JP3079504B2 - ウェーハのダイピックアップ方法 - Google Patents

ウェーハのダイピックアップ方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェーハに
形成された複数個のダイのウェーハ周辺部のダイのピッ
クアップ方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、ウェーハは円形状をなし、この
ウェーハに枡目状に複数個のダイが縦横に整列して形成
されている。このため、ウェーハの周辺部において形成
されたダイは、外辺部が円弧状となり、所定のダイ外形
形状が得られないので形状不良とされる。またこの形状
不良ダイの周辺部分のダイには、回路が完全に形成され
ていない不良ダイが多く存在する。そこで最近、ウェー
ハの周辺部のダイに予め回路を形成しないウェーハが用
いられるようになった。このように回路を形成しないダ
イを一般にミラーダイと呼んでおり、このミラーダイも
不良のダイである。
【０００３】従来、ウェーハ周辺部の形状不良ダイを検
出して良品のダイのみピックアップする方法として、例
えば特開昭５６−９８８３５号公報に示すように、外形
形状を検出して形状不良を判定した時に次列に移動さ
せ、検出方向（ピックアップして行く方向）の反転を行
なっている。また特公平１−４５２２１号公報に示すよ
うに、ウェーハの円周上からダイ無しを複数回連続して
検出した時に、次列に移動させ、検出方向の反転を行な
っている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、ウェ
ーハ周辺部のミラーダイ又はミラーダイに類似するダイ
（回路不良ダイ）を検出するものではない。そこで、こ
れらの技術をミラーダイ又はミラーダイに類似するダイ
の検出に適用した場合、ダイの検出回数が多く、生産性
が低下する。
【０００５】本発明の課題は、ウェーハ周辺部にあるミ
ラーダイ又はミラーダイに類似するダイを検出する回数
の低減が図れ、生産性が向上するウェーハのダイピック
アップ方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の第１の手段は、ウェーハに整列して形成した
複数個のダイをコレットによって１個づつピックアップ
するウェーハのダイピックアップ方法において、ウェー
ハの外径から一定の反転範囲と反転ダイ数を設定し、ピ
ックアップ方向に向かって順次ダイを検出及びピックア
ップし、前記反転範囲内でミラーダイ又はミラーダイに
類似するダイを反転ダイ数検出すると、次のピックアッ
プする次列方向に１ピッチ移動してその時の第１のダイ
を検出し、その第１のダイがミラーダイ又はミラーダイ
に類似するダイでない場合は、その列のピックアップ方
向の外径方向に向かって順次ダイを検出及びピックアッ
プし、ミラーダイ又はミラーダイに類似するダイを反転
ダイ数検出すると、ピックアップ方向を反転して前記第
１のダイに隣接した内側のダイを検出してピックアップ
し、その後はこの反転したピックアップ方向の移動によ
って順次ダイを検出及びピックアップし、前記次のピッ
クアップする次列方向に１ピッチ移動して前記第１のダ
イを検出してそのダイがミラーダイ又はミラーダイに類
似するダイである場合は、ピックアップ方向を変えて順
次検出し、ミラーダイ又はミラーダイに類似するダイで
ない場合にピックアップすることを特徴とする。
【０００７】上記課題を解決するための本発明の第２の
手段は、ウェーハに整列して形成した複数個のダイをコ
レットによって１個づつピックアップするウェーハのダ
イピックアップ方法において、ウェーハの外径から一定
の反転範囲と、ウェーハの外径と、ダイのピックアップ
方向のピッチ及び反転ダイ数を設定し、ピックアップ方
向に向かって順次ダイを検出及びピックアップし、前記
反転範囲内でミラーダイ又はミラーダイに類似するダイ
を反転ダイ数検出すると、次のピックアップする次列方
向に１ピッチ移動してその時の第１のダイを検出し、そ
の第１のダイがミラーダイ又はミラーダイに類似するダ
イでない場合は、ピックアップ方向の外径方向に向かっ
て順次ダイを検出及びピックアップし、ミラーダイ又は
ミラーダイに類似するダイを反転ダイ数検出すると、ピ
ックアップ方向を反転して前記第１のダイに隣接した内
側のダイを検出してピックアップし、その後はこの反転
