JP3387486B2 - インクジェット記録装置およびその製造方法 - Google Patents

インクジェット記録装置およびその製造方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、記録を必要とする時に
のみインク液滴を吐出し、記録紙面に付着させるインク
ジェット記録装置、特にマイクロマシーニング技術を応
用して作製した小型高密度のインクジェットヘッドの製
造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】インクジェット記録装置は、記録時の騒
音がきわめて小さいこと、高速印字が可能であること、
インクの自由度が高く安価な普通紙を使用できることな
ど多くの利点を有する。この中でも記録の必要な時にの
みインク液滴を吐出する、いわゆるインク・オン・デマ
ンド方式が記録に不必要なインク液滴の回収を必要とし
ないため、最も注目を浴びているタイプである。このイ
ンク・オン・デマンド方式は、例えば特公平２−５１７
３４号公報に示されるように、印字ヘッドが、インク液
滴を吐出するための複数並列に配置されたノズル孔と、
各々のノズル孔に連通し一方の壁の一部がダイヤフラム
となっている複数の独立の吐出室と、各ダイヤフラム上
に取り付けられた電気機械変換手段としての圧電素子
と、各吐出室にインクを供給するための共通のインクキ
ャビティとから構成されており、印字のためのパルス電
圧を前記圧電素子に印加することにより、ダイヤフラム
を機械的に撓ませその吐出室の容積を減少し、瞬間的に
その室内の圧力を高めることにより、前記ノズル孔から
インク液滴を記録紙に向け吐出するようになっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来のインクジェット記録装置の構造では、吐出室
の外側にダイヤフラムを構成するガラス板やプラスチッ
ク板等を介して圧電素子を張り付けるか、吐出室内に圧
電素子を設置する必要があるため、圧電素子の取付作業
がきわめて煩雑で多大の時間を要する。特に最近のプリ
ンターは高速、高印字品質が要求されるため、インク液
滴を吐出するノズル孔の個数を多く設置する傾向にあ
り、そのためにそれぞれのノズル孔に対応する圧電素子
をダイシングやワイヤーソーにて機械加工し、さらに接
着剤などにより所定の位置に設置しているが、このよう
に非常に高密度で、多数のノズル孔を有するインクジェ
ット記録装置の場合において、圧電素子の機械加工等を
必要とするのでは処理能力、機械精度、寸法精度の観点
から限界がある。また、圧電素子自体の製造バラツキに
よる歪誤差があり、各ノズル孔ごとのインク吐出速度に
バラツキが発生する場合があった。さらにまた、圧電素
子を駆動するための電極は、圧電素子自体に形成され、
その後接着剤により接合されていた。そのため、圧電素
子の電極形成は、個別に処理が必要で、しかも基板と圧
電素子間に接着剤層が介在するため、インクジェット記
録装置の駆動効率が低下しインクジェット記録装置の寿
命を延ばすことが困難であった。
【０００４】一方、前記のような圧電素子によるダイヤ
フラムの駆動形式のほかに、吐出室内のインクを加熱す
る方式のものもある（特公昭６１−５９９１１号）。こ
れは、吐出室内のインクを例えばヒーターで加熱し、イ
ンクの蒸発によるバブルの発生により圧力を高め、イン
ク液滴を吐出させる方式である。この加熱方式による
と、発熱抵抗体をスパッタ、ＣＶＤ、蒸着、メッキ等に
よりＴａＳｉＯ2 ，ＮｉＷＰ等の薄膜抵抗体で形成する
ことができる利点があるが、加熱・急冷の繰り返しやイ
ンク中のバブル消滅時の衝撃により発熱体がダメージを
受けることによりヘッド自体の寿命が短いという問題が
あった。
【０００５】したがって、本発明の目的は、吐出室のダ
イヤフラムもしくは振動板の駆動手段として、前記のよ
うな圧電素子や発熱体を用いる方式に代えて、静電気力
を利用した駆動方式を採用することにより、小型高密
度、高印字速度、高印字品質及び寿命の長い高信頼性を
有するインクジェット記録装置の主要部であるインクジ
ェットヘッドの製造に好適な製造方法を提供することに
ある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、インクを供給
するためのインクキャビティと、前記インクキャビティ
にオリフィスを介して連通してなる複数の吐出室と、前
記吐出室の底部全体に形成された振動板と、前記振動板
と離間し、間隙を有して対向する電極と、前記振動板と
前記電極が配置された基板により構成される振動室とを
備え、導電性あるいは、金属極を有する前記振動板と、
前記電極との間に電気パルスを印加することにより、前
記振動板を前記吐出室の圧力が上昇する方向に変形さ
せ、前記ノズル孔よりインク液滴を記録紙に向け吐出す
るインクジェット記録装置であって、前記振動室には大
気と連通する空気抜け穴が設けられていることを特徴と
する。また、インクを供給するためのインクキャビテ
ィ、前記インクキャビティにオリフィスを介して連通し
てなる複数の吐出室、前記吐出室の底部全体に形成され
た振動板、前記振動板に対して前記吐出室の反対側の面
に形成された振動室、および前記振動室に大気と連通す
る溝を有する第１基板を形成する工程と、前記第１基板
の一方の面に配置される第２基板を形成する工程と、前
記振動板と離間し、間隙を有して対向する電極が配置さ
れた第３基板を形成する工程と、前記第１基板と前記第
２基板および前記第１基板と前記第３基板を接合する工
程と、を有することを特徴とする。
【０００７】
【０００８】
【０００９】
【００１０】
【００１１】
【００１２】
【作用】本発明のインクジェット製造方法により製造さ
れた記録装置の動作原理は、電極にパルス電圧を印加す
ることにより、電極面の正電荷または負電荷と対応の振
動板面の負電荷または正電荷により該振動板を吸引し撓
ませ、次いで該電極をＯＦＦにしたときの振動板の復元
作用により吐出室の容積を減少し、その室内の圧力を瞬
間的に上昇させてインク液滴をノズル孔から吐出させる
ものである。このような静電気作用により振動板を駆動
制御するものであるため、マイクロマシーニング技術に
より本装置を作製することができ、小型高密度、高印字
速度、高印字品質及び長寿命化を達成できる。
【００１３】本発明の製造方法においては、シリコンは
単結晶であるため、異方性エッチングが可能で、例えば
（１００）面をエッチングした場合は、５５°の方向に
規則正しくエッチングできる。また、（１１１）面で
は、９０°方向にエッチングが可能である。そこでこの
特性を用いて、精度良く、ノズル孔、吐出室、オリフィ
ス、インクキャビティ等の各要部を形成できる。そして
最後に、このシリコンのノズル基板と電極及び絶縁膜を
形成した電極基板（電極基板にはシリコンと熱膨張係数
が近いガラス板または絶縁板を用いる）を重ねて３００
℃から５００℃で加熱し、シリコン側を陽極、電極基板
側を陰極として、数百ボルトの電圧を印加しと陽極接合
すれば、密着性の高いインクジェットヘッドが得られ
る。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に従って説明す
る。実施例１ 図１は本発明の第１の実施例によるインクジェット記録
装置の主要部を分解して示す斜視図であり、一部断面で
示してある。本実施例はインク液滴を基板の端部のノズ
ル孔から吐出させるエッジインクジェットタイプの例を
示すものである。図２は組み立てられた全体装置の断面
側面図、図３は図２のＡ−Ａ線矢視図である。これらの
図に示すように、インクジェット記録装置１０の主要部
であるインクジェットヘッド１２は、下記に詳述する構
造を持つ３枚の基板１，２，３を重ねて接合した積層構
造となっている。中間の基板２は、例えばシリコン基板
であり、複数のノズル孔４を構成するように基板２の表
面に一端より平行に等間隔で形成された複数のノズル溝
２１と、各々のノズル溝２１に連通し底壁を振動板５と
する吐出室６を構成することになる凹部２２と、凹部２
２の後部に設けられオリフィス７を構成することになる
インク流入口のための細溝２３と、及び各々の吐出室６
にインクを供給するための共通のインクキャビティ８を
構成することになる凹部２４を有する。また、前記振動
板５の下部には後述する電極を装着するため振動室９を
構成することになる凹部２５が設けられている。ノズル
溝２１のピッチは２mm程度であり、その幅は４０μｍ程
度にされる。中間基板２の上面に接合される上側の基板
１は、例えばガラスまたはプラスチックからなり、この
上基板１の接合によって、前記ノズル孔４，吐出室６，
オリフィス７及びインクキャビティ８が構成される。そ
して、上基板１にはインクキャビティ８に連通するイン
ク供給口１４を穿設する。インク供給口１４は接続パイ
プ１６及びチューブ１７を介して図示しないインクタン
クに接続される。中間基板２の下面に接合される下側の
基板３は、例えばガラスまたはプラスチックからなり、
この下基板３の接合によって前記振動室９を構成すると
ともに、下基板３の表面に前記振動板５に対応する各々
の位置にて電極３１を形成する。電極３１はリード部３
２及び端子部３３を持つ。さらに端子部３３を除き電極
