JP3193579B2 - ゲート駆動回路及びゲート駆動電圧を発生する方法 - Google Patents
ゲート駆動回路及びゲート駆動電圧を発生する方法Info
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Description
FETのゲートに印加されるゲート駆動電圧を発生する
ゲート駆動回路及びゲート駆動電圧を発生する方法に関
する。
テリーから電力を供給される装置を利用する場合、バッ
テリーを再充電するまで長時間利用できる装置が要求さ
れてきた。この要求によって、第1バッテリー、第2バ
ッテリー、・・・が順番に装置に接続された、カスケー
ド接続されたバッテリー回路が開発された。このような
回路には、よくAC/DCコンバータが備わっており、
近くにAC電源があるときは、バッテリーの電力を節約
することができる。外付けのバックアップ用バッテリー
のための接続部が設けられることもある。
第1バッテリーB1と第2バッテリーB2が各々スイッ
チS1とS2を介して負荷Lに接続されており、この負
荷Lは、例えばノートブック型コンピュータに電力を供
給するDC/DCコンバータであってもよい。電源の接
続は、バスBを通して行われる。
接続されており、このAC/DCコンバータC3はスイ
ッチS3を介して電力を供給する。第1バッテリーB1
から供給される電圧はV1、第2バッテリーB2から供
給される電圧はV2、AC/DCコンバータC3から供
給される電圧はV3である。バックアップ用バッテリー
B4もまたバスBに接続されている。
時は、通常、スイッチS1、S2及びS3の何れか1つ
が閉じ、その他のスイッチは開いた状態となっている。
例えば、第1のバッテリーB1から電力が供給される場
合、スイッチS1が閉じ、スイッチS2及びS3は開い
ている。
チS1、S2及びS3の両端の電圧は、その大きさと方
向の両方が変わることがある。このことが図2〜図4に
例示されている。図2に示されるように、例えば、バッ
テリーB2の出力電圧V2は、ある時刻で14Vとなる
ことがある。そのときバッテリーB2から電力が供給さ
れるているとすると、バス電位Vbusも14Vとなる。
バッテリーB1は、十分に充電されている場合、その出
力電圧V1は18Vとなる。この場合、スイッチS1の
左側の方が高電位になる。一方、バッテリーB1が放電
し、例えば、V1=6Vとなっている以外は同じ状態を
仮定すると、この場合、スイッチS1の右側が高電位に
なる。その様子が図3に示されている。第3の例が図4
に例示されており、この例ではバッテリーB1は放電
し、バッテリーB2は十分に充電されていて、バスBは
AC/DCコンバータC1によって電力を供給されてい
る。この例では、V1=6V、V2=17V、V3=1
2Vとなっている。この場合、スイッチS1はその右側
が高電位となり、スイッチS2はその左側が高電位とな
る。
も、どちらの方向の電圧にも耐えられなければならな
い。確実にわかっているのは、これらのスイッチに印加
される電位は、全てグランド電位よりは高いということ
だけである。
ような内部充電器が備え付けられていてもよい。充電器
C5は、スイッチS4を介してバッテリーB1に接続さ
れており、かつスイッチS5を介してバッテリーB2に
接続されている。充電器C5には、AC/DCコンバー
タC3の出力端から電力を供給するか、(所望に応じ
て)AC電源から直接電力を供給することもできる。図
6に例示されているように、充電器C5は、バッテリー
を迅速に充電するために、24V程度の高い電圧を出力
することができる。図6に例示された状態では、バッテ
リーB2が充電中で、バッテリーB1の出力電圧V1は
12Vである。従って、スイッチS4は、12Vの電位
差に耐えなければならない。しかしながら、繰り返し充
電可能なバッテリーは、十分に放電することで寿命が延
びることが知られているので、V1は6V以下になるこ
ともあり、この場合スイッチS4は、その左側が高電位
となり、18V以上の電圧に耐えなければならない。一
方、充電器C5は、動作していないときは短絡特性若し
くは漏れ特性を示すので、その時スイッチS4及びS5
は逆方向の電圧に耐えなければならない。従って、スイ
ッチS4及びS5は、双方向電流阻止スイッチでなけれ
ばならない。
機械的なスイッチからなる場合、問題とならない。しか
し、このようなスイッチは半導体技術、特にMOSFE
T技術を用いて製造されることが好ましい。電力用MO
SFETは通常ソース・ボディ間が短絡されて製造さ
れ、内在する(intrinsic)バイポーラトラン
ジスタ(ソース領域、ボディ領域及びドレイン領域によ
って形成されている)が常にターンオフした状態にるよ
うになっている。従来技術によると、ソース・ボディ間
を良好に短絡することが、信頼性が高く、“寄生バイポ
ーラトランジスタ”の影響のない電力用MOSFETの
動作にとって基本的であると教えている。
によって、MOSFETのドレイン端子とボディ端子と
の間に、MOSFETと電気的に並列なダイオードが形
成される。PチャネルMOSFETでは、ダイオードの
アノードはドレイン領域に接続されており、Nチャネル
MOSFETでは、ダイオードのカソードがドレイン領
域に接続されている。従って、このようなMOSFET
では、ソース・ボディ端子とドレイン端子との間に、
“逆並列”ダイオードが順方向バイアスされるような電
圧を印加してはならない。図7〜図10では、各々、バ
ーチカルNチャネルDMOS(二重拡散MOSFET)
の逆並列ダイオードの極性(図7)と、バーチカルPチ
ャネルDMOSデバイスの逆並列ダイオードの極性(図
8)と、ラテラルNチャネルデバイスの逆並列ダイオー
ドの極性(図9)と、ラテラルNチャネルDMOSデバ
イスの逆並列ダイオードの極性(図10)とが破線によ
って表されている。
流を阻止することはできないため、スイッチS1〜S5
として用いるのには適していない。図2〜図4には、例
として、スイッチS1間及びスイッチS2間の逆並列ダ
イオードが描かれていて、そのアノード端子及びカソー
ド端子は各スイッチを流れる電流を阻止するのに必要な
向きとなっている。しかし、スイッチにかかる電圧の極
性が反転すると、逆並列ダイオードは順方向バイアスさ
れることになる。
3に模式的に例示されているように、2個のMOSFE
Tを背中合わせに接続することである。図11は、共通
のソース領域を有する一対のNMOS素子を例示してお
り、図12は共通のドレイン領域を有する一対のNMO
S素子を例示しており、図13は共通のソース領域を有
する一対のPMOS素子を例示している。しかし、この
ような背中合わせの配列ではスイッチのオン抵抗が2倍
となってしまい、コンピュータ若しくはその他の装置に