したピックアップ方向の移動によって順次ダイを検出及
びピックアップし、前記次のピックアップする次列方向
に１ピッチ移動して前記第１のダイを検出してそのダイ
がミラーダイ又はミラーダイに類似するダイである場合
は、ピックアップ方向を反転して順次検出し、ミラーダ
イ又はミラーダイに類似するダイでない場合にピックア
ップし、ピックアップ方向の外径が大きい部分では、ピ
ックアップ方向から次のピックアップする次列方向に１
ピッチ移動する条件は、ミラーダイ又はミラーダイに類
似するダイであるに拘らず、所定の外径近傍に位置した
時に次のピックアップする次列方向に１ピッチ移動し、
また次のピックアップする次列方向に移動した時のその
ダイがミラーダイ又はミラーダイに類似するダイである
かに拘らず、ピックアップ方向を反転して順次検出して
ミラーダイ又はミラーダイに類似するダイでない場合に
ピックアップすることを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の第１の実施の形態
を図１により説明する。この実施の形態は、ウェーハの
周辺部分にミラーダイを有するものに適用した場合を示
す。ウェーハ１をＸ方向（横）、Ｙ方向（縦）に細分割
してダイ２が形成されている。なお、斜線で示したダイ
はミラーダイ３を示す。そして、ウェーハ１の外径４よ
りＨだけ小さい反転円５を設定し、前記Ｈを反転範囲と
している。外径４の直径又は半径と反転範囲Ｈは、ウェ
ーハ１をＸＹ方向に駆動する演算制御回路に入力する。
本実施例の検出移動パターンは、２つの検出移動パター
ンＡ、Ｂからなっている。この検出移動パターンＡ、Ｂ
は下記する条件によって選択される。なお、回路が形成
されていないミラーダイであるか、回路が形成された正
常なダイであるかは、検出カメラによる映像を画像処理
することにより判定する。
【０００９】検出移動パターンＡは、ウェーハ１が−Ｘ
方向に移動させられ、例えばＡ11のダイ２が検出カメラ
で検出された場合より説明する。Ａ11のダイ２を検出す
ると、コレットが該ダイ２をピックアップする。そし
て、１個のダイ２をピックアップする毎にウェーハ１は
ダイ２の整列ピッチづつ−Ｘ方向に送られる。即ち、検
出カメラは＋Ｘ方向に順次ダイ２を検出する。これによ
り、Ａ12のダイ２が検出カメラの真下に位置し、Ａ11の
ダイ２と同様にＡ12のダイ２をピックアップする。この
動作は従来と同様である。
【００１０】次にＡ13のミラーダイ３を検出する。この
Ａ13のミラーダイ３は反転範囲Ｈであるので、ウェーハ
１は＋Ｙ方向に１ピッチ移動し、次列のＡ21のダイ２を
検出する。このＡ21のダイ２はミラーダイ３ではないの
で、ピックアップ後に＋Ｘ方向の次のＡ22のダイ２を検
出し、このＡ22のダイ２をピックアップする。次に反転
範囲Ｈ内のＡ23のミラーダイ３を検出すると、今度はＸ
方向の移動方向が反転し、−Ｘ方向の検出を行なう。ま
ず、Ａ23から前記Ａ21の左側隣のＡ24のダイ２を検出す
るようにウェーハ１は早送りされる。以後、Ａ24のダイ
２を検出してピックアップした後は、順次−Ｘ方向のＡ
25、Ａ26・・・を検出する毎にピックアップする。
【００１１】このように、検出移動パターンＡは、Ｘ方
向の外径４の方向に向かって順次ダイ２（Ａ11、Ａ12）
を検出及びピックアップし、反転範囲Ｈ内でミラーダイ
３（Ａ13）を検出すると、Ｙ方向に１ピッチ移動して次
列のダイ（Ａ21）を検出し、その次列の第１のダイがミ
ラーダイ３でない場合は、そのダイ２（Ａ21）をピック
アップした後、Ｘ方向の外径４の方向に向かって順次ダ
イ２（Ａ22）を検出及びピックアップし、ミラーダイ３
（Ａ23）を検出すると、Ｘ方向の移動方向を変えて前記
第１のダイ（Ａ21）に隣接した内側のダイ（Ａ24）を検
出してピックアップし、その後はこの反転したＸ方向と
同方向のダイ（Ａ25、Ａ26・・・）を順次検出及びピッ
クアップする。
【００１２】検出移動パターンＢは、Ｂ11、Ｂ12のダイ
２及びＢ13のミラーダイ３を検出すると、Ｙ方向に１ピ
ッチ移動するまでの動作は、前記Ａ11、Ａ12のダイ２を
検出し、Ａ13のミラーダイ３を検出してＹ方向に１ピッ
チ移動するまでの動作と同じである。この次列の第１の
ダイが前記の場合はミラーダイ３でない場合であった
が、検出移動パターンＢは、この第１のダイがミラーダ