３１及びリード部３２の全体を絶縁膜３４で被覆してい
る。各端子部３３にはリード線３５がボンディングされ
る。
【００１５】前記の基板１，２，３は図２のように組み
立てられてインクジェットヘッド１２が構成される。さ
らに、中間基板２と電極３１の端子部３３間にそれぞれ
発振回路２６を接続し、本発明の積層構造によるインク
ジェット記録装置１０が構成される。インク１１は図示
しないインクタンクよりインク供給口１４を通じて中間
基板２の内部に供給され、インクキャビティ８，吐出室
６等を満たしている。なお、電極３１と振動板５の間隔
ｃは１μｍ程度に保持されている。図２において、１３
はノズル孔４より吐出されるインク液滴、１５は記録紙
である。また、使用されるインクは、水、アルコール、
トルエン等の主溶媒にエチレングリコール等の界面活性
剤、及び染料または顔料を溶解または分散させてつくら
れる。または、本装置中にヒーターなどを設置すればホ
ットメルトインクも使用できる。
【００１６】次に、本実施例の動作を説明する。電極３
１に発振回路２６により、例えば０Ｖ〜＋電圧のパルス
電圧を印加し、電極３１の表面が＋電位に帯電すると、
対応する振動板５の下面は−電位に帯電する。したがっ
て、振動板５は静電気の吸引作用により下方へ撓む。次
に、電極３１をＯＦＦにすると、該振動板５は復元す
る。したがって、吐出室６内の圧力が急激に上昇し、ノ
ズル孔４よりインク液滴１３を記録紙１５に向けて吐出
する。そして、振動板５が下方へ撓むことにより、イン
ク１１がインクキャビティ８よりオリフィス７を通じて
吐出室６内に補給される。発振回路２６には、上記のよ
うに０Ｖ〜＋電圧間をＯＮ・ＯＦＦさせるものや交流電
源等が用いられる。記録にあたっては、それぞれのノズ
ル孔４の電極３１に印加すべき電気パルスを制御すれば
よい。
【００１７】ここで、前記のように振動板５を静電気力
により駆動させる場合において、該振動板５の変位量、
駆動電圧、及び吐出量を求める。振動板５は、図４の
（ａ）に示すように短辺長２ａ，長辺長ｂとした長方形
で、４辺を周囲壁で支持されている。圧力Ｐを受けるこ
の薄板の変位量ｗは、アスペクト比（ｂ／２ａ）が大き
いときは係数が０．５に近づき、変位量はａに依存する
ので、次式で表わされる。 ｗ＝０．５×Ｐａ4 ／Ｅｈ3 ・・・（１） ただし ｗ：変位量（ｍ） Ｐ：圧力（Ｎ／ｍ2 ） ａ：短辺の半分の長さ（ｍ） ｈ：板厚（ｍ） Ｅ：ヤング率（Ｎ／ｍ2 ，シリコン１１×１０10Ｎ／ｍ
2 ） 静電気力による吸着圧力は、 Ｐ＝１／２×ε×（Ｖ／ｔ）2 ただし ε：誘電率（Ｆ／ｍ，真空中の誘電率８．８×
１０-12 Ｆ／ｍ） Ｖ：電圧（Ｖ） ｔ：振動板と電極の間隙（ｍ） よって、必要な吐出圧力を得るための駆動電圧Ｖは、 Ｖ＝ｔ（２Ｐ／ε）1/2 ・・・（２） 次に、吐出量を求めるために、図４の（ｂ）に示すよう
なかまぼこ型の体積を求める。 体積 Δｗ＝４／３×ａｂｗ であるから ｗ＝３／４×Δｗ／ａｂ ・・・（３） （１）式より、Ｐ＝２ｗ×Ｅｈ3 ／ａ4 で、式（３）を
代入すると、 Ｐ＝３／２×ΔｗＥｈ3 ／ａ5 ｂ ・・・（４） さらに、式（４）を式（２）に代入すると、 Ｖ＝ｔ×（３Ｅｈ3 Δｗ／εｂ）1/2 ×（１／ａ5 ）1/2 ・・・（５） すなわち、式（５）がインク吐出量を得るための駆動電
圧となる。また、式（２），式（５）から、インク吐出
可能領域を求めると図５（ａ）のようになる。図５の
（ａ）は（ｂ）に示すシリコン振動板の長辺長ｂ＝５m
m，板厚ｈ＝８０μｍ，振動板と電極間の間隙ｃ＝１μ
ｍとしたときの短辺長２ａ（mm）に対する駆動電圧
（Ｖ）の関係を示したものである。吐出圧力Ｐ＝０．３
atmのときの吐出可能領域３０は図中の斜線で示す範囲
となる。
【００１８】振動板の寸法は大きいほど有利であるが、
小型高密度のノズルを考えた場合、ノズルのピッチ方向
の幅は０．２mmから２．０mm程度が妥当である。振動板
の長さについては、式（４）から、目的とするインク吐
出量と、シリコン基板のヤング率、吐出圧力、板厚から
算出して決定する。また、振動板の板厚については、幅
が１mm程度の場合は、吐出速度を考えると約５０μｍ以
上必要である。それよりもはるかに厚いと、式（５）か
らわかるように駆動電圧が異常に高くなり、薄すぎる
と、振動板のバネ性が小さくなり、インクを飛翔させる
に不利となる。また、インクジェットの吐出周波数を満
足しなくなる。すなわち、インクジェットの印加パルス
に対して振動板の周波数が、大きく遅れを生じる。
【００１９】本実施例のインクジェットヘッド１２をプ
リンターに組み込み、５ＫＨｚで１５０Ｖ印加し、イン
ク液滴を７ｍ／sec で飛翔させた。３００ｄｐｉ印字を
試みた結果、良好な印字が得られた。なお、図示は省略
するが、吐出室の後部壁を振動板とすることもできる
が、実施例のように吐出室６の底壁を振動板とすること
により、ヘッド自体をより薄型にできる。
【００２０】実施例２ 図６は本発明の第２の実施例を示す断面図で、第１実施
例と同じくエッジインクジェットタイプの例である。本
実施例は、吐出室６の上下壁を振動板５ａ，５ｂとした
ものであり、そのために中間基板を２枚使用し、吐出室
６を間にして両基板２ａ，２ｂを重ね合わせたものであ
る。各基板２ａ，２ｂにそれぞれ振動板５ａ，５ｂ及び
振動室９ａ，９ｂを形成し、振動板５ａ，５ｂが吐出室
６の上下の壁を構成するように基板２ａ，２ｂを上下対
称に配置する。ノズル孔４は両基板２ａ，２ｂの端部接
合面に形成される。また、上基板１の下面及び下基板３
の上面にそれぞれ電極３１ａ，３１ｂを設け、振動室９
ａ，９ｂ内に装着する。電極３１ａと中間基板２ａの間
及び電極３１ｂと中間基板２ｂの間にそれぞれ発振回路
２６ａ，２６ｂを接続する。 本実施例は、吐出室６の
上下の振動板５ａ，５ｂを電極３１ａ，３１ｂにより対
称に振動させてインク液滴１３をノズル孔４より吐出さ
せることができるので、振動板５ａ，５ｂをより低電圧
で駆動することができる。吐出室６内の圧力は上下対称
に振動する振動板５ａ，５ｂによって高められ、印字速
度が向上する。
【００２１】実施例３ 以下に示す各実施例は全て基板の表面のノズル孔からイ
ンク液滴を吐出させるフェースインクジェットタイプの
例を示すものであり、その狙いは振動板の低電圧駆動を
可能にすることにある。ただし、前記のエッジインクジ
ェットタイプにも応用できるものである。図７は本発明
の第３の実施例を示すもので、円形のノズル孔４が吐出
室６の直上において上基板１に穿設されている。吐出室
６の底壁は振動板５とされ、振動板５は中間基板２に形
成される。さらに、振動板５の下部の振動室９にて下基
板３に電極３１が形成される。インク供給口１４は下基
板３に設けられている。本実施例は、振動板５の振動に
より上基板１に設けたノズル孔４よりインク液滴１３を
吐出する。１つのヘッドに多くのノズル孔４を設けるこ
とができるため、高密度にできるものである。
【００２２】実施例４ 本実施例は、図８，図９に示すように長方形振動板５の
対向する２辺（図９の（ａ）参照）または４辺（図９の
（ｂ）参照）に１つまたは２つ以上のジャバラ溝２７を
設けて振動板５を支持したもので、振動板５の変位量を
大きくとるようにしたものである。吐出室６内のインク
を吐出方向に垂直な振動板５の面で押すことができるた
め、インク液滴１３を真直ぐに飛翔させることができ
る。
【００２３】実施例５ 本実施例は、図１０に示すように長方形振動板５の短辺
側の１辺で支持し片持ち式としたものである。片持ち式
の振動板５とすることにより、同じく導電圧でも振動板
５の変位量を大きくとることができる。ただし、吐出室
６と振動室９が連通状態となるので、インク１１は絶縁
性のものを使用し、電極３１との電気的絶縁を確保する
必要がある。
【００２４】
【００２５】
【００２６】実施例８ 本実施例は、図１３に示すように電極３１に対向して金
属極３１ｅを振動板５の下面に設けたもので、シリコン
基板２を通して振動板５に電荷を供給するのではなく、
振動板５に形成した金属極３１ｅに配線を通じて電荷を
供給するため、電荷の供給スピードは速くなり、より高
周波駆動が可能になる。
【００２７】実施例９ 本実施例は、図１４に示すように振動室９内の空気抜け
をよくするため空気抜け溝２８を設けたものである。振
動板５直下の振動室９の気密性が高いと、振動板５が振
動しにくいため、圧力開放を目的として中間基板２と下
基板３の間に空気抜け溝２８を設ける。
【００２８】実施例１０ 本実施例は、図１５に示すように下基板３に凹部２９を
設け、この中に振動板５を駆動するための電極３１を形
成したものであり、電極３１用の絶縁膜を設けなくとも
振動板５の振動によるショートを防止できる。
【００２９】次に、前記インクジェットヘッド１２の製
造方法の一実施例を説明する。図１に示した構造のもの
を中心に説明すると、中間基板（ノズル基板とも呼ぶ）
２については下記の工程に従ってノズル孔４，振動板
５，吐出室６，オリフィス７，インクキャビティ８，振
動室９等が形成される。 （１）シリコン熱酸化工程（図１６の（ａ）参照） 面方位（１００）のシリコン単結晶基板２Ａを用い、両
面を研磨して板厚２８０μｍとした。このＳｉ基板２Ａ
