JP3257860B2 - 半導体メモリ装置 - Google Patents

半導体メモリ装置

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JP3257860B2
JP3257860B2 JP11436393A JP11436393A JP3257860B2 JP 3257860 B2 JP3257860 B2 JP 3257860B2 JP 11436393 A JP11436393 A JP 11436393A JP 11436393 A JP11436393 A JP 11436393A JP 3257860 B2 JP3257860 B2 JP 3257860B2
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
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    • G11C8/00Arrangements for selecting an address in a digital store
    • G11C8/10Decoders

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、予備メモリへのアクセ
ス時間を短縮する欠陥救済回路に係り、特に高速メモリ
と組み合わせるのに適する欠陥救済回路に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体メモリ用欠陥救済回路の従来技術
としては、例えば、図2に示したものがある。同図にお
いて、MMCAは本体メモリ、SMCAは予備メモリ、
PはPROMである。PROMには不良ビットに対応す
るアドレス(DA0〜DA3)と不良ビットの有無(E
S)がプログラムされる。また、IBは入力バッファ、
PD0,PD1はプリデコ−ダ、MDは本体デコ−ダ、
ACはアドレス比較回路である。ここでは、アドレス信
号A0〜A3をプリデコ−ダPD0,PD1及び本体デ
コ−ダMDによりデコ−ドして16本のワ−ド線W0〜
W15のいづれか1つを選択する場合を示している。プ
リデコ−ダPD0,PD1はそれぞれアドレス信号A
0,A1及びA2,A3をプリデコ−ドし、プリデコ−
ド信号B0〜B3及びC0〜C3を出力する。本体デコ
−ダMDによりこれらのプリデコ−ド信号を更にデコ−
ドしてワ−ド線W0〜W15のうち1本が選択される。
本体デコ−ダMDはNOR回路N0〜N15から構成さ
れる。このNOR回路はプリデコ−ド信号を受ける2つ
の入力端子と、制御端子1つを有している。制御端子に
はアドレス比較回路ACの出力信号が印加される。本体
メモリMMCAに不良ビットが無い場合は、信号ESが
'1'となるようにPROMをプログラムする。こうす
ることにより、アドレス比較回路ACの出力は常に '
0'となり、本体デコ−ダMDは活性化され、本体メモ
リMMCAがアクセスされる。この時、ワ−ド線WSは
'0'となるため、予備メモリSMCAはアクセスされ
ない。一方、本体メモリMMCAに不良ビットが有った
場合、例えば、ワ−ド線W0に接続されているメモリセ
ルに不良が有った場合を考える。この時は、信号ESが
'0'、信号DA0〜DA3が不良ワ−ド線のアドレス
を指すように、この例では、全て '0'となるようにP
ROMをプログラムする。こうすることにより、アドレ
ス信号がA0〜A3=(0,0,0,0)となった場合
は、アドレス比較回路ACの出力が '1'となり、本体
デコ−ダMDのNOR回路は全て非活性化され、本体メ
モリMMCAはアクセスされない。一方、ワ−ド線WS
が '1'となるため、本体メモリの代わりに予備メモリ
SMCAがアクセスされる。アドレス信号が(0,0,
0,0)以外の場合は、アドレス比較回路ACの出力は
'0'となり、本体デコ−ダMDが活性化され、本体メ
モリがアクセスされる。すなわち、不良ビットを指すア
ドレスが入力された場合は予備メモリがアクセスされ、
それ以外の場合は本体メモリがアクセスされ、不良ビッ
トを有するメモリチップを救済することができる。な
お、半導体メモリ用欠陥救済技術に関する文献として
は、電子通信学会誌1982年9月号1000ペ−ジ記
載の論文が挙げられる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術では、本
体メモリをアクセスする場合のワ−ド線までの論理段数
は3段であるのに対し、予備メモリをアクセスする場合
はアドレス比較回路ACを通るため4段となる。しか
も、アドレス比較回路ACの出力は第2段目デコ−ダ全
てに接続されるため、アドレス比較回路の負荷が非常に
重く遅延時間も大きい。従って、予備メモリをアクセス
したときのアクセス時間が遅いという欠点が有った。こ
のため、高速動作が要求される分野では、従来の欠陥救
済技術を適用することができなかった。本発明の目的
は、予備メモリをアクセスした場合でもアクセス時間が
ほとんど遅くならない欠陥救済回路を提供することにあ