イ３の場合である。このＢ21のミラーダイ３を検出する
と、直ちにＸ方向の方向を変えて（反転して）−Ｘ方向
のＢ22、Ｂ23・・・のダイ２を検出する。その場合、ダ
イがミラーダイである場合にはピックアップしなく、良
品のダイのみの場合にピックアップする。
【００１３】このように、Ｘ方向の外径４の方向に向か
って順次ダイ２（Ａ11、Ａ12又はＢ11、Ｂ12）を検出及
びピックアップし、反転範囲Ｈ内でミラーダイ３（Ａ13
又はＢ13）を検出すると、Ｙ方向に１ピッチ移動して次
列のダイ（Ａ21又はＢ21）を検出し、その次列の第１の
ダイがミラーダイ３でない場合（Ａ21のダイ２の場合）
は、検出移動パターンＡを採り、ミラーダイ３である場
合（Ｂ21の場合）は、検出移動パターンＢを採る。この
検出移動パターンＡ、Ｂは、Ｘ方向のウェーハ１の径が
その次列で増大する方向（上半分）の場合には、検出移
動パターンＡと検出移動パターンＢのいずれかとなる。
しかし、Ｘ方向のウェーハ１の径がその次列で減少する
方向（下半分）の場合には、検出移動パターンＢとな
る。
【００１４】図２は本発明の第２の実施の形態を示す。
本実施の形態は、前記した検出移動パターンＡ、Ｂの他
に検出移動パターンＣを有した３つの組合せからなって
いる。本実施の形態は、前記第１の実施の形態における
設定条件の他に、ウェーハ１の外径又は半径とダイ２の
Ｘ方向のピッチの条件を、ウェーハ１をＸＹ方向に駆動
する演算制御回路に入力する。そこで、ウェーハ１の外
径又は半径とダイ２のＸ方向のピッチにより、Ｙ方向の
外径が大きい部分は別の検出移動パターンＣとした。こ
の検出移動パターンＣとしたＹ方向の外径が大きい部分
以外は、前記した検出移動パターンＡ、Ｂと同じであ
る。検出移動パターンＣは、検出移動パターンＢと似て
いるが、Ｙ方向に１ピッチ移動する条件は、ミラーダイ
であるか否かに拘らずＹ方向に１ピッチ移動し、またＹ
方向に移動した時に次列のダイがミラーダイであるか否
かであるかに限らなく反転してＸ方向に移動する。
【００１５】第１は、Ｃ11、Ｃ12、Ｃ13のダイ２を検出
及びピックアップした後、Ｙ方向に１ピッチ移動して次
列のＣ21のダイ２を検出してピックアップする。その後
は反転してＸ方向に移動し、Ｃ22、Ｃ23・・・のダイ２
を検出及びピックアップする。第２は、Ｃ31、Ｃ32のダ
イ２を検出及びピックアップした後、Ｃ33のミラーダイ
３を検出した場合で、Ｃ33のミラーダイ３を検出すると
Ｙ方向に１ピッチ移動して次列のＣ41のダイ２を検出し
てピックアップする。その後は反転してＸ方向に移動
し、Ｃ42、Ｃ43・・・のダイ２を検出及びピックアップ
する。第３は、Ｃ51、Ｃ52、Ｃ53のダイ２を検出及びピ
ックアップした後、Ｙ方向に１ピッチ移動して次列のＣ
61のミラーダイ３を検出した場合で、その後は反転して
Ｘ方向に移動し、Ｃ62、Ｃ63・・・のダイ２を検出及び
ピックアップする。前記した第１、第２及び第３は、ウ
ェーハ１の外径又は半径とダイ２のＸ方向のピッチとの
関係からＣ13、Ｃ21、Ｃ33、Ｃ41、Ｃ53、Ｃ61の右側は
ミラーダイ３であると判断してこの検出移動パターンＣ
を採る。
【００１６】なお、上記実施の形態は、ミラーダイを有
する場合について説明したが、ミラーダイに類似するダ
イ（ウェーハの周辺部のダイには回路が形成されている
が、回路が不完全なダイ）にも適用できる。また上記実
施の形態は、反転ダイ数を１として設定したので、ミラ
ーダイを１個検出した場合に次列に移動又は反転を行な
ったが、反転ダイ数を２以上に設定してもよい。例え
ば、反転ダイ数を２に設定すると、ミラーダイを２個検
出した場合に次列に移動又は検出方向の反転を行なうこ
とになる。
【００１７】また上記実施の形態は、Ｘ方向をピックア
ップ方向の列方向として説明したが、逆にＹ方向をピッ
クアップ方向の列方向としてもよい。またピックアップ
する時には、事前の検査によって不良と判定され不良マ
ークが付けられたダイ形状不良のダイを検出してピック
アップしないで、次のダイに移動する動作を加えること
も当然行えることは言うまでもない。
【００１８】
【発明の効果】本発明によれば、請求項１及び２に記載
の構成よりなるので、ウェーハ周辺部にあるミラーダイ
又はミラーダイに類似するダイを検出する回数の低減が
図れ、生産性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のウェーハのダイピックアップ方法の第
