JP6635625B2

JP6635625B2 - ミラーダイ画像認識システム

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Publication number: JP6635625B2
Application number: JP2018560302A
Authority: JP
Inventors: 友則岩瀬; 正浩森下
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Priority date: 2017-01-06
Filing date: 2017-01-06
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Description

本明細書は、ウエハの多数のダイの中から、パターンの有る生産ダイ（通常のダイ）と同じ四角形状でパターンと欠けが無いミラーダイを、欠けの有るミラーダイや生産ダイと区別して認識するミラーダイ画像認識システム及び基準ダイ設定システム並びにミラーダイ画像認識方法に関する技術を開示したものである。

一般に、部品実装機にダイ（チップ部品）を供給するダイ供給装置には、ウエハの各ダイを画像認識するためのカメラが搭載されているが、カメラで撮像したウエハ画像の各ダイを画像認識できても、画像認識したダイが円形のウエハのどの位置のダイであるかまでは正確には判断できない。

そこで、特許文献１（特開平１１−６７８７６号公報）、特許文献２（特開２００２−２６０４１号公報）に記載されているように、ウエハの所定位置に、画像認識により生産ダイと区別可能なパターンが形成されたリファレンスダイを設け、最初にリファレンスダイを画像認識して、このリファレンスダイの位置を基準位置にして、吸着を開始するダイの位置を判断するようにしている。

特開平１１−６７８７６号公報特開２００２−２６０４１号公報

従来のリファレンスダイは、生産ダイと区別可能なパターンを形成するため、ウエハの製造コストが増加する要因となる。このため、ウエハの製造コスト低減のために、リファレンスダイを形成しないウエハを製造したいという要求がある。

しかし、リファレンスダイを形成しないウエハには、リファレンスダイの代わりとなる基準位置を設ける必要があり、そのために、パターンの無いミラーダイをリファレンスダイとして用いることが考えられている。

一般に、ウエハの外周縁に位置するダイは、パターンが形成されず、ミラーダイとなっているが、ウエハの形状は、円形であるため、ウエハの外周縁に位置するミラーダイは、パターンが形成された生産ダイのような完全な四角形とはならず、その一部分がウエハの外周縁によって欠けた形状となっている。ウエハの外周縁に位置する欠けの有るミラーダイは、ウエハの全周に多数存在するため、リファレンスダイとして用いるのは困難である。

従って、ミラーダイをリファレンスダイとして用いる場合は、欠けの無いミラーダイを用いる必要があり、そのためには、ウエハの多数のダイの中から、欠けの無いミラーダイを、欠けの有るミラーダイや生産ダイと区別して認識する技術を開発する必要がある。

上記課題を解決するために、多数のダイに分割するようにダイシングされたウエハの多数のダイの中から、パターンの有る生産ダイと同じ四角形状でパターンと欠けが無いミラーダイを、欠けの有るミラーダイや生産ダイと区別して認識するミラーダイ画像認識システムであって、ウエハの少なくとも一部分を視野に収めて撮像するカメラと、前記カメラで撮像した画像を処理して前記画像中の各ダイの中から欠けの無いミラーダイを他のダイと区別して認識する画像処理装置とを備え、前記画像処理装置は、前記画像中の各ダイの４箇所の角部分と中央部分に相当する領域を含む少なくとも５箇所の領域の輝度を取得して、少なくとも５箇所の領域の輝度が一定とみなせるか否かを判定して、少なくとも５箇所の領域の輝度が一定とみなせるダイを欠けの無いミラーダイと認識するようにしたものである。ここで、「少なくとも５箇所の領域の輝度が一定とみなせる」とは、ダイを照明する照明光のばらつきやカメラの撮像条件のばらつき等を考慮して、少なくとも５箇所の領域の輝度の差が実質的に一定と判断できる所定のばらつき範囲内であることを意味する。