供給される電力を大きく減少させてしまう。
備え、しかもドレイン端子とボディ端子との間に逆並列
ダイオードを備えていない双方向電流阻止MOSFET
が必要とされている。
方向電流阻止MOSFETのゲート駆動回路が必要とさ
れている。
のMOSFETと同様のオン抵抗を備え、しかもドレイ
ン端子とボディ端子との間の逆並列ダイオードを動作さ
せない双方向電流阻止MOSFETを提供することであ
る。
を流すことのできる双方向電流阻止MOSFETのゲー
ト駆動回路を提供することである。
向電流阻止MOSFETのゲートに印加されるゲート駆
動電圧を発生するゲート駆動回路であって、前記双方向
電流阻止MOSFETが、ボディ領域と、前記ボディ領
域内に形成された第2導電型のチャネル領域と、前記ボ
ディ領域内に形成されかつ前記チャネル領域によって互
いに分離された第1導電型の第1領域及び第2領域と、
ゲート酸化膜によって前記ボディ領域から分離され、か
つ前記チャネル領域の上に配置されたゲートとを有し、
前記第1領域及び第2領域が、前記ボディ領域から電気
的に絶縁されており、前記ゲート駆動回路が、前記ゲー
ト酸化膜の厚さによって決定される最大の電圧に前記ゲ
ート駆動電圧を制限するための、前記第1領域と、前記
第2領域と、前記ゲートに接続された電圧発生回路を有
することを特徴とするゲート駆動回路を提供することに
よって達成される。
T用のゲート駆動回路が提供される。双方向電流阻止M
OSFETは、第2の導電型のチャネル領域によって隔
てられた第1の導電型の第1領域と第2領域とを含み、
この第1領域と第2領域はMOSFETのソース領域と
ドレイン領域として働く。双方向電流阻止MOSFET
はまた、ボディ領域と、ゲート領域と、ボディ領域とゲ
ート領域との間のゲート酸化膜とを有し、第1領域と第
2領域の何れもがボディ領域と短絡することがなく、第
1の領域と第2領域の電位が、ボディ領域の電位よりも
高く若しくは低く、従ってボディ領域と、第1領域及び
第2領域との間の接合部が順方向バイアスされることを
防止する。
のゲート電圧はゲート酸化膜によって保持される最大電
圧によって限定され、かつ第1領域と第2領域の最も低
い電位によって決定される。
流阻止MOSFETのゲート駆動回路は、第1領域に接
続されたアノードを備えた第1ダイオードと、第2領域
に接続されたアノードを備えた第2ダイオードと、第1
ダイオードと第2ダイオードのカソードに接続されたチ
ャージポンプ回路とを有し、このチャージポンプ回路
は、双方向電流阻止MOSFETのゲートに印加される
ゲート駆動電圧を発生する。グランドに接続されたツェ
ナーダイオードは、ゲート駆動電圧を所定の最大値に制
限するために接続されている。
動電圧は第1領域と第2領域の電位によって決定され、
かつグランドに対して一定の値を有する。これによっ
て、ゲート駆動電圧は、第1領域と第2領域の相対的な
電位に関わらず、双方向の電流の流れを可能とする。
ポンプ回路はゲート駆動電圧を発生し、このゲート駆動
電圧は双方向電流阻止MOSFETのゲートに印加さ
れ、かつゲート駆動電圧が印加されたカソードと、第1
領域に接続されたアノードとを備えた第1ツェナーダイ
ドと、ゲート駆動電圧が印加されたカソードと、第2領
域に接続されたアノードとを備えた第2ツェナーダイオ
ードとを通して第1領域と第2領域とに印加される。更
に、第1ダイオードと第2ダイオードは、第1領域及び
第2領域と、チャージポンプ回路との間に接続されてい
る。
流阻止MOSFETのゲートに加えられる電位は、第1
領域の電位と第2領域の電位のうちの低い電位よりも高
いツェナーダイオードの電圧効果に限定されている。こ
れは、“フローティング”ゲート駆動電圧を生みだし、
このフローティングゲート駆動電圧は、ゲートを第1領
域及び第2領域から隔てるゲート酸化膜の必要な厚さを
低減する。
ポンプ回路はゲート駆動電圧を発生し、このゲート駆動
電圧はPチャネルMOSFETを通して双方向電流阻止
MOSFETのゲートに印加され、かつ電流源を通して
第1領域及び第2領域に印加され、この電流源は、ゲー
ト駆動電圧が印加されたカソードと、第1領域に接続さ
れたアノードとを備えた第1ツェナーダイドと、ゲート
駆動電圧が印加されたカソードと、第2領域に接続され
たアノードとを備えた第2ツェナーダイオードとに接続
されている。第1ツェナーダイオードと第2ツェナーダ
イオードのカソードは、PチャネルMOSFETのゲー
トに接続されている。更に、第1ダイオード及び第2ダ
イオードが、第1領域及び第2領域とチャージポンプ回
路との間に接続されている。所望に応じて設けられるN
チャネルMOSFETが、双方向電流阻止MOSFET
のゲートに接続されており、かつチャージポンプ回路が
PチャネルMOSFETから切り離されたとき、双方向
電流阻止MOSFETのゲートをグランドに接続する。
流阻止MOSFETのゲートに印加された電位は、Pチ
ャネルMOSFETの第1領域と第2領域のうちのより
低い電圧によって制限されている。これによって、上述
された第2実施例と同様の“フローティング”ゲート駆
動電圧が生じ、この第2実施例では、チャージポンプ回
路の負荷は電流源があるために低減されている。更に、
グランドに接続されたNチャネルMOSFETは、チャ
ージポンプ回路が双方向電流阻止MOSFETから切り
離されたときに、ターンオンし、従って双方向電流阻止
MOSFETのゲートをグランドに接続する。
ポンプ回路はフローティングゲート駆動電圧を発生し、
このフローティングゲート駆動電圧は第1デプリーショ
ン型MOSFETと第2デプリーション型MOSFET
を通して双方向電流阻止MOSFETのゲートに印加さ
れる。第1デプリーション型MOSFETのドレイン領
域は、スイッチを通してチャージポンプ回路に接続され
ている。第2デプリーション型MOSFETのドレイン
領域は、第1MOSFETのソース領域に接続されてお
り、第2MOSFETのソース領域は双方向電流阻止M
OSFETのゲートに接続されている。第1デプリーシ
ョン型MOSFETのゲートは第2領域に接続されてお
り、第2デプリーション型MOSFETのゲートは第1
領域に接続されている。所望に応じて設けられるNチャ
ネルMOSFETは双方向電流阻止MOSFETのゲー
トに接続され、かつチャージポンプ回路が第1デプリー
ション型MOSFETから切り離されたときこのゲート
をグランドに接続する。
ルMOSFETはチャージポンプ回路と双方向電流阻止
MOSFETの間に接続されており、第2デプリーショ
ン型MOSFETと第1デプリーション型MOSFET
は、チャージポンプ回路とPチャネルMOSFETのゲ
ートとの間に接続されている。第1デプリーション型M
OSFETのドレイン領域は、スイッチを通してチャー