を大気中で１１００℃で１時間加熱することにより熱酸
化を行い、全面にＳｉＯ2 の酸化膜２Ｂを１μｍの厚さ
で形成した。 （２）パターン形成工程（図１６の（ｂ）参照） Ｓｉ基板２Ａの両面にスピンコート法により片面ずつレ
ジスト（東京応化製ＯＭＲ−８３）を約１μｍの厚さで
形成し、所定のパターンに露光現像を行い、レジストパ
ターン２Ｃを形成した。このパターンは振動板５の形状
を定めるものであり、長方形で、幅１mm，長さ５mmとし
た。なお、図７の実施例では振動板は１辺の長さが５mm
の正方形とした。その後、図示のようにＳｉＯ2 膜２Ｂ
をエッチングした。エッチング条件は、５０ｗｔ％のフ
ッ酸１に対し４０ｗｔ％のフッ化アンモニウム液６の容
量比の混合液を２０℃に保ち、その中に前記基板を１０
分間浸漬した。 （３）エッチング工程（図１６の（ｃ）参照） まず、レジスト２Ｃを剥離するために、エッチング条件
を３０ｗｔ％の過酸化水素１に対し９８ｗｔ％の硫酸４
の容量比の混合液を９０℃以上とし、その中に２０分間
浸漬することでレジスト２Ｃを剥離した。しかるのち、
Ｓｉ基板２Ａを８０℃，２０ｗｔ％のＫＯＨ溶液に１分
間浸漬することで深さ１μｍのエッチングを行った。こ
のエッチングにより振動室９を構成する凹部２５を形成
した。 （４）反対面側のパターン形成工程（図１６の（ｄ）参
照） Ｓｉ基板２Ａに残ったＳｉＯ2 膜を前記（２）と同様の
条件で完全にエッチングした後、前記（１）と（２）と
同様のプロセスを用いて、Ｓｉ基板２Ａの全面に１μｍ
厚のＳｉＯ2 膜を熱酸化で形成した後、フォトリソ工程
によりＳｉ基板２Ａの反対面（図において下面）のＳｉ
Ｏ2 膜２Ｂを所定のパターンにエッチングした。このパ
ターンは吐出室６とインクキャビティ８の形状を定める
ものである。 （５）エッチング工程（図１６の（ｅ）参照） 前記（３）と同様のプロセスにより、ＳｉＯ2 膜をレジ
ストとしてＳｉ基板２Ａのエッチングを行い、吐出室６
とインクキャビティ８のための凹部２２，２４を形成し
た。このとき同時にノズル孔４用の溝２１とオリフィス
７用の溝２３を形成した。振動板５の板厚は１００μｍ
とした。また、ノズル溝及びオリフィス溝の形成に関し
ては、Ｓｉ基板の（１１１）面がエッチング方向に現れ
ると、ＫＯＨ溶液でのエッチングスピードが極端に遅く
なるため、それ以上エッチングは進まなくなり、浅いエ
ッチングでストップする。例えばノズル溝幅が４０μｍ
の場合、深さが約２８μｍでストップする。しかし、吐
出室やインクキャビティの場合は、幅がエッチング深さ
より十分広いため、目的の深さに形成することができ
る。すなわち、深さの異なる部分を同時に１回のエッチ
ングプロセスにより形成することができる。 （６）ＳｉＯ2 膜の除去工程（図１６の（ｆ）参照） 最後に、残ったＳｉＯ2 膜２Ｂをエッチングで除去する
ことにより、各要部２１，２２，２３，２４，２５，５
を持つノズル基板つまり中間基板２が作製された。ま
た、図７の実施例では、前記と同様のプロセスにより、
前記ノズル溝２１を除き前記各要部２２，２３，２４，
２５，５を形成した中間基板と、２８０μｍ厚のＳｉ基
板に孔径５０μｍのノズル孔４を形成したノズル基板
（上基板１）を作製した。
【００３０】次に、電極基板（下基板３）の形成方法を
図１７により説明する。 （１）金属膜形成工程（図１７の（ａ）参照） ０．７mm厚のパイレックス（登録商標）ガラス基板３Ａ
の表面にスパッタ法により、Ｎｉ膜３Ｂを１０００オン
グストロームの厚さで形成した。 （２）電極形成工程（図１７の（ｂ）参照） フォトリソエッチング技術により、前記Ｎｉ膜３Ｂを所
定のパターンに形成した。ここに、電極３１，リード部
３２及び端子部３３が形成できた。 （３）絶縁膜の形成工程（図１７の（ｃ）参照） 最後に、絶縁膜としてＳｉＯ2 膜を約１μｍの厚さで、
マスクスパッタ法により、端子部３３を除き電極３１及
びリード部３２（図１参照）全体に被覆し、電極基板３
を作製した。以上により作製したノズル基板２と電極基
板３を陽極接合により接合した。すなわち、Ｓｉ基板２
とガラス基板３を重ねたのち、ホットプレート上に設置
し、３００℃で加熱しながらＳｉ基板側を陽極とし、ガ
ラス基板側を陰極として、５００Ｖの直流電圧を５分間
印加することにより接合した。さらに、このＳｉ基板２
の上にインク供給口１４を穿設したガラス基板（上基板
１）を上記と同様の陽極接合により接合した。また、図
７の実施例では、ノズル基板１とＳｉ基板２を熱圧着で
接合した。以上のプロセスにより、図２，図７に示すよ
うなインクジェットヘッド１２が得られた。
【００３１】
【発明の効果】本発明の効果を列記すれば下記のとおり
である。 （１）振動板を静電気力で駆動するものであるから、振
動板駆動用の電極の構成が平面的で簡単なものとなり、
小型高密度、高印字速度、高印字品質及び長寿命化を達
成できる。 （２）インクジェットヘッドを少なくとも３枚の基板の
積層構造とすることにより、薄型にできる。 （３）吐出室の上下壁を振動板とすることにより、吐出
圧力を高めることができ、低電圧駆動が可能になる。 （４）振動板をジヤバラ溝を介して、または片持ち式に
支持することにより、振動板の変位量を大きくすること
ができ、低電圧駆動が可能になる。 （５）１つの振動板に電極を２個配設することにより、
あるいは電極に対向して金属極を振動板に設けることに
より、電荷の供給速度が速くなるため、より高周波の駆
動が可能になる。 （６）振動室を空気抜け溝を通して大気に連通させるこ
とにより、振動板の動作が確実になり、かつ安定する。 （７）インクの吐出は基板の端または面のいずれからで
も可能である。 （８）本製造方法を使用すれば、前記効果を有するイン
クジェットヘッドを安価にかつ大量に製造することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例の主要部を一部破断して示
す分解斜視図である。
【図２】第１実施例の組み立て後の断面側面図である。
【図３】第１図のＡ−Ａ線矢視図である。
【図４】振動板の設計における説明図で、同図の（ａ）
は長方形振動板の寸法関係の説明図、（ｂ）は吐出圧力
及び吐出量を求めるための説明図である。
【図５】同図の（ａ）は（ｂ）に示す振動板寸法の場合
の振動板の短辺長さと駆動電圧の関係を示す線図であ
る。
【図６】本発明の第２実施例の断面図である。
【図７】本発明の第３実施例の断面図である。
【図８】本発明の第４実施例の断面図である。
【図９】図８のＢ−Ｂ線矢視図で、同図の（ａ）は振動
板の２辺にジャバラ溝を設けた場合、（ｂ）は振動板の
４辺にジャバラ溝を設けた場合である。
【図１０】本発明の第５実施例の断面図である。
【図１１】本発明の第８実施例の断面図である。
【図１２】本発明の第９実施例の断面図である。
【図１３】本発明の第１０実施例の断面図である。
【図１４】本発明におけるノズル基板の製造工程図であ
る。
【図１５】本発明における電極基板の製造工程図であ
る。
【符号の説明】
１ 上基板 ２ 中間基板 ３ 下基板 ４ ノズル孔 ５ 振動板 ６ 吐出室 ７ オリフィス ８ インクキャビティ ９ 振動室 １０ インクジェット記録装置 １１ インク １２ インクジェットヘッド １４ インク供給口 ２６ 発振回路 ３１ 電極 ３４ 絶縁膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (31)優先権主張番号 特願平3−140009 (32)優先日 平成３年６月12日(1991．6．12) (33)優先権主張国 日本（ＪＰ） 前置審査 (56)参考文献 特開 平２−89648（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−162049（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−203655（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−198851（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−23950（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−16345（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−266943（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−159748（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−289351（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−344253（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−146633（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−92460（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−43876（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−59854（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−92854（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−219654（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−253962（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−97860（ＪＰ，Ａ) 実開 昭60−106730（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B41J 2/045 B41J 2/055 B41J 2/16