ウエハのダイの種類は、パターンの有る生産ダイと、パターンの無いミラーダイのうちの欠けの無いミラーダイと欠けの有るミラーダイであり、これら各ダイの輝度を取得する少なくとも５箇所の領域は、パターンが含まれない領域、パターンが含まれる領域、ダイの欠けた部分が含まれる領域のいずれかであり、これら３種類の領域は、互いに輝度が異なる。従って、ダイの少なくとも５箇所の領域のいずれかの領域の輝度が他の領域の輝度と異なる場合は、欠けの無いミラーダイではない（つまり生産ダイ又は欠けの有るミラーダイ）と認識することができる。また、欠けの有るミラーダイは、少なくとも１箇所の角部分が欠けているため、４箇所の角部分の領域のうち、欠けた角部分が含まれる領域の輝度が他の領域の輝度と異なる。更に、ダイのいずれかの角部分が欠けていても、当該ダイの中央部分は欠けずに残っている。このような関係から、各ダイの４箇所の角部分と中央部分に相当する領域を含む少なくとも５箇所の領域の輝度が一定とみなせるか否かを判定すれば、少なくとも５箇所の領域の輝度が一定とみなせるダイを欠けの無いミラーダイと認識することができる。

また、画像中の各ダイを角部分が１つずつ含まれる４つの領域に分割して、４つの領域の輝度を取得して、４つの領域の輝度が一定とみなせるか否かを判定して、４つの領域の輝度が一定とみなせるダイを欠けの無いミラーダイと認識するようにしても良い。

この場合、ウエハの全てのダイの中から欠けの無いミラーダイを探索するようにしても良いが、ウエハのうちの欠けの無いミラーダイが存在する位置は大体分かっている。

そこで、前記画像処理装置は、ウエハのうち欠けの無いミラーダイを探索する探索範囲を指定する探索範囲指定部を備えた構成としても良い。欠けの無いミラーダイを探索する探索範囲を指定することで、欠けの無いミラーダイを探索する処理時間を短縮できる。

この場合、作業者が探索範囲指定部を操作して探索範囲を指定するようにしても良いし、或は、ウエハの各ダイが生産ダイか欠けの無いミラーダイかの情報を含むウエハマッピングデータに基づいて探索範囲を自動的に指定するようにしても良い。

ところで、欠けの無いミラーダイの輝度を取得する領域に傷や汚れが付着していると、欠けの無いミラーダイであっても、傷や汚れが付着した領域の輝度が他の領域の輝度と異なる可能性があるため、欠けの無いミラーダイとは認識されない可能性がある。

この対策として、前記探索範囲指定部で指定した探索範囲内に存在するダイから欠けの無いミラーダイを認識できなかった場合に、輝度を取得する領域のサイズ、領域の位置、領域の数のうちの少なくとも１つを変更して欠けの無いミラーダイを探索し直すようにしても良い。このようにすれば、欠けの無いミラーダイの輝度を取得する領域に傷や汚れが付着して、欠けの無いミラーダイを認識できなかった場合に、輝度を取得する領域のサイズ、領域の位置、領域の数のうちの少なくとも１つを変更することで、輝度を取得する領域を、傷や汚れの影響をほぼ無視できる領域に変更して、欠けの無いミラーダイを認識できる可能性がある。

また、前記画像処理装置は、前記探索範囲指定部で指定した探索範囲内で認識した欠けの無いミラーダイの数が実際に存在する欠けの無いミラーダイの数よりも多い場合に、欠けの無いミラーダイと認識したダイについて、輝度を取得する領域のサイズ、領域の位置、領域の数の少なくとも１つを変更して欠けの無いミラーダイを探索し直すようにしても良い。例えば、生産ダイの輝度を取得する全ての領域に同様のパターンが形成されているために、生産ダイを欠けの無いミラーダイと誤認識した場合には、探索範囲内で認識した欠けの無いミラーダイの数が実際に存在する欠けの無いミラーダイの数よりも多くなる。このような場合に、欠けの無いミラーダイと認識したダイについて、輝度を取得する領域のサイズ、領域の位置、領域の数のうちの少なくとも１つを変更することで、欠けの無いミラーダイと誤認識した生産ダイを、正常に、欠けの無いミラーダイではない（生産ダイ又は欠けの有るミラーダイ）と認識できる可能性がある。

