JPH04236447A - スクライブライン検出装置 - Google Patents
スクライブライン検出装置Info
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- JPH04236447A JPH04236447A JP3004868A JP486891A JPH04236447A JP H04236447 A JPH04236447 A JP H04236447A JP 3004868 A JP3004868 A JP 3004868A JP 486891 A JP486891 A JP 486891A JP H04236447 A JPH04236447 A JP H04236447A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 6
- 238000007689 inspection Methods 0.000 abstract description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はスクライブライン検出装
置、特に、方形状の複数個の半導体チップがＸ方向およ
びＹ方向にそれぞれ順次隣接して整列するように作り込
まれ、前記半導体チップ間にスクライブラインが形成さ
れた半導体チップウェハのチップ原点位置座標検出に用
いるスクライブライン検出装置に関する。
置、特に、方形状の複数個の半導体チップがＸ方向およ
びＹ方向にそれぞれ順次隣接して整列するように作り込
まれ、前記半導体チップ間にスクライブラインが形成さ
れた半導体チップウェハのチップ原点位置座標検出に用
いるスクライブライン検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の技術としては、例えば、特開昭５
７ー１５４００３号公報記載のスクライブライン検出装
置がある。従来のスクライブライン検出装置は、ウェハ
を搭載するＸＹステージと、顕微鏡と、ＣＣＤカメラと
、２値化回路と、パターンマッチング回路と制御回路と
を含んで構成される。
７ー１５４００３号公報記載のスクライブライン検出装
置がある。従来のスクライブライン検出装置は、ウェハ
を搭載するＸＹステージと、顕微鏡と、ＣＣＤカメラと
、２値化回路と、パターンマッチング回路と制御回路と
を含んで構成される。
【０００３】従来のスクライブライン検出装置について
図面を参照して詳細に説明する。図３は、従来の一例を
示すブロック図である。図３に示すスクライブライン検
出装置は、ウェハ１を搭載するＸＹステージ２と、顕ウ
ェハ１のチップ像を拡大する顕微鏡３と、この拡大像を
撮像し画像データｂを出力ＣＣＤカメラと、画像データ
ｂを２値化し、２値化画像データｃを出力する２値化回
路５と、２値化画像データｃとあらかじめ設定されたＸ
方向およびＹ方向の幅の狭い領域とのパターンマッチン
グを行ないパターンマッチング結果信号ｆを出力するパ
ターンマッチング回路１２と、パターンマッチング結果
信号ｆにもとづいてＸＹステージ２を制御する制御信号
ｇを出力する制御回路１４とを含んで構成される。
図面を参照して詳細に説明する。図３は、従来の一例を
示すブロック図である。図３に示すスクライブライン検
出装置は、ウェハ１を搭載するＸＹステージ２と、顕ウ
ェハ１のチップ像を拡大する顕微鏡３と、この拡大像を
撮像し画像データｂを出力ＣＣＤカメラと、画像データ
ｂを２値化し、２値化画像データｃを出力する２値化回
路５と、２値化画像データｃとあらかじめ設定されたＸ
方向およびＹ方向の幅の狭い領域とのパターンマッチン
グを行ないパターンマッチング結果信号ｆを出力するパ
ターンマッチング回路１２と、パターンマッチング結果
信号ｆにもとづいてＸＹステージ２を制御する制御信号
ｇを出力する制御回路１４とを含んで構成される。
【０００４】図４（ａ），（ｂ）は図３に示すスクライ
ブライン検出装置の検出ラインとウェハのスクライブラ
インとの関係を示す上面図である。１点鎖線内部は撮像
領域１１であり、検査ライン１３はパターンマッチング
回路１２にてパターンマッチングを行なう際の基準パタ
ーンである。制御回路１４は、制御信号ｇによってＸＹ
ステージ２を移動させ、図４（ａ）に示すように撮像領
域１１をスクライブライン９の付近に設定する。次に２
値化回路５は、ＣＣＤカメラ４からの画像データｂを２
値化し、２値化画像データｃを出力する。２値化の際の