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 インクを供給するためのインクキャビテ
    ィと、前記インクキャビティにオリフィスを介して連通
    してなる複数の吐出室と、前記吐出室の底部全体に形成
    された振動板と、前記振動板と離間し、間隙を有して対
    向する電極と、前記振動板と前記電極が配置された基板
    により構成される振動室とを備え、導電性あるいは、金属極を有する前記振動板と、前記電
    極との間に電気パルスを印加することにより、前記振動
    板を前記吐出室の圧力が上昇する方向に変形させ、前記
    ノズル孔よりインク液滴を記録紙に向け吐出する インク
    ジェット記録装置であって、 前記振動室には大気と連通する空気抜け穴が設けられて
    いることを特徴とするインクジェット記録装置。
  2. 【請求項２】請求項１に記載のインクジェット記録装置
    の製造方法であって、 インクを供給するためのインクキャビティ、前記インク
    キャビティにオリフィスを介して連通してなる複数の吐
    出室、前記吐出室の底部全体に形成された振動板、前記
    振動板に対して前記吐出室の反対側の面に形成された振
    動室、および前記振動室に大気と連通する溝を有する第
    １基板を形成する工程と、 前記第１基板の一方の面に配置される第２基板を形成す
    る工程と、 前記振動板と離間し、間隙を有して対向する電極が配置
    された第３基板を形成する工程と、 前記第１基板と前記第２基板および前記第１基板と前記
    第３基板を接合する工程と、 を有することを特徴とするインクジェット記録装置の製
    造方法。
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Families Citing this family (138)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6168263B1 (en) 1990-09-21 2001-01-02 Seiko Epson Corporation Ink jet recording apparatus
US6113218A (en) * 1990-09-21 2000-09-05 Seiko Epson Corporation Ink-jet recording apparatus and method for producing the head thereof
US6164759A (en) * 1990-09-21 2000-12-26 Seiko Epson Corporation Method for producing an electrostatic actuator and an inkjet head using it
US5912684A (en) * 1990-09-21 1999-06-15 Seiko Epson Corporation Inkjet recording apparatus
US6120124A (en) * 1990-09-21 2000-09-19 Seiko Epson Corporation Ink jet head having plural electrodes opposing an electrostatically deformable diaphragm
JPH0671882A (ja) 1992-06-05 1994-03-15 Seiko Epson Corp インクジェットヘッド及びその製造方法
JPH06115069A (ja) * 1992-09-04 1994-04-26 Xerox Corp 音響的及び静電的力による小滴噴出方法
JP3511624B2 (ja) * 1993-01-06 2004-03-29 セイコーエプソン株式会社 インクジェットヘッド
DE69412917T2 (de) * 1993-06-16 1999-04-01 Seiko Epson Corp Tintenstrahlaufzeichnungsgerät mit elektrostatischem Betätiger und Verfahren zu seiner Steuerung
US5668579A (en) * 1993-06-16 1997-09-16 Seiko Epson Corporation Apparatus for and a method of driving an ink jet head having an electrostatic actuator
EP0629502B1 (en) * 1993-06-16 1998-09-02 Seiko Epson Corporation Inkjet recording apparatus
TW293226B (ja) * 1993-07-14 1996-12-11 Seiko Epson Corp
US5644341A (en) * 1993-07-14 1997-07-01 Seiko Epson Corporation Ink jet head drive apparatus and drive method, and a printer using these
US5818473A (en) * 1993-07-14 1998-10-06 Seiko Epson Corporation Drive method for an electrostatic ink jet head for eliminating residual charge in the diaphragm
DE69408082T2 (de) * 1993-10-20 1998-09-10 Tektronix Inc Zu reinigender auf Abruf arbeitender Vielfach-Tintenstrahlkopf und seine Arbeitsweise
US5956058A (en) * 1993-11-05 1999-09-21 Seiko Epson Corporation Ink jet print head with improved spacer made from silicon single-crystal substrate
US6371598B1 (en) 1994-04-20 2002-04-16 Seiko Epson Corporation Ink jet recording apparatus, and an ink jet head
EP0678387B1 (en) * 1994-04-20 1998-12-02 Seiko Epson Corporation Inkjet recording apparatus and method of producing an inkjet head
US5666143A (en) * 1994-07-29 1997-09-09 Hewlett-Packard Company Inkjet printhead with tuned firing chambers and multiple inlets
JP3252612B2 (ja) * 1994-09-01 2002-02-04 セイコーエプソン株式会社 インクジェットヘッド駆動装置及びその駆動方法
JPH08164605A (ja) * 1994-12-14 1996-06-25 Sharp Corp インクジェットヘッドおよびその製造方法
JPH08169110A (ja) * 1994-12-20 1996-07-02 Sharp Corp インクジェットヘッド
AU737946B2 (en) * 1995-04-14 2001-09-06 Canon Kabushiki Kaisha Method for producing liquid ejecting head and liquid ejecting head obtained by the same method
EP0737582B1 (en) * 1995-04-14 2002-07-10 Canon Kabushiki Kaisha Method for producing liquid ejecting head and liquid ejecting head obtained by the same method