図１は実施例１を示すダイ供給装置の外観斜視図である。図２は突き上げユニットとその周辺部分の外観斜視図である。図３はウエハパレットの外観斜視図である。図４はダイ供給装置の制御系の構成を示すブロック図である。図５はダイの画像から輝度を取得する５箇所の領域を説明する図である。図６はウエハのうちの欠けの無いミラーダイを含む部分を撮像した画像の一例を示す図である。図７はウエハのうちの欠けの有るミラーダイを含む部分を撮像した画像の一例を示す図である。図８は輝度を取得する領域のサイズを変更して欠けの無いミラーダイを探索し直す場合の一例を説明する図である。図９は生産ダイを欠けの無いミラーダイと誤認識する場合の第１例を説明する図である。図１０は生産ダイを欠けの無いミラーダイと誤認識する場合の第２例を説明する図である。図１１は実施例２のダイの画像から輝度を取得する４箇所の領域を説明する図である。

以下、２つの実施例１，２を説明する。

以下、図１乃至図１０を用いて実施例１を説明する。
まず、図１乃至図４を用いてダイ供給装置１１の構成を概略的に説明する。
ダイ供給装置１１は、マガジン保持部２２（トレイタワー）、パレット引き出しテーブル２３、ＸＹ移動機構２５、パレット引出し機構２６、突き上げユニット２８（図２参照）等を備え、パレット引き出しテーブル２３を部品実装機（図示せず）に差し込んだ状態にセットされる。

ダイ供給装置１１のマガジン保持部２２内に上下動可能に収納されたマガジン（図示せず）には、ウエハ３０をセットしたウエハパレット３２が多段に積載され、生産中にマガジン内のウエハパレット３２がパレット引出し機構２６によってパレット引き出しテーブル２３上に引き出されたり、パレット引き出しテーブル２３上のウエハパレット３２がマガジン内に戻されるようになっている。図３に示すように、ウエハ３０は、伸縮可能なダイシングシート３４上に貼着され、格子状にダイシング溝３６が形成されて多数のダイ３１に分割されている。ダイシングシート３４は、円形の開口部を有するダイシングフレーム３３にエキスパンドした状態で装着され、ダイシングフレーム３３がパレット本体３５にねじ止め等により取り付けられている。

ウエハ３０の大部分のダイ３１は、パターンが形成された生産ダイであるが、ウエハ３０の所定位置のダイ３１は、基準ダイ（リファレンスダイ）として用いるために、パターンが形成されていないミラーダイとなっている。基準ダイとして用いるミラーダイは、ウエハ３０の複数箇所に設けられ、生産ダイと同じ四角形状で欠けが無いミラーダイが基準ダイとして使用される。ウエハ３０の外周縁に位置するダイ３１は、パターンが形成されず、ミラーダイとなっているが、図３に示すように、ウエハ３０の形状は、円形であるため、ウエハ３０の外周縁に位置するミラーダイは、生産ダイのような完全な四角形とはならず、その一部分がウエハ３０の外周縁によって欠けた形状となっている。

突き上げユニット２８（図２参照）は、ウエハパレット３２のダイシングシート３４下方の空間領域をＸＹ方向（水平前後左右方向）に移動可能に構成されている。そして、ダイシングシート３４のうちのピックアップ（吸着）しようとするダイ３１の貼着部分をその下方から突き上げポット３７の突き上げピン（図示せず）で局所的に突き上げることで、当該ダイ３１の貼着部分をダイシングシート３４から部分的に剥離させてダイ３１をピックアップしやすい状態に浮き上がらせるようにしている。

図１に示すように、ＸＹ移動機構２５には、吸着ヘッド４１と、ウエハ３０の少なくとも一部分を視野に収めて撮像するカメラ４２とが組み付けられ、該ＸＹ移動機構２５によって吸着ヘッド４１とカメラ４２が一体的にＸＹ方向に移動するように構成されている。吸着ヘッド４１には、ダイシングシート３４上のダイ３１を吸着する吸着ノズル（図示せず）が上下動するように設けられている。カメラ４２は、ダイシングシート３４上のダイ３１を上方から撮像してその撮像画像を処理することで、カメラ４２の視野内におけるダイ３１の位置を認識できるが、画像認識したダイ３１が円形のウエハ３０のどの位置のダイ３１であるかまでは正確には判断できない。