しきい値は、スクライブライン９の画像レベルより上に
設定し、しきい値以下の画像レベル部分を０とし、しき
い値以上の画像レベル部分を１とする。次にパターンマ
ッチング回路１２は、２値化画像データｃと検査ライン
１３とのパターンマッチングを行ない、検査ライン１３
の全領域が２値化画像データｃの０と重なったかどうか
を判定し、パターンマッチング結果信号ｆを出力する。 制御回路１４は、パターンマッチング結果信号ｆを受け
て上述の画像処理シーケンスを繰り返しながら、図４（
ｂ）に示すように、検査ライン１３の全領域が２値化画
像データｃの０と重なるまでＸＹステージ２を移動させ
る。以上の動作を行なうことで、検査ライン１３の全領
域が２値化画像データｃの０と重なった位置をスクライ
ブラインとして検出する。
ブライン検出装置の検出ラインとウェハのスクライブラ
インとの関係を示す上面図である。１点鎖線内部は撮像
領域１１であり、検査ライン１３はパターンマッチング
回路１２にてパターンマッチングを行なう際の基準パタ
ーンである。制御回路１４は、制御信号ｇによってＸＹ
ステージ２を移動させ、図４（ａ）に示すように撮像領
域１１をスクライブライン９の付近に設定する。次に２
値化回路５は、ＣＣＤカメラ４からの画像データｂを２
値化し、２値化画像データｃを出力する。２値化の際の
しきい値は、スクライブライン９の画像レベルより上に
設定し、しきい値以下の画像レベル部分を０とし、しき
い値以上の画像レベル部分を１とする。次にパターンマ
ッチング回路１２は、２値化画像データｃと検査ライン
１３とのパターンマッチングを行ない、検査ライン１３
の全領域が２値化画像データｃの０と重なったかどうか
を判定し、パターンマッチング結果信号ｆを出力する。 制御回路１４は、パターンマッチング結果信号ｆを受け
て上述の画像処理シーケンスを繰り返しながら、図４（
ｂ）に示すように、検査ライン１３の全領域が２値化画
像データｃの０と重なるまでＸＹステージ２を移動させ
る。以上の動作を行なうことで、検査ライン１３の全領
域が２値化画像データｃの０と重なった位置をスクライ
ブラインとして検出する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のスクラ
イブライン検出装置は、ＸＹステージを移動させながら
スクライブラインの２値化画像データとあらかじめ設定
されたＸ方向およびＹ方向の幅の狭い領域とのパターン
マッチングを行ない、重った位置をスクライブラインと
して検出するため、ＸＹステージの移動と画像処理シー
ケンスを何度も行なう必要があるので、検出に時間がか
かるという欠点があった。
イブライン検出装置は、ＸＹステージを移動させながら
スクライブラインの２値化画像データとあらかじめ設定
されたＸ方向およびＹ方向の幅の狭い領域とのパターン
マッチングを行ない、重った位置をスクライブラインと
して検出するため、ＸＹステージの移動と画像処理シー
ケンスを何度も行なう必要があるので、検出に時間がか
かるという欠点があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明のスクライブライ
ン検出装置は、（Ａ）被検査物を搭載し、ＸＹ方向に移
動させるＸＹステージ、（Ｂ） 前記被搭載物を拡大撮
像し、画像データを出力する撮像手段、（Ｃ） 前記画
像データを２値化し、２値化画像データを出力する２値
化回路、（Ｄ） 前記２値化画像データをＸ方向，Ｙ方
向にそれぞれ加算し、加算データを出力する加算回路、
（Ｅ） 前記加算データにもとづいて、加算値中でＸ方
向，Ｙ方向それぞれの零値の位置を検出し、零値位置デ
ータを出力する零値検出回路、（Ｆ） 前記零値位置デ
ータにもとづいて、前記ＸＹステージを制御する制御信
号を出力する制御回路、とを含んで構成される。
ン検出装置は、（Ａ）被検査物を搭載し、ＸＹ方向に移
動させるＸＹステージ、（Ｂ） 前記被搭載物を拡大撮
像し、画像データを出力する撮像手段、（Ｃ） 前記画
像データを２値化し、２値化画像データを出力する２値
化回路、（Ｄ） 前記２値化画像データをＸ方向，Ｙ方
向にそれぞれ加算し、加算データを出力する加算回路、
（Ｅ） 前記加算データにもとづいて、加算値中でＸ方
向，Ｙ方向それぞれの零値の位置を検出し、零値位置デ
ータを出力する零値検出回路、（Ｆ） 前記零値位置デ
ータにもとづいて、前記ＸＹステージを制御する制御信
号を出力する制御回路、とを含んで構成される。