EP0974466B1 (en) * 1995-04-19 2003-03-26 Seiko Epson Corporation Ink jet recording head and method of producing same
US6000785A (en) * 1995-04-20 1999-12-14 Seiko Epson Corporation Ink jet head, a printing apparatus using the ink jet head, and a control method therefor
US6234607B1 (en) * 1995-04-20 2001-05-22 Seiko Epson Corporation Ink jet head and control method for reduced residual vibration
US5894316A (en) * 1995-04-20 1999-04-13 Seiko Epson Corporation Ink jet head with diaphragm having varying compliance or stepped opposing wall
JPH09123437A (ja) * 1995-08-28 1997-05-13 Seiko Epson Corp インクジェットプリンタ及びインクジェット記録用インク
JPH0985946A (ja) * 1995-09-25 1997-03-31 Sharp Corp インクジェットヘッド及びその製造方法
US7003857B1 (en) 1995-11-24 2006-02-28 Seiko Epson Corporation Method of producing an ink-jet printing head
JP3460218B2 (ja) * 1995-11-24 2003-10-27 セイコーエプソン株式会社 インクジェットプリンタヘッドおよびその製造方法
US5718044A (en) * 1995-11-28 1998-02-17 Hewlett-Packard Company Assembly of printing devices using thermo-compressive welding
US6516509B1 (en) * 1996-06-07 2003-02-11 Canon Kabushiki Kaisha Method of manufacturing a liquid jet head having a plurality of movable members
US6190003B1 (en) * 1996-12-20 2001-02-20 Seiko Epson Corporation Electrostatic actuator and manufacturing method therefor
US6786420B1 (en) 1997-07-15 2004-09-07 Silverbrook Research Pty. Ltd. Data distribution mechanism in the form of ink dots on cards
WO1998051506A1 (fr) 1997-05-14 1998-11-19 Seiko Epson Corporation Procede de formation d'ajutage pour injecteurs et procede de fabrication d'une tete a jet d'encre
JPH11320873A (ja) 1997-06-05 1999-11-24 Ricoh Co Ltd インクジェットヘッド
US6618117B2 (en) 1997-07-12 2003-09-09 Silverbrook Research Pty Ltd Image sensing apparatus including a microcontroller
US6866290B2 (en) 2002-12-04 2005-03-15 James Tsai Apparatus of a collapsible handcart for turning a platform when operating a retractable handle
US8117751B2 (en) 1997-07-15 2012-02-21 Silverbrook Research Pty Ltd Method of forming printhead by removing sacrificial material through nozzle apertures
US7775634B2 (en) 1997-07-15 2010-08-17 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet chamber with aligned nozzle and inlet
US7393083B2 (en) 1997-07-15 2008-07-01 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet printer with low nozzle to chamber cross-section ratio
US7410243B2 (en) 1997-07-15 2008-08-12 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet nozzle with resiliently biased ejection actuator
US7410250B2 (en) 1997-07-15 2008-08-12 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet nozzle with supply duct dimensioned for viscous damping
US7578582B2 (en) 1997-07-15 2009-08-25 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet nozzle chamber holding two fluids
US7328975B2 (en) 1997-07-15 2008-02-12 Silverbrook Research Pty Ltd Injet printhead with thermal bend arm exposed to ink flow
US6690419B1 (en) 1997-07-15 2004-02-10 Silverbrook Research Pty Ltd Utilising eye detection methods for image processing in a digital image camera
US7527357B2 (en) 1997-07-15 2009-05-05 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet nozzle array with individual feed channel for each nozzle
US6648453B2 (en) 1997-07-15 2003-11-18 Silverbrook Research Pty Ltd Ink jet printhead chip with predetermined micro-electromechanical systems height
US7360871B2 (en) 1997-07-15 2008-04-22 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet chamber with ejection actuator between inlet and nozzle
US6985207B2 (en) 1997-07-15 2006-01-10 Silverbrook Research Pty Ltd Photographic prints having magnetically recordable media
AUPP654398A0 (en) * 1998-10-16 1998-11-05 Silverbrook Research Pty Ltd Micromechanical device and method (ij46g)
US6682176B2 (en) 1997-07-15 2004-01-27 Silverbrook Research Pty Ltd Ink jet printhead chip with nozzle arrangements incorporating spaced actuating arms
US7401900B2 (en) 1997-07-15 2008-07-22 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet nozzle with long ink supply channel