そこで、本実施例１では、ウエハ３０の多数のダイ３１の中に、欠けの無いミラーダイを基準ダイとして設け、最初に、この欠けの無いミラーダイを後述する方法で画像認識して、この欠けの無いミラーダイの位置を基準位置にして、吸着を開始する生産ダイの位置を判断するようにしている。

ダイ供給装置１１の制御部４５（図４参照）は、コンピュータを主体として構成され、ＸＹ移動機構２５、突き上げユニット２８、パレット引出し機構２６等の動作を制御すると共に、カメラ４２で撮像したウエハ３０の画像（図６、図７参照）を表示する表示装置５１と、作業者が操作するキーボード、マウス、タッチパネル等の入力装置５２が接続されている。

更に、ダイ供給装置１１の制御部４５は、画像処理装置としても機能し、後述する方法で、最初に、ウエハ３０の多数のダイ３１の中から、欠けの無いミラーダイを画像認識して、この欠けの無いミラーダイの位置を基準位置にして、吸着を開始する生産ダイの位置を推定して、推定した当該生産ダイの位置を目標撮像ダイ位置として当該生産ダイをカメラ４２で撮像して、その画像を処理して当該生産ダイの位置を認識して当該生産ダイを吸着ヘッド４１の吸着ノズルで吸着してピックアップする。そして、今回吸着動作を行った生産ダイの認識位置を基準にして次に吸着する生産ダイの位置を推定し、推定した次の生産ダイの位置を目標撮像ダイ位置として当該次の生産ダイをカメラ４２で撮像して当該次の生産ダイの位置を認識して当該次の生産ダイを吸着ヘッド４１の吸着ノズルで吸着してピックアップするという処理を繰り返すことで、ダイシングシート３４上のダイ３１を所定の順序で吸着していく。

前述したように、ウエハ３０のダイ３１には、パターンの有る生産ダイと、パターンの無いミラーダイのうちの欠けの無いミラーダイと、欠けの有るミラーダイとが混在するため、欠けの無いミラーダイを基準ダイとして用いる場合は、ウエハ３０の多数のダイ３１の中から、欠けの無いミラーダイを、欠けの有るミラーダイや生産ダイと区別して認識する必要がある。

そこで、本実施例１では、ダイ供給装置１１の制御部４５は、画像中の各ダイ３１の４箇所の角部分と中央部分に相当する領域を含む少なくとも５箇所の領域の輝度を取得して、少なくとも５箇所の領域の輝度が一定とみなせるか否かを判定して、少なくとも５箇所の領域の輝度が一定とみなせるダイ３１を欠けの無いミラーダイと認識する。

具体的には、図５に示すように、ダイ供給装置１１の制御部４５は、画像認識した各ダイ３１を格子状に９分割して、各ダイ３１の４箇所の角部分に相当する領域である、左上、右上、左下、右下の４箇所の領域と、各ダイ３１の中央部分に相当する領域の合計５箇所の領域の輝度を取得し、これら５箇所の領域の輝度を比較して、５箇所の領域の輝度が一定とみなせるか否かを判定して、５箇所の領域の輝度が一定とみなせるダイ３１を欠けの無いミラーダイと認識する。ここで、「５箇所の領域の輝度が一定とみなせる」とは、ダイ３１を照明する照明光のばらつきやカメラ４２の撮像条件のばらつき等を考慮して、５箇所の領域の輝度の差が実質的に一定と判断できる所定のばらつき範囲内であることを意味する。