１の実施の形態を示す平面説明図である。
【図２】本発明のウェーハのダイピックアップ方法の第
２の実施の形態を示す平面説明図である。
【符号の説明】
１ ウェーハ ２ ダイ ３ ミラーダイ ４ 外径 ５ 反転円 ６ 形状不良ダイ Ｈ 反転範囲 Ａ、Ｂ、Ｃ 検出移動パターン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/52 H01L 21/58

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ウェーハに整列して形成した複数個のダ
    イをコレットによって１個づつピックアップするウェー
    ハのダイピックアップ方法において、ウェーハの外径か
    ら一定の反転範囲と反転ダイ数を設定し、ピックアップ
    方向に向かって順次ダイを検出及びピックアップし、前
    記反転範囲内でミラーダイ又はミラーダイに類似するダ
    イを反転ダイ数検出すると、次のピックアップする次列
    方向に１ピッチ移動してその時の第１のダイを検出し、
    その第１のダイがミラーダイ又はミラーダイに類似する
    ダイでない場合は、その列のピックアップ方向の外径方
    向に向かって順次ダイを検出及びピックアップし、ミラ
    ーダイ又はミラーダイに類似するダイを反転ダイ数検出
    すると、ピックアップ方向を反転して前記第１のダイに
    隣接した内側のダイを検出してピックアップし、その後
    はこの反転したピックアップ方向の移動によって順次ダ
    イを検出及びピックアップし、前記次のピックアップす
    る次列方向に１ピッチ移動して前記第１のダイを検出し
    てそのダイがミラーダイ又はミラーダイに類似するダイ
    である場合は、ピックアップ方向を変えて順次検出し、
    ミラーダイ又はミラーダイに類似するダイでない場合に
    ピックアップすることを特徴とするウェーハのダイピッ
    クアップ方法。
  2. 【請求項２】 ウェーハに整列して形成した複数個のダ
    イをコレットによって１個づつピックアップするウェー
    ハのダイピックアップ方法において、ウェーハの外径か
    ら一定の反転範囲と、ウェーハの外径と、ダイのピック
    アップ方向のピッチ及び反転ダイ数を設定し、ピックア
    ップ方向に向かって順次ダイを検出及びピックアップ
    し、前記反転範囲内でミラーダイ又はミラーダイに類似
    するダイを反転ダイ数検出すると、次のピックアップす
    る次列方向に１ピッチ移動してその時の第１のダイを検
    出し、その第１のダイがミラーダイ又はミラーダイに類
    似するダイでない場合は、ピックアップ方向の外径方向
    に向かって順次ダイを検出及びピックアップし、ミラー
    ダイ又はミラーダイに類似するダイを反転ダイ数検出す
    ると、ピックアップ方向を反転して前記第１のダイに隣
    接した内側のダイを検出してピックアップし、その後は
    この反転したピックアップ方向の移動によって順次ダイ
    を検出及びピックアップし、前記次のピックアップする
    次列方向に１ピッチ移動して前記第１のダイを検出して
    そのダイがミラーダイ又はミラーダイに類似するダイで
    ある場合は、ピックアップ方向を反転して順次検出し、
    ミラーダイ又はミラーダイに類似するダイでない場合に
    ピックアップし、ピックアップ方向の外径が大きい部分
    では、ピックアップ方向から次のピックアップする次列
    方向に１ピッチ移動する条件は、ミラーダイ又はミラー
    ダイに類似するダイであるに拘らず、所定の外径近傍に
    位置した時に次のピックアップする次列方向に１ピッチ
    移動し、また次のピックアップする次列方向に移動した
    時のそのダイがミラーダイ又はミラーダイに類似するダ
    イであるかに拘らず、ピックアップ方向を反転して順次
    検出してミラーダイ又はミラーダイに類似するダイでな
    い場合にピックアップすることを特徴とするウェーハの
    ダイピックアップ方法。
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