【０００７】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
【０００８】図１は、本発明の一実施例を示すブロック
図である。図１に示すスクライブライン検出装置は、（
Ａ） ウエハ１を搭載し、ＸＹ方向に移動させるＸＹス
テージ２、（Ｂ） ウエハ１を拡大撮像し、画像データ
ｂを出力する顕微鏡３およびＣＣＤカメラ４、（Ｃ）
画像データｂを２値化し、２値化画像データｃを出力す
る２値化回路５、（Ｄ） ２値化画像データｃをＸ方向
，Ｙ方向にそれぞれ加算し、加算データｄを出力する加
算回路６、（Ｅ） 加算データｄにもとづいて、加算値
中でＸ方向，Ｙ方向それぞれの零値の位置を検出し、零
値位置データｅを出力する零値検出回路７、 （Ｆ） 零値位置データｅにもとづいて、ＸＹステージ
２を制御する制御信号ａを出力する制御回路８、とを含
んで構成される。
図である。図１に示すスクライブライン検出装置は、（
Ａ） ウエハ１を搭載し、ＸＹ方向に移動させるＸＹス
テージ２、（Ｂ） ウエハ１を拡大撮像し、画像データ
ｂを出力する顕微鏡３およびＣＣＤカメラ４、（Ｃ）
画像データｂを２値化し、２値化画像データｃを出力す
る２値化回路５、（Ｄ） ２値化画像データｃをＸ方向
，Ｙ方向にそれぞれ加算し、加算データｄを出力する加
算回路６、（Ｅ） 加算データｄにもとづいて、加算値
中でＸ方向，Ｙ方向それぞれの零値の位置を検出し、零
値位置データｅを出力する零値検出回路７、 （Ｆ） 零値位置データｅにもとづいて、ＸＹステージ
２を制御する制御信号ａを出力する制御回路８、とを含
んで構成される。
【０００９】図２は、本発明の原理を示す模式図である
。撮像領域１１の右側はＸ方向の加算データ，撮像領域
１１の下側はＹ方向の加算データである。制御回路８は
、制御信号ａによってＸＹステージ２を移動させ、スク
ライブライン９を撮像領域１１内に移動させる。次に、
２値化回路５は、ＣＣＤカメラ４からの画像データｂを
２値化し、２値化画像データｃを出力する。２値化の際
のしきい値は、スクライブライン９の画像レベルより上
に設定し、しきい値以下の画像レベル部分を０とし、し
きい値以上の画像レベル部分を１とする。
。撮像領域１１の右側はＸ方向の加算データ，撮像領域
１１の下側はＹ方向の加算データである。制御回路８は
、制御信号ａによってＸＹステージ２を移動させ、スク
ライブライン９を撮像領域１１内に移動させる。次に、
２値化回路５は、ＣＣＤカメラ４からの画像データｂを
２値化し、２値化画像データｃを出力する。２値化の際
のしきい値は、スクライブライン９の画像レベルより上
に設定し、しきい値以下の画像レベル部分を０とし、し
きい値以上の画像レベル部分を１とする。
【００１０】次に、加算回路６は、２値化画像データｃ
をＸ方向およびＹ方向に加算し、加算データｄを出力す
る。（加算データｄは、図４に示すように、加算方向に
沿って０の画素が多ければ加算値は小さくなり、１の画
素が多ければ逆に大きくなる。零値検出回路７は、加算
データｄのうち、Ｘ方向，Ｙ方向それぞれについて０値
となっている位置を検出する。
をＸ方向およびＹ方向に加算し、加算データｄを出力す
る。（加算データｄは、図４に示すように、加算方向に
沿って０の画素が多ければ加算値は小さくなり、１の画
素が多ければ逆に大きくなる。零値検出回路７は、加算
データｄのうち、Ｘ方向，Ｙ方向それぞれについて０値
となっている位置を検出する。
【００１１】この時、スクライブライン部分は、加算方
向に沿って連続して０になっているため、必ず加算値は
０となる。よって、０値となっている位置を検出すれば
、スクライブラインの検出ができる。
向に沿って連続して０になっているため、必ず加算値は
０となる。よって、０値となっている位置を検出すれば
、スクライブラインの検出ができる。
【００１２】
【発明の効果】本発明のスクライブライン検出装置は、
ＸＹステージを移動させながらパターンマッチングによ
ってスクライブラインを検出する代りに、スクライブラ
インの２値化画像がＸ方向およびＹ方向にそれぞれ連続
して０となることを利用し、加算回路と零値検出回路に
よってＸ方向およびＹ方向にそれぞれ加算値が０になる
位置をスクライブラインとして検出するため、ＸＹステ
ージの移動と画像処理のシーケンスは１度行なうだけて
よいので、検査時間を短縮できるという効果がある。
ＸＹステージを移動させながらパターンマッチングによ
ってスクライブラインを検出する代りに、スクライブラ