図５乃至図７に示すように、ウエハ３０のダイ３１の種類は、パターンの有る生産ダイと、パターンの無いミラーダイのうちの欠けの無いミラーダイと欠けの有るミラーダイであり、これら各ダイ３１の輝度を取得する５箇所の領域は、パターンが含まれない領域、パターンが含まれる領域、ダイ３１の欠けた部分が含まれる領域のいずれかであり、これら３種類の領域は、互いに輝度が異なる。従って、ダイ３１の５箇所の領域のいずれかの領域の輝度が他の領域の輝度と異なる場合は、欠けの無いミラーダイではない（つまり生産ダイ又は欠けの有るミラーダイ）と認識される。

例えば、図５に例示するダイ３１は、左上の領域にパターンが形成され、左上の領域の輝度が他の領域の輝度と異なるため、欠けの無いミラーダイではないと認識される。

図６に例示するウエハ３０の右下のダイ３１は、欠けが無く、５箇所の領域の全てにパターンが形成されていないため、５箇所の領域の輝度が一定とみなされ、欠けの無いミラーダイと認識される。

図７に例示するウエハ３０の右下のダイ３１は、右下の角部分が欠けているため、右下の領域の輝度が他の領域の輝度と異なり、欠けの無いミラーダイではないと認識される。

このように、欠けの有るミラーダイは、少なくとも１箇所の角部分が欠けているため、４箇所の角部分の領域のうち、欠けた角部分が含まれる領域の輝度が他の領域の輝度と異なる。更に、ダイ３１のいずれかの角部分が欠けていても、当該ダイ３１の中央部分は欠けずに残っている。このような関係から、本実施例１のように、各ダイ３１の４箇所の角部分と中央部分に相当する５箇所の領域の輝度が一定とみなせるか否かを判定すれば、５箇所の領域の輝度が一定とみなせるダイ３１を欠けの無いミラーダイと認識することができる。

この場合、ウエハ３０の全てのダイ３１の中から欠けの無いミラーダイを探索するようにしても良いが、ウエハ３０のダイ３１の数は多いため、ウエハ３０の全てのダイ３１の中から欠けの無いミラーダイを探索すると、欠けの無いミラーダイを探索する処理時間が長くなる。また、ウエハ３０のうちの欠けの無いミラーダイが存在する位置は大体分かっている。

そこで、本実施例１では、ダイ供給装置１１の制御部４５には、ウエハ３０のうち欠けの無いミラーダイを探索する探索範囲を指定する機能（探索範囲指定部）が搭載されている。欠けの無いミラーダイを探索する探索範囲を指定することで、欠けの無いミラーダイを探索する処理時間を短縮できる。

この場合、作業者が表示装置５１に表示されたウエハ３０の画像を見ながら入力装置５２（探索範囲指定部）を操作して探索範囲を指定しても良いし、或は、ダイ供給装置１１の制御部４５が探索範囲を自動的に指定するようにしても良い。例えば、ウエハ３０の各ダイ３１の種別（良品ダイ、不良ダイ等）の情報を含むウエハマッピングデータに、欠けの無いミラーダイの情報が含まれている場合には、ダイ供給装置１１の制御部４５がウエハマッピングデータに基づいて探索範囲を自動的に指定するようにしても良い。

ところで、図８に示すように、欠けの無いミラーダイの輝度を取得する領域に傷や汚れが付着していると、欠けの無いミラーダイであっても、傷や汚れが付着した領域の輝度が他の領域の輝度と異なる可能性があるため、欠けの無いミラーダイとは認識されない可能性がある。

そこで、本実施例１では、ダイ供給装置１１の制御部４５は、指定した探索範囲内に存在するダイ３１から欠けの無いミラーダイを認識できなかった場合に、輝度を取得する領域のサイズ、領域の位置、領域の数のうちの少なくとも１つを変更して、欠けの無いミラーダイを探索し直すようにしている。図８に示す例では、輝度を取得する領域のサイズを縮小することで、輝度を取得する領域を、傷や汚れの影響をほぼ無視できる領域に変更して、欠けの無いミラーダイを認識できるようにしている。

また、図９に示すように、生産ダイであっても、輝度を取得する５箇所の領域の全てに同様のパターンが形成されていると、５箇所の領域の輝度が一定とみなされるため、当該生産ダイを欠けの無いミラーダイと誤認識してしまう。