US7661793B2 (en) 1997-07-15 2010-02-16 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet nozzle with individual ink feed channels etched from both sides of wafer
US6557977B1 (en) 1997-07-15 2003-05-06 Silverbrook Research Pty Ltd Shape memory alloy ink jet printing mechanism
US8366243B2 (en) 1997-07-15 2013-02-05 Zamtec Ltd Printhead integrated circuit with actuators proximate exterior surface
US7234795B2 (en) 1997-07-15 2007-06-26 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet nozzle with CMOS compatible actuator voltage
US7753469B2 (en) 1997-07-15 2010-07-13 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet nozzle chamber with single inlet and plurality of nozzles
US7195339B2 (en) 1997-07-15 2007-03-27 Silverbrook Research Pty Ltd Ink jet nozzle assembly with a thermal bend actuator
AU2006202032B2 (en) * 1997-07-15 2007-11-01 Zamtec Limited Inkjet printer with electrostatically actuated plates
US7334874B2 (en) 1997-07-15 2008-02-26 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet nozzle chamber with electrostatically attracted plates
US7401884B2 (en) 1997-07-15 2008-07-22 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet printhead with integral nozzle plate
US6624848B1 (en) 1997-07-15 2003-09-23 Silverbrook Research Pty Ltd Cascading image modification using multiple digital cameras incorporating image processing
US7591539B2 (en) 1997-07-15 2009-09-22 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet printhead with narrow printing zone
US7556356B1 (en) 1997-07-15 2009-07-07 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet printhead integrated circuit with ink spread prevention
AUPO850597A0 (en) 1997-08-11 1997-09-04 Silverbrook Research Pty Ltd Image processing method and apparatus (art01a)
EP1510339B1 (en) * 1997-07-15 2007-01-24 Silverbrook Research Pty. Limited Inkjet nozzle actuated by magnetic pulses
US7472984B2 (en) 1997-07-15 2009-01-06 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet chamber with plurality of nozzles
US7753491B2 (en) 1997-07-15 2010-07-13 Silverbrook Research Pty Ltd Printhead nozzle arrangement incorporating a corrugated electrode
US7475965B2 (en) 1997-07-15 2009-01-13 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet printer with low droplet to chamber volume ratio
US6820968B2 (en) * 1997-07-15 2004-11-23 Silverbrook Research Pty Ltd Fluid-dispensing chip
AUPO802797A0 (en) 1997-07-15 1997-08-07 Silverbrook Research Pty Ltd Image processing method and apparatus (ART54)
US7468139B2 (en) 1997-07-15 2008-12-23 Silverbrook Research Pty Ltd Method of depositing heater material over a photoresist scaffold
US6879341B1 (en) 1997-07-15 2005-04-12 Silverbrook Research Pty Ltd Digital camera system containing a VLIW vector processor
US6986202B2 (en) 1997-07-15 2006-01-17 Silverbrook Research Pty Ltd. Method of fabricating a micro-electromechanical fluid ejection device
US6682174B2 (en) 1998-03-25 2004-01-27 Silverbrook Research Pty Ltd Ink jet nozzle arrangement configuration
AUPO800497A0 (en) 1997-07-15 1997-08-07 Silverbrook Research Pty Ltd Image creation method and apparatus (IJ26)
US7708372B2 (en) 1997-07-15 2010-05-04 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet nozzle with ink feed channels etched from back of wafer
US7337532B2 (en) 1997-07-15 2008-03-04 Silverbrook Research Pty Ltd Method of manufacturing micro-electromechanical device having motion-transmitting structure
US7551201B2 (en) 1997-07-15 2009-06-23 Silverbrook Research Pty Ltd Image capture and processing device for a print on demand digital camera system
US6935724B2 (en) 1997-07-15 2005-08-30 Silverbrook Research Pty Ltd Ink jet nozzle having actuator with anchor positioned between nozzle chamber and actuator connection point
US7628468B2 (en) 1997-07-15 2009-12-08 Silverbrook Research Pty Ltd Nozzle with reciprocating plunger
US6188415B1 (en) 1997-07-15 2001-02-13 Silverbrook Research Pty Ltd Ink jet printer having a thermal actuator comprising an external coil spring
US7465030B2 (en) 1997-07-15 2008-12-16 Silverbrook Research Pty Ltd Nozzle arrangement with a magnetic field generator
