強磁性層の幅で決まることから、トラッ
ク幅精度の高い磁気抵抗効果型ヘッドを実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の磁気抵抗効果型磁気ヘッド
の概略断面図。

【図２】本発明磁気抵抗効果膜の磁気特性を示す図。

【図３】従来の磁気抵抗効果膜の磁気特性を示す図。

【図４】本発明の他の実施例の磁気抵抗効果型磁気ヘッ
ドの概略断面図。

【図５】磁気ディスク装置の構成の一例を示す図。

【図６】本発明による磁気ヘッドの構成を示す斜視図。

【符号の説明】

１…基板、２…下部磁気シールド膜、３…下部ギャップ
膜、４…反強磁性膜、５…第１強磁性層、６…導電性
層、７…第２強磁性層、８…電極膜、９…上部ギャップ
膜、１０…上部磁気シールド膜、１１ａ…下部強磁性
膜、１１ｂ…上部強磁性膜、１２…保護膜、５０…磁気
抵抗効果型磁気ヘッド、２００…磁気ディスク装置、２
０１…ベース、２０２…スピンドル、２０３…モータ、
２０４…磁気ディスク、２０５…磁気ヘッド、２０５ａ
…位置決め用磁気ヘッド、２０６…キャリッジ、２０７
…ボイスコイル、２０８…マグネット、２０９…ボイス
コイルモータ制御回路、２１０…ライト／リード回路、
２１１…インターフェイス、２１２…上位装置、２１３
…ボイスコイルモータ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 光岡 勝也 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式 会社 日立製作所 ストレージシステム 事業部内 (72)発明者 府山 盛明 茨城県日立市大みか町七丁目１番１号 株式会社 日立製作所 日立研究所内 (72)発明者 岡井 哲也 茨城県日立市大みか町七丁目１番１号 株式会社 日立製作所 日立研究所内 (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) G11B 5/39 G11B 5/31

Claims (8)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】基体と、その上に順次積層して形成された
   反強磁性層，第１の強磁性層，非磁性導電層及び第２の
   強磁性層を備えた磁気抵抗効果膜と、該磁気抵抗効果膜
   の感磁部に電流を供給する対向電極とを有するものにお
   いて、該感磁部の第２の強磁性層は該非磁性導電層，第
   １の強磁性層の幅及び該反強磁性層の幅とほぼ等しいか
   又はそれらのいずれかより狭く、該対向電極間の距離は
   該反強磁性層の幅より狭く、かつ該感磁部の幅と等しい
   かそれより大であることを特徴とする磁気抵抗効果型磁
   気ヘッド。
2. 【請求項２】請求項１において、該対向電極の端部が該
   感磁部の側面と接していることを特徴とする磁気抵抗効
   果型磁気ヘッド。
3. 【請求項３】請求項１において、該感磁部以外の強磁性
   層に電極膜を接触させたことを特徴とする磁気抵抗効果
   型磁気ヘッド。
4. 【請求項４】基体と、その上に順次積層して形成された
   反強磁性層，第１の強磁性層，非磁性導電層及び第２の
   強磁性層を備えた磁気抵抗効果膜と、該磁気抵抗効果膜
   の感磁部に電流を供給する対向電極とを有するものにお
   いて、該感磁部の第２の強磁性層の幅は該非磁性導電
   層，第１の強磁性層及び該反強磁性層の幅とほぼ等しい
   か又はそれのいずれかより狭く、かつ該感磁部の第１及
   び第２の強磁性層が反強磁性膜と非接触であることを特
   徴とする磁気抵抗効果型磁気ヘッド。
5. 【請求項５】基体と、その上に順次積層して形成された
   反強磁性層，第１の強磁性層，非磁性導電層及び第２の
   強磁性層を含む磁気抵抗効果膜と、該磁気抵抗効果膜の
   感磁部に電流を供給する対向電極とを有し、該感磁部の
   第２の強磁性層と非磁性導及び第１の強磁性層の幅は該
   反強磁性層の幅より狭く、該対向電極間の距離は該反強
   磁性層の幅より狭く、かつ該感磁部の幅と等しいかそれ
   より大である磁気抵抗効果型磁気ヘッド，インダクティ
   ブ型磁気ヘッド及び情報を記録する時期ディスクを備え
   た磁気ディスク装置。
6. 【請求項６】請求項５において、該対向電極の端部が該
   感磁部の側面と接していることを特徴とする磁気ディス
   ク装置。
7. 【請求項７】請求項５において、該第１及び第２の強磁
   性層が反強磁性膜と非接触であることを特徴とする磁気
   ディスク装置。
8. 【請求項８】請求項５において、該感磁部以外の強磁性
   層に電極膜を接触させたことを特徴とする磁気ディスク
   装置。