また、図１０に示すように、生産ダイであっても、輝度を取得しない領域のみにパターンが形成され、輝度を取得する５箇所の領域にパターンが形成されていない場合も、５箇所の領域の輝度が一定とみなされるため、当該生産ダイを欠けの無いミラーダイと誤認識してしまう。

図９、図１０の例のように、生産ダイを欠けの無いミラーダイと誤認識すると、認識した欠けの無いミラーダイの数が実際に存在する欠けの無いミラーダイの数よりも多くなる。

そこで、本実施例１では、ダイ供給装置１１の制御部４５は、指定した探索範囲内で認識した欠けの無いミラーダイの数が実際に存在する欠けの無いミラーダイの数よりも多い場合に、欠けの無いミラーダイと認識したダイについて、輝度を取得する領域のサイズ、領域の位置、領域の数の少なくとも１つを変更して欠けの無いミラーダイを探索し直すようにしている。このようにすれば、生産ダイを欠けの無いミラーダイと誤認識した場合に、輝度を取得する領域のサイズ、領域の位置、領域の数のうちの少なくとも１つを変更することで、欠けの無いミラーダイと誤認識した生産ダイを、正常に、欠けの無いミラーダイではない（つまり生産ダイ又は欠けの有るミラーダイ）と認識できる可能性がある。

以上説明した本実施例１では、カメラ４２で撮像したウエハ３０の画像中の各ダイの４箇所の角部分と中央部分に相当する５箇所の領域の輝度を取得して、これら５箇所の領域の輝度が一定とみなせるか否かを判定して、これら５箇所の領域の輝度が一定とみなせるダイを欠けの無いミラーダイと認識するようにしたので、ウエハ３０の多数のダイ３１の中から欠けの無いミラーダイを認識することができる。これにより、欠けの無いミラーダイを基準ダイ（リファレンスダイ）として用いることが可能となり、欠けの無いミラーダイの位置を基準にして、吸着を開始するダイ３１の位置を判断することができる。

尚、本実施例１では、各ダイ３１の４箇所の角部分と中央部分に相当する５箇所の領域の輝度を取得するようにしたが、これら５箇所の領域の他に、輝度を取得する領域を追加して、６箇所以上の領域の輝度を取得するようにしても良い。

次に、図１１を用いて実施例２を説明する。但し、前記実施例１と実質的に同じ部分については同一符号を付して説明を省略又は簡略化し、主として異なる部分について説明する。

前記実施例１では、各ダイ３１の４箇所の角部分と中央部分に相当する領域を含む少なくとも５箇所の領域の輝度を取得するようにしたが、本実施例２では、図１１に示すように、画像中の各ダイ３１を角部分が１つずつ含まれる４つの領域に分割して、４つの領域の輝度を取得して、４つの領域の輝度が一定とみなせるか否かを判定して、４つの領域の輝度が一定とみなせるダイ３１を欠けの無いミラーダイと認識するようにしている。
このようにしても、前記実施例１と同様の効果を得ることができる。

尚、本発明は、上記実施例１，２に限定されず、ダイ供給装置１１の構成やウエハパレット３２の構成を適宜変更しても良い等、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できることは言うまでもない。

１１…ダイ供給装置、３０…ウエハ、３１…ダイ、３２…ウエハパレット、３４…ダイシングシート、３７…突き上げポット、４１…吸着ヘッド、４２…カメラ、４５…制御部（画像処理装置，探索範囲指定部）、５２…入力装置（探索範囲指定部）