US7110024B1 (en) 1997-07-15 2006-09-19 Silverbrook Research Pty Ltd Digital camera system having motion deblurring means
US7497555B2 (en) 1998-07-10 2009-03-03 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet nozzle assembly with pre-shaped actuator
US7293855B2 (en) 1997-07-15 2007-11-13 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet nozzle with ink supply channel parallel to drop trajectory
US6712453B2 (en) * 1997-07-15 2004-03-30 Silverbrook Research Pty Ltd. Ink jet nozzle rim
JPH1134344A (ja) * 1997-07-22 1999-02-09 Ricoh Co Ltd インクジェットヘッドの製造方法
JPH1178030A (ja) * 1997-09-10 1999-03-23 Brother Ind Ltd インクジェットヘッドの製造方法
US6309056B1 (en) 1998-04-28 2001-10-30 Minolta Co., Ltd. Ink jet head, drive method of ink jet head, and ink jet recording apparatus
JP2000015804A (ja) 1998-06-30 2000-01-18 Ricoh Co Ltd インクジェットヘッド及びその製造方法
JP3628182B2 (ja) 1998-08-04 2005-03-09 株式会社リコー インクジェットヘッド及びその作成方法
US6367132B2 (en) * 1998-08-31 2002-04-09 Eastman Kodak Company Method of making a print head
AUPP702098A0 (en) 1998-11-09 1998-12-03 Silverbrook Research Pty Ltd Image creation method and apparatus (ART73)
JP2000094696A (ja) 1998-09-24 2000-04-04 Ricoh Co Ltd インクジェットヘッド及びその作製方法
US6357865B1 (en) 1998-10-15 2002-03-19 Xerox Corporation Micro-electro-mechanical fluid ejector and method of operating same
US6902255B1 (en) * 1998-10-16 2005-06-07 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet printers
KR100373749B1 (ko) * 1998-11-16 2003-04-23 삼성전자주식회사 정전력을이용한유체분사장치
US6491378B2 (en) 1998-12-08 2002-12-10 Seiko Epson Corporation Ink jet head, ink jet printer, and its driving method
JP3887137B2 (ja) * 1999-01-29 2007-02-28 セイコーインスツル株式会社 圧電振動子の製造方法
AUPQ056099A0 (en) 1999-05-25 1999-06-17 Silverbrook Research Pty Ltd A method and apparatus (pprint01)
JP2001113701A (ja) 1999-08-06 2001-04-24 Ricoh Co Ltd 静電型インクジェットヘッドおよびその製造方法
KR100527221B1 (ko) 2000-03-13 2005-11-08 세이코 엡슨 가부시키가이샤 잉크젯 헤드 및 잉크젯 프린터
JP2001270110A (ja) 2000-03-24 2001-10-02 Ricoh Co Ltd 液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置
US6364460B1 (en) 2000-06-13 2002-04-02 Chad R. Sager Liquid delivery system
US7052101B2 (en) 2000-07-21 2006-05-30 Fuji Photo Film Co., Ltd. Supply for image recording apparatus, method of determining the same and method of manufacturing the same
US6352336B1 (en) * 2000-08-04 2002-03-05 Illinois Tool Works Inc Electrostatic mechnically actuated fluid micro-metering device
US6578950B2 (en) 2000-08-28 2003-06-17 Fuji Photo Film Co., Ltd. Line head and image recording method
US6568794B2 (en) 2000-08-30 2003-05-27 Ricoh Company, Ltd. Ink-jet head, method of producing the same, and ink-jet printing system including the same
US6474785B1 (en) 2000-09-05 2002-11-05 Hewlett-Packard Company Flextensional transducer and method for fabrication of a flextensional transducer
US6299291B1 (en) * 2000-09-29 2001-10-09 Illinois Tool Works Inc. Electrostatically switched ink jet device and method of operating the same
JP2002248765A (ja) * 2000-12-19 2002-09-03 Fuji Xerox Co Ltd インクジェット式記録ヘッドおよびインクジェット式記録装置
JP3833070B2 (ja) * 2001-02-09 2006-10-11 キヤノン株式会社 液体噴射ヘッドおよび製造方法
US6428140B1 (en) 2001-09-28 2002-08-06 Hewlett-Packard Company Restriction within fluid cavity of fluid drop ejector
US6685302B2 (en) 2001-10-31 2004-02-03 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Flextensional transducer and method of forming a flextensional transducer
US7033002B2 (en) 2002-05-20 2006-04-25 Ricoh Company, Ltd. Electrostatic actuator and liquid droplet ejecting head having stable operation characteristics against environmental changes
JP2004064039A (ja) 2002-06-07 2004-02-26 Fuji Photo Film Co Ltd パターン形成方法及びパターン形成装置
US6821450B2 (en) * 2003-01-21 2004-11-23 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Substrate and method of forming substrate for fluid ejection device
JP4419458B2 (ja) 2003-07-14 2010-02-24 リコープリンティングシステムズ株式会社 インクジェットヘッドの製造方法
US7334871B2 (en) * 2004-03-26 2008-02-26 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Fluid-ejection device and methods of forming same