ジポンプ回路に接続されている。第2デプリーション型
MOSFETのドレイン領域は、第1MOSFETのソ
ース領域に接続されており、第2MOSFETのソース
領域はPチャネルMOSFETのゲートに接続されてい
る。第1デプリーション型MOSFETのゲートは第2
領域に接続されており、第2デプリーション型MOSF
ETのゲートは第1領域に接続されている。所望に応じ
て設けられるNチャネルMOSFETは双方向電流阻止
MOSFETのゲートに接続されており、チャージポン
プ回路が第1デプリーション型MOSFETから切り離
されたときターンオンする。
けば、ゲート駆動電圧は、第1デプリーション型MOS
FETと第2デプリーション型MOSFETの閾値レベ
ルと、第1領域と第2領域のより低い電圧とに制限され
る。
願人による整理番号6293の出願及び整理番号629
5の出願の関連出願であり、これら特許出願明細書はこ
こで言及したことによって本出願の一部とされたい。
双方向電流阻止MOSFETスイッチを例示している。
参考のために双方向電流阻止MOSFETの簡単な説明
が本明細書でなされている。双方向電流阻止MOSFE
Tの構造及び動作に関する更に詳しい説明は、本出願と
同一の出願人によって同日に出願された整理番号629
3の出願の明細書に於いてなされており、この特許出願
はここで言及したことによって本出願の一部とされた
い。
イッチとしての典型的な用途を例示した複数の電源を備
えた構造を示している。双方向電流阻止MOSFETス
イッチ70は、バッテリー72に接続されており、この
バッテリー72は電圧V1を供給し、双方向電流阻止M
OSFETスイッチ71はAC/DCコンバータ73に
接続されており、このAC/DCコンバータ73は電圧
V2を供給する。2つの電源及び2つの双方向電流阻止
MOSFETスイッチが図14に例示されているが、こ
の構造では任意の個数のバッテリーが用いられてよく、
また他の電源が用いられてもよいことは明かである。双
方向電流阻止MOSFETスイッチ70及び71はバス
74に接続されており、このバスからは負荷(図示され
ていない)へ出力電圧Voutが供給されている。
FET70をより詳細に例示している。双方向電流阻止
MOSFET70はラテラルMOSFETであり、その
断面が例示されている。双方向電流阻止MOSFET7
0は好ましくは基板75上にストライプ状若しくは細胞
状のパターンに構成されており、基板75はこの実施例
ではP型の半導体材料からなる。N+領域76及び77
はP基板75の表面に形成されており、かつチャネル領
域78によって互いに分離されている。以下の説明で
は、動作中以外は、N+領域76及びN+領域77の何
れが、より高い正の電位であるかを決定できないので、
N+領域76及びN+領域77のどちらがソース領域領
域であってドレイン領域であるかを特定できないが、N
+領域76及びN+領域77は任意にソース領域領域及
びドレイン領域と呼ばれる。ゲート79はチャネル領域
78の上に形成され、酸化膜80によってチャネル領域
78から分離されている。双方向電流阻止MOSFET
70は対称的な構造のデバイスであり、N+領域76と
N+領域77の何れもが正または負にバイアスされるの
で、N+領域76とN+領域77の何れもが、ソース領
域領域及びドレイン領域として指定されないことが注意
される。端子81はN+領域76をバッテリー72に接
続し、端子82はN+領域77をバス74に接続してい
る。ゲート79は、本発明に基づくゲート駆動回路から
ゲート電圧Vgを供給されており、このゲート駆動回路
は以下に詳しく説明される。最後にグランドに接続され
たP基板76とN+領域76との接合部がダイオードD
1として表現され、グランドに接続されたP基板75と
N+領域77との接合部がダイオードD2として表現さ
れている。
MOSFET90を例示しており、この双方向電流阻止
MOSFET90は高い電圧(約14V以上)で用いら
れる場合、図15のドリフトされていない双方向電流阻
止MOSFET70の代わりに用いることができる。双
方向電流阻止MOSFET90はN−ドリフト領域92
及び93を含み、このN−ドリフト領域92及び93
は、双方向電流阻止MOSFET90がオフ状態の時、
ゲート95と拡散N+ソース領域/ドレイン領域との間
の電界強度を制限し、酸化膜94のブレークダウン電圧
を改良する。双方向電流阻止MOSFET90が指定さ
れた動作範囲で導通するために、ゲートはグランドに対
して十分に正にバイアスされていなければならないの
で、ゲート95をチャネル領域96から分離している酸
化膜94は所定の最大のゲート電圧が印加されたときに
ブレークダウンを起こさないように十分な厚さを有して
いなければならない。所定の状況で、双方向電流阻止M
OSFET90の何れのN+領域も“ドレイン”領域と
して働いても良いので、ドリフト領域はチャネル領域の
両側に形成されていなければならない。
止MOSFET70とドリフトされていない双方向電流
阻止MOSFET90の各々は、対称的な形状を有す
る。即ち、ドレイン領域とソース領域領域の何れもがボ
ディ領域に接続されていない。一般的に、ドリフトされ
ていない双方向電流阻止MOSFET70は、14Vよ
り高い電圧によってゲート酸化膜80に強電界が発生
し、ゲート79の下でアバランシェブレークダウンが生
ずるために、双方向電流阻止MOSFET70は、14
V以下の電圧に対して用いられる。ドリフトされた双方
向電流阻止MOSFET90は、その構造に応じて、1
8V未満若しくは26V(より高い電圧)未満で用いる
ことができる。
動回路の構造の最適化図17及び図18は、上述された
ドリフトされていない双方向電流阻止MOSFET70
の基本的な制限を例示している。図17に示されている
ように、オフ状態では、ゲート79とボディ領域75が
グランドに接続されている。バッテリー72に接続され
た端子81は、電位Vbattにバイアスされている。もう
一方の端子82は電位Vbusにバイアスされている。図
18に示されているように、ゲート79は、高濃度にド
ープされた領域N+領域76及びN+領域77の一部と
重なりあっているので、印加されたバイアス電圧の概ね
全体(電位Vbusと電位Vbatとの電位差)が、オフ状態
の間ゲート酸化膜80に亘って保持されなければならな
い。定格の50%である8Vのバイアス電圧に対して、
ゲート酸化膜80の厚さは16Vのゲート酸化膜破壊電
圧を保証するために、160オングストローム以上でな
ければならない。
依存することを確実にするために、ゲート酸化膜の厚さ
が必要であることが良く知られている。この3つの変数
は以下に説明される。
レイン電圧)であり、この閾値電圧は0.7Vから2.