る。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明では、例えば図1または図12に示すよう
に、本体メモリセルアレ−と、該本体メモリセルアレ−
の不良ビット救済用の予備メモリと、ワ−ド線あるいは
ビット線を選択駆動する本体デコ−ダと、予備メモリを
選択駆動する予備デコ−ダを有する半導体メモリにおい
て、上記本体デコ−ダは、不良ビットに対応するワ−ド
線(例えば図1のW0)あるいはビット線を非選択状態
に、または、不良ビットに対応するワ−ド線を含む複数
のワード線のブロック(例えば図12のW0とW1)
を、あるいは不良ビットに対応するビット線を含む複数
のビット線のブロックを非選択状態に固定する非活性化
信号の入力端子(例えば本体デコーダMDのE0端子)
を有し、また、上記予備デコ−ダの入力端子に不良ビッ
トに対応するデコ−ド信号を接続するスイッチ(例えば
図1のSLA)と、不良ビットのアドレスに応じてプロ
グラムされるPROM(図中のP)と、該PROMの情
報に応じて上記非活性化信号(例えばE0〜E15)と
上記スイッチの制御信号(例えばSA0〜SA3)を発
生する制御回路を備えることとする。
【0005】ここで、上記スイッチを例えば図1のSL
AのようにMOSトランジスタにより構成するのがよ
い。
【0006】この場合に、上記制御回路をCMOS回路
により構成することが望ましい。これにより消費電力を
小さくできる。
【0007】あるいは、上記制御回路の出力信号は直流
信号であるように構成すれば消費電力も小さくし易く望
ましい。
【0008】また以上の場合に、本体デコーダおよび予
備デコ−ダをバイポ−ラトランジスタとMOSトランジ
スタの複合回路により構成すれば高速性が得られるが、
その上にメモリセルをMOSトランジスタにより構成す
れば面積が小さくなり高集積性が得られるので好まし
い。
【0009】
【作用】本発明では、制御回路により不良ビットを含む
ワ−ド線あるいはビット線を非選択状態に固定し、予備
デコ−ダの入力端子に、プリデコ−ド信号のうち不良ア
ドレスに対応するものをスイッチを介して接続する。す
なわち、不良アドレスに対応するアクセスパスを本体デ
コ−ダから予備デコ−ダへと変更することにより、不良
ビットを救済する。このため、アドレス比較回路は不要
となり、本体メモリをアクセスする場合も、予備メモリ
をアクセスする場合もワ−ド線あるいはビット線までの
論理段数は同じとなる。予備メモリをアクセスする際に
はプリデコ−ド信号がスイッチ回路を通過する分だけ遅
延時間が増加するが、論理回路1段分の遅延時間に比べ
ればほとんど無視できる。従って、予備メモリをアクセ
スした場合でも遅延時間はほとんど増加しないようにな
る。
【0010】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を用いて詳細に
説明する。図1は本発明の第1の実施例を示したもので
ある。MDは本体デコ−ダ、SDは予備デコ−ダ、MM
CAは本体メモリ、SMCAは予備メモリ、PはPRO
M、CNTLは制御回路、IBは入力バッファ、PD
0,PD1はプリデコ−ダである。本実施例において、
入力バッファIB及びプリデコ−ダPD0,PD1の構
成は従来技術と同じ構成である。一方、本体デコ−ダM
DのNOR回路N0〜N15の制御端子には個別の制御
信号E0〜E15が印加される。制御信号E0〜E15
はPROMに記憶された不良アドレスに応じて、制御回
路CNTLにより作られる。予備デコ−ダSDは本体デ
コ−ダと同様のNOR回路NSとスイッチ回路SLA,
SLBからなる。NOR回路NSの入力端子には、スイ
ッチ回路SLA,SLBにより、プリデコ−ド信号B0
〜B3,C0〜C3のうち不良アドレスに対応したもの
が選択され接続される。スイッチ回路SLA,SLBを
制御する信号SA0〜SA3,SB0〜SB3もまた制
御回路CNTLにより作られる。スイッチ回路SLA,
SLBはMOSスイッチにより構成できる。ここでは、
nMOSのみで構成した例を示しているが、必要に応じ
てpMOSを並列に接続してもよい。PROMには従来
技術と同様に不良アドレス(DA0〜DA3)及び不良
の有無(ES)がプログラムされる。制御回路の実施例
については後で詳述する。
【0011】以下、本回路の動作を不良ビットがない場
合と、ある場合のそれぞれについて説明する。まず、不
良ビットがない場合を考える。この場合は、不良の有無
を示す信号ESが '1’となるようPROM Pをプロ
グラムする。制御回路CNTLは例えば図4に示すよう
に構成されているので、 E0〜E15= '0’ SA0〜SA3= '0’ SB0〜SB3= '0’ となる。従って、本体デコ−ダMDのNOR回路N0〜
N15は全て活性状態となり、予備デコ−ダSDのNO
R回路NSは非活性状態となる。すなわち、アドレス信
号に応じて本体メモリがアクセスされ、予備メモリはア
クセスされない。次に、本体メモリMMCAに不良ビッ
トが有った場合、例えば、ワ−ド線W0に接続されてい
るメモリセルに不良が有った場合を考える。この時は、
信号ESを '0'に、信号DA0〜DA3が不良ワ−ド