US7108354B2 (en) * 2004-06-23 2006-09-19 Xerox Corporation Electrostatic actuator with segmented electrode
JP4274556B2 (ja) * 2004-07-16 2009-06-10 キヤノン株式会社 液体吐出素子の製造方法
US7549223B2 (en) * 2004-09-28 2009-06-23 Fujifilm Corporation Method for manufacturing a liquid ejection head
JP2006103167A (ja) * 2004-10-06 2006-04-20 Seiko Epson Corp 液滴吐出ヘッド及びその製造方法並びに液滴吐出装置
JP4552615B2 (ja) * 2004-11-22 2010-09-29 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッドの製造方法
JP4371092B2 (ja) * 2004-12-14 2009-11-25 セイコーエプソン株式会社 静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及びその製造方法、液滴吐出装置並びにデバイス
JP4654458B2 (ja) 2004-12-24 2011-03-23 リコープリンティングシステムズ株式会社 シリコン部材の陽極接合法及びこれを用いたインクジェットヘッド製造方法並びにインクジェットヘッド及びこれを用いたインクジェット記録装置
US7464466B2 (en) * 2005-10-11 2008-12-16 Silverbrook Research Pty Ltd Method of fabricating inkjet nozzle chambers having filter structures
JP5102551B2 (ja) 2006-09-07 2012-12-19 株式会社リコー 液滴吐出ヘッド、液体カートリッジ、液滴吐出装置、及び画像形成装置
JP4760630B2 (ja) * 2006-09-08 2011-08-31 セイコーエプソン株式会社 液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの駆動方法、及び液滴吐出装置
JP2008110595A (ja) * 2006-10-03 2008-05-15 Canon Inc インクジェットヘッドの製造方法及びオリフィスプレートの製造方法
US7735952B2 (en) * 2007-04-12 2010-06-15 Lexmark International, Inc. Method of bonding a micro-fluid ejection head to a support substrate
JP2009126076A (ja) * 2007-11-26 2009-06-11 Seiko Epson Corp 液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置
US8684500B2 (en) * 2012-08-06 2014-04-01 Xerox Corporation Diaphragm for an electrostatic actuator in an ink jet printer
US20140292894A1 (en) * 2013-03-29 2014-10-02 Xerox Corporation Insulating substrate electrostatic ink jet print head

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4339763A (en) * 1970-06-29 1982-07-13 System Industries, Inc. Apparatus for recording with writing fluids and drop projection means therefor
US4203128A (en) * 1976-11-08 1980-05-13 Wisconsin Alumni Research Foundation Electrostatically deformable thin silicon membranes
US4234361A (en) * 1979-07-05 1980-11-18 Wisconsin Alumni Research Foundation Process for producing an electrostatically deformable thin silicon membranes utilizing a two-stage diffusion step to form an etchant resistant layer
US4312008A (en) * 1979-11-02 1982-01-19 Dataproducts Corporation Impulse jet head using etched silicon
JPS56142071A (en) * 1980-04-08 1981-11-06 Ricoh Co Ltd Ink jet nozzle plate
DE3167322D1 (en) * 1980-08-25 1985-01-03 Epson Corp Method of operating an on demand-type ink jet head and system therefor
JPS58224760A (ja) * 1982-06-25 1983-12-27 Canon Inc インクジエツト記録ヘツド
US4520375A (en) * 1983-05-13 1985-05-28 Eaton Corporation Fluid jet ejector
US4588998A (en) * 1983-07-27 1986-05-13 Ricoh Company, Ltd. Ink jet head having curved ink
JPS6159911A (ja) * 1984-08-30 1986-03-27 Nec Corp 切換スイツチ回路
JPS6194767A (ja) * 1984-10-15 1986-05-13 Ricoh Co Ltd インクジエツトヘツド及びその製造方法
US4725851A (en) * 1985-07-01 1988-02-16 Burlington Industries, Inc. Method and assembly for mounting fluid-jet orifice plate
DE3645017C2 (ja) * 1985-09-06 1990-07-12 Fuji Electric Co., Ltd., Kawasaki, Kanagawa, Jp
US4766666A (en) * 1985-09-30 1988-08-30 Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho Semiconductor pressure sensor and method of manufacturing the same
US4887100A (en) * 1987-01-10 1989-12-12 Am International, Inc. Droplet deposition apparatus
JPH01289351A (ja) * 1988-05-17 1989-11-21 Nec Corp 電話機付属型無線機
JPH06105429B2 (ja) * 1988-08-15 1994-12-21 日本電気株式会社 マイクロプログラム制御装置
JPH0784058B2 (ja) * 1988-09-16 1995-09-13 アルプス電気株式会社 インクジェットヘッド
JP2854876B2 (ja) * 1989-02-17 1999-02-10 株式会社リコー 記録ヘッド及び記録装置
JP2849109B2 (ja) * 1989-03-01 1999-01-20 キヤノン株式会社 液体噴射記録ヘッドの製造方法およびその方法により製造された液体噴射記録ヘッド
US5116457A (en) * 1989-04-07 1992-05-26 I C Sensors, Inc. Semiconductor transducer or actuator utilizing corrugated supports
JPH0764060B2 (ja) * 1989-06-09 1995-07-12 シャープ株式会社 インクジェットプリンタ

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0550601A (ja) 1993-03-02
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DE69128951T2 (de) 1998-09-03

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