5Vである。
に必要な、閾値電圧を越えたオーバードライブの程度で
あり、このオーバードライブの程度は閾値電圧よりも4
Vから10V高い値である。
動電圧若しくはソース領域の電位を基準としたゲート駆
動電圧(例えば、最も低く正にバイアスされた拡散領域
の電位)の何れかを供給するゲート駆動回路。
3によって駆動されている。ドリフトされていない双方
向電流阻止MOSFETの固定された8Vゲート駆動電
圧の効果を例示している。図19に示されているよう
に、オフ状態では、ゲート1101はグランドに接続さ
れており、ドレイン領域1102は5Vバッテリー11
03に接続されており、ソース領域1104は負荷11
05に接続されており、この負荷1105は静電容量と
して図示されている。図20に示されているように、M
OSFETがターンオンする時刻t1では、8Vのゲー
ト駆動電圧がゲート1101に印加され、ゲート酸化膜
1106の両端のゲート・ソース電圧Vgsは8Vとな
る。ゲート・ソース電圧Vgsが高い値であるために低い
オン抵抗を伴って、ドレイン領域1102からソース領
域1104へ電流が流れる。図21に示されているよう
に、MOSFET1100がターンオンした後の時刻t
2では、負荷電圧は5Vに達し、従ってゲート・ソース
電圧Vgsが3Vに低下し、ゲート・ソース電圧Vgsが低
下することによって、MOSFET1100のオン抵抗
が増加する。言い換えれば、ゲート駆動電圧をMOSF
ETの電源の電圧に制限し、ゲート駆動電圧をグランド
電位を基準とすることによって、ゲート・ソース電圧V
gsは負荷電圧が増加するときに減少し、従ってMOSF
ET1100がオフ状態からオン状態に遷移する間にM
OSFET1100のオン抵抗が増加する。
い双方向電流阻止MOSFET1200のオン抵抗を低
減する方法を例示している。図22に示されているよう
に、15V一定のゲート電位VgがMOSFET120
0のゲート1201に印加されている場合、MOSFE
T1200のターンオン後の時刻t2で、ゲート・ソー
ス電圧Vgsが10Vとなる。ゲート電位Vgが高いため
に、ソース領域1204とドレイン領域1202との間
に極小のオン抵抗が形成される。しかし、固定されたゲ
ート電位Vgが用いられているために、ゲート領域12
01とソース領域1204を分離しているゲート酸化膜
1206の両端には、MOSFET1200がターンオ
ンした時刻t1で、15Vのゲート・ソース電圧Vgsが
発生する。即ち、15Vの電圧がゲート酸化膜1206
に印加されることになる。50%のゲート電圧Vgの値
を用いた場合、15Vのゲート・ソース電圧Vgsによっ
て、ゲート酸化膜1206は300オングストローム以
上の値となる。
ース領域1304を基準とし、かつ負荷電圧と共にフロ
ート状態となっている、ドリフトされていない双方向電
流阻止MOSFET1300のオン抵抗を低減する他の
方法を例示している。この場合、ゲート・ソース電圧V
gsは常に10V一定であり、従って耐圧の高いゲート酸
化膜1306を必要としなくなる。フローティングゲー
ト駆動回路のゲート電圧Vgのゲート・グランド基準電
圧は、ソース電圧Vsに10Vを加えた値として表現で
きる。
蔽する反転相が形成されることによって、ゲート酸化膜
1306は10V以上の電圧には耐えられないことに注
意されたい。従って、電流が流れている間、一方の領域
1304若しくは領域1302が常により高い正の電位
を有している場合、ゲート駆動回路は他方のより電位の
低い領域を基準とすることができる。このようなゲート
駆動回路とMOSFET1300との組合せは、2つの
方向の電流を阻止し、かつ1つの方向に電流を流すMO
SFET、即ちMOSFET1300のドレイン領域1
302からソース領域1304への電流のみを保持する
MOSFETを生み出す。領域1302と領域1304
のより高い電位が基準とされた場合、MOSFET13
00がターンオンした瞬間、ゲート酸化膜はソース領域
の電位と10Vのゲート駆動電圧の両方に耐えなければ
ならない。しかし、多くのカスケード接続されたバッテ
リーの応用例では、上述されたように、より電位の高い
領域及びより電位の低い領域は知られておらず、即ち、
バスの電位と比較してバッテリー1307が放電されて
いるか若しくは新たに充電されているかによってMOS
FET1300が導通するとき、領域1302若しくは
領域1304の何れがより電位の低い領域となっても良
い。従って、双方向電流阻止MOSFET1300のた
めのより有効なフローティングゲート駆動電圧Vgを生
み出すために、ゲート駆動電圧Vgを領域1302若し
くは領域1304のより電位の低い領域に対して10V
高い電位とすることが必要である。このようにゲート駆
動電圧Vgを設定することによって、ゲート駆動回路と
MOSFET1300を組み合わせることによって、双
方向電流阻止及び双方向導通MOSFETを生み出すこ
とができ、即ち、MOSFETを流れる電流は、領域1
302から1304へ及び領域1304から1302へ
両方向に流れることが可能となる。より電位の低い領域
1302若しくは1304よりも10V高いフローティ
ングゲート駆動電圧Vgを発生するゲート駆動回路が以
下に説明される。
テラル電流阻止MOSFETがゲート酸化膜の厚さを増
加することによって一定の電圧によって駆動され、また
はドレイン領域若しくはソース領域のより電位の低い領
域を基準とするフローティングゲート駆動電圧によって
駆動される。
Tを駆動するために一定のゲート駆動電圧を使用するこ
とによって、ドリフトされていないMOSFETでは引
き起こされなかった問題が発生する。その理由は、ボデ
ィ効果を低く保つために、ドリフトされたMOSFET
のゲート酸化膜の厚さを小さくしなければならないから
である。ボディ効果は、逆バイアスされたソース・ボデ
ィ接合部の影響であり、このボディ効果によって、閾値
電圧Vtが増加し、閾値電圧Vtの増加した分だけゲート
駆動電圧Vgs−Vtが減少し、これによってオン抵抗Rd
sが増加する。上述されたように、MOSFETのオン
抵抗を低くするためには、一定のゲート駆動電圧がソー
ス領域の電位よりも10V高くなければならず、従って
ドレイン領域の電位とソース領域の電位が等しいとき、
ゲート・ドレイン電圧は10Vとなる。しかし、ドリフ
トされた双方向電流阻止MOSFETは、18Vの(若
しくはそれ以上の)バッテリーによって駆動された回路
内に組み込まれ、かつゲート駆動回路は回路の電圧より
10V高い電圧を生み出さなければならないので、ゲー
ト駆動回路は約30Vの電圧を生み出す必要がある。安
全な動作を確実にしかつ電流のリークを防止するため
に、ゲート酸化膜の厚さは、60Vのゲート・ドレイン
電圧(50%定格を用いている)に耐えるために、70
0オングストローム以上でなければならない。ドリフト
されていない双方向電流阻止MOSFETと同様に、最