Claims

多数のダイに分割するようにダイシングされたウエハの多数のダイの中から、パターンの有る生産ダイと同じ四角形状でパターンと欠けが無いミラーダイを、欠けの有るミラーダイや生産ダイと区別して認識するミラーダイ画像認識システムであって、
ウエハの少なくとも一部分を視野に収めて撮像するカメラと、
前記カメラで撮像した画像を処理して前記画像中の各ダイの中から欠けの無いミラーダイを他のダイと区別して認識する画像処理装置とを備え、
前記画像処理装置は、前記画像中の各ダイの４箇所の角部分と中央部分に相当する領域を含む少なくとも５箇所の領域の輝度を取得して、少なくとも５箇所の領域の輝度が一定とみなせるか否かを判定して、少なくとも５箇所の領域の輝度が一定とみなせるダイを欠けの無いミラーダイと認識する、ミラーダイ画像認識システム。
多数のダイに分割するようにダイシングされたウエハの多数のダイの中から、パターンの有る生産ダイと同じ四角形状でパターンと欠けが無いミラーダイを、欠けの有るミラーダイや生産ダイと区別して認識するミラーダイ画像認識システムであって、
ウエハの少なくとも一部分を視野に収めて撮像するカメラと、
前記カメラで撮像した画像を処理して前記画像中の各ダイの中から欠けの無いミラーダイを他のダイと区別して認識する画像処理装置とを備え、
前記画像処理装置は、前記画像中の各ダイを角部分が１つずつ含まれる４つの領域に分割して、４つの領域の輝度を取得して、４つの領域の輝度が一定とみなせるか否かを判定して、４つの領域の輝度が一定とみなせるダイを欠けの無いミラーダイと認識する、ミラーダイ画像認識システム。
前記画像処理装置は、ウエハのうち欠けの無いミラーダイを探索する探索範囲を指定する探索範囲指定部を備える、請求項１又は２に記載のミラーダイ画像認識システム。
前記探索範囲指定部は、ウエハの各ダイが生産ダイか欠けの無いミラーダイかの情報を含むウエハマッピングデータに基づいて前記探索範囲を指定する、請求項３に記載のミラーダイ画像認識システム。
前記画像処理装置は、前記探索範囲指定部で指定した探索範囲内に存在するダイから欠けの無いミラーダイを認識できなかった場合に、輝度を取得する領域のサイズ、領域の位置、領域の数のうちの少なくとも１つを変更して欠けの無いミラーダイを探索し直す、請求項３又は４に記載のミラーダイ画像認識システム。
前記画像処理装置は、前記探索範囲指定部で指定した探索範囲内で認識した欠けの無いミラーダイの数が実際に存在する欠けの無いミラーダイの数よりも多い場合に、欠けの無いミラーダイと認識したダイについて、輝度を取得する領域のサイズ、領域の位置、領域の数のうちの少なくとも１つを変更して欠けの無いミラーダイを探索し直す、請求項３乃至５のいずれかに記載のミラーダイ画像認識システム。
請求項１乃至６のいずれかに記載のミラーダイ画像認識システムで認識した欠けの無いミラーダイを、各生産ダイの位置を判断する基準位置となる基準ダイとして設定する、基準ダイ設定システム。
多数のダイに分割するようにダイシングされたウエハの多数のダイの中から、パターンの有る生産ダイと同じ四角形状でパターンと欠けが無いミラーダイを、欠けの有るミラーダイや生産ダイと区別して認識するミラーダイ画像認識方法であって、
ウエハの少なくとも一部分をカメラの視野に収めて撮像し、撮像した画像を画像処理装置で処理して画像中の各ダイの４箇所の角部分と中央部分に相当する領域を含む少なくとも５箇所の領域の輝度を取得して、少なくとも５箇所の領域の輝度が一定とみなせるか否かを判定して、少なくとも５箇所の領域の輝度が一定とみなせるダイを欠けの無いミラーダイと認識する、ミラーダイ画像認識方法。
多数のダイに分割するようにダイシングされたウエハの多数のダイの中から、パターンの有る生産ダイと同じ四角形状でパターンと欠けが無いミラーダイを、欠けの有るミラーダイや生産ダイと区別して認識するミラーダイ画像認識方法であって、
ウエハの少なくとも一部分をカメラの視野に収めて撮像し、撮像した画像を画像処理装置で処理して画像中の各ダイを角部分が１つずつ含まれる４つの領域に分割して、４つの領域の輝度を取得して、４つの領域の輝度が一定とみなせるか否かを判定して、４つの領域の輝度が一定とみなせるダイを欠けの無いミラーダイと認識する、ミラーダイ画像認識方法。