インの２値化画像がＸ方向およびＹ方向にそれぞれ連続
して０となることを利用し、加算回路と零値検出回路に
よってＸ方向およびＹ方向にそれぞれ加算値が０になる
位置をスクライブラインとして検出するため、ＸＹステ
ージの移動と画像処理のシーケンスは１度行なうだけて
よいので、検査時間を短縮できるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示すブロック図ある。
【図２】本発明の原理を示す模式図である。
【図３】従来の一例を示すブロック図ある。
【図４】（ａ），（ｂ）は図３に示すスクライブライン
検出装置の検出ラインとウェハのスクライブラインとの
関係を示す上面図である。
検出装置の検出ラインとウェハのスクライブラインとの
関係を示す上面図である。
１ ウェハ
２ ＸＹステージ
３ 顕微鏡
４ ＣＣＤカメラ
５ ２値化回路
６ 加算回路
７ 零値検出回路
８ 制御回路
ａ 制御信号
ｂ 画像データ
ｃ ２値化画像データ
ｄ 加算データ
ｅ 零位置値データ
Claims (1)
- 【請求項１】（Ａ） 被検査物を搭載し、ＸＹ方向に移
動させるＸＹステージ、（Ｂ） 前記被搭載物を拡大撮
像し、画像データを出力する撮像手段、（Ｃ） 前記画
像データを２値化し、２値化画像データを出力する２値
化回路、（Ｄ） 前記２値化画像データをＸ方向，Ｙ方
向にそれぞれ加算し、加算データを出力する加算回路、
（Ｅ） 前記加算データにもとづいて、加算値中でＸ方
向，Ｙ方向それぞれの零値の位置を検出し、零値位置デ
ータを出力する零値検出回路、（Ｆ） 前記零値位置デ
ータにもとづいて、前記ＸＹステージを制御する制御信
号を出力する制御回路、とを含むことを特徴とするスク
ライブライン検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3004868A JPH04236447A (ja) | 1991-01-21 | 1991-01-21 | スクライブライン検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3004868A JPH04236447A (ja) | 1991-01-21 | 1991-01-21 | スクライブライン検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04236447A true JPH04236447A (ja) | 1992-08-25 |
Family
ID=11595655
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3004868A Pending JPH04236447A (ja) | 1991-01-21 | 1991-01-21 | スクライブライン検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04236447A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001009932A1 (fr) * | 1999-07-30 | 2001-02-08 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Procede de decoupage de plaquette de semi-conducteur en puces et structure de rainure formee dans la zone de decoupage |
-
1991
- 1991-01-21 JP JP3004868A patent/JPH04236447A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001009932A1 (fr) * | 1999-07-30 | 2001-02-08 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Procede de decoupage de plaquette de semi-conducteur en puces et structure de rainure formee dans la zone de decoupage |
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