悪の場合の電界はMOSFETがターンオンする瞬間に
ゲートに発生する。MOSFETがターンオンした後、
チャネルがゲート酸化膜を基板の電位から遮蔽する。
OSFETの最大電圧は、ゲート・ドレイン電圧降下の
ほとんどがドリフト領域で発生するために、オフ状態の
条件によって限定されないことが注目される。一方、こ
の最大電圧の範囲は、ターンオン時及びオン状態の条件
によって大きく影響される。
照しながら以下に説明される。
及びフローティング(floating)ゲート駆動電
圧に関する各状態では、開示されたドリフトされたNチ
ャネル双方向電流阻止MOSFET若しくはドリフトさ
れていないNチャネル双方向電流阻止MOSFETのゲ
ート駆動電圧は、最小のオン抵抗を得るために、ソース
領域若しくはドレイン領域に印加された最大電圧を少な
くとも10V超過しなければならない。このゲート駆動
電圧を提供する経済的かつ実際的な唯一の方法はチャー
ジポンプ回路を用いることである。チャージポンプ回路
は公知の装置であり、入力電圧Vinより高い出力電圧V
cpを生み出すために用いられる。図26は、チャージポ
ンプ回路の1つの例である。チャージポンプ回路に関す
る更に詳しい説明は、本件と同一の出願人による199
3年5月26日に出願された米国特許出願第08/06
7,365号明細書に記載されており、この特許出願明
細書はここで言及したことによって、本出願の一部とさ
れたい。
おり、この実施例では固定されたゲート駆動電圧が、双
方向電流阻止MOSFET1500を駆動するために用
いられている。このゲート駆動回路は、MOSFET1
500のソース領域1502とドレイン領域1504に
接続された入力端子を備えている。第1ダイオードD3
は、ソース領域1502とチャージポンプ回路1510
との間に接続されており、第1ダイオードD3のアノー
ドがソース領域1502に接続されており、第1ダイオ
ードD3のカソードがチャージポンプ回路1510の入
力端子に接続されている。同様に、第2ダイオードD4
が、ドレイン領域1504とチャージポンプ回路151
0との間に接続されており、第2ダイオードD4のアノ
ードがドレイン領域1504に接続されており、第2ダ
イオードD4のカソードがチャージポンプ回路1510
の入力端子に接続されている。チャージポンプ回路15
10の出力電圧Vcpは、MOSFET1500のゲート
1501に接続されている。更に、グランドに接続され
たツェナーダイオードD5は、所定のブレークダウン電
圧BVzを有し、そのカソードがチャージポンプ回路1
510の出力端子に接続されている。最後に、スイッチ
1520がゲート1501とチャージポンプ回路151
0の間に接続されている。
ャージポンプ回路1510の入力電圧Vinは、ソース領
域1502若しくはドレイン領域1504のより高い電
位から、ダイオードD3及びD4の電圧降下を引いた値
に等しい。ソース領域1502若しくはドレイン領域1
504のより高い電位の領域のみがその関連するダイオ
ードD3若しくはD4を順方向にバイアスするので、ソ
ース領域1502若しくはドレイン領域1504のより
負の電位の領域は電圧Vinに影響を及ぼさない。図26
に示されたチャージポンプ回路と等しいチャージポンプ
回路に対して、電圧Vcpは入力電圧Vinの3倍の値から
2.1Vを引いた値となっている。ダイオードの電圧降
下が0.7Vであり、ソース領域1502及びドレイン
領域1504の最大の電位が10Vであると仮定すれ
ば、チャージポンプ回路1510の出力電圧Vcpはグラ
ンド電位よりも約25V高い値となる。双方向電流阻止
MOSFET1500が導通し、ソース電位がドレイン
電位を上昇させ、Vgsが15V(25V−10V)とな
る。チャージポンプ回路の出力電圧Vcpが、ツェナーダ
イオードの所定のブレークダウン電圧BVzを、例えば
27Vを越えた場合、ツェナーダイオードD5はアバラ
ンシェブレークダウンを起こし、ゲート1501に印加
される最大の電圧をクランプする。
動回路は、グランドに対して固定されたゲート駆動電圧
Vgを発生し、従って、固定された電圧を出力するゲー
ト駆動回路に関連する上述された制限に限定されてい
る。
でき、かつチャージポンプ回路1510が別個の電源か
ら電力を供給されることが可能であるので、これまで開
示された方法は、チャージポンプ回路1510の出力電
圧がツェナーダイオードのクランプ電圧以下である限
り、チャージポンプ回路1510のグランド電位を基準
とする出力電圧が、MOSFETのより高い電位の端子
電圧に比例して増加するという利点をもたらす。MOS
FET1500の端子の電位を上昇させるためには、高
いゲート駆動電圧が、より高い電圧での高いボディ効果
を相殺し、従ってオン抵抗Rdsを低い値に保つ。チャー
ジポンプ回路1510が一定の入力電圧を供給されてい
る場合、ゲート駆動電圧は13.2Vとなり、この値は
MOSFET1500の十分な動作範囲には不十分な値
である。
例及び第3の実施例を各々例示している。この第2の実
施例及び第3の実施例に共通な構成要素には、等しい符
号が付されている。
ゲート駆動回路を例示しており、このゲート駆動回路で
は、フローティングゲート駆動電圧Vgが、双方向電流
阻止MOSFET1600のゲート1601に印加され
ている。第1の実施例と同様に、本発明の第2の実施例
に基づくゲート駆動回路は、チャージポンプ回路161
0を含み、このチャージポンプ回路1610の入力端子
は、MOSFET1600のソース領域1602とドレ
イン領域1604に接続されている。第1ダイオードD
3はソース領域1602とチャージポンプ回路1610
との間に接続されており、第1ダイオードD3のアノー
ドはソース領域1602に接続されており、第1ダイオ
ードD3のカソードはチャージポンプ回路1610の入
力端子に接続されている。同様に、第2ダイオードD4
はドレイン領域1604とチャージポンプ回路1610
との間に接続されており、第2ダイオードD4のアノー
ドはドレイン領域1604に接続されており、第2ダイ
オードD4のカソードはチャージポンプ回路1610の
入力端子に接続されている。この回路に於て、チャージ
ポンプ回路1610の入力電圧Vinは、ソース領域16
02の電位Vxとドレイン領域1604の電位Vyのうち
のより高い電位から、各々の領域に関連するダイオード
D3及びD4の電圧降下を引いた値に等しい。チャージ
ポンプ回路1610の出力電圧VcpはMOSFET16
00のゲート1601に印加されている。更に、所定の
ブレークダウン電圧のツェナーダイオードD6のカソー
ドには、チャージポンプ回路の出力電圧Vcpが供給され
ており、ツェナーダイオードD6のアノードはソース領
域1602に接続されている。最後に、スイッチ162
0がゲート1601とチャージポンプ回路1610の出
力端子とに接続されている。
ート駆動電圧Vgは、ソース領域1602若しくはドレ
イン領域1604のより低い電位から各領域に関連する