線のアドレスを指すように、この例では、全て '0'と
なるようにPROMをプログラムする。制御回路CNT
Lは図4のように構成されているので、 E0= '1’ E1〜E15= '0’ SA0= '1’ SA1〜SA3= '0’ SB0= '1’ SB1〜SB3= '0’ となる。これにより、本体デコ−ダMDのN0は常に非
活性状態となり、ワ−ド線W0は低電位に固定される。
一方、NSにはスイッチ回路SLA,SLBを介してプ
リデコ−ド信号B0,C0が接続されており、0番地の
アドレス信号が入力された時は、N0に代わってNSの
出力が高電位となり、予備メモリがアクセスされる。本
実施例では、制御回路CNTLにより不良ビットを含む
ワ−ド線を低電位に固定し、予備デコ−ダの入力端子に
プリデコ−ド信号のうち不良アドレスに対応するものを
MOSスイッチを通して接続する。すなわち、不良アド
レスに対応するアクセスパスを本体デコ−ダから予備デ
コ−ダへと変更することにより、不良ビットを救済す
る。このため、アドレス比較回路は不要となり、本体メ
モリをアクセスする場合も、予備メモリをアクセスする
場合もワ−ド線までの論理段数は同じ3段となる。予備
メモリをアクセスする際にはプリデコ−ド信号がスイッ
チ回路のMOSトランジスタを通過する分だけ遅延時間
が増加するが、論理回路1段分の遅延時間に比べればほ
とんど無視できる。従って、予備メモリをアクセスした
場合でも遅延時間はほとんど増加しない。なお、大型計
算機のキャッシュメモリの用いられる超高速メモリのよ
うな分野ではMOSスイッチの通過時間が無視できない
場合がある。このような場合は、NOR回路NSを本体
デコ−ダよりも高速動作するよう回路定数を変更すれば
良い。あるいは、本体デコ−ダがCMOSあるいはBi
CMOS回路で構成されている場合ならば、NSをEC
L回路で構成することにより予備メモリをアクセスした
場合のアクセス時間の増加を防止できる。なお、ここで
はワ−ド線デコ−ダへの適用例を示したが、同様にして
ビット線デコ−ダへも適用できることはもちろんであ
る。
【0012】図3は本発明の第2の実施例を示したもの
である。本実施例は予備デコ−ダSDに印加するプリデ
コ−ド信号を予備プリデコ−ダSPD0,SPD1で発
生させた例を示している。SPD0,SPD1は予備プ
リデコ−ダ、SLA,SLB,SLC,SLDはスイッ
チ回路、SA0,SA1,SB0,SB1,SC0,S
C1,SD0,SD1はスイッチ回路の制御信号であ
る。本実施例において、例えば、ワ−ド線W0に接続さ
れているメモリセルに不良が有った場合を考える。この
時は、信号ESを '0'に、信号DA0〜DA3が全て
'0'となるようにPROMをプログラムする。本実施
例に対応する制御回路は例えば図6に示すように構成す
れば良い。こうすることにより、 E0= '1’ E1〜E15= '0’ SA0= '1’ SA1= '0’ SB0= '1’ SB1= '0’ SC0= '1’ SC1= '0’ SD0= '1’ SD1= '0’ となる。これにより、本体デコ−ダMDのN0は常に非
活性状態となり、ワ−ド線W0は低電位に固定される。
一方、予備プリデコ−ダのNSP0にはスイッチ回路S
LA,SLBを介してA0,A1の肯定信号が接続さ
れ、予備プリデコ−ダのNSP1にはスイッチ回路SL
C,SLDを介してA2,A3の肯定信号が接続され
る。従って、0番地のアドレス信号が入力された時は、
N0に代わってNSの出力が高電位となり、予備メモリ
がアクセスされる。本実施例によれば、予備メモリのア
クセス時間を図1の実施例よりも小さくすることができ
る。これは以下の理由による。スイッチ回路SLAの遅
延時間はこれを構成するMOSトランジスタのオン抵抗
と、出力端子(OA)の寄生容量の積に比例する。従っ
て、スイッチ回路の入力端子数、即ち、MOSトランジ
スタの数が少ないほど、出力端子の寄生容量が小さくな
るので遅延時間は小さくなる。図1の実施例では、スイ
ッチ回路の入力端子数は4、本実施例では2であるの
で、本実施例の方が予備メモリのアクセス時間が小さく
できる。このため、超高速動作が要求される分野では本
実施例の構成を採ることが望ましい。
【0013】図4は、図1の実施例に対応するPROM
及び制御回路の例を示したものである。PROM Pは
ヒュ−ズと抵抗で構成される。抵抗の値はヒュ−ズが接
続された状態でのヒューズの抵抗値よりも大きくし、ま
たノイズが大きくならない程度の抵抗値に設定する。こ
れにより、ヒュ−ズが接続されている状態でのPROM
の出力は '1’となる。一方、ヒュ−ズが切断される
と、その出力は '0’となる。DA0〜DA3は不良ビ
ットのアドレスを示し、ESは不良ビットの有無を示し
ている。制御回路CNTLは同図に示すように構成す
る。特に限定されないが、制御回路CNTLはCMOS
回路で構成することが望ましい。PROMの出力信号D
A0〜DA3,ESは直流信号であるので制御回路CN
TLを構成する回路の動作速度は低速でも構わない。従
って、本回路をCMOS回路で構成することによって、
制御回路の消費電力をほぼ0にすることができ、かつ、
占有面積を非常に小さくできる。
【0014】図5は、図1の実施例に対応するPROM
及び制御回路のもう一つの例を示したものである。本実
施例は、図4の実施例の部分回路PCを削除し、制御回
路を簡略化した例である。図4の実施例では、部分回路
PCにより制御信号SA0〜SA3,SB0〜SB3を
発生していたが、本実施例ではPCを削除し、これらの
信号をPROM Pにより直接発生させる。不良ビット
がない場合は、ヒュ−ズを切断しない。本実施例のヒュ
−ズは低電位側に接続されているため、ヒュ−ズが接続
されている状態ではPROMの出力は低電位( '0’)
となる。従って、 SA0〜SA3= '0’ SB0〜SB3= '0’ E0〜E15= '0’ ES= '1’ となり、本体デコ−ダは全て活性状態となり、予備デコ
−ダは非活性状態となる。すなわち、アドレス信号に応
じて本体メモリがアクセスされ、予備メモリはアクセス
されない。一方、不良ビットが有った場合、例えば、ワ
−ド線W0に接続されているメモリセルに不良が有った
場合を考える。この時は、ヒュ−ズF10,F20を切
断する。これにより、 SA0= '1’ SA1〜SA3= '0’ SB0= '1’ SB1〜SB3= '0’ E0= '1’ E1〜E15= '0’ ES= '0’ となり、ワ−ド線W0は非選択状態(低電位)に固定さ
れ、ワ−ド線W0の代わりに予備メモリのワ−ド線WS
が選択されるようになる。以上説明したように、本実施
例のような構成にしても制御回路を実現できる。
【0015】図6は、図3の実施例に対応するPROM
及び制御回路の例を示したものである。PROM Pの
構成は図4の実施例と同じである。制御回路CNTLは
同図に示すように構成する。本回路も図4の実施例と同
様の理由により、CMOS回路で構成することが望まし
い。これにより、制御回路の消費電力をほぼ0にするこ
とができ、かつ、占有面積を非常に小さくできる。ま
た、図5の実施例と同様の方法により制御回路の構成を
簡略化することも可能である。
【0016】図7は、図1の実施例をECL回路を基本
に具体化した例を示したものである。入力バッファIB
は、1入力ECL回路AB0〜AB3で構成し、アドレ
ス信号の肯定及び否定信号を発生する。プリデコ−ダP
D0,PD1はワイア−ドオア回路OR0〜OR3で構
成する。本体デコ−ダのNOR回路は3入力ECL回路
で構成し、2つの入力端子にはプリデコ−ド信号を、1
つの入力端子には制御信号(E0等)を印加する。予備
デコ−ダは本体デコ−ダと同じく3入力ECL回路で構
成し、2つの入力端子にはスイッチ回路SLA,SLB
によりプリデコ−ド信号のうち2つを選択し接続する。
そして、残りの入力端子には制御信号ESを印加する。
本実施例と組み合わせるのに好適なメモリセルとして
は、例えば、「電子通信学会論文誌 '83/12 Vol. J66-C
No. 12 P935-942」に記載されているようなバイポ−ラ
型のメモリセル、或いは、「公開特許公報 平3−76
096号」に記載されているような低電源電圧型のCM
OSメモリセルなどが挙げられる。
【0017】図8は、図7の本体デコ−ダのNOR回路
(N0等)の別の例を示したものである。本回路は、ト
ランジスタQ1〜Q4、電流源I1,I2、抵抗R1か
らなる2入力ECL NOR回路と、MOSトランジス
タMN1,MN2、インバ−タINVから成りトランジ
スタQ3のベ−ス電位を制御するスイッチ回路から構成
される。制御信号E0が '0'(活性状態)の場合は、
MOSトランジスタMN2が導通し、トランジスタQ3
のベ−スにはVBBが印加され、プリデコ−ド信号に応
じてワ−ド線W0の選択、非選択が切り換わる。一方、
制御信号E0が'1'(非活性状態)の場合は、MOSト
ランジスタMN1が導通し、トランジスタQ3のベ−ス
とエミッタは短絡され、プリデコ−ド信号に関わらず、
ワ−ド線W0は低電位に固定される。本実施例ではNO
R回路を2入力で構成できるので図7のNOR回路に比
べ高速動作が期待できる。
【0018】図9は、図7の予備デコ−ダのNOR回路
NSの別の例を示したものである。本回路は、トランジ
スタQ5〜Q8、電流源I3,I4、抵抗R2からなる
2入力ECL NOR回路と、MOSトランジスタMN
3,MN4から成りトランジスタQ5,Q6のベ−ス電
位を制御するスイッチ回路から構成される。制御信号E
Sが '0'(活性状態)の場合は、MOSトランジスタ
MN3,MN4が非導通となり、トランジスタQ5,Q
6のベ−スにはスイッチ回路SLA,SLBを通してプ
リデコ−ド信号が印加され、プリデコ−ド信号に応じて
ワ−ド線WSの選択、非選択が切り換わる。一方、制御
信号ESが '1'(非活性状態)の場合は、MOSトラ
ンジスタMN3,MN4が導通し、トランジスタQ5,
Q6のベ−スとコレクタは短絡され、プリデコ−ド信号
に関わらず、ワ−ド線WSは低電位に固定される。本実
施例ではNOR回路を2入力で構成できるので図7のN
OR回路に比べ高速動作が期待できる。以上、本体及び
予備デコ−ダのECL回路による実施例を挙げたが、こ