ツェナーダイオードD6及びD7の電圧降下を引いた値
と等しい電位にフロート(float)している。即
ち、チャージポンプ回路の出力電圧Vcpはツェナーダイ
オードD6が接続されていることによって低減され、ゲ
ート1601に印加されるゲート駆動電圧Vgはソース
領域1602及びドレイン領域1604のより低い電位
を基準とするツェナーダイオードD6及びD7に関連す
るブレークダウン電圧にクランプされている。第2の実
施例に基づくゲート駆動回路の利点は、この第2の実施
例のゲート・ソース電圧が、ツェナーダイオードD6及
びD7のブレークダウン電圧に制限されるために、ゲー
ト酸化膜1606が上述された第1の実施例のゲート酸
化膜よりも薄く形成されるということである。しかし、
第2の実施例のゲート駆動回路の欠点の1つは、ツェナ
ーダイオードD6及びD7がブレークダウン状態で電流
を流すために、バッテリーの電力が消耗されるというこ
とである。
ゲート駆動回路を例示している。第2の実施例と同様
に、第3の実施例に基づくゲート駆動回路は、チャージ
ポンプ回路1610を含み、このチャージポンプ回路1
610の出力端子は、ツェナーダイオードD6及びD7
を介して双方向電流阻止MOSFET1600のソース
領域1602とドレイン領域1604に接続されてい
る。しかし、この第3の実施例に基づけば、Pチャネル
MOSFET1630はチャージポンプ回路1610と
双方向電流阻止MOSFET1600のゲートとの間に
接続されており、PチャネルMOSFET1630のゲ
ートはツェナーダイオードD6とD7とに接続されてお
り、PチャネルMOSFET1630のゲート駆動電圧
は、ソース領域1602若しくはドレイン領域1604
のより低い電位によって決定される。更に、電流源16
40が、チャージポンプ回路1610と、ツェナーダイ
オードD6及びD7のカソードとの間に接続されてお
り、チャージポンプ回路1610によって駆動される負
荷を低減している。
も、図29に示されているような所望に応じて設けられ
るNチャネルMOSFET1650が用いられ、スイッ
チ1620が開くことによって、双方向電流阻止MOS
FETがチャージポンプ回路1610から切り離された
とき、双方向電流阻止MOSFET1600のゲートの
電位をグランド電位まで引き上げるために用いられる。
例及び第5の実施例を各々示している。この第4の実施
例及び第5の実施例の共通する構成要素には、等しい符
号が付されている。
ゲート駆動回路を例示しており、このゲート駆動回路で
は、フローティングゲート駆動電圧Vgは、双方向電流
阻止MOSFET1700のゲート1701に印加され
ている。第1の実施例乃至第3の実施例と同様に、本発
明の第4の実施例に基づくゲート駆動回路は、チャージ
ポンプ回路1710を含み、このチャージポンプ回路1
710の入力端子はMOSFET1700のソース領域
1702とドレイン領域1704に接続されている。第
1ダイオードD3はソース領域1702とチャージポン
プ回路1710との間に接続されており、第1ダイオー
ドD3のアノードはソース領域1702に接続されてお
り、第1ダイオードD3のカソードはチャージポンプ回
路1710の入力端子に接続されている。同様に、第2
ダイオードD4は、ドレイン領域1704とチャージポ
ンプ回路1710との間に接続されており、第2ダイオ
ードD4のD4のアノードはドレイン領域1704に接
続されており、第2ダイオードD4のカソードはチャー
ジポンプ回路1710の入力端子に接続されている。更
に、1対のデプリーション型MOSFET M1及びM
2が、チャージポンプ回路1710と双方向電流阻止M
OSFET1700との間に直列に接続されており、デ
プリーション型MOSFET M1のドレイン領域は、
チャージポンプ回路1710に接続されており、デプリ
ーション型MOSFET M2のドレイン領域は、デプ
リーション型MOSFET M1のソース領域に接続さ
れており、デプリーション型MOSFET M2のソー
ス領域は、双方向電流阻止MOSFET1700のゲー
ト1701に接続されている。デプリーション型MOS
FET M1及びM2は、典型的なデプリーション型M
OSFETであり、従って、従来通りソース領域とボデ
ィ領域が短絡されていることに注意されたい。更に、デ
プリーション型MOSFET M1のゲート端子はドレ
イン領域1704に接続されており、デプリーション型
MOSFET M2のゲートはソース領域1702に接
続されている。最後に、スイッチ1720が、デプリー
ション型MOSFET M1のドレイン領域と、チャー
ジポンプ回路1710との間に接続されている。
ート駆動電圧がより低いスイッチ電位に比例するように
制限されている上述された第2の実施例及び第3の実施
例と等しい。デプリーション型MOSFET M1及び
M2の閾値電圧を−8Vに設定することによって、デプ
リーション型MOSFET M1及びM2の各ソース領
域は、電流が遮断される前に各ゲートよりもその電位が
8V高くなる。各MOSFET M1及びM2のゲート
をソース領域1702及び1704に接続することによ
って、ゲート電位Vgは、より低い電位を備えたソース
領域1702及びドレイン領域1704の電位よりも8
V高い電位にクランプされる。例えば、ゲート電位Vg
が始めに印加された時、ソース領域1702の電位が2
0Vに保持され、ドレイン領域1704がグランド電位
に保持されている場合、デプリーション型MOSFET
M1はゲート電位Vgを8Vに低減する。デプリーシ
ョン型MOSFET M1を用いることなしに、デプリ
ーション型MOSFETM2によってゲート電位Vgを
28V(20V+8V)に上昇させることが出来ないと
いうことが注目される。従って、最大のゲート電位は、
デプリーション型MOSFET M1によってソース領
域1702とドレイン領域1704の内のより低い電位
から8V高い値に制限される。ドレイン領域1704の
電位が上昇するとき、ゲート電位Vgはドレイン領域1
704の電位と共に上昇する。ドレイン領域1704の
電位が10Vの時、ゲート電位Vgは18Vとなり、従
ってドレイン・ゲート電圧Vgsは8Vに保持される。
ート駆動回路を例示している。第4実施例に基づくゲー
ト駆動回路は、チャージポンプ回路1710に直列に接
続された1対のデプリーション型MOSFET M1及
びM2を有する。しかし、第5実施例では、Pチャネル
MOSFET1730はチャージポンプ回路1710と
双方向電流阻止MOSFET1700のゲートとの間に
接続されており、PチャネルMOSFET1730のゲ
ートは、デプリーション型MOSFET M2のソース
領域に接続されている。
も、所望に応じて設けられるNチャネルMOSFET1
740が、図31に示すように、スイッチ1720が開
き双方向電流阻止MOSFET1700がチャージポン
プ回路1710から切り放された時、双方向電流阻止M