れらのデコーダをバイポーラトランジスタとMOSトラ
ンジスタの複合回路で構成することにより高速性が得ら
れる。またこれらの回路はもちろん、CMOS,BiC
MOS回路で構成しても良い。図7の実施例よりも消費
電力の小さなデコ−ダ回路として、特願平4−3181
61号に記載されたものがある。
【0019】図10は本発明の第9の実施例であり、こ
のデコ−ダ回路を本発明に適用した例を示したものであ
る。以下、本デコ−ダそのものの構成及び動作を簡単に
説明し、その後本発明に適用した場合の動作を説明す
る。IBは入力バッファ、PD0,PD1はプリデコ−
ダ、MDは本体デコ−ダ、MMCAは本体メモリであ
る。プリデコ−ダPD0はOR回路で構成され、4本の
プリデコ−ド信号B0〜B3のうち1本だけが低電位、
残りの3本が高電位となる。また、プリデコ−ダPD1
はNOR回路で構成され、4本のプリデコ−ド信号C0
〜C3のうち1本だけが高電位、残りの3本が低電位と
なる。本体デコ−ダMDはBK0〜BK3の4つのブロ
ックから成り、それぞれのブロックはまた4つのデコ−
ダG0〜G3からなる。デコ−ダG0はトランジスタQ
10,R10からなるデコ−ド部と、トランジスタMP
10,MN10,MN11,MN12,Q11,Q12
及びダイオ−ドD10からなるBiCMOSドライバ部
から構成される。デコ−ダG0〜G3のトランジスタQ
10のエミッタ及びトランジスタQ14のエミッタは電
流源I10に接続されており、電流スイッチを構成して
いる。そして、トランジスタQ14のベ−スはプリデコ
−ド信号B0に、デコ−ダG0〜G3のトランジスタQ
10のベ−スはそれぞれプリデコ−ド信号C0〜C3に
接続されている。プリデコ−ド信号B0〜B3はBK0
〜BK3のどのブロックを選択するかを表しており、プ
リデコ−ド信号C0〜C3はG0〜G3のどのデコ−ダ
を選択するかを表している。例えば、B0が低電位とな
るとブロックBK0が選択され、この時C0が高電位で
あると、デコ−ダG0が選択され、トランジスタQ10
に電流が流れ、そのコレクタ電位が低電位となる。これ
をBiCMOSドライバ(インバ−タ)で反転して、ワ
−ド線W0が高電位(選択状態)となる。本実施例で
は、4つのデコ−ダG0〜G3で電流源I10を共有
し、選択状態のデコ−ダにのみ電流が供給され、残りの
3つのデコ−ダには電流は流れない。従って、図7の実
施例のように、各デコ−ダに電流源を備える場合に比べ
消費電力を減らすことができる。
【0020】次に、このデコ−ダを本発明に適用した場
合の構成と動作について説明する。欠陥救済回路として
追加する回路は、予備プリデコ−ダSPD0,SPD
1、予備デコ−ダSD、予備メモリSMCAと、トラン
ジスタQ13及びMN13である。予備プリデコ−ダS
PD0,SPD1は本体プリデコ−ダPD0,PD1と
同様にOR回路ORSと、NOR回路NORSと、それ
らの入力を切り換えるスイッチ回路SLA,SLB,S
LC,SLDで構成する。予備デコ−ダSDは、本体デ
コ−ダと同様に、トランジスタQ20,Q23,Q2
4,R20からなるデコ−ド部と、トランジスタMP2
0,MN20,MN21,MN22,Q21,Q22及
びダイオ−ドD20からなるBiCMOSドライバ部か
ら構成される。スイッチ回路の制御信号SA0,SA
1,SB0,SB1,SC0,SC1,SD0,SD1
により、任意のアドレスと対応付けて予備メモリをアク
セスするようにできる。トランジスタQ13及びMN1
3は制御信号E0が '1’のときワ−ド線W0を非選択
状態(低電位)に固定する働きを持つ。制御信号E0の
'1’状態は0Vに相当するため、トランジスタQ10
のコレクタはプリデコ−ド信号がどのように切り換わっ
ても、トランジスタQ13によりクランプされて、−V
BE(VBE:ベ−ス・エミッタ間電圧、約0.8V)
以下にはならなくなる。このため、BiCMOSインバ
−タの出力は低電位に固定される。なお、PMOSのし
きい値が−0.8V以上であった場合は、PMOSが弱
く導通してBiCMOSインバ−タの出力が完全に低電
位にならない恐れがある。これを避けるには、MP10
のドレインにNMOS MN13を同図のように接続す
れば良い。すなわち、制御信号E0が高電位となるとM
N13が導通し、インバ−タの出力を完全に低電位に固
定することができる。トランジスタQ10のコレクタを
クランプする手段として、バイポ−ラトランジスタQ1
3の代わりにPMOSを使用しても良い。ただし、この
場合はPMOSのゲ−トに制御信号E0の反転信号を印
加する必要がある。PMOSのゲ−ト幅を大きくするこ
とで、トランジスタQ10のコレクタ電位を−0.8V
よりも高い電位にクランプできる。ただし、PMOSの
ゲ−ト幅を大きくし過ぎると寄生容量が増えるため、動
作速度が低下する恐れがある。このため、クランプ手段
としては、トランジスタの特性に応じて、バイポ−ラト
ランジスタとPMOSを使い分けることが望ましい。以
上述べたように、本実施例によれば欠陥救済機能を有し
た消費電力の小さいメモリを実現できる。
【0021】図11は、メモリチップ上の回路配置を考
慮して、図1と図4の実施例を書き直したものである。
本実施例では、図4の制御回路CNTLの一部分、NA
0,INV0を本体デコ−ダMDの中に配置し、残りの
部分回路PCを本体デコ−ダの外部に配置する。そし
て、本体デコ−ダに沿って部分回路PCの出力SA0〜
SA3,SB0〜SB3の配線を配置する。この様な配
置を採ることにより、本体デコ−ダに沿って配置する配
線数を減らすことができるので、メモリチップの面積を
減らすことができる。また、先に説明したようにNA
0,INV0等の回路はCMOS回路で構成できるた
め、このように構成しても本体デコ−ダの面積増加は非
常に小さい。このような回路配置は、図1の実施例だけ
でなく、先に述べた全ての実施例に適用できることはも
ちろんである。
【0022】半導体メモリに多発する不良の1つとし
て、隣接するワ−ド線或いはビット線の短絡に起因する
ものがある。この場合は、2本のワ−ド線(或いはビッ
ト線)が対になって不良となる。この不良は図12の実
施例により救済できる。図12は、2本ワ−ド線或いは
ビット線が対になって不良となった場合の救済法を示す
実施例である。本実施例は図3の実施例を基に若干の変
更を加えたものである。第1に、本体デコ−ダの制御端
子は2本ずつ接続し、制御信号を印加する。例えばN0
とN1の制御端子を接続して制御信号E0を印加する。
これにより、2本のワ−ド線(例えばW0,W1)を非
選択状態に固定できる。第2に、予備メモリSMCA及
び予備デコ−ダSDはワ−ド線2本分用意し、かつ、予
備プリデコ−ダNSP0,NSP1にはアドレス信号A
0の肯定及び否定信号を直接に、A1をスイッチ回路S
LBを介して接続するようにする(図3ではA0もスイ
ッチ回路SLAを介して接続されている)。今例えば、
ワ−ド線W0,W1が短絡する不良が有ったとする。こ
の場合は、信号ESが '0’に、信号DA1〜DA3が
全て '0’になるようにPROMをプログラムする。本
実施例に対応する制御回路CNTLは例えば図13のよ
うに構成されており、 E0= '1’ E1〜E7= '0’ SB0= '1’ SB1= '0’ SC0= '1’ SC1= '0’ SD0= '1’ SD1= '0’ となる。これにより、本体デコ−ダMDのN0,N1は
常に非活性状態となり、ワ−ド線W0,W1は低電位に
固定される。一方、スイッチ回路により、予備プリデコ
−ダNSP0にはA0の肯定信号とA1の肯定信号が接
続され、予備プリデコ−ダNSP1にはA0の否定信号
とA1の肯定信号が接続され、予備プリデコ−ダNSP
2にはA2,A3の肯定信号が接続される。従って、0
番地のアドレス信号が入力された時は、NS0の出力が
高電位となり、予備ワ−ド線WS0がアクセスされ、1
番地のアドレスが入力されたときは、NS1の出力が高
電位となり、ワ−ド線WS1がアクセスされる。以上説
明したように、本実施例によればワ−ド線或いはビット
線2本が短絡した不良も救済することができる。
【0023】図13は、図12の実施例に対応するPR
OM及び制御回路の実施例を示したものである。図12
の実施例ではワ−ド線或いはビット線を2本1組で予備
メモリと置き換えるため、不良ビットのアドレス信号は
DA1〜DA3の3本で良い。DA1〜DA3をデコ−
ドしてE0〜E7を発生し、デコ−ドと中の信号からS
B0,SB1,SC0,SC1,SD0,SD1が得ら
れる。本回路もCMOS回路で構成することが望まし
い。CMOSを使うことにより、制御回路の消費電力を
ほぼ0にすることができ、かつ、占有面積を非常に小さ
くできる。また、図5の実施例と同様の方法により、制
御回路の構成を簡略化することも可能である。
【0024】図14は、ワ−ド線4本を1ブロックと
し、予備ワ−ド線とブロック単位で置き換える実施例を
示している。予備デコ−ダは4組(NS0〜NS3)、
予備メモリSMCAは予備ワ−ド線4本からなる。PR
OM及び制御回路は図15のように構成すれば良い。プ
リデコ−ダPD1に正規ワ−ド線を非活性化させる制御
端子を設け、そこに制御信号G0〜G3を印加する。こ
れにより、ワ−ド線のブロック(4本)を非活性化する
ことができる。例えば、G0を高電位にするとプリデコ
−ド信号C0が高電位に固定され、ワ−ド線W0〜W3
(W2,W3は図示せず)が非選択状態となる。一方、
予備プリデコ−ダNSP1にはスイッチ回路SLC,S
LDを介して、アドレス信号A2,A3の肯定或いは否
定信号が入力される。この信号により、4つの予備デコ
−ダNS0〜NS3が選択され、予備メモリがアクセス
される。本実施例によれば、回路数の多い本体デコ−ダ
に非活性化端子を設ける必要がないため、欠陥救済回路
を設けたことによる面積増加を小さくすることができ
る。
【0025】図15は、図14の実施例に対応するPR
OM及び制御回路の実施例を示したものである。図14
の実施例ではワ−ド線或いはビット線を4本1組で予備
メモリと置き換えるため、不良ビットのアドレス信号は
DA2,DA3の2本で良い。DA2,DA3をデコ−
ドしてG0〜G3を発生し、デコ−ド途中の信号からS
C0,SC1,SD0,SD1が得られる。本回路もC