OSFET1700のゲートの電位をグランド電位に等
しくするために用いられてもよい。
1)で用いられているチャージポンプ回路を含む回路
は、ダイオードD3及びD4の代わりに、直接電源から
入力電圧Vinを供給されてもよいことが注意される。
であって限定を意図するものではない。本発明に基づく
多くの他の実施例及び変形実施例が同業者には明らかと
なる。そのような全ての実施例は、添付の特許請求の範
囲によって定義される本発明の技術的視点を逸脱するも
のではない。
FETのオン抵抗を低減し、コンピュータ若しくはその
他の装置に供給される電力の減少が防止される。
模式図。
形成される電位差の一例を表す図。
形成される電位差の一例を表す図。
形成される電位差の一例を表す図。
る電位差の一例を表す図。
ルNチャネル二重拡散MOSFETの断面図。
ルPチャネル二重拡散MOSFETの断面図。
NチャネルMOSFETの断面図。
ルNチャネル二重拡散MOSFETの断面図。
る従来の双方向電流阻止スイッチを表す図。
る従来の双方向電流阻止スイッチを表す図。
る従来の双方向電流阻止スイッチを表す図。
を含む複数のバッテリーの回路の模式図。
FETの模式図。
の模式図。
阻止MOSFETの模式断面図。
向電流阻止MOSFETの等電位線を表す図。
ゲート、ソース及びドレイン領域の間の電位の関係を表
す模式図。
SFETのゲート、ソース及びドレイン領域の間の電位
の関係を表す模式図。
FETのゲート、ソース及びドレイン領域の間の電位の
関係を表す模式図。
たときの、双方向電流阻止MOSFETのゲート・ソー
ス間の電圧とソース領域の電位を表すグラフ。
た場合の、双方向電流阻止MOSFETのゲート・ソー
ス電圧とソース電位を表す回路図。
の、双方向電流阻止MOSFETのゲート・ソース電圧
とソース電位とを表すグラフ。
の、双方向電流阻止MOSFETのゲート・ソース電圧
とソース電位とを表す回路図。
ジポンプ回路の回路図。
を表す回路図。
の回路図。
の回路図。
の回路図。
の回路図。
Claims (19)
- 【請求項1】 双方向電流阻止MOSFETのゲート
に印加されるゲート駆動電圧を発生するゲート駆動回路
であって、 前記双方向電流阻止MOSFETが、 ボディ領域と、 前記ボディ領域内に形成された第2導電型のチャネル領
域と、 前記ボディ領域内に形成されかつ前記チャネル領域によ
って互いに分離された第1導電型の第1領域及び第2領
域と、 ゲート酸化膜によって前記ボディ領域から分離され、か
つ前記チャネル領域の上に配置されたゲートとを有し、 前記第1領域及び第2領域が、前記ボディ領域から電気
的に絶縁されており、前記ゲート駆動回路が、 前記ゲート酸化膜の厚さによって決定される最大の電圧
に前記ゲート駆動電圧を制限するための、前記第1領域
と、前記第2領域と、前記ゲートに接続された電圧発生
回路を有し、 前記電圧発生回路が、 前記第1領域に接続されたアノードと、カソードとを備
えた第1ダイオードと、 前記第2領域に接続されたアノードとカソードとを備え
た第2ダイオードと、 前記第1ダイオードの前記カソー
ドと、前記第2ダイオードの前記カソードとに接続さ
れ、かつ前記双方向電流阻止MOSFETの前記ゲート
に印加される出力電圧を発生するチャージポンプ回路
と、 前記出力電圧をその閾値電圧に制限するための、前記出
力電圧に接続されたカソードを備えたグランドに接続さ
れたツェナーダイオードとを有 することを特徴とするゲ
ート駆動回路。 - 【請求項2】 前記チャージポンプ回路と、前記双方
向電流阻止MOSFETの前記ゲートとの間に接続され
たスイッチを更に有することを特徴とする請求項1に記
載のゲート駆動回路。 - 【請求項3】 前記電圧発生回路が、 前 記チャージポンプ回路に接続されたカソードと、前記
第1領域に接続されたアノードとを備えた第1ツェナー
ダイオードと、 前記チャージポンプ回路に接続されたカソードと、前記
第2領域に接続されたアノードとを備えた第2ツェナー
ダイオードとを更に有することを特徴とする請求項1に
記載のゲート駆動回路。 - 【請求項4】 前記第1領域に接続されたアノード
と、カソードとを備えた第1ダイオードと、 前記第2領域に接続されたアノードと、カソードとを備
えた第2ダイオードとを更に有し、 前記チャージポンプ回路の入力端子が、前記第1ダイオ
ードの前記カソードと前記第2ダイオードの前記カソー
ドに接続されていることを特徴とする請求項3に記載の
ゲート駆動回路。 - 【請求項5】 前記チャージポンプ回路と前記双方向
電流阻止MOSFETの前記ゲートに接続されたスイッ
チと、 前記双方向電流阻止MOSFETの前記ゲートとグラン
ドに接続された第2MOSFETとを更に有し、 前記チャージポンプ回路を前記双方向電流阻止MOSF
ETから切離すべく、前記スイッチが開かれたとき、前
記第2MOSFETが、前記双方向電流阻止MOSFE
Tの前記ゲートをグランドに接続するべくターンオンさ
れることを特徴とする請求項3に記載のゲート駆動回
路。 - 【請求項6】 前記電圧発生回路が、 前記 チャージポンプ回路に接続されたドレイン領域と、
前記双方向電流阻止MOSFETの前記ゲートに接続さ
れたソース領域とを備えた第2MOSFETと、 前記第2MOSFETのゲートに接続されたカソード
と、前記第1領域に接続されたアノードとを備えた第1
ツェナーダイオードと、 前記第2MOSFETの前記ゲートに接続されたカソー
ドと、前記第2領域に接続されたアノードとを備えた第
2ツェナーダイオードとを更に有することを特徴とする
請求項1に記載のゲート駆動回路。 - 【請求項7】 前記電圧発生回路が、前記チャージポ
ンプ回路と、前記第1ツェナーダイオードの前記カソー
ドと、前記第2ツェナーダイオードの前記カソードとに
接続された電流源を更に有することを特徴とする請求項
6に記載のゲート駆動回路。 - 【請求項8】 前記チャージポンプ回路と前記双方向
電流阻止MOSFETの前記ゲートに接続されたスイッ
チと、 前記双方向電流阻止MOSFETの前記ゲートとグラン
ドに接続された第3MOSFETとを更に有し、 前記チャージポンプ回路を前記双方向電流阻止MOSF
ETから切離すべく、前記スイッチが開いたとき、前記
第3MOSFETが、前記双方向電流阻止MOSFET
の前記ゲートをグランドに接続するべくターンオンされ
ることを特徴とする請求項6に記載のゲート駆動回路。 - 【請求項9】 前記電圧発生回路が、 前 記チャージポンプ回路に接続されたドレイン領域と、
前記第2領域とソース領域とに接続されたゲートとを備
えた第1デプリーション型MOSFETと、 前記第1デプリーション型MOSFETの前記ソース領
域に接続されたドレイン領域と、前記第1領域に接続さ
れたゲートと、前記双方向電流阻止MOSFETの前記
ゲートに接続されたソース領域とを備えた第2デプリー
ション型MOSFETとを更に有することを特徴とする