MOS回路で構成することが望ましい。CMOSを使う
ことにより、制御回路の消費電力をほぼ0にすることが
でき、かつ、占有面積を非常に小さくできる。また、図
5の実施例と同様の方法により、制御回路の構成を簡略
化することも可能である。
【0026】以上の本発明の欠陥救済回路によれば高速
性が得られるが、その上に、MOSトランジスタを用い
たメモリセルと組み合わせることにより面積が小さくな
り高集積性が得られる。
【0027】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、不
良ビットのアドレス情報を記憶したPROMと、制御回
路により不良ビットを含むワ−ド線或いはビット線を非
選択状態に固定し、予備デコ−ダの入力端子に、プリデ
コ−ド信号のうち不良アドレスに対応するものをスイッ
チを介して接続する。すなわち、不良アドレスに対応す
るアクセスパスを本体デコ−ダから予備デコ−ダへと変
更することにより、不良ビットを救済する。このため、
アドレス比較回路は不要となり、本体メモリをアクセス
する場合も、予備メモリをアクセスする場合もワ−ド線
或いはビット線までの論理段数は同じとなり、予備メモ
リをアクセスした場合でも遅延時間はほとんど増加しな
いようにできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の基本的な実施例を示す図。
【図2】従来技術を示す図。
【図3】本発明の基本的な実施例を示す図。
【図4】本発明の制御回路の実施例を示す図。
【図5】本発明の制御回路の実施例を示す図。
【図6】本発明の制御回路の実施例を示す図。
【図7】本発明をECL回路で具体化した実施例を示す
図。
【図8】本発明の正規デコ−ダの実施例を示す図。
【図9】本発明の予備デコ−ダの実施例を示す図。
【図10】本発明に低電力デコ−ダを適用した実施例を
示す図。
【図11】本発明の回路配置の実施例を示す図。
【図12】正規メモリセルアレ−を2行1組で予備メモ
リと置き換える実施例を示す図。
【図13】本発明の制御回路の実施例を示す図。
【図14】正規メモリセルアレ−を4行1組で予備メモ
リと置き換える実施例を示す図。
【図15】本発明の制御回路の実施例を示す図。
【符号の説明】
IB…入力バッファ PD0,PD1…プ
リデコ−ダ MD…本体デコ−ダ MMCA…本
体メモリ SD…予備デコ−ダ SMCA…予
備メモリ P…PROM CNTL…制御
回路 SLA,SLB,SLC,SLD…スイッチ回路 E0〜E15…制御信号 DA0〜DA3…不
良アドレス信号
フロントページの続き (72)発明者 金谷 一男 東京都国分寺市東恋ケ窪1丁目280番地 株式会社日立製作所 中央研究所内 (72)発明者 出井 陽治 東京都国分寺市東恋ケ窪1丁目280番地 株式会社日立製作所 中央研究所内 (72)発明者 楠 武志 千葉県茂原市早野3681番地 日立デバイ スエンジニアリング株式会社内 (72)発明者 増田 徹 東京都国分寺市東恋ケ窪1丁目280番地 株式会社日立製作所 中央研究所内 (56)参考文献 特開 平4−102299(JP,A) 特開 昭63−220500(JP,A) 特開 平5−234395(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G11C 29/00 603

Claims (7)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ワード線とビット線との交点に配置された
    複数個のメモリセルを備える本体メモリセルアレーと、 アドレス信号から中間信号を生成する第1の回路手段と
    前記中間信号から前記ワード線の一本及び前記ビット線
    の少なくとも一本を選択的に駆動するための第1のセル
    選択信号を生成する第2の回路手段とを備えるデコーダ
    部と、 それぞれが前記本体メモリセルアレイ中に見出された不
    良メモリセルに代って用いられる複数個のメモリセルを
    備える予備メモリセルアレイと、 前記デコーダ部から前記中間信号を受けるため前記デコ
    ーダ部に接続された予備デコーダと、 前記本体メモリセルアレイが少なくとも1つの不良メモ
    リセルを含んでいることを示す第1の情報と、前記本体
    メモリセルアレイ中の少なくとも1つの不良メモリセル
    のアドレスを示す第2の情報とを記憶する不揮発性メモ
    リと、 前記第1の情報に基づくセル不良信号と、前記第2の情
    報に基づく不良セルアドレス信号とを生成し、前記セル
    不良信号及び前記不良セルアドレス信号に応答して、前
    記デコーダ部の前記第2の回路手段に供給されるべき第
    1の制御信号と、前記予備デコーダに供給されるべき第
    2の制御信号とを生成するための制御回路とを含み、 前記デコーダ部は、前記第1の制御信号により前記不良
    セルアドレス信号により表されたアドレスをもつ不良メ
    モリセルに関するワード線及びビット線の中の少なくと
    も一方の駆動を禁止し、 前記予備デコーダは前記第2の制御信号と前記中間信号
    とにより、前記予備メモリセルアレイ中のメモリセルを
    選択的にアクセスするための第2のセル選択信号を生成
    し、 前記予備メモリセルアレイ中の前記のアクセスされたメ
    モリセルは、前記不良セルアドレス信号により表された
    アドレスをもつ前記本体メモリセルアレイの不良メモリ
    セルの代りに用いられることを特徴とする半導体メモリ
    装置。
  2. 【請求項2】 請求項1において、 前記デコーダ部の第1の回路手段からの中間信号は複数
    個のビットをもつマルチビット中間信号であり、 前記予備デコーダは、前記マルチビット中間信号のビッ
    トを受け前記マルチビットの中間信号のビットのうち前
    記制御回路からの第2の制御信号により選択されたビッ
    トを選択的に通過させるスイッチ回路と、 前記制御回路からのセル不良信号により動作可能にされ
    て前記マルチビット中間信号の選択されたビットから前
    記第2のセル選択信号を生成する予備回路手段とを含む
    ことを特徴とする半導体メモリ装置。
  3. 【請求項3】 請求項2において、 前記本体デコーダの第1の回路手段は、前記予備デコー
    ダのスイッチ回路に受けられるべき前記マルチビット中
    間信号として作用する第1のマルチビットプリデコード
    信号を前記アドレス信号から生成するプリデコーダを含
    み、 前記デコーダ部の第2の回路手段は、前記第1のマルチ
    ビットプリデコード信号から前記第1のセル選択信号を
    生成する本体デコーダを含み、 前記予備デコーダの予備回路手段は、前記スイッチ回路
    から前記マルチビット中間信号の選択されたビットを受
    けて前記第2のセル選択信号を生成するための回路を備
    えることを特徴とする半導体メモリ装置。
  4. 【請求項4】 請求項2において、 前記デコーダ部の第1の回路手段は、前記アドレス信号
    から前記マルチビット中間信号を生成する入力バッファ
    を含み、 前記デコーダ部の第2の回路手段は、前記マルチビット
    中間信号から第1のマルチビットプリデコード信号を生
    成するプリデコーダと前記第1のマルチビットプリデコ
    ード信号から前記第1のセル選択信号を生成する本体デ
    コーダとを含み、 前記予備デコーダの第3の回路手段は、前記スイッチ回
    路から前記マルチビット中間信号の選択されたビットを
    受けて第2のマルチビットプリデコード信号を生成する
    ための第1の回路と前記第2のマルチビットプリデコー
    ド信号から前記第2のセル選択信号を生成するための第
    2の回路とを備えることを特徴とする半導体メモリ装
    置。
  5. 【請求項5】 請求項4において、 前記制御回路からの第1の制御信号は複数個のビットを
    もつマルチビット制御信号であり、 前記第2の回路手段で構成された前記本体デコーダは、
    前記ワード線あるいはビット線の異なる1つに接続され
    る出力端子と、前記マルチビット中間信号のいくつかの
    ビットを受げるように接続されるデコード入力端子と、
    前記第1のマルチビット制御信号のビットの1つを受け
    るように接続された制御入力端子とをそれぞれ備える複
    数個の論理ゲート回路を含んでいることを特徴とする半
    導体メモリ装置。
  6. 【請求項6】 請求項5において、 隣接する2本のワード線あるいはビット線に出力端子が
    接続された2本の前記論理ゲート回路は、それらの制御
    入力端子が相互に接続されて前記第1のマルチビット制
    御信号の同一のビットを受けるようになっており、 前記不良セルアドレス信号は、前記隣接する2本のワー
    ド線あるいはビット線に関係する複数個のメモリセルの
    アドレスを代表していることを特徴とする半導体メモリ
    装置。
  7. 【請求項7】 請求項4において、 前記制御回路からの制御信号は複数個のビットをもつマ
    ルチビット制御信号であり、 前記デコーダ部内の第2の回路手段を含む本体デコーダ
    は、前記第1のマルチビットプリデコード信号の1つの
    ビットが送出される出力端子と、前記マルチビット中間
    信号のいくつかのビットを受けるように接続されたデコ
    ード入力端子と、前記第1のマルチビット制御信号のビ
    ットの1つを受けるように接続された制御入力端子とを
    それぞれ備える複数個の第1の論理ゲート回路を含んで
    おり、 前記デコーダ部内の第2の回路手段を含む本体デコーダ
    は、前記ワード線あるいはビット線の異なる1つに接続
    された出力端子と、前記マルチビット中間信号のいくつ
    かのビットを受けるように接続されたデコード入力端子
    とをそれぞれ備える複数個の第2の論理ゲート回路を含
    んでいることを特徴とする半導体メモリ装置。
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