請求項1に記載のゲート駆動回路。 - 【請求項10】 前記第1領域に接続されたアノード
と、カソードとを備えた第1ダイオードと、 前記第2領域に接続されたアノードと、カソードとを備
えた第2ダイオードとを更に有し、 前記チャージポンプ回路の入力端子が、前記第1ダイオ
ードの前記カソードと前記第2ダイオードの前記カソー
ドとに接続されていることを特徴とする請求項9に記載
のゲート駆動回路。 - 【請求項11】 前記チャージポンプ回路と、前記双
方向電流阻止MOSFETの前記ゲートとに接続された
スイッチと、 前記双方向電流阻止MOSFETの前記ゲートとグラン
ドとに接続された第3MOSFETとを更に有し、 前記チャージポンプ回路を前記双方向電流阻止MOSF
ETから切離すべく、前記スイッチが開かれたとき、前
記第3MOSFETが、前記双方向電流阻止MOSFE
Tの前記ゲートをグランドに接続するべくターンオンさ
れることを特徴とする請求項9に記載のゲート駆動回
路。 - 【請求項12】 前記電圧発生回路が、 前 記チャージポンプ回路に接続されたドレイン領域と、
前記第2領域に接続されたゲートと、ソース領域とを備
えた第1デプリーション型MOSFETと、 前記第1デプリーション型MOSFETの前記ソース領
域に接続されたドレイン領域と、前記第1領域に接続さ
れたゲートと、ソース領域とを備えた第2デプリーショ
ン型MOSFETと、 前記チャージポンプ回路に接続されたドレイン領域と、
前記双方向電流阻止MOSFETの前記ゲートに接続さ
れたソース領域と、前記第2デプリーション型MOSF
ETの前記ソース領域に接続されたゲートとを備えた第
3MOSFETとを更に有することを特徴とする請求項
1に記載のゲート駆動回路。 - 【請求項13】 前記第1領域に接続されたアノード
と、カソードとを備えた第1ダイオードと、 前記第2領域に接続されたアノードと、カソードとを備
えた第2ダイオードとを更に有し、 前記チャージポンプ回路の入力端子が前記第1ダイオー
ドの前記カソードと前記第2ダイオードの前記カソード
とに接続されていることを特徴とする請求項12に記載
のゲート駆動回路。 - 【請求項14】 前記チャージポンプ回路と前記双方
向電流阻止MOSFETの前記ゲート端子とに接続され
たスイッチと、 前記双方向電流阻止MOSFETの前記ゲートとグラン
ドとに接続された第4MOSFETとを更に有し、 前記スイッチが、前記チャージポンプ回路を前記双方向
電流阻止MOSFETから切離すべく開かれたとき、前
記第4MOSFETがターンオンされ、前記双方向電流
阻止MOSFETが前記ゲートをグランドに接続するこ
とを特徴とする請求項12に記載のゲート駆動回路。 - 【請求項15】 双方向電流阻止MOSFETのゲー
トに印加されるゲート駆動電圧を発生する方法であっ
て、 前記双方向電流阻止MOSFETが、ボディ領域と、前
記ボディ領域内に形成された第2導電型のチャネル領域
と、前記ボディ領域内に形成された第1導電型の第1領
域及び第2領域とを有し、 前記ゲートが、ゲート酸化膜によって前記ボディ領域か
ら分離され、かつ前記チャネル領域の上に配置されてお
り、 前記第1領域及び前記第2領域が、前記ボディ領域から
電気的に絶縁されており、 電圧発生回路を介して前記第1領域及び前記第2領域を
前記双方向電流阻止MOSFETの前記ゲートに接続す
る過程と、 前記電圧発生回路によって発生させられたゲート駆動電
圧を、前記ゲート酸化膜の厚さによって決定される最大
電圧に制限する過程とを有し、 前記接続過程が、 第1ダイオードのアノードを前記第1領域に接続する過
程と、 第2ダイオードのアノードを前記第2領域に接続する過
程と、 前記双方向電流阻止MOSFETの前記ゲートに印加さ
れる出力電圧を発生するチャージポンプ回路を、前記第
1ダイオードのカソードと、前記第2ダイオードのカソ
ードに接続する過程と、 グランドに接続されたツェナーダイオードのカソードを
前記チャージポンプ回路の出力端子に接続し、前記チャ
ージポンプ回路の前記出力電圧を、前記ツェナーダイオ
ードのブレークダウン電圧に制限する過程とを 有するこ
とを特徴とするゲート駆動電圧を発生する方法。 - 【請求項16】 前記接続過程が、 第1電位の出力電圧を発生するチャージポンプ回路を、
前記双方向電流阻止MOSFETの前記ゲートに接続す
る過程と、 第1ツェナーダイオードのカソードを前記チャージポン
プ回路に接続し、かつ前記第1ツェナーダイオードのア
ノードを前記第1領域に接続する過程と、 第2ツェナーダイオードのカソードを前記チャージポン
プ回路に接続し、かつ前記第2ツェナーダイオードのア
ノードを前記第2領域に接続する過程とを更に有するこ
とを特徴とする請求項15に記載の方法。 - 【請求項17】 前記接続過程が、 第 2MOSFETのドレイン領域を前記チャージポンプ
回路に接続し、かつ前記第2MOSFETのソース領域
を前記双方向電流阻止MOSFETの前記ゲートに接続
する過程と、 第1ツェナーダイオードのカソードを前記第2MOSF
ETのゲートに接続し、かつ前記第1ツェナーダイオー
ドのアノードを前記第1領域に接続する過程と、 第2ツェナーダイオードのカソードを前記第2MOSF
ETの前記ゲートに接続し、かつ前記第2ツェナーダイ
オードのアノードを前記第2領域に接続する過程とを更
に有することを特徴とする請求項15に記載の方法。 - 【請求項18】 前記接続過程が、 第 1デプリーション型MOSFETのドレイン領域を前
記チャージポンプ回路に接続し、かつ前記第1デプリー
ション型MOSFETのゲートを前記第2領域に接続す
る過程と、 第2デプリーション型MOSFETのドレイン領域を前
記第1デプリーション型MOSFETのソース領域に接
続し、かつ前記第2デプリーション型MOSFETのゲ
ートを前記第1領域に接続し、かつ前記第2デプリーシ
ョン型MOSFETのソース領域を前記双方向電流阻止
MOSFETの前記ゲートに接続する過程とを更に有す
ることを特徴とする請求項15に記載の方法。 - 【請求項19】 前記接続過程が、 第 1デプリーション型MOSFETのドレイン領域を前
記チャージポンプ回路に接続し、かつ前記第1デプリー
ション型MOSFETのゲートを前記第2領域に接続す
る過程と、 第1デプリーション型MOSFETのドレイン領域を前
記第1デプリーション型MOSFETのソース領域に接
続し、かつ前記第2デプリーション型MOSFETのゲ
ートを前記第1領域に接続する過程と、 第3MOSFETのドレイン領域を前記チャージポンプ
回路に接続し、かつ前記第3MOSFETのソース領域
を前記双方向電流阻止MOSFETの前記ゲートに接続
し、かつ前記第3MOSFETのゲートを前記第2デプ
リーション型MOSFETのソース領域に接続する過程
とを更に有することを特徴とする請求項15に記載の方
法。
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